DE3523138A1 - Optisches system fuer neigungswinkelverstellbare mikroskoptuben - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein optisches System für neigungswinkelverstellbare Mikroskoptuben.

Ein Mikroskop, das für eine Veränderung des Neigungswinkels des Betrachtungstubus geeignet ausgebildet ist, ist u.a. bereits aus der US-PS 4,299,439 bekannt. Da bei diesem System die optischen Elemente in einer Ebene angeordnet sind, die den Mikroskoptubus bei der Vor- und Rückverstellung zur Veränderung des Neigungswinkels des Tubus schneidet, wird der Abstand zwischen der Position des Augenpunktes des Okulars und der optischen Achse des Objektivs so groß, daß sich ein Problem darin gezeigt hat, daß bei der Bedienung der Fokussiereinrichtung die Hand weit ausgestreckt werden muß.

Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein optisches System für neigungsverstellbare Mikroskoptuben zu schaffen, bei denen zur Verbesserung der Handhabung der Abstand zwischen dem Augenpunkt und der • Fokussiereinrichtung in geeigneter Weise kurz gestaltet werden kann.

Zur Lösung dieser Aufgabe wird daher ein optisches System für neigungswinkelverstellbare Mikroskoptuben vorgeschlagen, das erfindungsgemäß ein erstes Element zur rechtwinkligen Umlenkung des Lichtstrahls des.eintretenden Lichtes, ein zweites optisches Element zur zweimaligen rechtwinkligen Umlenkung des vom ersten optischen Element eintretenden Lichtstrahles, ein drittes optisches System zur zweimaligen rechtwinkligen Umlenkung des

vom zweiten optischen Element eintretenden Lichtstrahles und ein viertes optisches Element, das zur rechtwinkligen Umlenkung des vom dritten optischen Element eintretenden Lichtstrahles und zu dessen Ausrichtung in die gleiche Richtung, in der der Lichtstrahl in das erste optische Element eintritt, angeordnet ist, aufweist und daß das dritte optische Element um die optische Achse des in das dritte optische Element eintretenden Lichtstrahles drehbar gelagert angeordnet ist, und daß das vierte optische Element so gelagert und angeordnet ist, daß es in Abhängigkeit von der Drehung des dritten optischen Elementes um die optische Achse des in das vierte optische Element eintretenden Lichtstrahles um einen in bezug auf den Drehwinkel des dritten optischen Elementes doppelt so großen Drehwinkel drehbar ist.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung sind Übertragungslinsen in entsprechender Weise zwischen den ersten, zweiten, dritten und vierten optischen Elementen angeordnet.

Ein derartiges Mikroskop ist so ausgestaltet, daß, auch wenn der Neigungswinkel des Tubus variiert wird, nicht nur die Stellung des Bildes im Sichtfeld nicht variiert wird und immer stationär bleibt, sondern daß-auch der Abstand zwischen dem Augenpunkt und der Fokussiereinrichtung einen geeigneten Wert einhält, so daß aufgrund der besseren Handhabbarkeit eine merkbare Reduzierung der Ermüdung der Bedienperson erreich-

bar ist und das Mikroskop besonders für eine langandauernde Beobachtung geeignet ist. Außerdem ist bei einem derartigen Mikroskop die Position des Augenpunktes so präzise und einfach einstellbar, daß die Freiheit in der Anwendung und in der Anbringung von Zusatzgeräten sehr hoch ist.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist das erste, zweite, dritte und/oder vierte optische Element als Prisma ausgebildet.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung weist das optische System ein in einem Tubusrahmen gehaltenes, lichtteilendes Prisma, das den vom vierten optischen Element eintretenden Lichtstrahl in zwei Lichtstrahlen teilt, ein in dem Tubusrahmen gehaltenes Prisma, das einen der durch das Prisma geteilten Lichtstrahlen zu einem Okularsystem und ein in dem Tubusrahmen gehaltenes Prisma, das den anderen der durch das Prisma geteilten Lichtstrahlen zu einem anderen Okularsysteem führt, auf.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, daß das optische System eine mit einem Tragrahmen und dem Tubusrahmen verbundene Feder und eine Schraube, die in den Tragrahmen eingeschraubt ist und elastisch pressend einen Teil des Tubusrahmen mit einer vorbestimmten Kraft haltert, um eine unbeabsichtigte Bewegung des Tubusrahmen zu

