EP0458922B1 - Verfahren zur herstellung eines oberflächenbeschichteten bauteils, insbesondere eines kontaktstücks für einen vakuumschalter, und vorrichtung zur durchführung dieses verfahrens - Google Patents

Verfahren zur herstellung eines oberflächenbeschichteten bauteils, insbesondere eines kontaktstücks für einen vakuumschalter, und vorrichtung zur durchführung dieses verfahrens Download PDF

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EP0458922B1
EP0458922B1 EP91900146A EP91900146A EP0458922B1 EP 0458922 B1 EP0458922 B1 EP 0458922B1 EP 91900146 A EP91900146 A EP 91900146A EP 91900146 A EP91900146 A EP 91900146A EP 0458922 B1 EP0458922 B1 EP 0458922B1
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EP
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additive
support
powder layer
layer
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Ekkehard Schade
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Calor Emag AG
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Calor Emag AG
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H11/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of electric switches
    • H01H11/04—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of electric switches of switch contacts
    • H01H11/041—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of electric switches of switch contacts by bonding of a contact marking face to a contact body portion
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H1/00—Contacts
    • H01H1/02—Contacts characterised by the material thereof
    • H01H1/0203—Contacts characterised by the material thereof specially adapted for vacuum switches

Definitions

  • the invention is based on a method for producing a surface-coated component, in particular a contact piece for a vacuum switch, according to the preamble of claim 1.
  • the invention also relates to devices for carrying out this method.
  • the invention relates to a prior art, such as is described in DE-A1-3541584.
  • a method specified in this patent publication serves to produce metal composite materials from a base material with at least one metal and further active components.
  • a substrate made of the base material is melted locally in a targeted manner by means of energy radiation, and the active component is added to the melting volume.
  • This requires beams with an extremely high beam current density, such as laser beams, and special energy transmission devices with which the active components can be accelerated to high speed.
  • a device used to carry out this method has an xy feed table holding the substrate, which is moved relative to a stationary laser beam generating the energy radiation and a cannula supplying metal oxide powder as active component.
  • the invention achieves the object of specifying a method for producing a surface-coated component, in particular a contact piece for a vacuum switch, with which large-area components can also be produced with little outlay on equipment, and also devices create that are particularly suitable for performing this method.
  • the method according to the invention enables the production of highly resilient surface-coated components with little outlay on equipment.
  • Low demands are placed on the heat flow source because its beam current density can be kept low. Due to the low jet current density of the heat flow source, evaporation and spraying away of additive are largely avoided in the manufacture of the components.
  • the desired stoichiometry of the surface layer is therefore not affected.
  • Surface layers of up to several millimeters can be easily achieved. Such surface layers are particularly suitable as an arcing contact layer of the contact pieces of vacuum switches, particularly when they are designed as copper-chrome layers.
  • the devices created for carrying out the method according to the invention allow a particularly simple setting of a desired temperature in the production of the surface layers.
  • the substrate 1 is, for example, a copper disc of approximately 40 mm in diameter and approximately 8 mm in thickness, but can also any other suitable metallic body.
  • the support device 3 consists, for example, of a good heat-conducting material, such as preferably copper or silver, and has a support 5 mounted on a rotating device 4 which is cooled approximately with water. 6 denotes a heat flow source.
  • This heat flow source advantageously emits high-energy corpuscular beams, such as electron or ion beams, but can also be designed as a Hall generator or any other suitable device.
  • This heat flow source advantageously has a beam current density of a few to a few hundred kilowatts per square centimeter.
  • the heat flow source advantageously has a total output of a few hundred watts up to approx. 20 kilowatts.
  • 7 denotes an additive supply device for receiving a powdery additive 8, which is trickled down onto the surface of the substrate 1 in the direction of the arrows 9 to form a powder layer 10.
  • the additive preferably has lower thermal conductivity than the substrate 1 and can contain chromium or an alloy based on chromium and copper when producing a contact piece for a vacuum switch with a backing consisting predominantly of copper.
  • the substrate 1 which then contains predominantly copper, the additive 8 which then contains predominantly chromium powder and the heat flow source 6 which operates approximately on the basis of electron beams are in a vacuum of approx. 10 ca. mbar.
  • the support device 3 rotates about an axis 11 in such a way that an average advance of the substrate 1 relative to the heat flow source 6 of, for example, 5-10 cm / s is achieved.
