DE3633798A1 - Schutzvorrichtung fuer einen chiptraeger - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Schutzvor­ richtung für einen Chipträger, wie sie im Oberbegriff des Anspruchs 1 angegeben ist. Die Schutzvorrichtung dient als schützende Verpackung für den Chipträger, während dieser getestet wird und andere Vorgänge ausgeführt werden, bevor der Chipträger auf einer Schaltungsplatte angeordnet wird.

Integrierte Schaltungen werden üblicherweise auf Trägern oder Substraten montiert, die man als Chipträger bezeichnet. An dem Chipträger vorhandene Leiter sind mit der integrierten Schaltung verbunden und erstrecken sich zu den Rändern des Trägers. Zuleitungen aus Metallblech sind mit diesen Leitern auf dem Träger verbunden und erstrecken sich von den Rändern des Substrats nach außen. Wenn die integrierte Schaltung in Betrieb genommen wird, werden diese Zuleitungen wiederum mit Anschlußbereichen auf einer Schaltungsplatte verlötet.

Vor der Inbetriebnahme einer auf einem Chipträger befind­ lichen integrierten Schaltung ist es notwendig, verschiedene Vorgänge auszuführen, wie z.B. Testen der Schaltung, Trimmen der sich von dem Chipträger wegerstrecken­ den Zuleitungen sowie normalerweise ein Formen oder Biegen dieser Zuleitungen in einer derartigen Weise, daß der Chipträger oberhalb der Oberfläche der Schaltungsplatte getragen wird, auf der er montiert wird. Die Zuleitungen sind äußerst fein und empfindlich, und bei diesen Vorgängen ist normalerweise eine wiederholte Handhabung des Chipträgers erforderlich, wobei diese Handhabung sehr sorgfältig aus­ geführt werden muß, während dennoch eine Beschädigung des Chipträgers entstehen kann. Zum Beispiel ist es zum Testen der integrierten Schaltung erforderlich, den Chipträger in einen Verbinder zu plazieren, so daß die Zuleitungen vorübergehend mit Anschlüssen in einem komplementären Verbinder verbunden werden können. Die Trimm- und Form­ vorgänge erfolgen in separaten Schritten, so daß eine Handhabung des Chipträgers während all diesen vorbereitenden Vorgängen erforderlich ist, bevor die integrierte Schaltung schließlich in Betrieb genommen werden kann.

Die vorliegende Erfindung zielt auf die Schaffung einer Vorrichtung ab, in die ein Chipträger bei seiner Herstellung plaziert werden kann und aus der der Chipträger so lange nicht entfernt zu werden braucht, bis die integrierte Schaltung tatsächlich in Betrieb genommen wird. Die Erfindung zielt somit auf die Schaffung einer Vorrichtung ab, die eine Ausführung aller erforderlichen Vorgänge ermöglicht, die an dem Chipträger sowie an dessen Zuleitungen ausgeführt werden müssen, so daß die erfindungsgemäße Vorrichtung auch als schützende Verpackung bzw. Hülle für den Chipträger dienen kann.

Die vorliegende Erfindung schafft eine Schutzvorrichtung für einen Chipträger, wobei es sich bei dem Chipträger um einen der Art handelt, der einen flachen Trägerkörper besitzt, der in entgegengesetzte Richtungen weisende Hauptflächen sowie sich um diesen herumerstreckende Träger­ randbereiche aufweist. Elektrische Zuleitungen erstrecken sich seitlich nebeneinanderliegend sowie in gegenseitiger Beabstandung voneinander von den Trägerrandbereichen weg, so daß diese Zuleitungen mit Anschlußbereichen verlötet werden können, wenn der Chipträger in Betrieb genommen wird. Die erfindungsgemäße Schutzvorrichtung umfaßt einen Vorrichtungskörper aus isolierendem Material, der eine erste Hauptfläche und eine zweite Hauptfläche, die in entgegengesetzte Richtungen weisen, sowie sich um diesen herumerstreckende Vorrichtungsrandbereiche aufweist.