verhindern, aufweist, wobei der Tubusrahmen durch die gemeinsame Wirkung der Feder und der Schraube in bezug auf den Tragrahmen in einer Winkelstellung gehalten wird.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, daß das optische System ein Schaltorgan aufweist, das gleitend auf dem Tragrahmen gelagert ist und mit einem optischen Glied versehen ist, das zur Führung eines Teils des in das optische Element eintretenden Lichtes zu einem fotografischen System geeignet ausgebildet ist, wobei das Licht nur zum ersten optischen Element geführt wird, wenn das Schaltorgan in eine erste Stellung bewegt worden ist, und das Licht sowohl zu dem ersten optischen Element und zu dem fotografischen System geführt wird, wenn das Schaltorgan in eine zweite Position geschaltet worden ist.

Als weitere Lösung der gestellten Aufgabe wird ein optisches System für neigungswinkelverstellbare Mikroskoptuben vorgeschlagen, das erfindungsgemäß ein erstes Element zur rechtwinkligen Umlenkung des Lichtstrahles des eintretenden Lichtes, ein zweites optisches Element zur zweimaligen rechtwinkligen Umlenkung des vom ersten optischen Element eintretenden Lichtstrahles, ein drittes optisches Element zur rechtwinkligen Umlenkung des vom zweiten optischen Element eintretenden Lichtes und zu dessen Ausrichtung in die gleiche Richtung, in der der Lichtstrahl in das erste optische

Element eintritt, aufweist, und daß das zweite optische Element um die optische Achse des in das zweite optische Element eintretenden Lichtes drehbar gelagert angeordnet ist und daß das dritte optische Element so gelagert und angeordnet ist, daß es in Abhängigkeit von der Drehung des zweiten optischen Elementes um die optische Achse des in das dritte optische Element eintretenden Lichtstrahles um einen in bezug auf den Drehwinkel des zweiten optischen Elementes doppelt so großen Drehwinkel drehbar ist.

In der Zeichnung ist der Gegenstand der Erfindung beispielsweise dargestellt, und zwar zeigt

F i g. 1 eine Ausführungsform des optischen Systems für neigungswinkelverstellbare Mikroskoptuben in einer schematischen Ansicht,

Fig. 2 eine weitere Ausführungsform des optischen Systems für neigungswinkelverstellbare Mikroskoptuben in einer schematischen Ansicht,

F i g. 3 das optische System gemäß Fig. 2 in einer konkreten Ausführungsform mit einer Prismen-Dreh- und -Verbindungeinrichtung in einer senkrechten Schnittdarstellung,

F i g. 4 das optische System gemäß Fig. 3 in einer weiteren Schnittdarstellung gemäß Linie IV-IV in Fig. 3,

Fig. 5 das optische System gemäß Fig. 3 in einer weiteren Schnittdarstellung gemäß Linie V-V in Fig. 3, und

Fig. 6 eine weitere Ausführungsform einer Prismen-Dreh- und -Verbindungseinrichtung in Anwendung in einem weiteren, in Fig. 1 durch gestrichelte Linien angedeuteten optischen System in einer schematischen Schnittdarstellung.

In Fig. 1 ist mit 1 ein Objektiv bezeichnet, mit 2 ein Prisma als erstem optischen Element zur rechtwinkligen Umlenkung des Lichtstrahles des eintretenden Lichtes nach Durchgang durch das Objektiv 1, mit 3 ein Prisma als zweitem optischen Element, das seitlich vom Prisma 2 angeordnet ist und zur zweimaligen rechtwinkligen Umlenkung des vom Prisma 2 eintretenden Lichtes dient und den Lichtstrahl parallel zum Eintrittsstrahl in umgekehrter Richtung in einer Stellung, bei der die optischen Achsen verschoben sind, ausstrahlt, mit

