DE3541584C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen von Zweischicht-Kontaktstücken für elektrische Schaltgeräte gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1. Daneben bezieht sich die Erfindung auch auf die zugehörige Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 9.

Speziell Metall-Metalloxid-Werkstoffe auf Silber-Basis werden häufig für Kontaktstücke bei Niederspannungsschaltgeräten, insbesondere bei Relais und Schützen, eingesetzt. Derartige Kontaktstücke zeichnen sich durch hohe Abbrandfestigkeit und geringe Schweißneigung aus. Neben den seit langem bekannten AgCdO-Materialien sind neuerdings insbesondere AgSnO₂- und AgZnO-Materialien mit weiteren Zusätzen von Oxiden unedlerer Metalle als Silber von Bedeutung. Beispielsweise kommen die Metalle Wismut (Bi), Kupfer (Cu), Indium (In), Tantal (Ta) und/oder Wolfram in Frage, wobei letzteres auch in nichtoxidierter Form vorliegen kann.

Die Herstellung solcher Werkstoffe kann nach dem Stand der Technik beispielsweise pulvermetallurgisch erfolgen, und zwar durch Sintern und Verdichten von entweder Gemischen aus Silber- und Metalloxid-Pulvern oder auch von vorher inneroxidierten Silber-Legierungspulvern (IOLP). Die Herstellung kann aber auch durch Inneroxidation von Silber-Legierungen in Kompaktform erfolgen. Pulvermetallurgisch erzeugte Silber-Metalloxid- Werkstoffe sind beispielsweise aus der EP-OS 00 24 349 sowie aus der DE-OS 22 60 559 bekannt. Speziell die innere Oxidation von Legierungspulvern zum sogenannten IOLP nimmt dabei eine hervorragende Stellung ein, wobei aus dem IOLP entweder durch Strangpressen ein Halbzeug für Kontaktstücke oder durch Pressen zu Formteilen direkt Kontaktstücke gefertigt werden können. Beide Methoden sind prinzipiell auch in Zweischicht- Technik möglich, wobei die zweite Schicht auf der Kontaktunterseite lötfähig sein muß.

Nachteilig ist, daß bei den pulvermetallurgischen Verfahren mit relativ eng tolerierten Oxidations-, Reduktions- und Sinterschritten gearbeitet werden muß. Außerdem ist der Preßdruck so hoch zu wählen, daß die Restporosität des Werkstoffes die geforderte Größenordnung erreicht.

Mit der GB-OS 20 55 398 wird dagegen ein Silber-Metalloxid- Werkstoff vorgeschlagen, der durch Inneroxidation eines Silber- Legierungs-Substrats durch Eindiffusion von Sauerstoff erzeugt wird. Bekannt ist aus der DE-PS 20 63 649, die Konzentration von atomaren Sauerstoff an der Substratoberfläche gegenüber der Sauerstoff-Konzentration im thermischen Gleichgewicht zu erhöhen und durch zusätzliche Energiestrahlung den Sauerstoff zu ionisieren, um die Diffusionszeit zu verkürzen.

Immer ist aber bei der inneren Oxidation im Legierungssubstrat nachteilig, daß vergleichsweise lange Glühzeiten in einer Sauerstoffatmosphäre benötigt werden, um eine Oxidation durch Festkörperdiffusion von Sauerstoff in das Legierungs-Substrat bis in Tiefen von einem oder mehreren Millimetern zu erreichen. Daneben entsteht aufgrund der Festkörperdiffusion zwangsläufig eine inhomogene Verteilung hinsichtlich Oxidgehalt und Oxidgröße. Außerdem muß bei der Herstellung von Kontaktstücken die Rückseite des Legierungs-Substrats gegen die Oxidation geschützt werden, um eine lötfähige Schicht zurückzubehalten.