  • An energy flow 12 emitted by the heat flow source 6 simultaneously falls on one Part of the substrate surface. This energy flow has an expansion of, for example, 0.25 to 1 cm2 when striking and has a current density of, for example, 20 kW / cm2 at the impact point.
  • the energy flow 12 is almost completely absorbed by the substrate 1 and therefore supplies the substrate 1 with heat.
  • the heat supplied to the substrate 1 is conducted from the impingement area of the energy flow 12 through heat conduction into the entire substrate 1. In this way and due to the rotation of the substrate 1 and any oscillation of the energy flow, overheating of the impact area is avoided.
  • the substrate 1 is preheated to a temperature which is considerably above room temperature but below its melting temperature. With the copper disc described above, this preheating temperature is approx. 700 - 1000 ° C.
  • the output power of the heat flow source 6 is reduced during the preheating of the substrate 1. After the preheating temperature has been reached, the beam 12 has a current density of only a few kW / cm 2.
  • the preheating temperature can be set at a predetermined power of the heat flow source 6 by suitable heat dissipation via the support device 3.
  • the contact surface 2 can be kept at the desired temperature by appropriately enlarging or reducing the cross section of the support 5.
  • a part 17 made of a single piece between the substrate 1 and the support 5 leading to cooling compared to the rest of the material of the support device 3 is comparatively poorly heat-conducting material, such as stainless steel.
  • the appropriate setting of the temperature can of course also be achieved by jointly using the two measures described above.
  • the support surface 2 should have a temperature of 500-600 ° C.
  • the comparatively low energy conducted into the substrate 1 by the energy flow 12 is sufficient to melt the material of the substrate in a local area 15.
  • the powder layer 10 is brought onto the surface of the substrate 1.
  • the coating formed by loose powder is typically 25-50 mg / cm 2.
  • the local area 15 is guided to and through the powder layer 10 by rotation of the support device 3. Liquid material located in the locally melted area, for example copper, wets powder located in the powder layer 10 or soaks the powder layer 10 by predominantly effective capillary forces. This effect can be increased by additional additives if necessary.
  • the support device 3 or the heat flow source 6 and the additive supply device 7 By rotating the support device 3 or the heat flow source 6 and the additive supply device 7 about the vertically extended axis 11, which is guided centrally through the support table 3, and by additionally radially, preferably oscillating, movements of the heat flow source 6 and additive supply device 7 can be achieved, that almost the entire surface of the substrate 1 is successively melted and coated.
  • the melting of the substrate 1 can, of course, also be carried out by a translational displacement in a horizontal xy plane, with the heat flow source 6 in the x and y directions between the Edges of the substrate 1 is moved back and forth, and the support surface 2 is displaced approximately in the y direction.
  • the additive feed device 7 should be moved according to its displacement with the substrate 1 rotating.
  • an approximately 50-100 ⁇ m thick surface layer 16 can be produced in this way.
  • This layer is characterized, among other things, by the fact that the substrate 1 and thus also the surface layer 16 are largely gas-free due to the comparatively slow melting over a large area.
  • the cross section of the energy flow 12 is small, an almost complete coating of the surface can be achieved in that the heat flow source 6 is additionally periodically moved back and forth transversely to and / or in the direction of displacement of the substrate 1.
  • layer thicknesses of up to several millimeters can be produced without any problems.
  • Different layer thicknesses and / or predetermined surface profiles can be produced by suitably controlling the power and the current density of the energy flow 12, the heating time of the local area 15 and / or the amount of the additive 8 supplied.
  • Vacuum switches equipped with contact pieces produced in this way have significantly improved breaking capacities compared to vacuum switches with comparable dimensions but with contact pieces manufactured according to conventional methods.
  • the surface layer 16 is briefly heated to a temperature substantially above the melting temperature of the substrate 1, at least over part of its outer surface and starting from its outer surface at least over part of its depth.

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  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
  • Manufacture Of Switches (AREA)
  • High-Tension Arc-Extinguishing Switches Without Spraying Means (AREA)

Description

    TECHNISCHES GEBIET
  • Bei der Erfindung wird ausgegangen von einem Verfahren zur Herstellung eines oberflächenbeschichteten Bauteils, insbesondere eines Kontaktstücks für einen Vakuumschalter, gemäss dem Oberbegriff von Patentanspruch 1. Die Erfindung betrifft auch Vorrichtungen zur Durchführung dieses Verfahrens.