4 ein Prisma als drittem optischen Element, das teilweise dem Prisma 3 gegenüberliegend so angeordnet ist, daß es das vom Prisma 3 eintretende Licht zweifach rechtwinklig umlenkt, wobei das Licht parallel zum Eintrittsstrahl in umgekehrter Richtung in einer Stellung, in der die optisdien Achsen verschoben und um die Achse Al des eintretenden Lichtstrahles gedreht sind, ausgestrahlt wird, mit

5 ein Prisma als viertem optischen Element, das dem Prisma 2 gegenüberliegend angeordnet ist und den vom Prisma 4 eintretenden Lichtstrahl rechtwinklig umlenkt und diesen in die gleiche Richtung, in der der Lichtstrahl in das Prisma 2 eintritt, ausrichtet und so angeordnet

ist, daß es um die Achse A2 des eintretenden Lichtes drehbar ist, mit 6 ein lichtstrahlteilendes Prisma zur Teilung des vom Prisma 5 eintretenden Lichtes in einen-Lichtstrahl für ein linkes Auge und in einen Lichtstrahl für ein rechtes Auge, mit 7 ein Prisma zur rechtwinkligen Umlenkung des Lichtstrahles für das linke Auge, mit 8 ein Okular, mit 9 ein Prisma zur rechtwinkligen Umlenkung des Lichstrahles für das rechte Auge und mit 10 ein Okular bezeichnet.

Bei dieser Ausführungsform sind die Prismen 2,3,4 und 5 in einer Ebene angeordnet, die sich in der Horizontalrichtung der vorderen Oberfläche des Mikroskopkörpers erstreckt, und die Anordnung der Prismen 2 und 3 und der Prismen 4 und 5 sind symmetrisch zueinander, wobei die Achse Al des in das Prisma 4 eintretenden Lichtstrahls die Symmetrieachse bildet. Das lichtstrahlteilende Prisma 6 und die Prismen 7 und 9 bilden an sich bekannte binokulare Tuben und sind so ausgebildet, daß, wenn der Neigungswinkel dieser binokularen Tuben verändert wird, während sich die Prismen 4 und 5 gemeinsam um die Achse Al des eintretenden Lichtes drehen, das Prisma 5 darüber hinaus um einen doppelt so großen Drehwinkel um die Achse A2 des eintretenden Lichtes gedreht wird.

Bei der voranstehend beschriebenen Ausführungsform wird das Licht nach Durchtritt durch das Objektiv in der durch die Pfeile in Fig. 1 angedeuteten Weise durch die Okulare 8 und 10 geführt,und das Objektbild

kann betrachtet werden. In diesem Falle wird das Objektbild durch über eine Anzahl von Reflektionen betrachtet und daher bleibt die ursprüngliche Stellung des Objektbildes erhalten. Bei einer Verstellung des Neigungswinkels der binokularen Tuben in Verbindung mit den Prismen werden die Prismen 4 und 5 um den gleichen Winkel wie die Tuben um die Achse Al des eintretenden Lichtes gedreht, wobei gleichzeitig das Prisma 5 in der gleichen Drehrichtung um einen doppelt so großen Drehwinkel wie der Drehwinkel des Prismas 4 um die Achse A2 des eintretenden Lichtes gedreht wird, so daß das Bild im Sichtfeld stationär gehalten wird.

Fig. 2 zeigt eine weitere Ausführungsform, in der Übertragungslinsen zwischen den einzelnen Prismen zur Übertragung des Bildes angeordnet sind. Dabei ist mit Ll eine konvexe Linse bezeichnet, die zwischen den Prismen 2 und 3 angeordnet ist und zur Abbildung eines Zwischenbildes des Objektives 1 in einer Position Null im Prisma 3 dient. Die konkave Linse L2 und die konvexe Linse L3 sind zwischen den Prismen 3 und 4 angeordnet und die Linse L4 als geklebte konvexe Linse ist zwischen den Prismen 4 und 5 so angeordnet, daß das in der Position Null abgebildete Zwischenbild über diese Linse in die vordere Brennpunktsposition der Okulare 8 und 10 abgebildet wird.