Eine zentral angeordnete Trägerbefestigungszone ist auf der ersten Hauptfläche vorgesehen, und es ist eine Festlegeeinrichtung zum derartigen Festlegen des Chip­ trägerkörpers in der Befestigungszone vorgesehen, daß sich die elektrischen Zuleitungen in Richtung auf die Vorrichtungsrandbereiche erstrecken. Die erfindungsgemäße Schutzvorrichtung zeichnet sich dadurch aus, daß sich eine Mehrzahl von Werkzeug-Freiraumöffnungen bzw. Öffnungen, die einen Freiraum zum Ansetzen von Werkzeugeinrichtungen schaffen, von der ersten Hauptfläche zu der zweiten Haupt­ fläche durch den Vorrichtungskörper hindurcherstrecken. Die Werkzeug-Freiraumöffnungen befinden sich zwischen den Vorrichtungskörper-Randbereichen und den Chipträger-Randbereichen eines in der Trägerbefestigungszone positionierten Chipträgers. Auf diese Weise sind zwischen einer jeden Werkzeug-Freiraum­ öffnung und der Trägerbefestigungszone Zuleitungstrage­ flächen geschaffen, wobei die Werkzeug-Freiraumöffnungen die Trägerbefestigungszone umgebend angeordnet sind. Es ist eine Mehrzahl von Chipträger-Klemmen zum Fest­ klemmen eines Chipträgers in der Befestigungszone vorhanden, wobei sich die Klemmen zwischen einander benachbarten Werkzeug-Freiraumöffnungen befinden, so daß sich die Zuleitungen, die sich von einem in der Trägerbefestigungs­ zone festgeklemmten Chipträger wegerstrecken, über die Zuleitungstrageflächen in Richtung auf die umlaufenden Vorrichtungsrandbereiche sowie wenigstens teilweise über die Werkzeug-Freiraumöffnungen erstrecken. Diese Werkzeug-Freiraumöffnungen gestatten die Ausführung von Vorgängen, wie z.B. Trimmen der Zuleitungen, Formen der Zuleitungen sowie Testvorgängen, an den Zuleitungen, während sich der Chipträger in der Schutzvorrichtung befindet.

Normalerweise ist der Chipträgerkörper rechteckig oder quadratisch ausgebildet und sind vier Werkzeug-Freiraum­ öffnungen in dem Vorrichtungskörper vorhanden, wobei sich jede Werkzeug-Freiraumöffnung seitlich von einer der Seiten eines in der Befestigungszone befindlichen Chipträgers erstreckt. Die Trägerklemmen liegen somit nahe bei den Ecken eines in der Befestigungszone befindlichen Chipträgers. Die Festlegeeinrichtung in der Befestigungszone umfaßt vorzugsweise eine sich in die erste Hauptfläche des Vorrichtungskörpers hineinerstreckende Ausnehmung, und die Tiefe der Ausnehmung ist geringfügig größer als die Dicke des Chipträgerskörpers, so daß der Trägerkörper bei Anordnung in der Ausnehmung unterhalb der ersten Hauptfläche des Vorrichtungskörpers liegt. Bei dieser Anordnung befinden sich die Zuleitungen zwischen der ersten und der zweiten Hauptfläche des Vorrichtungskörpers, und sie sind dadurch geschützt.

Bei dem bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung sind in der ersten und der zweiten Hauptfläche des Vorrichtungskörpers Ausrichtstifte und Ausrichtausnehmungen vorgesehen, so daß sich die erfindungsgemäße Schutzvor­ richtung zusammen mit mehreren identischen Schutzvor­ richtungen aufeinanderstapeln läßt. Diese Anordnung ist dann besonders vorteilhaft, wenn Roboter bei irgendeinem der Vorgänge verwendet werden, die ausgeführt werden, während sich der Chipträger in der Schutzvorrichtung befindet.

Bevorzugte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.

Die Erfindung und Weiterbildungen der Erfindung werden im folgenden anhand der zeichnerischen Darstellungen eines Ausführungsbeispiels noch näher erläutert.

