DE3413420C2 - Sensor zur Ermittlung von Bildfehlern - Google Patents
Sensor zur Ermittlung von BildfehlernInfo
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- G—PHYSICS
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- G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
Abstract
Im Unterschied zu einem bekannten Hartmann-Wellenfrontsensor wird mit diesem Sensor jede Einzelabbildung einer Unterapertur hochauflösend erfaßt und die relative geometrische Lage der Einzelabbildungen zueinander errechnet. Der Sensor ist daher in der Lage, Bildfehler auch an flächenhaft strukturierten Bildobjekten zu erkennen.
Description
Die Erfindung betrifft einen Sensor für eine, ein optisches Phasenkorrekturelement aufweisende adaptive
Optik zur Ermittlung von Bildfehlern eines abgebildeten strukturierten Objektes, mit einer in Unteraperturen
aufgeteilten Eintrittsöffnung zur Erzeugung von mehreren Einzelabbildungen des Objektes sowie den Unteraperturen
jeweils zugeordneten optoelektrischen Detektoren.
Eine Einrichtung der obengenannten Art ist in der US-PS 41 41 652 beschrieben und als Hartmann-Sensor
bekannt. Der Sensor dient zur Erkennung von Störungen ebener Wellenfronten bzw. Kugelwellenfronten,
z. B. eines Laserlichtstrahles oder einer punktförmigen Lichtquelle, beim Durchtritt durch die Atmosphäre. Der
Sensor beruht auf dem Prinzip, die Apertur der adaptiven Optik in Unteraperturen aufzuteilen, deren Größe
so bemessen ist, daß die darin auftretenden optischen Störungen sich nur in Form von Verkippungen der optischen
Achse bemerkbar machen. Hierzu wird der von einer Unterapertur erfaßte Laserstrahl bzw. die punktförmige
Lichtquelle auf jeweils einen der Unterapertur zugeordneten Quadranten-Detektor fokussiert und die
Abweichung des darauf abgebildeten Lichtfleckes von der optischen Achse gemessen. Die auf diese Art vorgenommene
Absolutmessung der Verkippung der Strahlachse in jeder einzelnen Unterapertur erfordert einen
hohen Aufwand an optischer und mechanischer Genauigkeit und ist zudem nur für den Spezialfall ebener bzw.
Kugelwellenfronten, also z. B. einer Laserstrahlung oder eines Sternes als Lichtquelle verwendbar.
Fin anderer Wellenfrnntsensor. bei dem das Licht zur
Vermeidung von Nichtlinearitäten moduliert wird und bei dem ein Detektorarray zur Anwendung kommt, ist
aus der US-PS 44 41 019 bekannt. Auch hiermit sind lediglich Störungen ebener Wellenfronten erkennbar.
Weiterhin ist aus »Proceedings of the IEEE«, Vol. 66,
No. 6, 1978, Seiten 665—667 ein Hartmann-Sensor bekannt, bei dem zur Erfassung von lokalen Krümmungen
ebener Wellenfronten die Verwendung eines Vielelementedetektors sowie von Unteraperturen, die kIHn gcgen
lokale Wellenfrontkrünimungen sind, vorgeschlagen
werden. Auch hierbei geht es um Anwendungsfälle, bei denen die Quelle einer Wellenfront zumindest in
einem schmalen Bereich unstrukturiert ist, so daU tatsächlich nur eine einzige VVellenfront erfaßt und ausgewertet
werden kann.
Es ist daher Aufgabe der Erfindung, einen Sensor der oben genannten Art zu schaffen, der sich zur Anwendung
für flächenhaft strukturierte Bildobjekte eignet. Diese Aufgabe wird durch einen Sensor gemäß Hatentanspruch
1 gelöst.
Im Gegensatz zu dem bekannten Hartmann-Wellcnfrontsensor
wird mit diesem Sensor jede Einzelabbildung einer Unterapertur auflösend erfaßt, so daß die
Struktur des Objektes erkennbar wird. Aus informationstheoretischen
Gründen muß der Detektor mindestens 3x3 Detektorelemente je Unterapertur aufweisen.
