DE3512196C2 - - Google Patents

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DE3512196C2 DE19853512196 DE3512196A DE3512196C2 DE 3512196 C2 DE3512196 C2 DE 3512196C2 DE 19853512196 DE19853512196 DE 19853512196 DE 3512196 A DE3512196 A DE 3512196A DE 3512196 C2 DE3512196 C2 DE 3512196C2
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Wilhelm Dr. 6236 Eschborn De Senske
Norbert Dr. Marschall
Roland 6000 Frankfurt De Herkert
Harald 6234 Hattersheim De Winter
Walter 6239 Kriftel De Fabinski
Rudolf 6000 Frankfurt De Jezdinski
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3471396A (en) * 1967-04-10 1969-10-07 Ibm R.f. cathodic sputtering apparatus having an electrically conductive housing
DE2044519A1 (de) * 1970-09-08 1972-03-09 Siemens Ag Vorrichtung zum Herstellen von Kon taktschichten an den Enden elektrischer Bauelemente
GB1570380A (en) * 1978-05-30 1980-07-02 Standard Telephones Cables Ltd Electroless plating
GB2042488A (en) * 1979-02-05 1980-09-24 Energy Conversion Devices Inc Electrical conductor and method of making the same

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