DE3603809A1 - Zweistufige drehschieber-vakuumpumpe - Google Patents

Description

Bis heute sind Flüssigkeitsringpumpen und Dampfstrahler häufigste Vakuumerzeuger in der chemischen und pharmazeutischen Industrie. Vorschriften zur Reinhaltung der Umwelt und Kostengründe zwingen hier zum Umdenken. So finden in letzter Zeit mehr und mehr Drehschieberpumpen als Vakuumerzeuger Anwendung. Pumpen dieses Bautyps mit Umlaufölschmierung, wobei das Öl Wärmetransport, Abdichtung, Korrosionsschutz, Ausschwemm- und Schmierfunktion erfüllt, sind nur begrenzt einsetzbar. Reaktive, oxydierende Medien kontaminieren Mineralöle und führen durch Herabsetzung obengenannter Funktionen zum Ausfall der Maschine. Nur inerte Öle, wie Fomblin und Paraffinöle, vergrößern das Anwendungsgebiet. Fomblin ist extrem teuer und muß zudem in Aktiverde- oder Aktivkohlefiltern ständig von aufgenommenen Kondensaten chemisch befreit werden. Paraffinöle sind nur begrenzt einsetzbar, nicht nur schlechter tribologischer Eigenschaften wegen, auch weil es chemisch Grenzen gibt. Zur Beseitigung der durch das umlaufende Schmiermittel gegebenen Probleme entwickelte man frischölgeschmierte Drehschieberpumpen. Hier sichert kein großer durch Druckdifferenz in der Pumpe bewegter Ölvolumenstrom die Funktion, sondern eine von einer Kolbenpumpe dosierte Tropfölschmierung. Die hier verfügbare Ölmenge ist 1000-mal kleiner und verläßt mit dem Gas am Druckstutzen die Pumpe. In vielen Fällen kann das Öl mit dem Gas anschließend verbrannt werden, in anderen Fällen muß es vom Gas getrennt und extra entsorgt werden. Das Öl hat hier folgende Aufgaben, es schmiert, es dichtet, es schützt vor Korrosion und es spült Verunreinigungen aus. Schmier- und Dichtfunktion sind der geringen Ölmenge wegen nur unvollkommen gegeben. Zur Erzielung eines Enddrucks von 0,5 mbar ist zweistufige Bauweise erforderlich. Mischreibungsverhältnisse führen zu erhöhtem Schieberverschleiß und verbieten den Einsatz von Komponenten zur Schieberverstärkung, die abrasiv wirken. Solche Pumpen können in vielen Bereichen der Chemie für Lösungsmittel und begrenzt auch für saure Medien erfolgreich eingesetzt werden. Grenzen sind gegeben durch Reaktionen oder katalytische Wirkung des Öls oder seiner Bestandteile mit Gasen und Kondensaten. Durch Polymere und Ölkohle verklebte Schieber führen häufig zum Ausfall der Pumpen. Kondensate schwemmen den schützenden Ölfilm hauptsächlich von den Deckelwänden und führen zu Korrosion und mm-tiefen Erosionen. In Anwendungsfällen, in denen es zu für den Prozess schädlichen Reaktionen mit Öl kommt, absolut ölfreie Gase und Produkte erwünscht sind oder eine nachfolgende Trennung von Gasen und Ölnebel, Öldämpfen und Reaktionsprodukten daraus kostspielig oder unmöglich ist, muß auf die Verwendung von Öl verzichtet werden. Hier bieten sich trockenlaufende Drehschieberpumpen an. Es entfällt bei ihnen einerseits der konstenintensive Verbrauch von Ölen und andererseits deren kostspielige und häufig problematische Entsorgung. Trockenlaufende 2-stufige Maschinen erzielen Vakua von 1 bis 3 mbar, was für die meisten Anwendungen in der chemischen Produktion ausreicht. Voraussetzungen für Trockenlauf sind ausreichender Korrosionsschutz und zur Vermeidung raschen Verschleißes gute tribologische Verhältnisse. Ausreichender Korrosionsschutz und gleitfähige Zylinderlauffläche werden durch besondere metallische oder Keramik-Plasmabeschichtungen garantiert. Kunststoffe und Hartkohle, sowie kunstharzgebundene Kohle und Graphite bieten sich als Schieber- und Deckelmaterialien an. PTFE-beschichtete Einlaß- und Auslaßstutzen ergänzen den Korrosionsschutz. Rotoren sind hochresistent, wenn sie aus korrosionsfesten Edelstählen, aus Hastelloy oder aus neuentwickelten formbeständigen und temperaturfesten Epoxydharz-Preßmassen hergestellt sind. Ist zur Vermeidung von Kondensatansammlungen bei frischölgeschmierten Pumpen ein abwärtsgerichteter Gasstrom zwingend, so entfällt diese Forderung bei Trockenläufern, da Kondensate hier keine Korrosion mehr bewirken. Dennoch erscheint es auch bei resistenten Trockenläufern zweckmäßig, zur Schieberentlastung Flüssigkeitsansammlungen in der Pumpe zu vermeiden.