In den Zeichnungen zeigen:

Fig. 1 eine Perspektivansicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung, wobei ein Chipträger von der Befestigungs­ zone der Vorrichtung weggezogen dargestellt ist;

Fig. 2 eine Draufsicht auf die Vorrichtung, wobei eine der Trägerklemmen entfernt ist;

Fig. 3 eine Ansicht gesehen in Richtung der Pfeile 3-3 der Fig. 2;

Fig. 4 eine der Fig. 2 ähnliche Ansicht, in der jedoch ein Chipträger in Position auf der Vorrichtung gezeigt ist;

Fig. 5 eine der Fig. 3 ähnliche fragmentarische Ansicht, in der der Chipträger jedoch in der Vorrichtung angeordnet ist;

Fig. 6 eine der Fig. 5 ähnliche Ansicht, in dem die Chip­ träger-Zuleitungen jedoch nach dem Trimmen und Formen derselben gezeigt sind;

Fig. 7 eine vergrößert dargestellte Draufsicht auf einen Eckbereich der Vorrichtung unter Darstellung von Details der Chipträgerklemmen;

Fig. 8 eine Ansicht gesehen in Richtung der Pfeile 8-8 der Fig. 7;

Fig. 9 eine der Fig. 8 ähnliche Ansicht, in der die Schwenk­ bewegung einer der Klemmen veranschaulicht ist;

Fig. 10 eine Ansicht, in der ein Stapel erfindungsgemäßer Vorrichtungen gezeigt ist;

Fig. 11 eine Draufsicht auf einen Prüfverbinder;

Fig. 12 eine Seitenansicht, in der eine erfindungsgemäße Vorrichtung mit einem Prüfverbinder gemäß Fig. 11 gekoppelt gezeigt ist; und

Fig. 13 eine Ansicht eines Chipträgers.

Eine Vorrichtung 2 gemäß der vorliegenden Erfindung, wie sie in den Fig. 1 bis 3 zu sehen ist, ist für die Aufnahme eines Chipträgers 4 der in Fig. 13 im Detail veranschaulichten Art dimensioniert. Der Chipträger umfaßt einen quadratischen Chipträgerkörper 6 aus einem keramischen oder einem anderen isolierenden Material, der in entgegengesetzte Richtungen weisende Hauptflächen 8, 10 sowie sich um diese herum­ erstreckende Randbereiche 12 aufweist. Die integrierte Schaltung ist üblicherweise in einem Bereich 14 auf einer der Hauptflächen 8 montiert und ist normalerweise mittels einer geeigneten Vergießmasse mit diesem Bereich 14 vergossen. Leiter erstrecken sich unter Durchlaufung des Chipträger­ körpers von der integrierten Schaltung zu den sich um den Trägerkörper herumerstreckenden bzw. um diesen um­ laufenden Rändern 12 und sind mit dünnen, aus Metallblech bestehenden Zuleitungen 16 durch Bonden verbunden, die sich von den umlaufenden Rändern wegerstrecken. Bei dem gezeigten Chipträger 4 sind die Enden dieser Zuleitungen mit Trägerstreifen 18 einstückig ausgebildet. Die Träger­ streifen müssen entfernt werden, bevor die integrierte Schaltung getestet werden kann, und außerdem müssen vor der Montage des Chipträgers auf einer Schaltungsplatte auch die Zuleitungen gebogen werden, wie dies im folgenden noch erläutert wird. Es ist zu erwähnen, daß sich die Trägerstreifen 18 in manchen Fällen in jeder Richtung über die Zuleitungen hinauserstrecken können und mit den sich von den jeweils benachbarten Seiten wegerstreckenden Trägerstreifen verbunden sein können. Dies heißt mit anderen Worten, daß sich ein kontinuierlicher Trägerstreifen fortlaufend um den Chipträgerkörper herumerstrecken kann, wie dies im folgenden noch erläutert wird.

Chipträgerkörper der in Fig. 13 gezeigten Art können eine Seitenlänge von ca. 39 mm auf jeder Seite aufweisen, und die Mittenbeabstandung zwischen einander benachbarten Zuleitungen beträgt üblicherweise ca. 0,6 mm. Wie bereits erwähnt wurde, ist das Material der Zuleitungen 16 sehr dünn, und die Zuleitungen sind somit recht empfindlich.

