DE3382460D1 - Bearbeitungsgeraet mit einer vorrichtung zur erzeugung eines lokalisierten vakuums. - Google Patents

Bearbeitungsgeraet mit einer vorrichtung zur erzeugung eines lokalisierten vakuums.

Info

Publication number
DE3382460D1
DE3382460D1 DE8383305269T DE3382460T DE3382460D1 DE 3382460 D1 DE3382460 D1 DE 3382460D1 DE 8383305269 T DE8383305269 T DE 8383305269T DE 3382460 T DE3382460 T DE 3382460T DE 3382460 D1 DE3382460 D1 DE 3382460D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
generating
localized vacuum
machining
machining device
localized
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE8383305269T
Other languages
English (en)
Inventor
John R Lamattina
Paul Francis Petric
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Varian Semiconductor Equipment Associates Inc
Original Assignee
Varian Associates Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Varian Associates Inc filed Critical Varian Associates Inc
Application granted granted Critical
Publication of DE3382460D1 publication Critical patent/DE3382460D1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/301Arrangements enabling beams to pass between regions of different pressure
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16JPISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00Sealings
    • F16J15/002Sealings comprising at least two sealings in succession
    • F16J15/006Sealings comprising at least two sealings in succession with division of the pressure
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16JPISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00Sealings
    • F16J15/16Sealings between relatively-moving surfaces
    • F16J15/168Sealings between relatively-moving surfaces which permits material to be continuously conveyed
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/18Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/006Details of gas supplies, e.g. in an ion source, to a beam line, to a specimen or to a workpiece

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
DE8383305269T 1982-10-19 1983-09-08 Bearbeitungsgeraet mit einer vorrichtung zur erzeugung eines lokalisierten vakuums. Expired - Fee Related DE3382460D1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US43517982A 1982-10-19 1982-10-19

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE3382460D1 true DE3382460D1 (de) 1991-12-19

Family

ID=23727342

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE8383305269T Expired - Fee Related DE3382460D1 (de) 1982-10-19 1983-09-08 Bearbeitungsgeraet mit einer vorrichtung zur erzeugung eines lokalisierten vakuums.

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP0106510B1 (de)
JP (1) JPS5988819A (de)
DE (1) DE3382460D1 (de)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4837443A (en) * 1987-10-15 1989-06-06 The Perkin-Elmer Corporation Guard ring for a differentially pumped seal apparatus
US4818838A (en) * 1988-01-11 1989-04-04 The Perkin-Elmer Corporation Apparatus for preselecting and maintaining a fixed gap between a workpiece and a vacuum seal apparatus in particle beam lithography systems
FI81453C (fi) * 1988-06-22 1990-10-10 Outokumpu Oy Analysatortaetning.
JPH07245332A (ja) * 1994-03-04 1995-09-19 Hitachi Ltd 半導体製造装置および半導体装置の製造方法ならびに半導体装置
JP2007281492A (ja) * 2001-11-02 2007-10-25 Ebara Corp 半導体製造装置
US20050103272A1 (en) 2002-02-25 2005-05-19 Leo Elektronenmikroskopie Gmbh Material processing system and method
DE10208043B4 (de) * 2002-02-25 2011-01-13 Carl Zeiss Nts Gmbh Materialbearbeitungssystem und Materialbearbeitungsverfahren
JP6037741B2 (ja) 2012-09-18 2016-12-07 三菱重工工作機械株式会社 移動型真空溶接装置
DE102020120940B4 (de) * 2020-08-07 2023-12-28 Carl Zeiss Smt Gmbh Bearbeitungsanordnung, Vorrichtung, Verfahren, Spülplatte und Verwendung
CN115404470B (zh) * 2022-08-24 2023-06-30 江苏天芯微半导体设备有限公司 一种密封内衬、半导体设备平台及维护方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1515201B2 (de) * 1964-08-08 1973-04-05 Steigerwald Strahltechnik GmbH, 8000 München Vorrichtung zur materialbearbeitung mittels eines korpuskularstrahles
US3388235A (en) * 1965-12-01 1968-06-11 United Aircraft Corp Vortex pressure control device
DE2152100A1 (de) * 1971-10-19 1973-04-26 Vickers Ltd Kaskadenpumpenanordnung
DE2207090A1 (de) * 1972-02-15 1973-09-06 Hell Rudolf Dr Ing Gmbh Graviersystem zur herstellung gerasterter druckformen
WO1982002235A1 (en) * 1979-12-26 1982-07-08 Associates Varian Planar vacuum seal for isolating an air bearing
EP0109147A3 (de) * 1982-10-19 1986-04-16 Varian Associates, Inc. Geladene Teilchen Strahl-Lithographiegerät mit einer Vorrichtung zur Erzeugung eines lokalisierten Vakuums