Mit der nicht vorveröffentlichten deutschen Patentanmeldung P 34 40 335.3 ( EP-OS 01 82 182) ist ein Verfahren der eingangs genannten Art vorgeschlagen worden, bei dem einem Legierungs-Substrat aus Silber und weiteren unedleren Metallen Sauerstoff örtlich gezielt zugeführt wird und bei dem der Sauerstoff durch örtliches Aufschmelzen des Substrates mittels Energiestrahlung in der jeweils gebildeten Schmelze gelöst und in das Oxid der unedleren Metalle überführt wird. Dabei wird als Energiestrahlung vorzugsweise Laserlicht verwendet. Bei der zugehörigen Vorrichtung mit einem Erzeuger für Energiestrahlung und einer zugehörigen Übertragungseinrichtung für die Energiestrahlen ist der Energieübertragungseinrichtung eine Gaszuführungsdüse zugeordnet, deren Winkel und Abstand gegenüber dem Substrat veränderbar ist. Es kann damit der Sauerstoff direkt in das jeweilige Schmelzvolumen zur quantitativen Bildung der Metalloxide eingebracht werden.

Mit letzterem Verfahren und der zugehörigen Vorrichtung sollen bereits Zweischichten-Kontaktstücke auf Silber-Basis mit einer Silber-Metalloxid-Schicht auf der Kontaktseite und einer Silber-Legierungs-Schicht auf der Rückseite gefertigt werden, die als Kontakte bei Geräten der Energietechnik einsetzbar sind.

Aus der DE-OS 30 05 662 ist weiterhin ein Kontaktelement und das Verfahren zu dessen Herstellung bekannt, bei dem auf einem Träger aus unedlem Metall mindestens eine Auflage durch Einwirkung energiereicher Lichtstrahlung aufgebracht ist und ein Edelmetall und/oder eine Edelmetallegierung enthält. Dabei ist die Auflage und der Träger in einer mit Hilfe der Lichtstrahlung aus der vollständig aufgeschmolzenen Auflage erzeugten Verbindungsschicht miteinander schmelzverbunden. Hierzu wird das Kontaktmaterial insbesondere in Pulverform mittels eines Dosierers auf den bandförmigen Träger aufgebracht und in einer Schweißstation mittels eines Lasers auf- bzw. angeschmolzen.

Vom Stand der Technik ist weiterhin die Verwendung von Lasern zur Oberflächenbearbeitung von Werkstücken bekannt. Beispielsweise in den Zeitschriftenartikeln "Welding and Metal Fabrication" 1983, Seiten 453 bis 457, oder "Feingerätetechnik", 1983, Seite 273 werden neue Einsatzgebiete für die Laseranwendung aufgezeigt. Demzufolge eignet sich ein Laser in der Fertigungstechnik für die Wärmebehandlung, für das Oberflächenhärten, das Oberflächenumschmelzen, das Oberflächenlegieren und auch das Beschichten von Werkstücken, wodurch eine Verbesserung der Werkstoffeigenschaften, insbesondere gegen mechanische Beanspruchung, erzielt werden soll. Die Anwendung zur Herstellung von Kontaktstücken mit Beeinflussung der elektrischen bzw. der Schalteigenschaften des Kontaktmaterials ist beim Stand der Technik nicht angesprochen.

Aufgabe voliegender Erfindung ist es demgegenüber, ein weiteres Verfahren mit zugehöriger Vorrichtung zur Herstellung von Zweischicht- Kontaktstücke anzugeben.

Die Aufgabe ist erfindungemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruches 1 gelöst. Weiterbildungen des Verfahrens sind in den Unteransprüchen 2 bis 8 gekennzeichnet. Patentanspruch 9 gibt eine spezifische Vorrichtung zum Herstellen derartiger Zweischicht-Kontaktstücke und die Unteransprüche 10 bis 14 vorteilhafte Weiterbildungen dieser Vorrichtung an.

Aus der US-PS 40 15 100 ist zwar bereits ein Verfahren zum Dispersions-Legieren mittels eines Lasers bekannt. Mit diesem Verfahren konnten jedoch bisher lediglich Oberflächen von Werkstücken umgeschmolzen und veredelt werden. Demgegenüber ist es mit der Erfindung möglich, das Halbzeug für Kontaktstücke in größere Tiefenbereiche aufzuschmelzen und bis in vorgegebener Tiefe mit Wirkkomponenten, wie z.B. Unedelmetalloxiden, zu legieren.

