DE3513137A1 - Mehrfach-haltevorrichtung fuer zu behandelnde, z.b. zu reinigende und nachfolgend durch vakuumaufdampfen oder kathodenzerstaeubung zu beschichtende substrate - Google Patents

Mehrfach-haltevorrichtung fuer zu behandelnde, z.b. zu reinigende und nachfolgend durch vakuumaufdampfen oder kathodenzerstaeubung zu beschichtende substrate

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DE3513137A1
DE3513137A1 DE19853513137 DE3513137A DE3513137A1 DE 3513137 A1 DE3513137 A1 DE 3513137A1 DE 19853513137 DE19853513137 DE 19853513137 DE 3513137 A DE3513137 A DE 3513137A DE 3513137 A1 DE3513137 A1 DE 3513137A1
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DE
Germany
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substrates
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coated
cleaned
grooves
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DE19853513137
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Inventor
Karl Sargans Baumann
Bernhard Balzers Bracher
Hermann Azmoos Staub
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Balzers Hochvakuum GmbH
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Balzers Hochvakuum GmbH
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Publication date
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    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/50Substrate holders

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  • Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)

Description

  • Mehrfach-Haltevorrichtung für zu behandelnde,z.B. zu reinigende
  • und nachfolgend durch Vakuumaufdampfen oder Kathodenzerstäubung zu beschichtende Substrate.
  • Die Erfindung betrifft eine Mehrfach-Haltevorrichtung für zu behandelnde, z. B. zu reinigende und nachfolgend durch Vakuumaufdampfen oder Kathodenzerstäubung zu beschichtende Substrate, vorzugsweise für fertig zugeschliffene Brillengläser, welche Halteschienen mit Nuten zur Halterung der Substrate an ihrem Rand und Anpressfedern, um die Substrate in die Nuten zu drücken, aufweist.
  • Es sind verschiedene Haltevorrichtungen für die Reinigung und die Beschichtung von Substraten,z.B. von Brillengläsern bekannt, welche diese an ihrem Rand fassen, wobei die Haltevorrichtungen nach Beladung wahlweise in die Reinigungs- oder Beschichtungseinrichtung eingesetzt werden können. Probleme ergeben sich jedoch immer wieder dadurch, dass die Substratflächen nicht vollständig bis zum Rand beschichtet werden können, weil die Haltevorrichtungen die zu beschichtenden Flächen stellenweise abdecken und also an diesen Stellen die Beschichtung verhindern. Besonders bei Brillengläsern, bei denen nicht nur auf die technisch einwandfreie Wirkung einer Beschichtung sondern auch auf das Aussehen derselben grosser Wert gelegt wird, fällt dieser Mangel ins Gewicht.
  • Es sind Beschichtungsanlagen bekannt, bei denen die Haltevorrichtungen als ebene Platten mit Ausnehmungen für die zu beschichtenden Substrate ausgebildet sind, wobei mehrere solcher Platten in ein Drehgestell der Anlage eingesetzt werden können und zusammen eine sogenannte Kalotte bilden. Haltevorrichtungen dieser Art sind im allgemeinen nur für eine bestimmte Beschichtungsanlage geeignet und Arbeitsvorgänge vor oder nach der Beschichtung erfordern deshalb gewöhnlich ein Umladen des zu behandelnden Gutes auf andere Träger, welche für die Weiterbearbeitung in anderen Geräten geeignet sind. Das Umladen bedeutet aber für einen Fabrikationsprozess einen zusätzlichen Aufwand an Arbeitszeit und stellt deshalb einen nicht unbedeutenden Kostenfaktor dar.
  • Da die einzelnen zu behandelnden Substrate wechselnde Grössen besitzen, werden oft der jeweiligen Grösse der Substrate angepasste Einzelträger verwendet, die ihrerseits in eine für diese Trägernpassend ausgestaltete Haltevorrichtung eingesetzt werden können, und letztere sind auf die Anlage, in welcher die Beschichtung oder ein anderer Arbeitsvorgang durchgeführt wird, abgestimmt. Es ist klar, dass das Arbeiten mit einem solchen System von ineinander geschachtelten Träger bzw. Haltevorrichtungen immer noch einen ziemlichen Arbeitsaufwand bedeutet.
  • Die vorliegende Erfindung hat sich nun zur Aufgabe gestellt, eine Mehrfach-Haltevorrichtung der eingangs erwähnten Art anzugeben, welche eine grössere Flexibilität in der Anwendung durch Aufnahme von Substraten unterschiedlicher Form und Grösse besitzt und eine vereinfachte Handhabung und damit Arbeitsersparnis durch nur einmaliges Einspannen und Verwendbarkeit ein-und derselben Haltevorrichtung für mehrere Arbeitsvorgänge erzielt.
  • Diese erfindungsgemässe Haltevorrichtung weist Halteschienen mit Nuten zur Halterung der Substrate an ihrem Rand und Anpressfedern, um die Substrate in die Nuten zu drücken, auf und ist dadurch gekennzeichnet, dass die Halteschienen ein Kreuz bilden, dessen vier Balken auf ihren den vier Quadranten zugewandten Seiten mit einer Nut versehen sind.