Die Vorrichtung 2 umfaßt einen Vorrichtungskörper 20 aus isolierendem Material, wie z.B. aus thermoplastischen Material, wobei der Vorrichtungskörper 20 eine erste und eine zweite Hauptfläche 22, 24, die in entgegengesetzte Richtungen weisen, sowie einen sich um diesen herum erstreckenden Vorrichtungsrand 26 aufweist. Eine quadratische Ausnehmung 28 erstreckt sich in die erste Hauptfläche hinein und entspricht der Form und den Abmessungen des Chipträgerkörpers. Die Ausnehmung dient als Festlegeeinrichtung zum zentralen Festlegen des Chipträgerkörpers in einem Befestigungsbereich. Die Ausnehmung 28 ist vorzugsweise tiefer ausgebildet als die Dicke des Trägerkörpers, so daß der Trägerkörper unter­ halb der ersten Hauptfläche angeordnet ist, wenn er in der Ausnehmung plaziert ist, wie dies in Fig. 5 gezeigt ist. Der Trägerkörper ist auf der inneren Oberfläche 30 der Ausnehmung getragen, und es ist eine zentrale Öffnung 32 vorgesehen, um eine Entnahme des Chipträgers aus der Vorrichtung zu ermöglichen.

Rechteckige Werkzeug-Freiraumöffnungen bzw. Öffnungen 34, die einen Freiraum zum Ansetzen von Werkzeugeinrichtungen schaffen, sind den Befestigungsbereich umgebend vorgesehen und erstrecken sich parallel zu den Rändern 26 über eine Strecke, die dem Abstand zwischen den jeweils letzten bzw. am Ende vorgesehenen Zuleitungen 16 an jedem Rand 12 des Trägerkörpers 6 entspricht. Diese Öffnungen 34 befinden sich zwischen den umlaufenden Randbereichen 12 eines in der Ausnehmung 28 befindlichen Chipträgerkörpers 6 und den umlaufenden Randbereichen 26 des Vorrichtungskörpers, und zwar in einer derartigen Weise, daß zwischen dem Befestigungsbereich und den Öffnungen 34 Zuleitungstrage­ flächen 35 geschaffen sind. Diese Zuleitungstrageflächen befinden sich geringfügig unterhalb der Ebene der ersten Hauptfläche des Vorrichtungskörpers und sind mit seitlich nebeneinander angeordneten Zuleitungsaufnahmekanälen 36 versehen, wie dies in Fig. 5 gezeigt ist, so daß die Zuleitungen exakt positionierbar sind. Wie in Fig. 4 gezeigt ist, erstrecken sich die Zuleitungen in Richtung auf die umlaufenden Ränder 26 und teilweise in die Öffnungen 34 hinein bzw. über die Öffnungen 34, wobei sich die Zuleitungen jedoch zwischen den Ebenen der ersten und der zweiten Hauptfläche 22, 24 befinden und dadurch geschützt sind.

Der Chipträgerkörper 6 ist an der Vorrichtung mittels vier Klemmen 38 festgeklemmt, wie dies in Fig. 7 zu sehen ist; die Klemmen 38 befinden sich an den Ecken der Ausnehmung 28, wie dies in Fig. 2 gezeigt ist. Jede Klemme besitzt einen Klemmarm 40, der sich über die Oberfläche des Chipträgerkörpers erstreckt, sowie einen Befestigungsarm 42, der in einer Klemmenbefestigungsöffnung 56 aufgenommen ist. Die obere Oberfläche 44 des Befestigungsarms befindet sich unterhalb der Ebene der ersten Hauptfläche 22, wie dies in Fig. 8 gezeigt ist, wenn sich die Klemme in ihrer normalen Stellung befindet; die Gründe hierfür werden im folgenden erläutert. Der Befestigungsarm ist allgemein rechteckig und ist hohl ausgebildet, wobei sich eine zentral angeordnete Rippe 46 zwischen den beiden parallelen Seitenwänden des Befestigungsarms erstreckt. Diese Rippe unterteilt die Seitenwände in zwei biegbare Wandbereiche 48, 50. An dem Wandbereich 48 sind nach außen gerichtete Erhebungen 52 vorgesehen, und in dem Wandbereich 50 sind miteinander ausgerichtete Öffnungen 54 vorgesehen.