Im Rahmen der Erfindung wird der Grundwerkstoff für das Kontaktstück, z.B. reines Silber, zu einem Flachprofil, Blech oder Band der gewünschten Dicke, welche dem Verbundwerkstoff und einschließlich der lötfähigen Schicht entspricht, umgeformt. Dieses Halbzeug wird dann bis zur gewünschten Tiefe punktweise nacheinander mit einem Hochleistungs-Laser aufgeschmolzen, wobei gleichzeitig die Wirkkomponente dem jeweils aufgeschmolzenen Bereich zugeführt und dort gelöst wird.

Bei der Erfindung werden die Wirkkomponente als Partikel während der Laser-Behandlung in den aufgeschmolzenen Bereich eingeblasen. Dazu ist die erfindungsgemäße Vorrichtung in der Art eines Sandstrahlgebläses aufgebaut, wobei eine Düse zur Zuführung von Wirkkomponenten und/oder Gasen steuerbar innerhalb einer Übertragungseinrichtung für die mittels eines Lasers erzeugte Energiestrahlung angeordnet ist und gleichermaßen deren Einfallswinkel, Azimutwinkel und Abstand gegenüber dem Substrat veränderbar ist.

Beim lokalen Aufschmelzen des Grundwerkstoffes für das Zweischicht- Kontaktstück, das bei einer ausreichenden Leistungsdichte des Lasers aufgrund des sogenannten "keyhole"-Effektes in weniger als einer Millisekunde bis in einige Millimeter Tiefe möglicht ist, kann die zugegebene Wirkkomponente in der Schmelze gelöst, und zwar aufgrund der im Schmelzvolumen herrschenden Konvektion äußerst homogen. Durch das schnelle Abkühlen dieses lokalisierten Schmelzvolumens bleibt diese Verteilung nach der Laserbehandlung erhalten.

Es ist möglich, nach einem ersten punktweisen Aufschmelzen des Substrats und dem Dispersionslegieren des Grundwerkstoffes mit einer ersten Wirkkomponente, eine oder mehrere weitere Laserbehandlungen anzuschließen, bei denen mit weiterer Zugabe dergleichen oder weiteren Wirkkomponenten gearbeitet wird. Eine weitere Laserbehandlung kann auch entsprechend dem Stand der Technik zur weiteren Homogenisierung der Verteilung der Wirkkomponenten durchgeführt werden. Außerdem können auch konventionelle Temperaturbehandlungen in bekannter Weise zur Verbesserung der Gefügeeigenschaften führen.

Eine erfindungsgemäße Vorrichtung kann mit einer Schutzgaseinrichtung ausgestattet sein, so daß das Aufschmelzen beispielsweise unter Argon oder Helium erfolgt, wobei das Schutzgas punktweise auf den aufgeschmolzenen Bereich des Substrates aufgeblasen werden kann. Bei entsprechender Auswahl einer Schutzgas-Mischung kann durch die Energiestrahlung ein Fremdplasma zur steuerbaren Absorption der Energie erzeugt werden. Dabei wird die Laserstrahlung vorzugsweise gepulst.

Weitere Einzelheiten und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen, wobei auf die Zeichnung Bezug genommen wird. Es zeigen

Fig. 1 schematisch eine spezielle Vorrichtung zum Dispersionslegieren eines Substrates aus einem Grundwerkstoff,

Fig. 2 die Draufsicht auf den Arbeitsbereich nach Fig. 1,

Fig. 3 den Schnitt durch eine bei einer Vorrichtung nach Fig. 1 zu verwendende Düse und

Fig. 4 ein damit gefertigtes Zweischichten-Kontaktstück.

Es wird von reinem Silber ausgegangen. Aus einem Rohling mit 20 mm Durchmesser und 100 mm Länge wird ein Blech von 2 mm Stärke gewalzt. Dieses Blech dient als Halbzeug, aus dem später durch Abschneiden oder Ausstanzen die Kontaktstücke heraustrennbar sind.

