DE3527146A1 - Verfahren zur herstellung einer lochmaske mit schlitzartigen oeffnungen - Google Patents

Verfahren zur herstellung einer lochmaske mit schlitzartigen oeffnungen

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DE3527146A1 DE19853527146 DE3527146A DE3527146A1 DE 3527146 A1 DE3527146 A1 DE 3527146A1 DE 19853527146 DE19853527146 DE 19853527146 DE 3527146 A DE3527146 A DE 3527146A DE 3527146 A1 DE3527146 A1 DE 3527146A1
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Description

  • Verfahren zur Herstellung einer Lochmaske mit schlitz-
  • artigen Offnungen artigen Öffnungen Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Lochmaske für eine Verwendung in Farbbildröhren und insbesondere ein Verfahren zur Herstellung einer Lochmaske mit schlitzartigen Öffnungen.
  • Im allgemeinen sind Durchlaßöffnungen für Elektronenstrahlen einer Lochmaske für eine Verwendung in einer Farbbildröhre rund oder schlitzartig (rechtwinklig) geformt. Gewöhnlich wird ein Foto-Ätzverfahren angewendet, um die Durchlaßöffnungen für die Elektronenstrahlen indem Lochmaskenmaterial auszubilden. Das herkömmliche Foto-Ätzverfahren weist zunächst einen Schritt auf, auf beide Seiten eines Lochmaskenmaterials aus einer langgestreckten, bandförmigen (ausgedehnten) Stahlplatte aus reinem, niedriggekohltem Stahl, auf eine Umber-Stahlplatte od. dgl. fotowiderstandsfähiges Material aufzubringen und es zu trocknen, weiter eine Abfolge von nachfolgenden Schritten des Exponierens (Belichtens), der Entwicklung, der Trocknung und des Brennens, und einen Schritt, eine erforderliche Öffnung zu ätzen, indem eine Ätzlösung auf die Oberfläche des langgestreckten Lochmaskenmaterials aufgebracht wird, in einer Ätzkammer. Wenn die Ätzlösung auf den Werkstoff aufgebracht wird, der während des Ätzens horizontal gehalten wird, strömt die Lösung rechtwinklig zu der Längsrichtung des Lochmaskenmaterials, d.h. von einem mittleren Bereich des Materials zu beiden Eckbereichen. Entsprechend nimmt die Ätzlösung ab (ihre Ätzfähigkeit erniedrigt sich) wenn sie näher zu den Ecken kommt, und im Ergebnis ist es ein schwerwiegendes Problem, zu dem Zeitpunkt, zu dem die rechtwinkligen schlitzartigen Öffnungen ausgeformt werden, daß die Öffnungen, die eine schlitzartige Gestalt haben sollen, keilartig (oder trapezartig) sich ausbilden, abhängig von der Aufteilung (oder der Druckanordnung) der Lochmaske in dem Material.
  • Mit Bezug zu der Anordnung der schlitzartigen Öffnungen in der Lochmaske ist es üblich, eine kürzere Seite der Lochmaske 1 mit einer längeren Seite der schlitzartigen Ecke 4 in Übereinstimmung zu bringen, wie dies in Fig. 3 gezeigt ist. In dieser Zeichnung bezeichnet das Bezugszeichen 2 eine Öffnung, die aus einer Vielzahl von schlitzartigen Öffnungen 4 zusammengesetzt ist, und das Bezugszeichen 3 einen Randbereich, der verwendet wird, wenn die Lochmaske 1 auf einem Maskenrahmen angebracht wird. Das Verhältnis der längeren Seite zu der kürzeren Seite der Lochmaske ist gewöhnlich 4 : 3,und eine diagonale Länge derselben bewegt sich in der Bandbreite zwischen 10 und 13 cm (4 bis 5 inches) bis zu 102 cm (40 inches). Es werden also verschiedene Größen von Lochmasken hergestellt. Um diese verschiedenen Größen von Lochmasken so wirkunsvoll wie möglich herzustellen, unter Verwendung eines langgestreckten Materials nomineller Breite (637 mm, 600 mm, 543 mm, etc.) ist es bevorzugt, wenn ein Lochraster unter engem Kontakt auf das Material gedruckt wird, das mit einem widerstandsfähigen Film beschichtet ist, eine Druckanordnung vorzunehmen, wie sie in Fig. 4(a) und (b) dargestellt ist.