In diesem Falle wird in gleicher Weise wie bei der voranstehend beschriebenen Ausführungsform, wenn

der Neigungswinkel der Tuben verändert wird, das Abbild im Sichtfeld stationär gehalten und seine Stellung wird nicht verändert, sondern das Bild im Sichtfeld wird als aufrechtes Bild dargestellt und wird besonders brauchbar und vorteilhaft. Bei dieser Ausführungsform ist der Vergrößerungsfaktor der Übertragungslinsen eins. Die Möglichkeit bei dieser Ausführungsform, das Abbild im Sichtfeld als aufrechtes Bild durch einmalige Zwischenabbildung des Abbildes innerhalb des optischen Systems darzustellen, ist insbesondere bei Einsatz des Mikroskopes zur Erkennung von Mustern im Bereich der Halbleiterherstellung unverzichtbar, jedcch können die Übertragungslinsen für den Fall, daß das Abbild im Sichtfeld auch ein umgedrehtes Bild sein kann, so angeordnet sein, daß das Abbild ohne Ausbildung eines Zwischenbildes abgebildet wird.

Die Anwendung eines Dreh- und Verbindungsmechanismus der Prismen 4 und 5, wie er voranstehend anhand der Ausführungsform gemäß Fig. 2 beschrieben worden ist, wird nachstehend anhand der Fig. 3 bis 5 dargestellt. Dabei ist mit 11 ein Mikroskoptubustragrahmen, der das Prisma 2, die Linse Ll und das Prisma 3 trägt und diese lösbar in einem (in der Zeichnung nicht dargestellten) Mikroskopkörper über ein Paßteil 11a anordnet, bezeichnet.

Mit 12 ist ein fotografischer Adapter, der in den Mikroskoptubustragr ahmen 11 eingepaßt ist, mit 13 ein Schaltorgan, das in Richtung der Pfeile in den Fig. 3 und 5

gleitbar angeordnet und mit einem Halbprisma oder einem Halbspiegel 13a und einem Prisma 13b zur Führung des Lichtstrahles nach Durchtritt durch das Objektiv 1 zum Prisma 2 und zum fotografischen Optik-System und mit einem Deckglas, das durch die Durchbrechung 13c gehalten ist und einem Schaltorgangriff 13d zur Führung des gleichen Lichtes nur durch das Prisma 2 durch entsprechende Schaltung versehen ist, mit 14 ein drehbarer Zylinder, der drehbar in dem Tubustragrahmen 11 gelagert und mit den Linsen L2 und L3 versehen ist, mit 15 der Tubusrahmen, der das Prisma 4 trägt und so auf dem Tubustragrahmen 11 gelagert ist, daß der Tubusrahmen 15 in Wirkverbindung mit dem drehbaren Zylinder 14 drehbar ist, mit 16 ein drehbar am Tubusrahmen 15 gelagerter Linsenrahmen, der an seiner äußeren Randoberfläche eine zahnradartige Ausgestaltung 16a aufweist und auf seiner Innenseite die Linse L4 und an seinem einen Ende das Prisma 5 trägt, bezeichnet.

Das Zwischenzahnrad 17 ist drehbar an dem Tubusrahmen 15 gelagert und kämmt mit einer Zahnausgestaltung lib, die an der unteren äußeren Oberfläche des Tragrahmens 11 konzentrisch mit dem drehbaren Zylinder 14 angeordnet ist. Das Zwischenzahnrad 18 ist drehbar am Tubusrahmen 15 angeordnet und kämmt mit dem Zwischenrad 17 und der zahnradartigen Ausgestaltung 16a des drehbaren Linsenrahmens 16 und weist dieselbe Anzahl von Zähnen wie das Zwischenrad 17 auf.

Die Feder 19 ist zwischen den Tubustragrahmen 11 und den Tubusrahmen 15 gespannt angeordnet und die Schraube 20 ist in den Tragrahmen 11 geschraubt und preßt den Tubusrahmen 15 so gegen die Seitenwand, daß dieser nicht unbeabsichtigt bewegt wird.