Die Klemmenbefestigungsöffnungen 58 besitzen jeweils einander gegenüberliegende Innenwände 58, und an den Innen­ wänden 58 sind Schwenkzapfen 60 vorgesehen, die für die Aufnahme in den Öffnungen 54 des Befestigungsarms dimensioniert sind. Die Klemmen lassen sich somit dadurch an dem Vorrichtungskörper montieren, daß man sie einfach in die Klemmenbefestigungsöffnungen 56 hineinbewegt. Wenn sich die Wandbereiche 50 an den Schwenkzapfen entlangbewegen, biegen sich diese Wandbereiche geringfügig, bis die Schwenk­ zapfen in die Öffnungen 54 eintreten. Die Erhebungen 52 drücken in federnd nachgiebiger Weise gegen die Innenwände 58, so daß sich die Klemme, wenn sie sich in der Position gemäß Fig. 8 befindet, nicht ohne Überwindung der Reibungs­ kräfte aus dieser Position herausbewegen kann. Die Erhebungen dienen somit als Arretier- bzw. Festhalteeinrichtung, um die Befestigungsarme in der in Fig. 8 gezeigten Position zu halten, obwohl sich die Befestigungsarme zur Entnahme eines Chipträgers aus dem Befestigungsbereich oder zum Einsetzen eines Chipträgers in den Befestigungsbereich in die in Fig. 9 gezeigte Position schwenken lassen.

Ein eine geringe Tiefe aufweisender Kanal 62, wie er in Fig. 9 zu sehen ist, erstreckt sich von jeder der Öffnungen 56 weg zu der zentralen Ausnehmung, und zwar zu Aufnahme des Klemmarms 40 in diesem Kanal. Aufgrund dieses Merkmals sowie aufgrund der Abmessungen des Klemmarms ist die obere Oberfläche des Klemmarms 40 koplanar mit der ersten Hauptfläche 22 des Vorrichtungskörpers, wenn sich der Klemmarm 40 in seiner Klemmstellung befindet. Die Unter­ seite des Klemmarms 40 weist eine Ausnehmung 64 auf, so daß diese Unterseite an keinerlei Bereichen der Zuleitungen 16 angreift, die sich von einem in dem Befestigungsbereich befindlichen Chipträger wegerstrecken.

Ausrichtvorsprünge 66, 68 stehen von der zweiten Hauptfläche 24 des Vorrichtungskörpers weg, und dazu komplementäre Öffnungen 70, 72 erstrecken sich in die erste Hauptfläche desselben hinein. Die Vorsprünge und die Öffnungen sind in bezug auf die Mitte der Vorrichtung nicht symmetrisch angeordnet, so daß dann, wenn zwei oder mehr Vorrichtungen aufeinandergestapelt sind, die Vorrichtungen alle dieselbe Orientierung aufweisen. Dieses Merkmal ist dann von Bedeutung, wenn erfindungsgemäße Vorrichtungen in Verbindung mit von Robotern ausgeführten Test- und Montagetechniken verwendet werden, wie dies im folgenden noch erläutert wird. Die Öffnungen bzw. Ausnehmungen 72 besitzen alle quer verlaufende Rippen 73, die sich durch diese hindurcherstrecken und die ein Eintreten der Vorsprünge 66, 68 in die Öffnungen gestatten, wobei die Rippen 73 jedoch als Anschläge wirken, wenn die Vorrichtung mit einem Prüfverbinder oder mit einer Prüfvorrichtung gekoppelt wird, wie dies ebenfalls im folgenden noch erläutert wird.

Fig. 11 zeigt einen Prüfverbinder bzw. eine Prüfvorrichtung 76, der bzw. die mittels Befestigungsgliedern 94 auf einer Schaltungsplatte 78 montiert ist und dazu ausgelegt ist, eine Vorrichtung 2 gemäß der vorliegenden Erfindung aufzu­ nehmen, wie dies in Fig. 12 gezeigt ist. Die Prüf­ vorrichtung 76 besitzt Stifte 80, die in die Öffnungen 70, 72 eintreten, so daß die Zuleitungen 16 zum Angreifen an Kontaktanschlüssen, die in Form von Reihen 84 in der Prüfvorrichtung 76 angeordnet sind, korrekt positioniert sind.