  • Nachstehend wird eine Anordnung, bei der eine Längsrichtung des Materials 5 mit einer Richtung der kürzeren Seite der Lochmaskenform 6 zusammenfällt, wie dies in Fig. 4(a) dargestellt ist, als "Druckanordnung Typ A" bezeichnet (bei dieser Anordnung fällt die Längsrichtung des Materials 5 mit den längeren Seiten der schlitzartigen Öffnungen zusammen), und eine andere Anordnung, bei welcher die Längsrichtung des Materials 5 mit der Richtung der längeren Seite der Lochmaskenform zusammenfällt, wie dies in Fig. 4(b) dargestellt ist, wird als "Druckanordnung Typ B" bezeichnet (in dieser Anordnung verläuft die Längsrichtung des Materials 5 in einem rechten Winkel zu den längeren Seiten der schlitzartigen Öffnungen).
  • Im Falle von runden (kreisförmigen) Öffnungen hat es bezüglich der Strömungsrichtung der Ätzlösung in dem Ätzprozeß keine Bedeutung, ob eine Druckanordnung gemäß Typ A oder eine Druckanordnung gemäß Typ B angewendet ist. Desgleichen treten bei der praktischen Verwendung im Fall von schlitzartigen Öffnungen bei Anwendung der Druckanordnung des Typs A keine Probleme auf, wenn auch Ecken eines Rechtecks leicht gerundet sind. Wenn die Druckanordnung gemäß dem Typ B angewendet wird, wird aber die Ätzung in diesem Bereich rasch intensiver, da das Material durch eine frische Lösung in dem stromaufwärtigen Bereich (O) (nahe dem mittleren Bereich des Materials) durch den Strom der Ätzflüssigkeit 7 geätzt wird. Auf der anderen Seite verringert sich die Ätzgeschwindigkeit, da die Ätzlösung allmählich abnimmt (ihre Ätzwirksamkeit erniedrigt wird) in der stromabwärtigen Gegend (P) (nahe den Eckbereichen des Materials), in dieser Gegend,im Vergleich mit der Stelle (O). Im Ergebnis werden die Ausgestaltungen von schlitzartigen Öffnungen, die auf dem Material gebildet werden, unterschiedlich oder uneben in einer solchen Weise, daß die Gestalt jeder Öffnung allmählich umgeformt ist von rechtwinklig zu keilförmig (trapezartig), bei Näher kommen von dem mittleren Bereich zu dem Eckbereich des Materials hin, und daß ein Material mit solch umgeformten Öffnungen nicht geeignet ist, in der praktischen Verwendung als Lochmaske eingesetzt zu werden (in dem Fall, in dem die Umformung trapezartig ist, d.h. (a - b) beträgt bis zu 0,03 mm).
  • Da dieses der Fall ist, ist es erforderlich, wenn mit dem bekannten Verfahren eine Lochmaske mit schlitzartigen Öffnungen hergestellt wird, die Druckanordnung gemäß dem A-Typ zu verwenden.
  • Die Größen der Öffnungen bei herkömmlichen Lochmasken sind hauptsächlich 35 bis 51 cm (14 bis 20 inches) und Lochmasken mit geraden Inchzahlen sind desgleichen insoweit hergestellt worden. Entsprechend wird beispielsweise, wenn eine Lochmaske mit schlitzartigen Öffnungen von 35 cm (14 inches) hergestellt wird, ein langgestrecktes Material in Form einer niedriggekohlten Stahlplatte, einer Umber-Stahlplatte oder dergleichen verwendet, deren Breite 637 mm beträgt. Dann werden zwei Lochmaskenformen parallel zueinander angeordnet, entsprechend der Druckanordnung des A-Typs, und das Bedrucken wird mit zwei solchen Formen gleichzeitig bewirkt (zusätzlich können zwei solcher Formbedruckungen bewirkt werden, wenn Material in einer Weite von 543 mm in der Richtung der Breite desselben verwendet wird, wenn eine Lochmaske mit 35 cm (14 inches) Rundöffnungen hergestellt wird, da es möglich ist, diese in Form der B-Typoanordnung anzuordnen).