Aufgrund der voranstehend beschriebenen Dreh- und Verbindungmechanismen wird bei einer Betrachtung durch die Okulare 8 und 10, wenn der Mikroskoptubus beispielsweise im Gegenuhrzeigersinn aus der in Fig.

4 dargestellten Position gedreht wird, sich der Tubusrahmen 15 im Gegenuhrzeigersinn um seine Mittelachse zusammen mit dem drehbaren Zylinder 14 drehen, während sich in diesem Falle das Zwischenzahnrad 17 dreht, während es ebenfalls im Gegenuhrzeigersinn um die gleiche Mittelachse rotiert. Daher wird sich das Zwischenzahnrad 18 im Uhrzeigersinn drehen, während es ebenfalls im Gegenuhrzeigersinn um die gleiche Mittelachse rotiert. Als Ergebnis wird sich der umlaufende Tubusrahmen 16 während der Rotation im Gegenuhrzeigersinn um die gleiche Mittelachse ebenfalls im Gegenuhrzeigersinn drehen. Während sich die Linsen L2 und L3, das Prisma 4, die Linse L4 und das Prisma 5 im Gegenuhrzeigersinn in Verbindung mit dem Tubusrahmen 15 um die Mittelachse des drehbaren Zylinders drehen, drehen sich daher die Linse L4 und das Prisma 5 gleichzeitig im Gegenuhrzeigersinn um einen doppelt so großen Drehwinkel um die Mittelachse des umlaufenden Rahmens 16. Der Tubusrahmen 15

wird dabei im unteren Teil durch den Trägerteil lic des Tragrahmens 11 getragen, wobei der Tubusrahmen 15 an der Feder 19 aufgehängt gehalten ist und daher der Tubusrahmen auch durch die gleichzeitige Druckwirkung der Schraube 20 gegen den Tubusrahmen 15 stabil gehalten wird.

Die voranstehend beschriebenen Ausführungsformen wurden anhand eines binokularen Tubus dargerstellt und erläutert. Der Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist aber auch bei einem Mikroskop anwendbar, das lediglich mit einem Einzelbeobachtungstubus versehen ist. Auch kann das Prisma 2 bei Drehung um 90° aus der dargestellten Position ein optisches System derart bilden, daß das vom Objektiv eintretende Licht vertikal auf die Rückseite einer Papieroberfläche auftrifft. In diesem Fall ist es notwendig, daß das Prisma 5 ebenfalls um 90° gedreht wird. Weiterhin können anstelle der Prismen, die das erste, zweite, dritte und vierte optische Element bilden, verwendet werden. Die Anordnung der Übertragungslinsen ist ebenfalls nicht auf die voranstehenden Ausführungsformen beschränkt, sondern auch eine Variation von deren Anordnung liegt im Rahmen der vorliegenden Erfindung.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung, wie diese durch die gestrichelten Linien in Fig. 1 dargestellt ist, kann anstelle des Prismas 4, das das dritte optische Element und anstelle des Prismas 5, das das vierte optische Element darstellt, ein Prisma

zur rechtwinkligen Umlenkung des vom zweiten optischen Element 3 her eintretenden Lichtstrahles vorgesehen werden, wobei das Prisma 21 den Lichtstrahl in die gleiche Richtung ausrichtet, in der der Lichtstrahl in das erste optische Element 2 eintritt. Mit dieser Ausgestaltung können ebenfalls die gestellte Aufgabe gelöst und die gleichen Vorteile erreicht werden. Dabei ist bei dieser Ausgestaltung notwendig, daß während der gemeinsamen Drehung der Prismen 3 und 21 um die Achse des vom Prisma 2 zum Prisma 3 ausgesandten Lichtstrahles das Prisma 21 um einen doppelt so großen Drehwinkel um die optische Achse Al gedreht wird.

