DE3331264C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Ermitt­ lung eines Scharfeinstellzustandes gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.

Be einer derartigen Vorrichtung zur Ermittlung eines Scharfeinstellzustandes, wie sie beispielsweise in einer einäugigen Spiegelreflexkamera des TTL-Typs Verwendung fin­ den kann und wie sie in der DE-OS 28 46 696 gezeigt ist, erzeugt ein Objektiv ein Bild eines Objektes in einer Bildebene. Im Strahlengang hinter der Bildebene ist ein se­ kundäres Abbildungssystem angeordnet, mittels dessen von dem in der Bildebene erzeugten Bild des Objektes in einer Abbildungsebene eine Vielzahl von Sekundärbildern erzeugt werden. Die Sekundärbilder werden dabei auf lichtempfindli­ chen Elementen abgebildet, die die Relativposition der Se­ kundärbilder erfassen können. In Abhängigkeit von den fest­ gestellten Relativpositionen der Sekundärbilder erzeugen die lichtempfindlichen Elemente Ausgangssignale, auf deren Grundlage der Scharfeinstellzustand des Objektivs ermittelt werden kann. Die nach diesem sogenannten Bildversatz-Erfas­ sungsverfahren arbeitende Vorrichtung gemäß der DE-OS 28 46 696 gewährleistet eine schnalle Scharfeinstellung des Ob­ jektivs, wenn dieses aus einem stark defokussierten Zustand eingestellt werden muß. Allerdings ist die Genauigkeit der Ermittlung des Scharfeinstellzustandes relativ gering. Wenn sich das Objektiv bereits in einem Zustand nahe dem idealen Scharfeinstellzustand befindet, kann es aufgrund dieser ge­ ringen Genauigkeit zu fehlerhaften Einstellungen kommen. Darüber hinaus kann es bei der Vorrichtung gemäß der DE-OS 28 46 696 in Zusammenhang mit Objekten, die ein periodi­ sches Muster aufweisen, zu einem fehlerhaften Betrieb kom­ men.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Ermittlung eines Scharfeinstellzustandes zu schaffen, die unabhängig von der Ausgangsstellung des Objektivs eine hohe Genauigkeit bei der Ermittlung des Scharfeinstellzu­ standes gewährleistet.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 gelöst.

Erfindungsgemäß werden in der Abbildungsebene zusätzliche zweite Sekundärbilder des Objektes erzeugt, die allerdings eine geringe Unschärfe aufweisen, da die optische Weglänge der entsprechenden zweiten Sekundärstrahlenbündel verändert wird. Auf diese Weise liegen die Brennebenen der zweiten Sekundärstrahlenbündel vor bzw. hinter der Abbildungsebene. In der Abbildungsebene sind zweite lichtempfindliche Ele­ mente vorgesehen, die den Unschärfegrad der Abbildungen in der Abbildungsebene erfassen können. Eine derartige Vor­ richtung arbeitet nach dem sogenannten Bildschärfe-Ermitt­ lungsverfahren, das auch dann eine hohe Ermittlungsgenauig­ keit aufweist, wenn sich das Objektiv bereits in der Nähe des idealen Scharfeinstellzustandes befindet. Erfindungsge­ mäß ist es somit möglich, das Objektiv in Abhängigkeit von den Ausgangssignalen der ersten und/oder der zweiten licht­ empfindlichen Elemente in seinen Scharfeinstellzustand zu bringen.

In vorteilhafter Weiterbildung der erfindungsgemäßen Vor­ richtung kann vorgesehen sein, die nach dem sogenannten Bildversatz-Erfassungsverfahren ermittelten Ausgangssignale der ersten lichtempfindlichen Elemente zur Grobeinstellung des Objektivs zu verwenden und bei Erreichen eines Zustan­ des nahe dem idealen Scharfeinstellzustand die nach dem so­ genannten Bildschärfe-Ermittlungsverfahren ermittelten Aus­ gangssignale der zweiten lichtempfindlichen Elemente zu verwenden, die in diesem Bereich eine höhere Genauigkeit aufweisen.