  • Es gibt nun eine Tendenz oder einen Bedarf dahingehend, daß die Lochmaske so ausgebildet wird, daß sie vier Ecken hat,ohne eine Rundung (viereckiger Schnitt), so daß ein Bild auf einer Farbbildröhre vollständig wiedergegeben wird, ohne eine teilweise Weglassung an den vier Ecken der Bildröhre. Im Fall dieser Röhre mit viereckigem Schnitt ist das Maß der Lochmaske vergrößert von 35 cm (14 inches) auf 38 cm (15 inches) oder von 50,8 cm (20 inches) auf 53,34 cm (21 inches) oder dergleichen. Eine solche Größenzunahme, die notwendig ist, bringt verschiedene Probleme mit sich.
  • Wenn die Abmessung der Lochmaske um 2,54 cm (1 inch) vergrößert wird, tritt der Nachteil auf, daß die herkömmliche Druckanordnung gemäß dem A-Typ unmöglich wird, was der Fall sein kann. Wenn beispielsweise die Abmessung der Lochmaske von 35,56 cm (14 inches) auf 38,1 cm (15 inches) anwächst, wird es physikalisch unmöglich, zu bewirken, die zwei Lochmaskenformen gemäß der A-Druckanordnung zu drucken, in Richtung der Breite des Materials von 637 mm Weite (das ist die maximale Breite, in der eine Stahlplatte gegenwärtig verfügbar ist), und im Ergebnis ist es notwendig, zu bewirken, eine Lochmaskenform zu drucken gemäß der A-Typdruckanordnung in Richtung der Breite eines Materials von 543 mm Weite. Eine solche Änderung in den Herstellungsbedingungen ist zweifellos mit beträchtlichen Unzulänglichkeiten verbunden im Hinblick auf einen wirkungsvollen Materialeinsatz und Produktivität, was sich in einer Steigerung der Produktionskosten auswirkt. Es könnte genau so eine Idee sein, die Breite des Stahlplattenmaterials zu vergrößern. In diesem Fall ist es aber unverzichtbar, Einrichtungen der Hersteller von Walzplatten zu verbessern oder zu ersetzen, oder solche von Zulieferern von Lochmaskenherstellern, und deshalb ist eine solche Idee ziemlich irreal und nicht durchführbar. Unter diesen Umständen und unter dem Gesichtspunkt der Nachfrage nach Lochmasken mit großen Abmessungen möglichst nachzukommen sowie im Hinblick auf einen wirkungsvollen Einsatz des Stahlmaterials, ist eine Druckanordnung gemäß dem B-Typ zunehmend verlangt worden, ungeachtet des Nachteils einer möglichen Mißgestaltung der schlitzartigen Öffnungen hin zu einer keilförmigen Gestalt, wenn sie angewendet wird.
  • Demgemäß ist es ein Ziel der Erfindung, ein neuartiges Herstellungsverfahren einer Lochmaske anzugeben, bei dem ein Material verwendet wird, das auf dem üblichen Markt erhältlich ist und bei dem sowohl die Druckanordnung gemäß dem A-Typ und dem B-Typ angewendet werden kann, ohne eine Mißgestaltung der schlitzartigen Öffnungen hin zu einer Keilgestalt zu bewirken, wodurch die zuvor diskutierten Nachteile überwunden werden.