Die relative geometrische Lage der Einzelabbildungen zueinander wird dann mittels eines an sich bekannten
Korrelationsrechners (d. h. eines weitgehend lcstverdrahteten Rechners, der nur zur Bestimmung der
Korrelation von Signalen verwendet werden kann) errechnet. Der Sensor ist daher nicht mehr auf enge Strahlenbündel
oder punktförmige Lichtquellen angewiesen. Ein Ausführungsbeispiel eines derartigen Sensors
wird im folgenden an Hand einer schematischen Darstellung beschrieben:
Das Licht, weiches von einem abzubildenden Objekt
stammt und eine turbulente Atmosphäre durchlaufen hat, wird von einem nicht dargestellten abbildenden optischen
System, z. B. einem Teleskop mit einer adaptiven Optik, gesammelt. Eine charakteristische Größe für den
Einfluß von atmosphärischen Turbulenzen auf die l'hasenfront
einer elektromagnetischen Welle ist der sog. Friedsche Kohärenzdurchmesser r» in der Atmosphäre.
welcher den Durchmesser angibt, bei dem die Phascnfront
im quadratischen Mittel um 1 rad von der idealen Wellenfront abweicht. Die Eingangsapertur von astronomischen
Geräten oder ähnlichen optischen Systemen ist im allgemeinen größer als der erwähnte Friedsche
iCohärenzdurchmesser r0, so daß Störungen der Wellcnfronten
erfaßt werden, welche zu Bildfehlern führen. Die Korrektur dieser Bildfehler geschieht mittels an sich
bekannter und deshalb nicht näher dargestellter aduptiver optischer Systeme, welche z. B. von John W. Hardy,
»ACTIVE OPTICS: A NEW TECHNOLOGY FOR THE CONTROL OF LIGHT«, Proceedings öl ihe
IEEE, Vol. 66, No. 6, June 1978, beschrieben werden. Zur
Erkennung der Bildfehler und zur Steuerung der adaptiven Optik wird durch den nun weiter beschriebenen
Sensor die Eingangsapertur durch ein l.inscnarray I aufgeteilt. Dieses Linsenarray 1 erzeugt mittels unmittelbar
nebeneinander angeordneter Ein/cllinsen 1.1 ... \.n eine Anzahl π Einzelabbildungen des Objektes. Die
Anzahl π der Linsen 1.1 ... l.n ist so bemessen, daß jede
b5 der Linsen Licht aus einer Untcrapertur des optischen
Systems sammelt, die einem Durchmesser von /·,. ( = Friedscher Kohärenzdurchmesscr) in der Hingangsanertur
entspricht, also von etwa 0,'j bis 2,1) mm.
Das Linsenarray 1 kann beispielsweise durch eine matrixlormige
Aneinanderreihung von sog. Stablinsen (Selfoc-Linsen) realisiert werden. Die damit erzeugten
Einzelbilder werden von einem Objektiv 2 auf ein sclbstabtastendes Detektorarray 3, z. B. ein CCD, abgebildet.
Das Objektiv 2 dient zur geometrischen Anpassung der Einzelbilder an die Detektorfläche. Das Detektorarray
3 isi so bemessen, daß jedes der von den Linsen 1.1 ... \.n stammenden Bilder auf eine Fläche von etwa
1Ox 10 Detektorelemente abgebildet wird.
Die relative geometrische Lage dieser Einzelbilder zueinander ist ein Maß für die Winkelablage in den
Unteraperturen aufgrund von atmosphärischen Störungen. Diese Winkelablage wird von einem Korrelationsrechner 4 aus der elektronischen Signaifolgesequenz
des Detektorarrays 3 gewonnen. Korrelationsrechner und entsprechende Rechenmethoden sind beispielsweise
aus ]chn Eldon, »CORRELATION ... A POWERFUL TECHNIQUE FOR DIGITAL SIGNAL PROCESSING«
TRW LSI PRODUCTS, Dezember 1980, bekannt. Aus den ermittelten Winkelablagewerten können
im weiteren entsprechende Regelsignale f~ir ein optisches
Phasenschieberelement in einem adaptiven optischen Regelkreis gewonnen werden.
Zur elektronischen Kompensation von Justierfehlern in der Sensoroptik wird über einen teildurchlässigen
Spiegel 5 ein Strichgitter 6, z. B. von der Art eines Ronchigitters,
welches mittels einer Lichtquelle 7 beleuchtet wird, über einen Kollimator 8 in den Strahlengang des
Sensors eingespiegelt. Die Korrelation der Bilder des Cutters 6, wie sie von dem Korrelationsrechner 4 des
Sensors festgestellt wird, ist dann die Sollkorrelation für die spätere Regelung der adaptiven Optik.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
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60
Claims (4)
1. Sensor für eine, ein optisches Phasenkorrekturelement
aufweisende adaptive Optik zur Ermittlung von Bildfehlern eines abgebildeten strukturierten
Objektes, mit einer in Unteraperturen aufgeteilten Eintrittsöffnung zur Erzeugung von mehreren Einzelabbildungen
des Objektes sowie den Unteraperturen jeweils zugeordneten optoelektrischen Detektoren,
gekennzeichnet durch ein die Struktur des Objektes auflösendes optoelektrisches Detektorarray
(3), auf welchem die Einzelabbildungen nebeneinander angeordnet sind, sowie durch einen
dem Detektorarray (3) nachgeschalteten Korrelaticnsrechner
(4) zur Bestimmung der relativen geometrischen Lage der Einzelabbildungen anhand der
Strukturen.
2. Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Durchmesser einer Unterapertur (1.1 bis
\.n) dem Friesischen Kohärenzdurchmesser in der
Atmosphäre entspricht.
3. Sensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Unteraperturen (1.1 bis \.n)
aus einer Vielzahl von nebeneinander angeordneten Stablinsen gebildet werden.
4. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, gekennzeichnet durch einen vor den Unteraperturen
(1.1 bis \.n) angeordneten teildurchlässigen Spiegel (5), über den ein selbstleuchtendes oder beleuchtetes
Meßraster (6) in den Strahlengang des Sensors einspiegelbar und auf dem Detektorarray (3) abbildbar
ist.
Priority Applications (4)
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Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3803353A1 (de) * | 1988-02-05 | 1989-08-17 | Truetzschler & Co | Vorrichtung zur gewinnung von messgroessen, die der dicke von in der spinnereivorbereitung anfallenden faserverbaenden, z.b. kardenbaendern o. dgl. entsprechen |
US4933872A (en) * | 1988-11-15 | 1990-06-12 | Eastman Kodak Company | Method and system for wavefront reconstruction |
DE4007321C2 (de) * | 1990-03-08 | 1993-11-25 | Diehl Gmbh & Co | Vorrichtung zur Messung der Wellenfront einer elektromagnetischen Welle |
US5146073A (en) * | 1991-05-23 | 1992-09-08 | United Technologies Corporation | Linear wavefront sensor camera with deformable mirror for recording velocity compensated images |
US6084227A (en) * | 1995-01-30 | 2000-07-04 | Rhoads; Geoffrey B. | Method and apparatus for wide field distortion-compensated imaging |
US5412200A (en) * | 1993-03-01 | 1995-05-02 | Rhoads; Geoffrey B. | Wide field distortion-compensating imaging system and methods |
US5448053A (en) * | 1993-03-01 | 1995-09-05 | Rhoads; Geoffrey B. | Method and apparatus for wide field distortion-compensated imaging |
ES2133094B1 (es) * | 1997-03-14 | 2000-05-01 | Inst De Astrofisica De Canaria | Alineamiento de superficies opticas usando medidas de gradiente y curvatura local del frente de onda. |
US6007204A (en) * | 1998-06-03 | 1999-12-28 | Welch Allyn, Inc. | Compact ocular measuring system |
DE69834324T2 (de) * | 1998-09-22 | 2007-05-03 | Fujifilm Electronic Imaging Ltd. | Verbesserungen an Bildprojektionssystemen |
US6184974B1 (en) * | 1999-07-01 | 2001-02-06 | Wavefront Sciences, Inc. | Apparatus and method for evaluating a target larger than a measuring aperture of a sensor |
US6376819B1 (en) * | 1999-07-09 | 2002-04-23 | Wavefront Sciences, Inc. | Sub-lens spatial resolution Shack-Hartmann wavefront sensing |
US7645300B2 (en) | 2004-02-02 | 2010-01-12 | Visiogen, Inc. | Injector for intraocular lens system |
CN106546326B (zh) * | 2016-09-28 | 2018-05-01 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 哈特曼波前探测器子孔径内多项模式的波前探测方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4141652A (en) * | 1977-11-25 | 1979-02-27 | Adaptive Optics Associates, Inc. | Sensor system for detecting wavefront distortion in a return beam of light |
US4309602A (en) * | 1979-11-01 | 1982-01-05 | Eikonix Corportation | Wavefront sensing by phase retrieval |
US4399356A (en) * | 1981-01-19 | 1983-08-16 | Adaptive Optics Associates, Inc. | Optical wavefront sensing system |
US4405232A (en) * | 1981-09-02 | 1983-09-20 | United Technologies Corporation | Wave front sensing device |
US4441019A (en) * | 1982-01-28 | 1984-04-03 | Itek Corporation | Wavefront sensor with astigmatic optics |
US4518854A (en) * | 1982-06-17 | 1985-05-21 | Itek Corporation | Combined shearing interferometer and Hartmann wavefront sensor |
US4508963A (en) * | 1982-09-28 | 1985-04-02 | Honeywell Inc. | Detector mismatch correction apparatus |
-
1984
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-
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GB2157427B (en) | 1987-07-15 |
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DE3413420A1 (de) | 1985-10-17 |
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US4666298A (en) | 1987-05-19 |
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