In Fig. 6 ist der Dreh- und Verbindungsmechanismus für die Prismen 3 und 21 dargestellt, so wie sie in dieser Ausführung angeordnet werden. Dabei wird auf dem Mikroskoptubustragrahmen 11 drehbar ein Drehzylinder 22 angeordnet, der sich konzentrisch und verbunden mit dem Tubusrahmen 15 dreht und an seinem einen Ende das Prisma 3 trägt. Auf dem Drehzylinder 22 ist drehbar ein drehbarer Linsenrahmen 23 angeordnet, der einen zahnradartigen Teil 23a auf seiner äußeren Randoberfläche aufweist und in seinem Innenraum eine Ubertragungslxnse und an seinem einen Ende das Prisma 21 trägt. Der zahnradartige Teil 23a ist über Zwischen-Zahnräder 17 und 18 (wie sie in Fig. 4 dargestellt sind) mit einem entsprechend ausgebildeten zahnradartigen Teil 22a verbunden, der auf der äußeren Randoberflä-

ehe des drehbaren Zylinders 22 angeordnet ist. Wenn der Tubusrahmen 15 um seine Mittelachse zusammen mit dem drehbaren Zylinder 22 gedreht wird, wird das Prisma 3 mit dem drehbaren Zylinder gedreht und der drehbare Linsenrahmen 23 wird während seiner Rotation um die Drehachse des drehbaren Tubusrahmens 15 um einen doppelt so großen Drehwinkel um seine Mittelachse gedreht. Die anderen Ausbildungsmerkmale der Arbeitsvorgänge der anderen Teile des in der Fig. 6 dargestellten Mechanismus entsprechend den bereits voranstehend beschriebenen Ausführungsformen. Ein wesentlicher Vorteil der Ausführungsform gemäß Fig. 6 besteht darin, daß die Einheit wesentlich vereinfacht aufgebaut werden kann, wobei diese Vereinfachungen ebenfalls im Rahmen der vorliegenden Erfindung liegen.

Claims (7)

DIPL.-ING. J. RICHTER PATtNTANWALTE EUROPEAN PATENT ATTORNEYS EUROP PATENT VERTRETER MANDATA1RES EN BREVETS EUROPEENS D-2000 HAMBURG 36 27.6.1985 NEUER WALL 10 @ (0 40) 34 00 45 34 00 56 TELEX 2163551 INTU D TELEGRAMME: INVENTIUS HAMBURG IHR ZEICHEN/YOUR FILE UNSER ZEICHEN/OUR FILE 0. 85208-T.-3621 Anmelder: Olympus Optical Co., Ltd., Tokyo/Japan Titel : Optisches System für neigungswinkelverstellbare Mikroskoptuben. Patentansprüche \

1. Optisches System für neigungswinkelverstellbare Mikroskoptuben,
dadurch gekennzeichnet,

daß das optische System ein erstes optisches Element (2) zur rechtwinkligen Umlenkung des Lichtstrahls des eintretenden Lichtes, ein zweites optisches Element (3) zur zweimaligen rechtwinkligen Umlenkung des vom ersten optischen Element (2) eintretenden Lichtstrahles, ein drittes optisches Element (4) zur zweimaligen rechtwinkligen Umlenkung des vom zweiten optischen Element (3) eintretenden Lichtstrahles und ein viertes optisches

DEUTSCHE BANK AG HAMBURG (BLZ 200 700 00) 610055 POSTSCHECKAMT HAMBURG (BLZ 200 100 20) 2620 80-201

Element (5), das zur rechtwinkligen Umlenkung des vom dritten optischen Element (4) eintretenden Lichtstrahles und zu dessen Ausrichtung in die gleiche Richtung, in der der Lichtstrahl in das erste optische Element (2) eintritt, angeordnet ist, aufweist und daß das dritte optische Element (4) um die optische Achse (Al) des in das dritte optische Element (4) eintretenden Lichtstrahles drehbar gelagert angeordnet ist, und daß das vierte optische Element (5) so gelagert und angeordnet ist, daß es in Abhängigkeit von der Drehung des dritten optischen Elementes (4) um die optische Achse (A2) des in das vierte optische Element (5) eintretenden Lichtstrahles um einen in bezug auf den Drehwinkel des dritten optischen Elementes (4) doppelt so großen Drehwinkel drehbar ist.