  • Das vorgenannte Ziel wird erreicht, indem ein Verfahren zur Herstellung einer Lochmaske angegeben wird, das aus einem Schritt besteht, ein Ausmaß der Mißbildung im Hinblick auf die keilartige Gestalt zu dem Zeitpunkt anzugeben, in dem das Muster der Fotwiderstandsschicht gebildet wird und einem Schritt, das Muster der Fotowiderstandsschicht auf der Grundlage dieser Vorhersage so auszubilden, daß jede Form der schlitzartigen Öffnungen keilartig gestaltet ist, ausweitend von dem mittleren Bereich der Lochmaske zu dem Eckbereich. Mit anderen Worten ist gemäß der Erfindung ein Herstellungsverfahren für eine Lochmaske mit schlitzartigen Öffnungen angegeben, das jeweils den Schritt aufweist, Aufbringen einer Belichtung, Entwicklung, Trocknung, Brennung und Ätzung auf ein Lochmaskenmaterials, dessen Oberfläche mit einer fotowiderstandsfähigen Schicht beschichtet ist, um schlitzartige Elektronenstrahldurchlaßöffnungen zu bilden, wobei der Schritt der Belichtung gekennzeichnet ist durch eine Kombination aus einem Schritt, Vorbereitung einer Originalform bzw. eines Originaimiisters an der vielfache Schlitzausbildungen vorhanden sind, wobei jede der Ausbildungen so gestaltet ist, daß eine keilförmige Gestalt gegeben ist, die sich von dem mittleren Teil des Lochmaskenmaterials zu dem Eckbereich desselben hin verbreitert, und ein Schritt des entweder Belichtens einer Druckform, die von der Originalform auf das Lochmaskenmaterial reproduziert ist, unter engem Kontakt in einer solchen Weise, daß die Richtung einer längeren Seite der Form mit der Längsrichtung des Materials zusammenfällt, oder Belichten der Schlitzausbildungen unmittelbar auf dem Lochmaskenmaterial, um so eine fotowiderstandsfähige Schicht zu bilden, auf der vielfache Bilder von Schlitzen gezeichnet sind.
  • In diesem Zusammenhang ist es bevorzugt, daß solche Schlitzausbildungen so gebildet sind, daß sie rechtwinklig in dem mittleren Teil des Lochmaskenmaterials sind, und daß der Verbreiterungswinkel der Öffnung um so größer ist, je näher die Position der Öffnung zu dem Eckbereich des Materials ist. Unter der Bedingung, daß die Strömungsmenge der Atzlösung gesteuert wird durch eine Veränderung der Richtung einer die Ätzlösung abgebenden Versorgungsdüse der Ätzeinrichtung beispielsweise, ist es praktisch durchführbar, daß nur diejenigen Öffnungen, die in einem gewissen Gebiet des Eckbereichs des Materials angeordnet sind, keilartig gebildet werden oder so gebildet werden, daß sie gleichförmige Verbreiterungswinkel besitzen.
  • Wie schon zuvor angesprochen worden ist, verändern sich die Gestaltungen der Schlitze von rechtwinklig zu keilförmig verbreiternd bezüglich des mittleren Bereich des Materials wenn man von dem mittleren Bereich zu dem Eckbereich hin geht. Da andererseits gemäß der Erfindung die Schlitzausbildungen der Druckformen mit leichter Abänderung von dem mittleren Teil des Materials zu dem Eckbereich desselben hin gezeichnet sind, so daß die Schlitz figuren allmählich von rechtwinkliger zu keilförmiger Gestalt umgeformt werden, die sich wiederum zu dem Eckbereich des Materials hin verbreitern, zusammen mit den Anordnungen der Schlitze von dem mittleren Teil des Materials zu dem Eckbereich desselben, ist eine vorherbestimmte Umgestaltung der Schlitzgestalt damit in erfolgreicher Weise vorgegeben oder erreicht, und im Ergebnis ist jede schlitzartige Öffnung nach dem Ätzprozeß gleichförmig rechtwinklig über die ganze Oberfläche.