    • STAND DER TECHNIK
  • Hierbei nimmt die Erfindung auf einen Stand der Technik Bezug, wie er etwa in DE-A1-3541584 beschrieben ist. Ein in dieser Patentveröffentlichung angegebenes Verfahren dient der Herstellung von Metall-Verbundwerkstoffen aus einem Grundwerkstoff mit wenigstens einem Metall und weiteren Wirkkomponenten. Hierbei wird ein Substrat aus dem Grundwerkstoff mittels Energiestrahlung örtlich gezielt bis in vorgegebene Tiefe geschmolzen und dem Schmelzvolumen die Wirkkomponente zugeführt. Hierzu bedarf es Strahlen mit äusserst hoher Strahlstromdichte, wie etwa Laserstrahlen, und spezieller Energieübertragungvorrichtungen, mit denen die Wirkkomponenten auf hohe Geschwindigkeit beschleunigt werden können.
  • Eine zur Durchführung dieses Verfahrens verwendete Vorrichtung weist einen das Substrat haltenden xy-Vorschubtisch auf, welcher gegenüber einem die Energiestrahlung erzeugenden ortsfesten Laserstrahl und einer Metalloxidpulver als Wirkkomponente zuführenden Kanüle bewegt wird.
  • Aus CH-A5-661616 ist es bekannt, einen Chrom und Kupfer enthaltenden Sinterkörper im Vakuum oder einer Inertgasatmosphäre einem konzentrierten, etwa durch einen Lichtbogen gebildeten, Wärmestrom mit einer Strahlstromdichte von 10 - 1000 kW/cm² auszusetzen. Während der ca. 21 - 100 ms dauernden Einwirkung des Wärmestroms wird die Oberfläche des Werkstückes aufgeschmolzen. Durch anschliesendes Abkühlen des Sinterkörpers mit einer Geschwindigkeit von 10⁴ - 10⁵ °K/s wird sodann ein Kontaktstück für einen Vakuumschalter mit einer bis zu 3 mm starken Oberflächenschicht aus einem feindispersen und einen geringen Gasgehalt aufweisenden Kupfer-Chrom-Material gebildet. Solchermassen hergestellte Kontaktstücke steigern die Betriebszuverlässigkeit von Vakuumschaltern erheblich, bedingen jedoch bei der Herstellung grossflächiger Kontaktstücke einen erheblichen apparativen Aufwand.
    • DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
  • Die Erfindung, wie sie in den Patentansprüchen definiert ist, löst die Aufgabe, ein Verfahren zur Herstellung eines oberflächenbeschichteten, Bauteils, insbesondere eines Kontaktstücks für einen Vakuumschalter, anzugeben, mit dem auch grossflächige Bauteile mit geringem apparativem Aufwand hergestellt werden können, sowie Vorrichtungen zu schaffen, die zur Durchführung dieses Verfahrens besonders geeignet sind.
  • Das erfindungsgemässe Verfahren ermöglicht mit geringem apparativem Aufwand die Herstellung hochbelastbarer oberflächenbeschichteter Bauteile. An die Wärmestromquelle werden hierbei geringe Anforderungen gestellt, da deren Strahlstromdichte gering gehalten werden kann. Bedingt durch die geringe Strahlstromdichte der Wärmestromquelle werden bei der Herstellung der Bauteile Verdampfen und Wegspritzen von Zusatzstoff weitgehend vermieden. Die angestrebte Stöchiometrie der Oberflächenschicht wird daher nicht beeinträchtigt. Es lassen sich problemlos Oberflächenschichten bis zu mehreren Millimetern erreichen. Solche Oberflächenschichten sind insbesondere bei Ausbildung als Kupfer-Chrom-Schicht hervorragend geeignet als Lichtbogenkontaktschicht der Kontaktstücke von Vakuumschaltern.
  • Die zur Durchführung des erfindungsgemässen Verfahrens geschaffenen Vorrichtungen ermöglichen eine besonders einfache Einstellung einer erwünschten Temperatur bei der Herstellung der Oberflächenschichten.