Aufgabe dieser Erfindung ist es, durch Anordnung, Gestaltung und Materialauswahl der Komponenten von Drehschiebervakuumpumpen deren langfristige Funktion bei geringem Wartungsaufwand im Trockenlauf zu gewährleisten und insbesondere eine kostengünstige kompakte Bauart vorzustellen. Desgleichen ist das Konzept geeignet mit kleinen Ölmengen und flüssigen Lösungsmitteln betrieben zu werden, was bei bestimmten Anwendungen sinnvoll ist. Eine Ausführungsform der erfindungsgemäßen Drehschiebervakuumpumpe ist in Fig. I gezeigt. Die Pumpe besteht aus einer Niederdruckstufe 1 und einer axial dazu angeordneten Hochdruckstufe 2. Auf einer durch beide Stufen führenden Antriebswelle 3 sind die Rotoren 4 und 5 dieser Stufen durch Paßfedern 6 verdrehfest aber axial verschiebbar montiert. In radial angeordneten Rotorschlitzen 7 sind Schieber 8 geführt, die bei laufender Pumpe durch Fliehkraft nach außen gegen die Zylinderlaufbahnen 9 der exzentrisch zum Rotor angeordneten Zylinder 10 und 11 gedrückt werden und so in bekannter Weise Arbeitsräume 22 schaffen. Die Lagerungen 12, 13 und 14 der Antriebswelle 3 befinden sich im Gaseintrittsdeckel 15 und dem Gasaustrittsdeckel 16 der Stufen. Die Stufen sind durch einen zweiteiligen Zwischendeckel 17 voneinander getrennt, deren eine Hälfte 18 den Auslaßkanal 19 der Niederdruckstufe 1 und deren Hälfte 20 den Einlaßkanal 21 der Hochdruckstufe 2 enthält. Da der Zylinder 11 der Hochdruckstufe gegenüber dem Zylinder 10 der Niederdruckstufe um 180° verdreht ist, so daß die Arbeitsräume 22 wechselseitig oben und unten angeordnet sind, geht der Auslaßkanal 19 unmittelbar in den Einlaßkanal 21 über. Alle Deckel und Zylinder sind in bekannter Weise miteinander verschraubt und zur Lagefixierung verstiftet, so daß eine kompakte Pumpeneinheit entsteht. Über einen mit dem Gaseintrittsdeckel 15 verschraubten Einlaßstutzen 23 gelangt das Gas durch den Einlaßkanal 24 in die Niederdruckstufe. Der Gaseintrittsdeckel 15 ist mit einem chemisch resistenten Einsatz 25 versehen, der vakuumdicht mit dem Deckel verklebt ist. Auf diesem Einsatz 25 dichtet über den O-Ring 26 der Einlaßstutzen 23. Der Einlaßstutzen 23 besteht aus chemisch resistentem Material. Die Laufbahnen 9 der Zylinder 10 und 11 bestehen aus chemisch resistenten Schichten, z. B. aus im Plasmaverfahren aufgebrachter Oxydkeramik, die porenfrei versiegelt ist. Diese Schichten setzen sich in den Stirnseiten 27 der Zylinder 10 und 11 soweit fort, daß in ihrem Bereich O-Ring-Abdichtungen 28 zu den Deckeln möglich werden. Anstelle der Plasmaschicht in den Zylindern kann auch eine dickwandige Laufbuchse aus chemisch resistentem Material in bekannter Weise eingezogen sein, wobei dann die Abdichtung zu den Deckeln auf der Stirnseite der Laufbuchsen erfolgt. Damit Gase nicht die axiale Gleitfähigkeit der Rotoren auf der Welle beeinträchtigen können, die zum thermischen Längsspielausgleich erforderlich ist, sind stirnseitig Nuten 29 in die Rotoren eingedreht, in denen O-Ringe 30 zur Welle hin dichten.