In Fig. 1 ist ein zu einem Band gewalztes Substrat als Halbzeug für Kontaktstücke dargestellt, das auf der Oberfläche in zwei Richtungen punktweise von einer Energiestrahl-Übertragungseinrichtung 2 abgerastert wird. Dabei kann zweckmäßigerweise fortlaufend in parallelen Streifen gearbeitet werden, wobei auch Wiederholungen mit Überlappungen oder eine Abrasterung in senkrechter Streifenrichtung möglich sind.

Die Energiestrahl-Übertragungseinrichtung 2 überträgt speziell einen Laserstrahl 3 von einem externen Hoch­ leistungs-Laser 30, beispielsweise einem CO₂- oder Argon-Laser, zum Substrat 1 und ist auf dessen Oberfläche fokussiert. Substrat 1 und Energiestrahlübertragungs­ einrichtung 2 sind mittels geeigneter Dichtmittel 4 hermetisch gegen die Umgebung abgeschlossen. Es können Druck-, Vakuum- oder Schutzgassysteme vorhanden sein, die gegebenenfalls auch das Absaugen von Fremdgasen ermög­ lichen. Zweckmäßigerweise wird das Substrat 1 mittels ei­ nes in der Fig. 1 nicht dargestellten xy-Vorschubtisches gegenüber dem ortsfest angeordneten Laserstrahl 3 bewegt. Die zugehörigen Hilfsmittel werden nicht im einzelnen beschrieben.

In der Energie-Übertragungseinrichtung 2 ist seitlich eine Kanüle 5 mit Düse 6 geführt, deren Einfallswinkel sowie deren Abstand h gegenüber der Oberfläche des Sub­ strates 1 veränderbar ist. Über die Kanüle 5 mit Düse 6 wird ein Metalloxidpulver aus einem Reservoir 7 eingebla­ sen, so daß der Auftreffbereich des Laserstrahls 3 an der Oberfläche des Substrates 1 örtlich gezielt mit Metall­ oxiden beaufschlagt werden kann. Es können Schutzgase zur Ausbildung eines Plasmas, beispielsweise Helium, zugeführt werden. Zusammensetzung bzw. Durchfluß von Schutzgas sowie Druck im Reaktionsraum können mittels externer Dosierungsmittel vorgegeben werden.

Aus Fig. 2 ist ersichtlich, daß nicht nur der Einfalls­ winkel α der Düse 6, sondern auch der Azimutwinkel ϕ von Bedeutung ist und vorgewählt werden kann. Es emp­ fiehlt sich die Lage der Düse 6 in Bezug auf die Arbeits­ richtung auf dem Substrat 1 hinter den Laserstrahl zu legen, so daß die bereits abgerasterte Oberfläche nicht beeinträchtigt wird. Dafür ist die Düse 6 im Horizontal­ schnitt in ihrem unteren Bereich unsymmetrisch ausgebil­ det.

Die Wirkkomponente liegt üblicherweise in Pulverform vor. Damit die Pulverpartikel in eine hinreichende Tiefe des Schmelzvolumens gelangen, muß das Pulver soweit be­ schleunigt werden, daß einzelne Partikel eine genügend große kinetische Energie haben. Dafür ist eine Düsenform gemäß Fig. 3 geeignet. Im oberen Teil 61 der Düse 6 mit geringem Durchmesser läßt sich das Pulver durch Druck­ beaufschlagung eines laminar strömenden Trägergases beschleunigen. Durch die untere Erweiterung 62 der Dü­ se 6 kommt es zu einer Geschwindigkeitsverminderung der Gasmoleküle, während die festen Partikel ihre Geschwin­ digkeit und damit ihre kinetische Energie weitgehend beibehalten. Durch Ablenkteile 63 wird das Trägergas seitlich weggeführt und über Absaugstutzen 64 abge­ saugt. Die Wirkkomponenten gelangen dagegen auf geradem Wege in den Schmelzbereich des Laserstrahls 3.