Um einen in einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 2 enthaltenen Chipträger zu prüfen, wird die Vorrichtung auf der oberen Oberfläche 82 der Prüfvorrichtung positioniert, und eine Klemmplatte 88 wird auf der Vorrichtung 2 positioniert. Danach wird die Vorrichtung 2 mittels an der Prüfvorrichtung 76 vorhandenen Klemmen 86 gegen die Prüfvorrichtung bzw. den Prüfverbinder geklemmt. Bei der in Fig. 12 gezeigten Test­ anordnung ist auch an der Unterseite der Schaltungsplatte 78 eine Klemmplatte 92 vorgesehen, wobei diese Klemmplatte 92 durch eine isolierende Platte 90 von der unteren Oberfläche der Schaltungsplatte getrennt ist. Wie bereits erwähnt wurde, ist es bei manchen Chipträgern möglich, daß sich die Trägerstreifen 18 seitlich über die Reihen von Zuleitungen 16 hinauserstrecken und miteinander verbunden sind, um einen einen kontinuierlichen Trägerstreifen bildenden, schützenden Rahmen zu schaffen, der sich um alle Zuleitungen 16 herumerstreckt. Wenn es sich bei dem Chipträger um einen dieses Typs handelt, werden die Fortsätze der Trägerstreifen 18 in eine geringe Tiefe aufweisenden Kanälen 74 aufge­ nommen, die sich beidseits von jeder Werkzeug-Freiraum­ öffnung 34 zu der entsprechenden Klemmenbefestigungsöffnung 56 erstrecken. Die Ecken dieses kontinuierlichen Träger­ streifens würden sich dann über die vertieft ausgebildete obere Oberfläche 44 des Befestigungshebels bzw. Befestigungs­ arms jeder Klemme erstrecken. Wie aus Fig. 9 zu erkennen ist, würde ein Verschwenken der Klemme zu keinem Konflikt mit diesem Trägerstreifen führen, der sich um die Eckbereiche des Vorrichtungskörpers herumerstreckt.

Aus der vorstehenden Beschreibung ergibt sich, daß eine Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung nicht nur als Verbinder zum Verbinden der sich von dem Chipträger wegerstreckenden Zuleitungen mit den Anschlüssen in einer Prüfvorrichtung, wie sie in Fig. 11 gezeigt ist, dient, sondern gleichzeitig auch als eine Art der Verpackung für den Chipträger dient, wobei diese Art der Verpackung mit Vorgängen kompatibel ist, die an dem Chipträger durch­ geführt werden müssen, bevor dieser in Betrieb genommen werden kann. Vorrichtungen gemäß der vorliegenden Erfindung können somit an die Hersteller der in Fig. 13 gezeigten integrierten Schaltung geliefert werden, und die Hersteller würden jeden Chipträger 4 in eine Vorrichtung 2 plazieren.

Die Vorrichtung 2 würde dann als Schutz für den Chipträger dienen, und zwar während des Versands oder bei der Handhabung, während derer die Zuleitungen getrimmt und geformt werden und während derer der Prüfvorgang aus­ geführt wird. Die geprüfte integrierte Schaltung auf dem Chipträger würde zu diesem Zeitpunkt nicht aus der Vorrichtung entfernt werden, sondern sie würde in der Vorrichtung zu der Station weitergeleitet werden, an der sie auf einer Schaltungsplatte angeordnet wird. Die Stapelbarkeit von erfindungsgemäßen Vorrichtungen, wie dies in Fig. 10 dargestellt ist, ist insbesondere deswegen vorteilhaft, weil sich eine gesamte Sendung von integrierten Schaltungen zusammenstapeln ließe und alle erforderlichen Vorgänge, wie Trimmen, Formen und Testen, unter Verwendung von Robotertechniken durchlaufen könnte, da sich eine Robotervorrichtung bei einem Stapel erfindungsgemäßer Vorrichtungen verwenden ließe. Sogar die letztendlich erfolgende Montage des Chipträgers an einer Schaltungsplatte könnte von einer Robotervorrichtung aus­ geführt werden, die mit einem Stapel erfindungsgemäßer Vorrichtungen arbeitet.