Die O-Ringe 30 werden durch Distanzbuchsen 31 axial lagefixiert. Weil die Distanzbuchsen 31 aus chemisch resistentem Material mit guten Trockenlaufeigenschaften, z. B. Kohle oder Keramik, bestehen, ist zu den Gleitringdichtungen 32 ein guter Laufpartner gegeben. Die aus Hartkohle oder ähnlichem Material bestehenden Gleitringdichtungen 32 werden mittels PTFE-beschichteten Schraubenfedern 33 oder alternativ durch andere bekannte Federsysteme gegen die Stirnseiten 34 der Rotoren gedrückt und dichten dort. Ein Bund 35 und Fixierstifte 36 sichern die Gleitringdichtungen 32 in bekannter Weise axial und gegen Verdrehung. Im Bereich der Berührung zwischen Gleitringdichtungen und Rotoren sind die Rotoren mit Keramik-Gleitschichten versehen. Die Gleitringdichtungen 32 dichten statisch zum Deckeleinsatz 25 durch O-Ringe in bekannter Weise. Zur Verbesserung der Wellenabdichtung nach außen und zum Schutz der Lager sind PTFE- Radialwellendichtringe 37 in Buchsen 38, die aus chemisch resistentem Material bestehen, eingesetzt. Die Buchsen werden gegen die Deckeleinsätze 25 der Deckel 15 und 16 mittels O-Ring 39 gedichtet. Der Raum 40 zwischen Wellendichtring 37 und der Lagerabdichtung 41 wird durch Bohrungen 42 belüftet oder mit einem zusätzlichen Dichtmittel versorgt. Die Wellendichtringe 37 und 41 laufen auf keramikbeschichteten chemisch resistenten Laufbuchsen 43. Die Lagerung 13 und 14 der Antriebswelle 3 erfolgt im Gaseintrittsdeckel 15 durch hinreichend bekannte und hier nicht näher dargestellte Maschinenbaulösungen vollständig oder weitgehend radialspielfrei, was aus ersichtlichen Gründen für die bekannte Radialspieleinstellung der Rotoren zu den Zylindern bei der Montage zweckmäßig ist. Die Zwischendeckel sind im Gasführungsbereich mit Einsätzen 44 aus chemisch resistenten Materialien wie Kohle, Keramik etc. versehen und werden gegeneinander und zu den Zylindern hin mit O-Ringen 45, 46 und 28 abgedichtet. Der Gasaustrittsdeckel 16 ist ebenfalls und in gleicher Weise wie der Gaseintrittsdeckel 15 mit einem chemisch resistenten Einsatz 47 versehen, auf dem über O-Ringe 48 die mit dem Gasaustrittsdeckel verschraubten und aus chemisch resistentem Material bestehenden oder PTFE-beschichteten Auslaßstutzen 49 und Zwischenansaugstutzen 50 dichten. Auslaß 51 und Zwischenansaugung 52 sind so gelegt, daß sie jeweils über die Zylinderbahn 9 des Zylinders 11 radial hinausragen und somit abhängig von der Pumpeneinbaulage entweder durch den Auslaß oder durch die Zwischenansaugung Kondensat abfließen kann. Zylinder und Deckel bilden durch Doppelwände einen konzentrisch um die Zylinder angeordneten Kühlflüssigkeitsraum 53 in dem unabhängig von der Baulage der Pumpe von unten die Kühlflüssigkeit eingeführt und vom Thermostat geregelt zum Kühler abgeführt wird. Die Fig. I zeigt die Kühlwasserzufuhr und -abfuhr über den Gasaustrittsdeckel 16. Über den Schlauch 54 und den Stutzen 55 gelangt die Kühlflüssigkeit in den Raum 53, umspült die gasführenden durch Reibung und Verdichtung heißen Zylinder- und Deckelwände und verläßt den Raum 53 durch den Thermostaten 56, den Stutzen 57 und den Schlauch 58. Die Kühlflüssigkeitsversorgung kann im Durchlauf- wie auch im Umlaufsystem erfolgen. Im Umlaufsystem zirkuliert die Kühlflüssigkeit durch Pumpe und Kühlsystem. Dargestellt ist das Umlaufkühlsystem, bei dem das Kühlmittel durch Schwerkraft in den Kreislauf versetzt wird. Über einen Zwischenflansch 59 ist die Pumpe mit dem Kühlerträger 60 verbunden, der die Antriebswelle 3 konzentrisch umgibt und einen lamellierten Ringkühler 61 trägt, der über die Anschlußstutzen 62 mit den Schläuchen 54 und 58 verbunden ist. Mit der Welle 3 ist ein Gebläse 63 drehfest verbunden, das seine Luft durch Schlitze 64 im Zwischenflansch und Kühlerträger bezieht und sie durch Öffnungen 65 radial durch den Ringkühler 61 bläst. An den Kühlerträger wird der Antriebsmotor 66 geflanscht und über Steckkupplungen 67 in bekannter Weise der Kraftfluß ermöglicht. Wie in Fig. II gezeigt, sind Zwischenflansch 59 und Kühlerträger 60 über Auskragungen 68 mit der senkrecht stehenden Wand 69 des Grundrahmens 70 lösbar verbunden. Diese Bauform erlaubt es, daß die Pumpe in zwei Positionen an die Wand 69 angebracht werden kann, nämlich mit obenliegendem oder untenliegendem Einlaßstutzen 23. Bei obenliegendem Einlaßstutzen wird die Pumpe in nicht näher dargestellter bekannter Weise automatisch durch den Zwischenansaugstutzen 50 von Kondensat entleert, bei untenliegendem Einlaßstutzen findet die Entleerung saugseitig durch den Einlaßstutzen 23 und druckseitig durch den Auslaßstutzen 49 statt. Anstelle des Schwerkraftprinzips kann auch, hier in Fig. III gezeigt, eine separate Umwälzpumpe 71 in bekannter Weise für eine Kühlflüssigkeitszirkulation sorgen. Eintritt und Austritt der Kühlflüssigkeit können auch an beliebiger anderer technisch sinnvoller Stelle des den Raum 53 umgebenden Mantels, also sowohl in einem der äußeren Zylindermäntel als auch im Gaseintrittsdeckel 15 erfolgen. Fig. IV zeigt die Kühlflüssigkeitsversorgung über den Außenmantel 72 des Zylinders 10 der Niederdruckstufe 1. Fig. V zeigt die Drehschieber- Vakuumpumpe aus Fig. I jedoch so, daß der Einlaßstutzen 23 und der Einlaßkanal 24 oben angeordnet sind und die Pumpe über den Zwischenansaugstutzen 50 von Kondensat entleert werden kann.