  • Entsprechend ist bei den ausgebildeten Schlitzen erfolgreicherweise das Problem der Umbildung in eine keilförmige Gestalt überwunden, wenn eine Lochmaske gemäß der Erfindung hergestellt wird, einerlei ob eine Druckanordnung gemäß dem A-Typ oder dem B-Typ angewendet wird. Im Ergebnis ist es möglich, auch im Fall einer Vielfalt von Lochmaskenabmessungen, ein Stahlplattenmaterial zu verwenden, das auf dem heimischen Markt erhältlich ist und eine jeweils wirkungsvollste Druckanordnung zu wählen, unter Beibehaltung einer sehr wirkungsvollen Ausnutzung des Materials und einer Produktivität auf hohem Niveau.
  • Desweiteren ist es nicht notwendig, die Breite des gelieferten Materials zu vergrößern oder Gerätschaften auszutauschen auf Seiten der Walzstahlhersteller. Vielmehr ist es gemäß dem erfindungsgemäßen Herstellungsverfahren möglich, das Material von Ausrüstungsgegenständen zu verwenden von bestehenden Lochmaskenherstellern, ohne eine Verbesserung desselben, was eine der wirtschaftlichen Vorteile der Erfindung ist.
  • Weitere Eigenschaften und Vorteile der Erfindung werden deutlich im Verlauf der nachstehenden Beschreibung mit Bezug auf die beigefügte Zeichnung.
  • Auf der Zeichnung, die einen Teil der Anmeldung darstellt, sind mit gleichen Bezugszeichen gleiche Teile bezeichnet und es zeigen: Fig. 1 und 2 Draufsichten, jeweils darstellend ein Beispiel eines Herstellungsverfahrens für eine Lochmaske mit schlitzartigen Öffnungen gemäß der vorliegenden Erfindung; Fig. 3 (a) eine Draufsicht auf eine Lochmaske und (b) eine vergrößerte Ansicht eines Teiles A derselben; Fig. 4 (a) (b) verdeutlichen Druckanordnungen; und Fig. 5 eine Verdeutlichung zur Erklärung einer Umbildung einer schlitzartigen Öffnung in eine keilartige Gestalt während des Ätzprozesses.
  • Mit Bezug nun zu den Fig. 1 und 2 ist eine Ausführungsform der Erfindung im folgenden im einzelnen beschrieben.
  • Da die Erfindung gekennzeichnet ist dadurch, daß ein schlitzartiges Bild auf die Oberfläche eines Lochmaskenmaterials gedruckt wird, unter engem Kontakt, in dem Belichtungsverfahren, (d.h. ein Verfahren zur Vorbereitung einer Originalform bzw. eines Originalmusters), ist deshalb diese VorbeXe4t.ung der Originalform zunächst beschrieben.
  • In dem Fall, daß eine Lochmaskenform 6 auf der Oberfläche eines langgestreckten Lochmaskenmaterials 5 gemäß einer Druckanordnung nach dem B-Typ angeordnet wird, wird beispielsweise eine Schlitzausbildung 10 in einer mittleren Position des Dochmaskenmaterials 5 so geformt, daß sie rechtwinklig ist, wie dies in Fig. 1 (b) dargestellt ist, während eine Schlitzfigur 10' in einer Position (Y) des oberen Eckbereichs des Materials so geformt ist, daß sie nach außen aufwärts verbreiternd keilartig gebildet ist, d.h. zu einem Eckbereich des Materials hin, und eine Schlitzfigur 10" an einer Position des unteren Eckbereichs ist geformt, daß sie keilartig nach unten verläuft, d.h.
  • also zu dem Eckbereich des Materials hin. Jeder Verbreiterungswinkel der keilartig geformten Ausgestaltungen 10', 10" ist angegeben aufgrund einer Erfahrung des vorhersehbaren Ausmaßes der Umbildung zu einer keilartigen Gestalt, wenn das Ätzverfahren angewendet wird gemäß der Belichtung unter der B-Typdruckanordnung und der Entwicklung gemäß dem bekannten Verfahren. Entsprechend ist dieser Winkel größer, wenn die Position der Gestaltung näher dem Eckbereich des Materials ist, um die Umformung zu kompensieren. Nachdem die Originalform in der vorbeschriebenen Weise hergestellt ist, wird sie dupliziert, um eine Druckform herzustellen.