Der Hochleistungslaser 30 arbeitet im Pulsbetrieb. Bei geeigneter Fokussierung ergibt sich ein Brennfleck auf der Oberfläche des Substrates 1 von etwa 100 µm Durch­ messer. Bei genügender Energiedichte wird ein keulen­ förmiges Volumen 8 aufgeschmolzen, in dem die mittels der Düse 6 zugeführten Metalloxide legiert werden. Da­ bei läßt sich aufgrund des sogenannten "keyhole"-Effek­ tes in weniger als einer Millisekunde ein örtliches Auf­ schmelzen des Substrates in hinreichender Tiefe, bei­ spielsweise bis zu 1,5 mm, erreichen, in dem die bereit­ gestellten Wirkkomponenten durch Konvektion in der metal­ lischen Schmelze gleichmäßig verteilt und in den Grund­ werkstoff eingebaut werden. Durch den Stofftransport über Konvektion ergibt sich im allgemeinen eine hinreichend homogene Metalloxidverteilung, die gegebenenfalls durch Wärmebehandlung verbessert werden kann.

Geht man von Laserstrahlung mit vorgegebener Wellenlänge und Energiedichte aus, bleiben als Prozeßparameter Art, und Menge der zugeführten Wirkkomponente einerseits sowie die Temperatur des Substrates andererseits. Wird für ei­ ne Gefügeoptimierung der Metalloxide eine gleichzeitige oder nachträgliche Wärmebehandlung notwendig, so sind deren Parameter in Abhängigkeit vom thermodynamischen Verhalten des Legierungssystems zu wählen.

Nachdem die gesamte Oberfläche des Substrates 1 über­ lappend abgerastert ist, läßt sich aus dem so entstande­ nen Schichtmaterial durch Ausstanzen ein Zweischichten- Kontaktstück 10 gemäß Fig. 4 fertigen. Dieses besteht aus einer Metall-Verbundwerkstoff-Schicht 12 im oberen Be­ reich, beispielsweise Silber-Metalloxid, und einer Rein­ metall-Schicht 11, beispielsweise Silber, im unteren Be­ reich, die voneinander deutlich getrennt sind. Aufgrund des beschriebenen Herstellungsverfahrens ergibt sich durch das örtliche Aufschmelzen in Schmelzkeulen 8 eine typische Wellenstruktur der Grenzfläche, die sich auch bei anschließenden Temperaturbehandlungen nicht grund­ sätzlich ändert. Eine solche profilierte Grenzfläche ist für den bestimmungsgemäßen Gebrauch des Werkstoffes als Kontaktstück nicht entscheidend, da sich das gefertigte Zweischichten-Kontaktstück mit seiner Reinmetall-Rück­ seite 11 ohne weiteres an einen Kontaktträger anlöten läßt.

Bei der oben beschriebenen Vorrichtung zur Durchführung des neuen Verfahrens werden die Wirkkomponenten über eine Düse dem augenblicklichen Schmelzvolumen zugeführt. Es ist auch möglich, statt dessen die Wirkkomponenten auf die Oberfläche des Substrates aufzubringen, bei­ spielsweise als Gemisch mit dem Grundwerkstoff. Ein solches Gemisch läßt sich mit Alkohol zu einer pastösen Masse anrühren, die auf das Substrat aufgespritzt oder aufgetragen wird. Die Abrasterung mittels Laserstrahl und der dadurch bewirkte Einbau der Wirkkomponenten über das augenblickliche Schmelzvolumen in dem Grundwerkstoff erfolgt in oben beschriebener Weise.

Das erfindungsgemäße Verfahren läßt sich außer auf Sil­ ber- auch auf Kupfer- oder Kupferlegierungs-Substrate, wie CuGe oder CuGaGe, anwenden. Letztere Legierungen kön­ nen in Verbindung mit geeigneten Wirkkomponenten als Kon­ taktwerkstoffe verwendet werden. Dabei kommen speziell für Metalloxid-Zusätze insbesondere die Oxide von Zinn, Zink, Wismut, Indium, Tantal und Wolfram in Frage. Es ist auch möglich, Boride, Carbide oder Nitride, Reinmetalle wie Wolfram, Nickel oder Chrom oder Kohlenstoff als Wirk­ komponenten zu verwenden.