    • WEG ZUR AUSFÜHRUNG DER ERFINDUNG
  • Nachfolgend wird die Erfindung anhand eines in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert. Hierbei zeigt:
    • Fig.1
    eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach der Erfindung,
    Fig.2
    eine Aufsicht auf einen senkrecht zur Zeichenebene, vertikal geführten Schnitt durch ein in der Vorrichtung gemäss Fig.1 befindliches Substrat 1 an einer Stelle, an der durch einen Energiestrom 12 ein lokal aufgeschmolzener Bereich 15 im Substrat 1 gebildet ist, und
    Fig.3
    eine Draufsicht auf die in Fig.2 geschnitten dargestellte Stelle des Substrates 1.
  • In den Figuren befindet sich ein Substrat 1 auf einer Auflagefläche 2 einer etwa als Tisch oder aber lediglich nur als säulenförmige Abstützung ausgebildeten Auflagevorrichtung 3. Das Substrat 1 ist beispielsweise eine Kupferscheibe von ca. 40 mm Durchmesser und ca. 8 mm Dicke, kann aber auch irgendein anderer geeigneter metallischer Körper sein. Die Auflagevorrichtung 3 besteht beispielsweise aus einem gut wärmeleitenden Material, wie vorzugsweise Kupfer oder Silber, und weist eine auf einer etwa mit Wasser gekühlten Drehvorrichtung 4 gelagerte Stütze 5 auf. 6 bezeichnet eine Wärmestromquelle. Diese Wärmestromquelle sendet mit Vorteil energiereiche Korpuskularstrahlen, wie Elektronen- oder Ionenstrahlen aus, kann aber auch als Hallgenerator oder irgendeine andere geeignete Vorrichtung ausgebildet sein. Mit Vorteil weist diese Wärmestromquelle eine Strahlstromdichte von wenigen bis zu einigen hundert Kilowatt pro Quadratzentimeter auf. Mit Vorteil verfügt die Wärmestromquelle über eine Gesamtleistung von einigen hundert Watt bis zu ca. 20 Kilowatt. 7 bezeichnet eine Zusatzstoff-Zufuhrvorrichtung zur Aufnahme eines pulverförmigen Zusatzstoffes 8, welcher in Richtung der Pfeile 9 unter Bildung einer Pulverschicht 10 auf die Oberfläche des Substrates 1 herabgerieselt wird. Der Zusatzstoff hat vorzugsweise geringere Wärmeleitfähigkeit als das Substrat 1 und kann bei der Herstellung eines Kontaktstückes für einen Vakuumschalter mit einer überwiegend aus Kupfer bestehenden Rückseite Chrom oder eine Legierung auf der Basis Chrom und Kupfer enthalten.
  • Das erfindungsgemässe Verfahren wird nun wie folgt ausgeführt:
  • Soll als Bauteil beispielsweise ein Kontaktstück für einen Vakuumschalter hergestellt werden, so befinden sich das dann überwiegend Kupfer enthaltende Substrat 1, der dann überwiegend Chrompulver enthaltende Zusatzstoff 8 und die etwa auf der Basis von Elektronenstrahlen arbeitende Wärmestromquelle 6 in einem Vakuum von ca. 10⁻⁶ mbar. Die Auflagevorrichtung 3 dreht sich hierbei derart um eine Achse 11, dass ein mittlerer Vorschub des Substrates 1 gegenüber der Wärmestromquelle 6 von beispielsweise 5 - 10 cm/s erreicht wird. Ein von der Wärmestromquelle 6 emittierter Energiestrom 12 fällt gleichzeitig auf einen Teil der Substratoberfläche. Dieser Energiestrom hat beim Auftreffen eine Ausdehnung von beispielsweise 0,25 bis 1 cm² und weist an der Auftreffstelle eine Stromdichte von beispielsweise 20 kW/cm² auf.