Claims (35)

1.) Zweistufige Drehschieber-Vakuumpumpe mit axial angeordneten Stufen, bestehend aus Gehäusen mit zylindrischem Innenraum in denen Rotoren exzentrisch angeordnet sind, die in Schlitzen radial bewegliche Schieber führen, welche im Zylinder Arbeitsräume bilden, dadurch gekennzeichnet, daß die Rotoren verdrehfest mit einer waagrecht angeordneten Welle verbunden sind, Einlaß- sowie Auslaßkanäle axial waagrecht in die Arbeitsräume münden und, daß durch gegeneinander verdrehte Zylinder die Arbeitsräume benachbarter Stufen so angeordnet sind, daß der Auslaßkanal der ersten direkt in den Einlaßkanal der zweiten Stufe mündet und somit kürzestmögliche Gaswege zwischen den Stufen erzielt werden.

2.) Drehschieber-Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Einlaßkanal der dem Rezipienten zugewandten Stufe am tiefsten Punkt stirnseitig axial in die Stufe mündet und zum Rezipienten hin Gefälle hat.

3.) Drehschieber-Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Einlaßkanal der dem Rezipienten zugewandten Stufe am höchsten Punkt stirnseitig axial in die Stufe mündet und vom Rezipienten zur Stufe Gefälle hat.

4.) Drehschieber-Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Arbeitsräume der Zylinder um 180° gegeneinander verdreht angeordnet sind.

5.) Drehschieber-Vakuumpumpe nach Ansprüchen 1, 2 und 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Auslaßkanal der dem Rezipienten abgewandten 2. Stufe am tiefsten Punkt axial stirnseitig austritt und sich die Pumpe somit zum Einlaß wie zum Auslaß hin entleeren kann von Flüssigkeiten.