  • Man erreicht dadurch nicht nur, wie gesagt, eine erhöhte Flexibilität, indem die gleiche Halterung für verschiedenste Substratgrössen geeignet ist, und eine vereinfachte Handhabung, indem die Substrate in der qleichen Halterung nacheinander in verschiedene Bearbeitungsstationen z.B.
  • für die der Beschichtung vorangehende chemische Reinigung der zu behandelnden Oberflächen, sowie die nachfolgende Beschichtung in einer Aufdampf- oder Kathodenzerstäubungsanlage eingesetzt werden können, sondern erhält darüber hinaus noch zusätzliche Vorteile, die sich vor allem bei der Brillenglasbeschichtung zeigen.
  • Die kreuzförmige Anordnung der Halteschienen, die Raum für die aleichzeitige Halterung von vier Brillengläsern, d.h. von zwei Paaren von Brillengläsern bietet, ist nämlich besonders wirtschaftlich, da Brillengläser immer paarweise angeliefert werden. Sie bietet erhöhte Sicherheit gegen Vertauschen, im Gegensatz zu solchen Haltevorrichtungen, die drei oder fünf oder mehr Einzellinsen aufnehmen können. Vierer-Haltevorrichtungen sind auch noch klein genug, um in einer Beschichtungsanlage mit Hilfe eines passenden Gestells die übliche Kalottenform - Ausschnitt aus einer Kugelfläche - nachbilden zu können, so dass alle zu beschichtenden Flächen von einer im Krümmungsmittelpunkt der Kalotte angeordneten Dampfquelle annähernd gleich grossen Abstand haben und damit gleichmässig beschichtet werden. Die erfindungsgemässe Haltevorrichtung in der Form eines aus vier Balken gebildeten Koordinatenkreuzes gestattet die Aufnahme von Brillenglaslinsen verschiedener Grössen und das Auswechseln der Gläser bzw. das Wenden, um ggf. beide Seiten zu beschichten, ist sehr einfach.
  • Vor allem aber wird eine weitestgehend abschattungsfreie randlose Beschichtung ermöglicht.
  • In der anliegenden Zeichnung zeigt: Figur 1 eine Draufsicht auf ein Ausführungsbeispiel der Haltevorrichtung gemäss Erfindung, wobei zwei eingelegte Brillengläser gezeichnet und zwei Plätze freigelassen sind; Figur 2 eine Seitenansicht nach der Linie BB der Haltevorrichtung nach Figur 1; Figur 3 eine Seitenansicht nach der Linie AA derselben Vorrichtung, wobei im kreisförmigen Ausschnitt der Figur 3 die Stosstelle zwischen einem der die Quadranten bildenden Balken und einer einaeleqten Brillenglaslinse vergrössert dargestellt ist.
  • In der Zeichnung sind die vier Balken des Koordinatenkreuzes der Haltevorrichtung mit la bis ld bezeichnet. Diese vier Balken sind miteinander verschweisst und zwar soll die Schweisstelle eine glatte Oberfläche besitzen und möglichst frei von Löchern und Hohlräumen sein, um in den Wasch- und Reinigungsanlagen mit mehreren Trögen das Verschleppen von in Hohlräumen und Vertiefungen der Schweissnähte abgesetzten Chemikalien möglichst zu vermeiden. Das (in der Zeichnung) obere bzw. untere Ende der beiden Vertikalbalken la und lc ist mit einem zum Einsetzen der Haltevorrichtung z.B. in eine Waschanlage, Beschichtungsanlage oder andere Bearbeitungsvorrichtung geeigneten Endstück 2 versehen, welches im vorliegenden Ausführungsbeispiel als Vierkant ausgebildet ist. Selbstverständlich muss auch die Aufnahmevorrichtung in der betreffenden Bearbeitungsstation als Gegenstück dazupassend ausgebildet sein.
  • Die beiden waagrechten Balken lb und ld des Koordinatenkreuzes dagegen sind mit je einem plattenförmigen Flansch 3 verbunden, wobei die Flansche 3 die Federn 4a bis 4d tragen, welche die Aufgabe haben, die in die Nut 5 der Balken eingelegten Brillenglaslinsen oder sonstiaen zu beschichtenden Substrate gegen die Balken anzudrücken und so festzuhalten. Auch diese Federn besitzen einen nutenförmigen Querschnitt, welcher so bemessen ist, dass die Gläser zwar zuverlässig gehaltert, aber gerade nur an ihrem angeschliffenen Rand umfasst werden, ohne dass die eiaentliche Linsenfläche abgedeckt wird . Die Anpressfedern sind elastisch und gestatten dadurch das Einsetzen verschiedener Linsengrössen. Trotzdem wird dank der starr miteinander verschweissten Balken eine sehr stabile Halterung erreicht, die ein sicheres Handhaben und auch Transportieren ermöglicht, ohne dass die Gefahr besteht, dass die Gläser dabei herausfallen.
  • Es ist klar, dass die Einzelheiten des beschriebenen Ausführungsbeipiels abgewandelt werden können, ohne vom Grundgedanken der Erfindung abzuweichen. Die Endstücke 2 können z.B. auch anders (in an sich bekannter Weise) als Teile von Befestigungseinrichtungen ausgebildet werden. Ebenso können die Anpressfedern 4 abgewandelt und die Nuten in den Balken und Federn den jeweils zu verarbeitenden Substraten - Brillengläser, Linsen, Filterplatten oder dgl. - im Einzelfalle besonders angepasst werden.