  • Der Energiestrom 12 wird nahezu vollständig vom Substrat 1 absorbiert und führt daher dem Substrat 1 Wärme zu. Die dem Substrat 1 zugeführte Wärme wird aus dem Auftreffbereich des Energiestromes 12 durch Wärmeleitung in das gesamte Substrat 1 geführt. Hierdurch und durch die Rotation des Substrates 1 sowie durch eine etwaige Pendelung des Energiestromes wird eine Überhitzung des Auftreffbereiches vermieden. Auf diese Weise wird das Substrat 1 auf eine Temperatur vorgewärmt, welche erheblich über Raumtemperatur jedoch unter seiner Schmelztemperatur liegt. Bei der zuvor beschriebenen Kupferscheibe beträgt diese Vorwärmtemperatur ca. 700 - 1000 °C. Während des Vorwärmens des Substrates 1 wird die abgegebene Leistung der Wärmestromquelle 6 reduziert. Nach Erreichen der Vorwärmtemperatur weist der Strahl 12 eine Stromdichte von nur noch einigen kW/cm² auf.
  • Bedingt durch Wärmestrahlung von der Oberfläche (durch Pfeile 13 angedeutet) und Wärmeleitung in die Auflagefläche 2 (durch Pfeile 14 angedeutet) bleibt diese Vorwärmtemperatur während der nachfolgend beschriebenen Phase des erfindungsgemässen Verfahrens nahezu unverändert. Hierbei kann die Vorwärmtemperatur bei vorgegebener Leistung der Wärmestromquelle 6 durch geeignete Wärmeableitung über die Auflagevorrichtung 3 eingestellt werden. Zu diesem Zweck kann die Auflagefläche 2 durch geeignete Vergrösserung oder Verkleinerung des Querschnitts der Stütze 5 auf der erwünschte Temperatur gehalten werden. In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist es zu empfehlen, die Einstellung der erwünschten Temperatur dadurch zu erreichen,dass zwischen dem Substrat 1 und der zu einer Kühlung führenden Stütze 5 ein Teil 17 aus einem gegenüber dem übrigen Material der Auflagevorrichtung 3 vergleichsweise schlecht wärmeleitendem Material, wie beispielsweise rostfreiem Stahl, angeordnet wird. Die geeignete Einstellung der Temperatur lässt sich selbstverständlich auch durch gemeinsame Anwendung beider zuvor beschriebener Massnahmen erreichen.Bei einem im wesentlichen Kupfer enthaltenden und unmittelbar auf der Auflagefläche 2 aufliegenden Substrat 1 sollte die Auflagefläche 2 eine Temperatur von 500 - 600 °C aufweisen.
  • Sobald die Vorwärmtemperatur erreicht ist, reicht die vom Energiestrom 12 in das Substrat 1 geführte vergleichsweise geringe Energie aus, um das Material des Substrates in einem lokalen Bereich 15 aufzuschmelzen. Nach Aufschmelzen des lokalen Bereiches 15 wird die Pulverschicht 10 auf die Oberfläche des Substrates 1 gebracht. Bei Verwendung eines Chrompulvers mit einer mittleren Teilchengrösse von ca. 100 »m, welches aus der Zusatzstoff-Zufuhrvorrichtung 7 in Richtung der Pfeile 9 auf die Substratoberfläche gerieselt wird, beträgt die durch loses Pulver gebildete Auflage typischerweise 25 - 50 mg/cm². Der lokale Bereich 15 wird durch Rotation der Auflagevorrichtung 3 zur und durch die Pulverschicht 10 geführt. Im lokal aufgeschmolzenen Bereich befindliches flüssiges Material, beispielsweise Kupfer, benetzt hierbei in der Pulverschicht 10 befindliches Pulver bzw. tränkt durch überwiegend wirksame Kapillarkräfte die Pulverschicht 10. Diese Wirkung kann bei Bedarf durch weitere Zusatzstoffe erhöht werden.
  • Es entsteht so eine Chrom und Kupfer enthaltende Oberflächenschicht 16, deren zuvor erläuterter Bildungsmechanismus besonders gut aus den Figuren 2 und 3 zu ersehen ist. Da der Energiestrom 12 eine vergleichsweise geringe Energiedichte aufweist, wird eine Überhitzung sowohl der im lokalen Bereich 15 befindlichen Kupferschmelze als auch des Chrompulvers vermieden. Da das Chrompulver lediglich auf der Oberfläche des Substrates 1 aufliegt, ist nämlich sein Wärmekontakt zum Substrat gering und ein intensiver Energiestrom würde daher eine extreme Überhitzung hervorrufen. Ein Verdampfen bzw. Verspritzen von Chrompulver entfällt daher weitgehend.