  • Nachstehend wird eine Herstellungsweise einer Form mit einem keilartigen Schlitz beschrieben.
  • Im Allgemeinen wird, um eine Lochmaske mit schlitzartigen Öffnungen herzustellen, eine kleine rechtwinklige Schlitzgestalt chemisch nacheinander auf eine Gelatinetrockenplatte eines Films mit Hilfe eines Druckers gemäß dem Belichtungstyp, beispielsweise einem Fotodrucker, aufgebracht. Bei dieser Ausführungsform wird das Drucken ausgeführt, indem ein Gerber 1434 Ulta-precise Artwork Generator" verwendet (hergestellt durch die Gerber Scientific Instrument Co., Ltd.) wird. Das Druck wird zweimal mit verschiedenen Druckwinkeln ausgeführt. Das heißt, wie dies in Fig. 2 dargestellt ist, wenn eine keilartig geformte Schlitz figur hergestellt wird, bestehend aus kürzeren Ecken 1, m (1> m) und längeren Ecken h, während ein Punkt (x, y) vorgegeben wird, der ein Mittelpunkt der Figur sein soll, wird bei einem ersten Drucken die rechtwinklige schlitzartige Figur der kürzeren Seite m und der längeren Seite h gedruckt, während einer Linksneigung um einen Winkel i (tan DC = )von einem Mittelpunkt (x - 4 ,y), und in einem zweiten Drucken wird die Figur 4 gedruckt, wobei sie um einen Winkel DC nach rechts von dem dem Mittelpunkt (x + 4 , y) geneigt ist. In diesem Zusammenhang ist der Winkel d O0im mittleren Teil des Materials und nimmt allmählich zu näher zu dem Eckbereich.
  • Das Ausmaß, um das ein solcher Winkel ansteigt, ist experimentell zu bestimmen und kann unmöglich begrenzt werden.
  • Wenn das vorbeschriebene Verfahren ausgeführt wird, wird eine vorbestimmte keilartige Schlitzfigur jeweils nacheinander erreicht. In diesem Zusammenhang ist das Verhältnis zwischen der kürzeren Seite und der längeren Seite der keilartigen Figur etwa m : h = 1 : 4"7, und gewöhnlich 1 - m<O,03 mm. Entsprechend gibt es keine Probleme in der praktischen Verwendung insofern, wie eine Figur gesichert ist gemäß der Darstellung in Fig. 2.
  • Andere Verfahren als die vorbeschriebenen zur Herstellung einer Originalform sind die gleichen wie herkömmliche Verfahrensweisen, weshalb nur eine kurze Beschreibung gegeben ist.
  • Zunächst wird ein wasserlösliches fotowiderstandsfähiges Material, das aus Casein und Ammoniumdichromat beispielsweise besteht, auf beide Seiten einer gewalzten, niedriggekohlten Stahlplatte oder einer Umber-Stahlplatte oder dergleichen, aufgebracht, mit einer Breite von 0,1 bis 0,3 mm und nachdem es getrocknet ist, wird eine fotowiderstandsfähige Schicht darauf ausgeformt. Dann wird eine Lochmaskenform für eine große Öffnung (die an der fluoreszierenden Schirmseite anzubringen ist) und eine für eine schmale Öffnung (die an der Seite der Elektronenschleuder zu Plazieren ist) jeweils unter engem Kontakt belichtet, um auf beiden Seiten eines fotosensitiven Films gedruckt zu werden. Dann wird eine Entwicklung durchgeführt, während heißes Wasser auf die Seiten gegeben wird, gefolgt von den Schritten Filmhärtèn, Brennen und Trocknen und eine fotowiderstandsfähige Formschicht der zuvor erwähnten Gestalt ist so ausgebildet.