2. Optisches System für neigungswinkelverstellbare Mikroskoptuben nach Anspruch 1,

dadurch gekennzeichnet,
daß Übertragungslinsen (L1_/L2,L3,L4) in entsprechender Weise zwischen den ersten, zweiten, dritten und vierten optischen Elementen (2,3,4,5) angeordnet sind.

3. Optisches System für neigungswinkelverstellbare Mikroskoptuben nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,

daß das erste, zweite, dritte und/oder vierte optische

Element (2,3,4,5) als Prismen ausgebildet sind.

4. Optisches System für neigungswinkelverstellbare Mikroskoptuben nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet,

daß das optische System ein in einem Tubusrahmen (15) gehaltenes, lichtteilendes Prisma (6), das den vom vierten optischen Element eintretenden Lichtstrahl in zwei Lichtstrahlen teilt, ein in dem Tubusrahmen

(15) gehaltenes Prisma (7), das einen der durch das Prisma (6) geteilten Lichtstrahlen zu einem Okularsystem (8) und ein in dem Tubusrahmen (15) gehaltenes Prisma (9), das den anderen der durch das Prisma (6) geteilten Lichtstrahlen zu einem anderen Okularsystem (10) führt, aufweist.

5. Optisches System für neigungswinkelverstellbare Mikroskoptuben nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet,

daß das optische System eine mit einem Tragrahmen (11) und dem Tubusrahmen (15) verbundene Feder (19) und eine Schraube (20), die in den Tragrahmen (11) eingeschraubt ist und elastisch pressend einen Teil des Tubusrahmens (15) mit einer vorbestimmten Kraft haltert, um eine unbeabsichtigte Bewegung des Tubusrahmens (15) zu verhindern , aufweist, wobei der Tubusrahmen (15) durch die gemeinsame Wirkung der Feder (19) und

der Schraube (20) in bezug auf den Tragrahmen (11) in einer Winkelstellung gehalten wird.

6. Optisches System für neigungswinkelverstellbare Mikroskoptuben nach einem der Ansprüche 1 bis 5* dadurch gekennzeichnet,

daß das optische System ein Schaltorgan (13) aufweist, das gleitend auf dem Tragrahmen (11) gelagert ist und mit einem optischen Glied versehen ist, das zur Führung eines Teils des in das optische Element (2) eintretenden Lichtes zu einem fotografischen System geeignet ausgebildet ist, wobei das Licht nur zum ersten optischen Element (2) geführt wird, wenn das Schaltorgan (13) in eine erste Stellung bewegt worden ist, und das Licht sowohl zu dem ersten optischen Element (2) und zu dem fotografischen System geführt wird, wenn das Schaltorgan (13) in eine zweite Position geschaltet worden ist.

7. Optisches System für neigungswinkelverstellbare Mikroskoptuben,

dadurch gekennzeichnet,

daß das optische System ein erstes Element (2) zur rechtwinkligen Umlenkung des Lichtstrahls des eintretenden Lichtes, ein zweites optisches Element (3) zur zweimaligen rechtwinkligen Umlenkung des vom ersten optischen Element (2) eintretenden Lichtstrahles, ein drittes optisches Element (21) zur rechtwinkligen Umlenkung

des vom zweiten optischen Element (3) eintretenden Lichtes und zu dessen Ausrichtung in die gleiche Richtung, in der der Lichtstrahl in das erste optische Element

(2) eintritt, aufweist, und daß das zweite optische Element (3) um die optische Achse des in das zweite optische Element (3) eintretenden Lichtes drehbar gelagert angeordnet ist und daß das dritte optische Element (4) so gelagert und angeordnet ist, daß es in Abhängigkeit von der Drehung des zweiten optischen Elementes (3) um die optische Achse (Al) des in das dritte optische Element (4) eintretenden Lichtstrahles um einen in bezug auf den Drehwinkel des zweiten optischen Elementes

(3) doppelt so großen Drehwinkel drehbar ist.