Claims (2)

  1. PATENTANSPRUECHE 1. Mehrfach-Haltevorrichtung für zu behandelnde,z.B. zu reinigende und nachfolgend durch Vakuumaufdampfen oder Kathodenzerstäubung zu beschichtende Substrate, vorzugsweise für fertig zugeschliffene Brillengläser, welche Halteschienen mit Nuten zur Halterung der Substrate an ihrem Rand und Anpressfedern, um die Substrate in die Nuten zu drücken,aufweist, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass die Halteschienen ein Kreuz bilden, dessen vier Balken (la - ld) auf ihren den vier Quadranten zugewandten Seiten mit einer Nut (5) versehen sind.
  2. 2. Mehrfach-Haltevorrichtung nach Patentanspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h ne t, dass jedem der Quadranten je eine Anpressfeder (4a - 4d) von nutförmigem Querschnitt zugeordnet ist.
DE19853513137 1984-05-30 1985-04-12 Mehrfach-haltevorrichtung fuer zu behandelnde, z.b. zu reinigende und nachfolgend durch vakuumaufdampfen oder kathodenzerstaeubung zu beschichtende substrate Withdrawn DE3513137A1 (de)

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NL (1) NL8501220A (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4943363A (en) * 1989-04-14 1990-07-24 Leybold Aktiengesellschaft Cathode sputtering system