Mit dem neuen Herstellungsverfahren und der zugehörigen Vorrichtung können Kontaktstücke für elektrische Schalt­ geräte mit einer vergleichsweise geringen Anzahl von Verfahrensschritten gefertigt werden. Es ist auch mög­ lich, die Herstellung der Kontaktschicht bei bereits auf dem Kontaktträger aufgelöteten Halbzeug unmittelbar im Schaltgerät durchzuführen. Dabei ist die Flexibilität hinsichtlich der Auswahl der Wirkkomponenten besonders groß.

Claims (15)

1. Verfahren zum Herstellen von Zweischicht-Kontaktstücken für elektrische Schaltgeräte mit einer ersten lötfähigen Schicht aus Metall als Grundwerkstoff und einer zweiten Verbundwerkstoff- Schicht aus Grundwerkstoff und wenigstens einer weiteren Wirkkomponente, welche zusammen die Kontakteigenschaften bestimmen bei dem

• - ein Substrat (1) aus dem Grundwerkstoff schrittweise nacheinander örtlich begrenzt bis in vorgegebener Tiefe mittels von einem Laser erzeugter Energiestrahlung aufgeschmolzen wird, wodurch jeweils ein definiertes Schmelzvolumen (8) gebildet wird,
• - die Wirkkomponente örtlich gezielt mittels Trägergas dem jeweiligen Schmelzvolumen (8) zugeführt und durch Konvektion in den Grundwerkstoff so eingebaut wird, daß im Kontaktbereich (12) der Verbundwerkstoff entsteht,

dadurch gekennzeichnet, daß die Wirkkomponenten als Einzelpartikel in das Schmelzvolumen (8) eingeblasen werden.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Partikel durch das Trägergas auf hohe Geschwindigkeiten beschleunigt werden.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß unterschiedliche Wirkkomponenten nacheinander dem Schmelzvolumen (8) zugeführt werden.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß als Grundwerkstoff die Metalle Silber (Ag), Kupfer (Cu) oder Kupferlegierungenm, insbesondere CuGe oder CuGeGa, verwendet werden.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Wirkkomponenten Oxide, Boride, Carbide oder Nitride von Metallen sind.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Wirkkompnenten ein Reinmetall, beispielsweise Wolfram (W), Nickel (Ni) oder Chrom (Cr), insbesondere in Form von Graphit, ist.

7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Wirkkomponente Kohlenstoff (C), insbesondere in Form von Graphit, ist.

8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die vom Laser erzeugte Energiestrahlung gepulst ist.

9. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1 oder einem der Ansprüche 2 bis 8, mit einem Laser als Erzeuger für Energiestrahlung und einer zugehörigen Übertragungseinrichtung, für die Energiestrahlung, die einen Reaktionsraum umschließt, relativ zum Substrat schrittweise verschiebbar ist und in ihrem Inneren wenigstens eine steuerbare Düse (6) für die Zuführung von Wirkkomponenten in den Reaktionsraum mittels Trägergas aufweist und deren Winkelstellung (Einfallswinkel α, Azimutwinkel ϕ) und Abstand (h) gegenüber dem Substrat (1) veränderbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Düse (6) mit wenigstens einem Reservoir (7) von pulverförmigen Wirkkomponenten als Partikel verbunden ist und daß Art und Menge der Wirkkomponenten an der Düse (6) einstellbar sind.

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Düse (6) für das Zuführen der Partikel in Bezug auf die Arbeitsrichtung hinter dem Energiestrahl (3) angeordnet ist.

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Düse (6) eine solche Form hat, daß im oberen Teil (61) ein Trägergas einschließlich der Partikel der Wirkkomponenten beschleunigt werden, im unteren Teil (62) dagegen das Trägergas abgebremst wird, wogegen die Partikel der Wirkkomponenten ihre kinetische Energie weitgehend beibehalten.

12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Form der Düse (6) derart gestaltet ist, daß eine laminare Gasströmung vorliegt.

13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Düse (6) an ihrer dem Substrat zugewandten Seite Ablenkmittel (63) für das Trägergas aufweist.

14. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Form der Düse (6) asymmetrisch ist.