Claims (14)

1. Schutzvorrichtung (2) für einen Chipträger (4), der einen flachen Trägerkörper (6) umfaßt, der in entgegen­ gesetzte Richtungen weisende Hauptflächen (8, 10) sowie sich um diesen herumerstreckende Trägerrandbereiche (12) aufweist, wobei sich elektrische Zuleitungen (16) seitlich nebeneinanderliegend sowie in gegenseitiger Beabstandung voneinander von den Trägerrandbereichen (12) wegerstrecken, wobei die Schutzvorrichtung (2) einen Vorrichtungskörper (20) aus isolierendem Material, der eine erste (22) und eine zweite (24) Hauptfläche, die in entgegengesetzte Richtungen weisen, sowie sich um diesen herumerstreckende Vorrichtungs­ randbereiche (26) besitzt, eine zentral angeordnete Träger­ befestigungszone auf der ersten Hauptfläche (22), sowie eine Trägerfestlegeeinrichtung (28) zum Festlegen des Träger­ körpers (6) in der Befestigungszone in einer derartigen Weise, daß sich die elektrischen Zuleitungen (16) in Richtung auf die Vorrichtungsrandbereiche (26) erstrecken, umfaßt, dadurch gekennzeichnet, daß sich eine Mehrzahl von Werkzeug-Freiraumöffnungen (34) von der ersten Hauptfläche (22) zu der zweiten Hauptfläche (24) durch den Vorrichtungskörper (20) hindurcherstreckt, daß die Werkzeug-Freiraumöffnungen (34) zwischen den Vorrichtungsrandbereichen (26) und den Trägerrandbereichen (12) eines in der Trägerbefestigungszone positionierten Chipträgers (4) derart angeordnet sind, daß zwischen jeder Werkzeug-Freiraumöffnung (34) und der Trägerbefestigungszone eine Zuleitungstragefläche (35) geschaffen ist, daß die Werkzeug-Freiraumöffnungen (34) die Träger­ befestigungszone umgebend angeordnet sind, daß eine Mehrzahl von Chipträger-Klemmen (38) zum Klemmen eines in der Trägerbefestigungszone befindlichen Chipträgers (4) an die Schutzvorrichtung (2) vorgesehen ist und sich die Chipträger-Klemmen (38) zwischen einander benachbarten Werkzeug-Freiraumöffnungen (34) befinden, wodurch sich die Zuleitungen (16), die sich von einem in der Träger­ befestigungszone festgeklemmten Chipträger (4) wegerstrecken, über die Zuleitungstrageflächen (35) in Richtung auf die umlaufenden Vorrichtungsrandbereiche (26) sowie wenigstens teilweise über die Werkzeug-Freiraumöffnungen (34) erstrecken, so daß sich an den Zuleitungen (16) Vorgänge, wie z.B. Zuleitungs-Trimmvorgänge und Zuleitungs- Formvorgänge, ausführen lassen und sich die Vorrichtung (2) als Verbinder zum Verbinden der Zuleitungen mit Anschlüssen in einer Prüfvorrichtung verwenden läßt.

2. Schutzvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Trägerkörper (6) rechtwinklig ausgebildet ist, daß der Vorrichtungskörper (20) vier Werkzeug-Freiraumöffnungen (34) aufweist, von denen sich jede seitlich von einer der Seiten eines in der Befestigungszone befindlichen Chipträgers (4) erstreckt, und daß sich die Chipträger-Klemmen (38) nahe bei den Ecken eines in der Befestigungszone befindlichen Chipträgers (4) befinden.

3. Schutzvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Trägerfestlegeeinrichtung eine sich in die erste Hauptfläche (22) hineinerstreckende Ausnehmung (28) umfaßt, die der Form des Trägerkörpers (6) entspricht.

4. Schutzvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß jede Klemme (38) einen Klemmarm (40) aufweist, der sich von der ersten Hauptfläche (22) über eine Ecke eines in der Befestigungszone befind­ lichen Chipträgers (4) hinweg sowie über eine Oberfläche des Trägerkörpers (6) erstreckt.

5. Schutzvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Trägerfestlegeeinrichtung eine sich in die erste Hauptfläche (22) des Vorrichtungs­ körpers (20) hineinerstreckende Ausnehmung (28) umfaßt, und daß die Ausnehmung (28) der Form des Trägerkörpers (6) entspricht und eine Tiefe aufweist, die der Dicke des Trägerkörpers (6) wenigstens gleich ist.

6. Schutzvorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausnehmung (28) eine Tiefe besitzt, die größer als die Dicke des Trägerkörpers (6) ist, so daß bei Anordnung eines Chipträgers (4) in der Befestigungs­ zone die eine Hauptfläche (8) des Trägerkörpers (6) parallel zu der ersten Hauptfläche (22) des Vorrichtungskörpers (20) verläuft und in bezug auf diese vertieft angeordnet ist und sich die Zuleitungen (16) in den Werkzeug-Freiraum­ öffnungen (34) zwischen den Ebenen der ersten (22) und der zweiten (24) Hauptfläche des Vorrichtungskörpers (20) befinden sowie innerhalb der Werkzeug-Freiraumöffnungen (34) enthalten und dadurch geschützt sind.

7. Schutzvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß in der ersten Hauptfläche (22) des Vorrichtungskörpers (20) Klemmarm-Aufnahmeausnehmungen (62) vorgesehen sind, und daß die Klemmarme (40) derart in den Klemmarm-Aufnahmeausnehmungen aufnehmbar sind, daß sie nicht über die Ebene der ersten Hauptfläche (22) des Vorrichtungskörpers (20) hinausragen.

8. Schutzvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß jede Chipträger-Klemme (38) einen sich von dem Klemmarm (40) wegerstreckenden Befestigungsarm (42) aufweist, daß der Vorrichtungskörper (20) Klemmenbefestigungsöffnungen (56) aufweist, die sich nahe bei den Ecken eines in der Befestigungszone befindlichen Trägerkörpers (6) von der ersten Hauptfläche (22) des Vorrichtungskörpers (20) nach innen erstrecken, und daß die Befestigungsarme (42) in den Klemmenbefestigungs­ öffnungen (56) aufgenommen sind.

9. Schutzvorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Befestigungsarme (42) in den Klemmenbefestigungsöffnungen (56) derart schwenkbar angebracht sind, daß sich die Klemmarme (40) zur Ermöglichung einer Plazierung eines Chipträgers (4) in der Befestigungszone oder einer Entnahme desselben aus der Befestigungszone entlang einer kreisbogenförmigen Bahn von der Befestigungszone wegbewegen lassen.

10. Schutzvorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Befestigungsarm (42) hohl ausgebildet ist und biegbare Befestigungsarm-Wandbereiche (48, 50) aufweist, die den Wandbereichen (58) der ent­ sprechenden Klemmenbefestigungsöffnung (56) gegenüberliegend angeordnet sind, und daß die Befestigungsarme (42) mittels an den Wandbereichen (58) der Klemmenbefestigungsöffnungen (56) vorgesehenen und einstückig mit diesen ausgebildeten Schwenk­ zapfen (60) sowie mittels in den biegbaren Wandbereichen (50) vorgesehenen Öffnungen (54), in die sich die Schwenk­ zapfen (60) hineinerstrecken, in den Klemmenbefestigungs­ öffnungen (56) schwenkbar angebracht sind.

11. Schutzvorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß an den biegbaren Wandbereichen (48) der Befestigungsarme (42) nach außen vorstehende Erhebungen (52) vorgesehen sind und die Erhebungen (52) in federnd nachgiebiger Weise derart gegen die Wandbereiche (58) der Klemmenbefestigungsöffnungen (56) gehalten sind, daß Arretiereinrichtungen für die Befestigungsarme (42) geschaffen sind.

12. Schutzvorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß sich Trägerstreifenkanäle (74) zur Aufnahme von Fortsätzen von an den Enden der elektrischen Zuleitungen (16) befindlichen Trägerstreifen (18) von jeder Werkzeug-Freiraumöffnung (34) zu den entsprechenden Klemmenbefestigungsöffnungen (56) erstrecken.

13. Schutzvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß an der ersten (22) und der zweiten (24) Hauptfläche des Vorrichtungskörpers (20), Ausrichteinrichtungen vorgesehen sind, die mit den Ausrichteinrichtungen weiter identischer Schutzvorrichtungen in Eingriff bringbar sind, derart, daß sich mehrere identische Schutzvorrichtungen (2) in miteinander ausgerichteter Weise aufeinander stapeln lassen und sich die oberste Schutzvor­ richtung des Stapels durch Abheben derselben von dem Stapel entnehmen läßt.

14. Schutzvorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausrichteinrichtungen Ausrichtvorsprünge (66, 68) und zum Aufnehmen der Ausricht­ vorsprünge (66, 68) dimensionierte Ausnehmungen (70, 72) umfassen.