  • Nachdem der Brennprozeß abgeschlossen ist, wird, wenn nötig, eine Vorätzbehandlung mit dem Lochmaskenmaterial durchgeführt, und nach der Vorätzbehandlung wird eine wäßrige eisenhaltige Chloridlösung (eine Ätzlösung) auf beide Seiten des Materials gesprüht, mit Hilfe einer Injektionsdüse, so daß eine vorbestimmte Elektronenstrahldurchlaßöffnung ausgebildet ist.
  • Bei diesem abschließenden Ätzprozeß strömt die Ätzlösung von dem mittleren Teil des Materials zu dem Eckbereich desselben, rechtwinklig zu der Längsrichtung des Materials.
  • Wie zuvor beschrieben, da eine keilartig geformte Schlitzfigur gedruckt und entwickelt ist auf dem Lochmaskenmaterial in einer solchen Weise, daß die Breite des mittleren Teils des Materials, d.h. der stromaufwärtige Bereich der Ätzlösung kleiner ist, während die Breite nahe dem Eckbereich, d.h. die stromabwärtige Gegend der Ätzlösung größer ist. Entsprechend wird der Ätzprozeß in dem Teil mit der kleineren Breite relativ schneller durchgeführt durch eine frische Ätzlösung, während er an dem Teil mit der größeren Breite verlangsamt ist durch eine relativ verarmte Ätzlösung (mit einer erniedrigen Ätzfähigkeit).
  • Im Ergebnis ist es sichergestellt, daß die schlitzartigen Öffnungen, die zur Zeit der Vollendung der Ätzlösung ausgebildet sind, nahezu rechtwinklig sind durch die sich ergänzende Funktion zwischen der schmaleren Breite bei frischer Lösung und der größeren Breite bei verarmter Lösung, und daß das Problem einer Umbildung der Öffnungen zu einer keilartigen Form erfolgreich verhindert ist.
  • Es ist zu verstehen, daß diese Erfindung nicht auf die spezifische Ausführungsform derselben begrenzt ist, mit Ausnahme soweit es in den nachstehenden Ansprüchen beschrieben ist.

Claims (3)

  1. Ansprüche ,rz Verfahren zur Herstellung einer Lochmaske mit schlitzartigen Öffnungen, aufweisend einen Schritt, schlitzartige Öffnungen zum Durchlaß eines Elektronenstrahls auszuformen, indem nachfolgend eine Serie von Schritten durchgeführt wird, der Belichtung, der Entwicklung, des Trocknens, des Brennens und des Ätzens an einem langgestreckten Lochmaskenmaterial, dessen Oberfläche mit einer fotowiderstandsfähigen Schicht beschichtet ist, wobei eine Kombination des Schrittes der Belichtung mit einem Schritt, ein Muster einer fotowiderstandsfähigen Schicht herzustellen durchgeführt ist, wobei auf dieser eine Vielzahl von schlitzartigen Figuren gezeichnet sind, die eine keilartige Gestalt haben, zunehmend nach außen von einem mittleren Bereich des Materials weg, zu Eckbereichen desselben.
  2. 2. Verfahren zur Herstellung einer Lochmaske mit schlitzartigen Öffnungen nach Anspruch 1, wobei die vielfachen schlitzartigen Figuren auf der Form einer fotowiderstandsfähigen Schicht in einer solchen Weise gezeichnet sind, daß die Figur umgeformt ist von einer Rechtwinkligkeit zu einer Keilförmigkeit, die nach außen von dem mittleren Bereich des Materials zu Eckbereichen desselben zunimmt, wobei ein Verbreiterungswinkel der keilförmigen Gestalt allmählich zunimmt, wenn die Position der Figur näher dem Eckbereich des Materials ist.
  3. 3. Verfahren zur Herstellung einer Lochmaske mit schlitzartigen Öffnungen nach Anspruch 1, wobei eine Originalform hergestellt wird, indem ein Fotodrucker verwendet wird, und die Originalform belichtet wird unter engem Kontakt auf dem Lochmaskenmaterial, das mit einer fotowiderstandsfähigen Schicht bedeckt ist, so daß eine Form der fotowiderstandsfähigen Schicht ausgebildet ist.
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