Also Published As

Publication number Publication date
EP0106510B1 (de) 1991-11-13
EP0106510A2 (de) 1984-04-25
JPH0323631B2 (de) 1991-03-29
EP0106510A3 (en) 1986-04-16
JPS5988819A (ja) 1984-05-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE59009056D1 (de) Vorrichtung zur Erzeugung von Röntgenstrahlung mit einer Plasmaquelle.
DE3584642D1 (de) Einrichtung zum erzeugen einer dreidimensionalen kopie eines gegenstandes.
DE3667895D1 (de) Einrichtung zur erzeugung eines im wesentlichen homogenen plasmas.
DE58907210D1 (de) Verfahren zur Erzeugung einer Lackstruktur auf Halbleitermaterial mit einer sich zum Halbleitermaterial verjüngenden Öffnung.
DE58908333D1 (de) Verfahren zur erzeugung einer drehzahlproportionalen spannung mit einem resolver und schaltungsanordnung zur durchführung des verfahrens.
DE3678859D1 (de) Vorrichtung zur erzeugung weicher roentgenstrahlen.
DE69106150D1 (de) Vorrichtung zur Erzeugung einer zweiten harmonischen Welle.
DE3768119D1 (de) Vorrichtung zur auswahl einer kassette.
DE3767963D1 (de) Vorrichtung zur rueckbeschichtung eines fahrzeugteppichs.
DE69021759T2 (de) Vorrichtung zur Erzeugung einer Bewegungsinformation.
DE3382460D1 (de) Bearbeitungsgeraet mit einer vorrichtung zur erzeugung eines lokalisierten vakuums.
DE3177161D1 (de) Vorrichtung zur schrittweisen zufuehrung eines werkstueckes zu einer maschine.
DE68910883T2 (de) Vorrichtung zur Erzeugung optischer Oberwellen.
DE3885486D1 (de) Wechselrichter zur Speisung eines Verbrauchers mit einer induktiven Komponente.
DE3280219D1 (de) Verfahren zur herstellung einer halbleiteranordnung mit ausgluehen eines halbleiterkoerpers.
DE3575709D1 (de) Vorrichtung zur durchfuehrung eines rollenwechsels.
DE2933789A1 (de) Vorrichtung zur erzeugung eines einfachen seitenbandes
DE69110546D1 (de) Vorrichtung zur Erzeugung eines der Eingangsgrösse der Vorrichtung entsprechenden Stromes.
DE68919863D1 (de) Vorrichtung zur Verbesserung einer Wellenform.
DE3382398D1 (de) Geschwindigkeitskorrekturgeraet zur anwendung in einer geschwindigkeitssteuerung.
ATA221084A (de) Vorrichtung zur erzeugung einer gerichteten feststoffstroemung in wirbelschichten
DE3578365D1 (de) Vorrichtung zur erzeugung eines aderspleisses.
DE68913008D1 (de) Vorrichtung zur Halterung eines Dichtungsprofils.
DE3680291D1 (de) Vorrichtung zum festhalten an und zum bewegen entlang einer wandoberflaeche durch saugwirkung.
DE58904045D1 (de) Verfahren zur erzeugung eines vakuums.

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC.(N.

8339 Ceased/non-payment of the annual fee