  • Durch Rotation der Auflagevorrichtung 3 oder der Wärmestromquelle 6 und der Zusatzstoff-Zufuhrvorrichtung 7 um die zentral durch den Auflagetisch 3 geführte, vertikal erstreckte Achse 11 sowie durch zusätzlich radial, vorzugsweise pendelnd, ausgeführte Bewegungen von Wärmestromquelle 6 und Zusatzstoff-Zufuhrvorrichtung 7 kann erreicht werden, dass nahezu die gesamte Oberfläche des Substrats 1 sukzessive aufgeschmolzen und beschichtet wird.Das Aufschmelzen des Substrates 1 kann selbstverständlich auch durch eine in einer horizontalen xy-Ebene erfolgende translatorische Verschiebung ausgeführt werden, wobei beispielsweise die Wärmestromquelle 6 in x- und y-Richtung zwischen den Kanten des Substrates 1 hin- und hergeführt wird, und die Auflagefläche 2 etwa in y-Richtung verschoben wird. Hierbei sollte die Zusatzstoff-Zuführvorrichtung 7 entsprechend ihrer Verschiebung bei rotierendem Substrat 1 bewegt werden. Nach vollständigem Überfahren der freiliegenden Oberfläche des Substrates 1 kann auf diese Weise eine ca. 50 - 100 »m dicke Oberflächenschicht 16 erzeugt werden. Diese Schicht zeichnet sich unter anderem auch dadurch aus, dass wegen des vergleichsweise langsam und grossflächig erfolgenden Aufschmelzens das Substrat 1 und damit auch die Oberflächenschicht 16 weitgehend gasfrei sind.
  • Ist der Querschnitt des Energiestromes 12 gering, so kann eine nahezu vollständige Beschichtung der Oberfläche dadurch erreicht werden, dass etwa die Wärmestromquelle 6 zusätzlich quer zur und/oder in Verschiebungsrichtung des Substrates 1 periodisch hin und her bewegt wird.
  • Durch zyklisches Wiederholen des vorstehend beschriebenen Verfahrensschrittes können so problemlos Schichtdicken bis zu mehreren Millimetern erzeugt werden. Durch geeignete Steuerung der Leistung und der Stromdichte des Energiestromes 12, der Aufheizzeit des lokalen Bereiches 15 und/oder der Menge des zugeführten Zusatzstoffes 8 können unterschiedliche Schichtdicken und/oder vorgegebene Oberflächenprofile hergestellt werden. Mit solchermassen hergestellten Kontaktstücken ausgerüstete Vakuumschalter weisen gegenüber Vakuumschaltern mit vergleichbaren Abmessungen aber mit nach herkömmlichen Verfahren hergestellten Kontaktstücken wesentlich verbesserte Abschaltleistungen auf.
  • Weitere Verbesserungen der Abschaltleistungen können gegebenenfalls noch dadurch erzielt werden, dass die Oberflächenschicht 16 wenigstens über einen Teil ihrer Aussenfläche und ausgehend von ihrer Aussenfläche zumindest über einen Teil ihrer Tiefe kurzzeitig auf eine wesentlich über der Schmelztemperatur des Substrates 1 liegende Temperatur erwärmt wird.

Claims (13)

  1. Verfahren zur Herstellung eines oberflächenbeschichteten Bauteils, insbesondere eines Kontaktstücks für einen Vakuumschalter, aus einem metallischen Substrat (1), und mindestens einem dem Substrat (1) zugeführten Zusatzstoff (8), bei dem das Substrat (1) an der Oberfläche mittels eines Energiestromes (12) in mindestens einem lokalen Bereich (15) aufgeschmolzen und der Zusatzstoff (8) mit aufgeschmolzenem Material des lokalen Bereiches (15) zusammengeführt wird, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat (1) vor dem Aufschmelzen des lokalen Bereiches (15) auf eine erheblich über Raum-, jedoch unter seiner Schmelztemperatur liegende Temperatur vorgewärmt wird, dass nach dem Vorwärmen an der Substratoberfläche der lokale Bereich (15) aufgeschmolzen und der Zusatzstoff (8) in Form einer losen Pulverschicht (10) auf die Substratoberfläche aufgebracht wird, und dass der lokale durch den Energiestrom aufgeschmolzene Bereich (15) zur und durch die Pulverschicht (10) geführt und hierbei in der Pulverschicht (10) befindliches Pulver benetzt bzw. die Pulverschicht (10) getränkt wird mit flüssigem Material aus dem aufgeschmolzenen lokalen Bereich (15), wodurch das Pulver der Pulverschicht (10) in die Oberfläche des Substrates (1) eingebunden und die angestrebte Oberflächenschicht (16) gebildet wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat (1) durch eine vorzugsweise Elektronen emittierende Wärmestromquelle (6) mit steuerbarer Strahlstromdichte vorgewärmt wird.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Wärmestromquelle (6) beim Vorwärmen des Substrates (1) zunächst mit einer mehrfach höheren Leistung betrieben wird als beim Beschichten des mindestens einen lokalen Bereiches (15).