6.) Drehschieber-Vakuumpumpe nach Ansprüchen 1, 3 und 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Auslaßkanal der dem Rezipienten abgewandten 2. Stufe am höchsten Punkt axial stirnseitig austritt und am tiefsten Punkt dieser Stufe zusätzlich axial stirnseitig eine Öffnung vorgesehen ist, damit sich die Pumpe entleeren läßt von Flüssigkeiten.

7.) Drehschieber-Vakuumpumpe nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Entleerung automatisch erfolgt durch öffnen eines Magnetventils nachdem die Gasverbindung zwischen Rezipienten und Pumpe unterbrochen wurde.

8.) Drehschieber-Vakuumpumpe nach Ansprüchen 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Rotoren auf der Welle axial leicht verschiebbar sind, damit sich thermische Längenausdehnungen ausgleichen.

9.) Drehschieber-Vakuumpumpe nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Rotoren durch Paßfedern oder andere bekannte Maschinenbauelemente verdrehfest mit der Welle verbunden sind und beiderseits stirnseitig am Rotor Eindrehungen angebracht sind, in denen Dichtelemente z. B. O-Ringe zwischen Rotor und Welle abdichten, so daß alle Berührungsflächen zwischen Rotor und Welle nicht berührt werden können von gepumpten Gasen und Dämpfen.

10.) Drehschieber-Vakuumpumpe nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Rotoren aus chemisch weitgehend resistenten Materialien wie Hastelloy, V4A-Stählen, Oxydkeramik, Karbiden oder Kohle bestehen.

11.) Drehschieber-Vakuumpumpe nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Welle aus Hastelloy oder einem anderen chemisch restistenten Metall besteht.

12.) Drehschieber-Vakuumpumpe nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Paßfedern zur Verdrehfixierung der Rotoren auf der Welle auch chemisch weitgehend resistentem Material wie kohlefaserverstärkten Kunststoffen oder Hastelloy bestehen.

13.) Drehschieber-Vakuumpumpe nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Welle an ihrem einen Ende doppelt gelagert und in bekannter Weise durch geeignete Maßnahmen spielfrei ist.

14.) Drehschieber-Vakuumpumpe nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die doppelte Lagerung im Deckel der dem Rezipienten zugewandten Stufe erfolgt.

15.) Drehschieber-Vakuumpumpe nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Zylinder und Deckel doppelmantelig ausgeführt sind, so daß sich konzentrisch um den gasführenden Bereich ein Raum für Kühlflüssigkeit ergibt.

16.) Drehschieber-Vakuumpumpe nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß Kühlflüssigkeitsein und austritt der Pumpe verbunden sind mit einem axial zur Pumpe konzentrisch zur Pumpenwelle angeordneten Ringkühler, der von innen nach außen von Gasbläseluft durchströmt wird.

17.) Drehschieber-Vakuumpumpe nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß Kühlwasser ein und -austritt an der Pumpe symmetrisch liegen, so daß Pumpenausführungen nach Anspruch 2 oder 3 gleichermaßen möglich sind und in beiden Fällen der jeweilige Kühlwasseraustritt soweit unterhalb der höchsten Stelle des Wassermantels erfolgt, daß ein zur Ausdehnung erforderliches ausreichend großes Luftpolster entsteht.

18.) Drehschieber-Vakuumpumpe nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Zylinderlaufbahnen mit chemisch weitgehend resistenten metallischen oder keramischen Schichten versehen sind, die sich soweit in die Stirnflächen der Zylinder fortsetzen, daß die Deckel mittels O-Ringen darauf dichten, so daß das Zylindergrundmaterial nicht von gepumpten Gasen und Dämpfen berührt wird.

19.) Drehschieber-Vakuumpumpe nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in den Zylinder eine Laufbuchse aus chemisch weitgehend restistentem Metall oder Keramikwerkstoff eingezogen ist an dessen Stirnseite die O-Ring-Abdichtung zum Stufendeckel erfolgt, so daß das Trägermaterial des Zylinders nicht von gepumpten Gasen und Dämpfen berührt wird.

20.) Drehschieber-Vakuumpumpe nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die metallischen Pumpendeckel auf der dem Zylinder zugewandten Seite Einsätze haben, die aus chemisch weitgehend resistentem Material mit zusätzlich guten tribologischen Eigenschaften bestehen, z. B. aus Kohle oder Keramik, und die Abdichtung zum Zylinder im Bereich der Einsätze erfolgt so, daß das Trägermaterial des Deckels nicht von gepumpten Gasen und Dämpfen berührt wird.