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63301U (de) * 1986-06-18 1988-01-05
EP0385157A1 (de) * 1989-03-01 1990-09-05 Balzers Aktiengesellschaft Substrathalter zur Aufnahme von zu beschichtenden Gläsern und kalottenförmiger Substratträger zur Aufnahme von Substrathaltern
JPH02131701U (de) * 1989-04-03 1990-11-01
GB8911566D0 (en) * 1989-05-19 1989-07-05 Sun Ind Coatings Plating system
DE3921671A1 (de) * 1989-07-01 1991-01-03 Leybold Ag Linsenhalterung, insbesondere halterung fuer in einer hochvakuum-aufdampfanlage oder -sputteranlage zu beschichtende brillenglaslinsen
CH679838A5 (en) * 1990-05-11 1992-04-30 Balzers Hochvakuum Glass lens mounting ring - supporting lens at edges for coating
DE4232902C2 (de) * 1992-09-30 2001-06-28 Leybold Ag Substrathalter
DE4446179C2 (de) * 1994-12-23 2003-08-21 Leybold Optics Gmbh Halterung für scheibenförmige Substrate
US6017581A (en) * 1997-04-18 2000-01-25 Semi-Alloys Company Method for coating lenticular articles
US6972914B2 (en) * 2004-03-17 2005-12-06 Essilor International Compagnie Generale D'optique Optical lens holder
US7727581B2 (en) * 2004-03-17 2010-06-01 Essilor International Compagnie Generale D' Optique Process for applying a coating on an optical lens face and implementation system
EP1914579A1 (de) * 2006-10-18 2008-04-23 ESSILOR INTERNATIONAL Compagnie Générale d'Optique Substrathalter zur Aufnahme von zu beschichtenden Gläsern
USD785059S1 (en) * 2007-07-09 2017-04-25 Willie Leon Sapp Pottery holder
US10050009B2 (en) * 2015-09-15 2018-08-14 Semiconductor Components Industries, Llc Methods and apparatus for improved bonding

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB288297A (en) * 1927-04-05 1928-08-23 Otto Scheuchzer Improvements in and relating to supporting devices for colour screens, lenses or the like
GB306297A (en) * 1928-03-10 1929-02-21 W & J George Ltd Improvements in or relating to holding devices for lenses, prisms and similar objects
US2532971A (en) * 1947-04-12 1950-12-05 Pacific Universal Products Cor Method and apparatus for producing optical coatings
GB655856A (en) * 1948-07-14 1951-08-01 W & J George & Becker Ltd Improvements relating to optical apparatus for educational and demonstration use
GB662762A (en) * 1949-01-04 1951-12-12 James Pinder Stephenson Improvements in or relating to optical benches
US3315637A (en) * 1963-04-10 1967-04-25 United Aircraft Corp Self-centering, proportionating wafer fixture
US3336902A (en) * 1966-06-01 1967-08-22 American Optical Corp Lens holder
CH585675A5 (de) * 1973-06-13 1977-03-15 Satis Vacuum Ag
DE3028536C2 (de) * 1980-07-28 1983-01-05 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Vorrichtung zur Halterung von kreisförmigen Substratscheiben und ihre Verwendung
JPS589980A (ja) * 1981-07-08 1983-01-20 Hitachi Ltd プラネタリ形蒸着装置
US4455964A (en) * 1982-02-01 1984-06-26 Techsight Corporation Mount for handling and masking optical materials

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4943363A (en) * 1989-04-14 1990-07-24 Leybold Aktiengesellschaft Cathode sputtering system
DE3912295A1 (de) * 1989-04-14 1990-10-18 Leybold Ag Katodenzerstaeubungsanlage

Also Published As

Publication number Publication date
JPS613116A (ja) 1986-01-09
NL8501220A (nl) 1985-12-16
GB8512469D0 (en) 1985-06-19
FR2566433B1 (fr) 1988-07-29
FR2566433A1 (fr) 1985-12-27
CH659485A5 (de) 1987-01-30
GB2159541B (en) 1987-08-19
GB2159541A (en) 1985-12-04
JPH0151163B2 (de) 1989-11-01
US4643128A (en) 1987-02-17

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