  4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Wärmestromquelle (6), eine Zusatzstoff-Zufuhrvorrichtung (7) und das Substrat (1) relativ zueinander verschieblich angeordnet sind.
  5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Verschiebung durch eine Rotation oder Translation des Substrates (1) ausgeführt wird.
  6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Wärmestromquelle (6) zusätzlich quer zur und/oder in Verschiebungsrichtung des Substrates (1) periodisch hin und her bewegt wird.
  7. Verfahren nach einem der Ansprüche 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Zusatzstoff-Zufuhrvorrichtung (7) zusätzlich quer zur Verschiebungsrichtung des Substrates (1) periodisch hin und her bewegt wird.
  8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass nach Bildung der Oberflächenschicht (16) zur Erhöhung ihrer Dicke Zusatzstoff (8) in Form einer weiteren Pulverschicht auf die Oberflächenschicht aufgebracht und entsprechend der zur Oberflächenschicht (16) führenden Pulverschicht (10) behandelt wird.
  9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass Leistung und Stromdichte des Energiestromes (12), Aufheizzeit des lokalen Bereiches (15) und/oder Menge des aufgebrachten Zusatzstoffes (8) derart gesteuert werden, dass unterschiedliche Dicken der Oberflächenschicht (16) und/oder vorgegebene Oberflächenprofile herstellbar sind.
  10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 - 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberflächenschicht (16) wenigstens über einen Teil ihrer Aussenfläche und ausgehend von ihrer Aussenfläche zumindest über einen Teil ihrer Tiefe kurzzeitig auf eine wesentlich über der Schmelztemperatur des Substrates (1) liegende Temperatur erwärmt wird.
  11. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1 mit mindestens einer Wärmestromquelle (6), mindestens einer Zusatzstoff-Zufuhrvorrichtung (7) und mindestens einer Auflagevorrichtung (3) für das Substrat (1), bei der Wärmestromquelle (6), Zusatzstoff-Zufuhrvorrichtung (7) und Substrat (1) relativ zueinander verschiebbar angeordnet sind und die Auflagevorrichtung (3) eine Auflagefläche (2) für das Substrat (1) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Temperatur der Auflagefläche (2) einstellbar ist durch ein Wärme vergleichsweise schlecht leitendes Teil (17) der Auflagevorrichtung (3), welches zwischen dem Substrat (1) und einer zu einer Kühlung führenden Stütze (5) der Auflagevorrichtung (3) angeordnet ist.
  12. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1 mit mindestens einer Wärmestromquelle (6), mindestens einer Zusatzstoff-Zufuhrvorrichtung (7) und mindestens einer Auflagevorrichtung (3) für das Substrat (1), bei der Wärmestromquelle (6), Zusatzstoff-Zufuhrvorrichtung (7) und Substrat (1) relativ zueinander verschiebbar angeordnet sind und die Auflagevorrichtung (3) eine Auflagefläche (2) für das Substrat (1) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Temperatur der Auflagefläche (2) einstellbar ist durch Änderung des Querschnitts mindestens einer Wärme von der Auflagefläche (2) zu einer Kühlung führenden Stütze (5) der Auflagevorrichtung (3).
  13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Auflagevorrichtung (3) drehbar ausgebildet ist.
EP91900146A 1989-12-15 1990-12-17 Verfahren zur herstellung eines oberflächenbeschichteten bauteils, insbesondere eines kontaktstücks für einen vakuumschalter, und vorrichtung zur durchführung dieses verfahrens Expired - Lifetime EP0458922B1 (de)

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CH451389 1989-12-15
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