21.) Drehschieber-Vakuumpumpe nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß die zur Wellenabdichtung dienenden Gleitringdichtungen zwischen den Stufen und zur Atmosphärenseite innerhalb der Kohle- oder Keramikeinsätze angeordnet sind und dichten.

22.) Drehschieber-Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Deckel zwischen den Stufen axial zweigeteilt ist und in Dreheinpässen die auf den Rotorplanflächen dichtenden Gleitringdichtungen axial gehalten und mittels Stiften gegen Verdrehung gesichert werden.

23.) Drehschieber-Vakuumpumpe nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß die Deckelhälften gegeneinander durch Verstiftung positioniert sind.

24.) Drehschieber-Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Druckfedern der Gleitringdichtungen aus nichtrostendem Stahl bestehen und mit einer porenfreien dichten PTFE-Schicht überzogen sind.

25.) Drehschieber-Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Zylinder und Deckel durch O-Ringe aus weitgehend chemisch resistenten Materialien wie z. B. PTFE-ummantelten Elastomeren gegeneinander dichten.

26.) Drehschieber-Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Absicherung der Lagerbereiche gegen Eindringen gepumpter Gase und Dämpfe hinter den Gleitringdichtungen PTFE-Wellendichtringe eingesetzt sind, die auf keramikbeschichteten Wellenabschnitten dichten.

27.) Drehschieber-Vakuumpumpe nach Ansprüchen 1 und 20, dadurch gekennzeichnet, daß Einlaß- und Auslaßstutzen Normflanschen haben, aus chemisch weitgehend resistentem Edelstahl oder aus Normalstahl mit PTFE-Beschichtung bestehen und mit zylindrischen Ansätzen in die Pumpendeckel ragen und mittels PTFE-ummantelter O-Ringe axial oder radial mit den Keramik- oder Kohleeinsätzen der Deckel dichten.

28.) Drehschieber-Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Zylinder einzeln nach Justierung des Radialspiels zwischen Rotor und Zylinder mit den Deckeln verschraubt und verstiftet wird, wobei zunächst der dem Rezipienten zugewandte Zylinder mit dem mit doppelter Wellenlagerung versehenen Deckel verschraubt und verstiftet wird, danach der doppelte Zwischendeckel mit dem 1. Zylinder, dann der 2. Zylinder mit dem Zwischendeckel und dem 1. Zylinder und zuletzt der Deckel mit dem Gasaustritt mittels Stehbolzen mit dem anderen Enddeckel verschraubt und mit dem 2. Zylinder verstiftet wird.

29.) Drehschieber-Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Motor axial und wellengleich zur Pumpe angeordnet ist, diese über eine Kupplung antreibt und über einen den Ringkühler tragenden Zwischenflansch mit ihr verbunden ist.

30.) Drehschieber-Vakuumpumpe nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, daß der Zwischenflansch mit einem Grundrahmen verschraubt ist.

31.) Drehschieber-Vakuumpumpe nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet, daß Motor und Pumpe beiderseits des tragenden Zwischenflansches angeschraubt sind und vom Zwischenflansch einzeln gelöst werden können.

32.) Drehschieber-Vakuumpumpe nach Anspruch 31, dadurch gekennzeichnet, daß eine axial trennbare Steckkupplung verwandt wird.

33.) Drehschieber-Vakuumpumpe nach Ansprüchen 1 und 10, dadurch gekennzeichnet, daß Metallrotoren stirnseitig im Bereich der Gleitringdichtungen keramische Beschichtung oder Kohleeinsätze aufweisen.

34.) Drehschieber-Vakuumpumpe nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der O-Ring zwischen Rotor und Welle axial durch kurze Distanzbuchsen oder Distanzscheiben aus chemisch resistentem Material mit guten tribologischen Eigenschaften, z. B. Kohle oder Keramik, fixiert wird und zur Gleitringdichtung eine gleitfähige Schicht entsteht.

35.) Drehschieber-Vakuumpumpe nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den O-Ring-Abdichtungen durch Einbringen von handelsüblichen Antifreßmitteln mit niedrigem Dampfdruck metallische Berührung von Rotor und Welle weitgehend vermieden wird, so daß der Rotor auf der Welle gleitfähig bleibt.