Weitere vorteilhafte Weiterbildungen der Vorrichtung zur Ermittlung eines Scharfeinstellzustandes sind Gegenstand der Unteransprüche.

Weitere Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den Ausfüh­ rungsbeispielen, die anhand der Zeichnungen nachstehend er­ läutert werden. Es zeigt

Fig. 1 eine perspektivische Darstellung des optischen Sy­ stems eines ersten Ausführungsbeispiels,

Fig. 2 eine perspektivische Darstellung von Elementen des optischen Systems des ersten Ausführungsbeispiels,

Fig. 3 eine perspektivische Darstellung der Abbildungsbe­ dingungen von Strahlenbündeln bei dem optischen System des ersten Ausführungsbeispiels,

Fig. 4 ein Flußdiagramm für den Scharfeinstell- bzw. Fokus­ siervorgang bei dem ersten Ausführungsbeispiel,

Fig. 5(a) und 5(b) Draufsichten auf die Anordnung der lichtempfindlichen Elemente,

Fig. 6 eine perspektivische Darstellung des optischen Sy­ stems eines zweiten Ausführungsbeispiels und

Fig. 7 eine perspektivische Darstellung von Elementen des optischen Systems des zweiten Ausführungsbeispiels.

Fig. 1 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel, das ein lichtabschirmendes Element 102, das in der Nähe einer Bildebene eines Objektivs 101 angeordnet ist, eine Feldlinse 103, einen Blendenrahmen 104, eine Teilervorrichtung 105, ein optisches Element 106 zur Veränderung der optischen Weglänge ei­ ne Sekundärabbildungslinse 107, und einen Sensorträger in einer Abbildungsebene 108 umfaßt. Das lichtabschirmende Element 102 ist mit einer rechtwink­ ligen Gesichtsfeldöffnung 102 a versehen. Der Blendenrahmen 104 hat zwei rechtwinklige Öffnungen 104 a und 104 b. Hinter diesen sind lichtablenkende Keilprismen 105 a, 105 b, 105 c und 105 d angeordnet, die sich voneinander durch ihre Keilwinkel und die Richtung ihrer Neigung unterscheiden und zusammen die Teilervorrichtung 105 bilden. Wie in Fig. 2 ge­ zeigt, besteht das optische Element 106 aus optisch transparenten Platten 106 a und 106 b, die jeweils mit den Keilprismen 105 b und 105 d zusammen­ wirken. Das optische Element 106 hat jedoch keinen mit dem Keilprisma 105 a zusammenwirkenden Bereich. Die optisch transparente Platte 106 b ist in einer den Keilprismen 105 c und 105 d ent­ sprechenden Stellung angeordnet, um deren Dicke auszu­ gleichen. Auf dem Sensorträger 108 sind lichtempfindliche Ele­ mente bzw. Zeilensensoren 108 , 108 b, 108 c und 108 d in zwei Paaren angeordnet, wobei 108 a mit 108 b und 108 c mit 108 d gepaart ist. Diese Zeilensensoren 108 a bis 108 d sind parallel zur Gesicht­ feldöffnung 102 a des lichtabschirmenden Elementes 102 angeordnet.

Lichtstrahlen, die von einem zu fotografierenden Objekt kommen und durch das Objektiv 101 gehen, werden in einen Punkt der Öffnung 102 a abgebildet. Anschließend gehen die­ se Lichtstrahlen bis zur Feldlinse 103. Diese bildet die Aus­ trittspupille des Objektivs 101 in die Nähe der Teilervorrichtung 105 ab. Ein auf das Keilprisma 105 a auftref­ fendes Strahlenbündel wird scharf nach oben abgelenkt und da­ durch auf dem Zeilensensor 108 a abgebildet. Ein auf das Keilprisma 105 b auftreffendes Strahlenbündel wird scharf nach un­ ten abgelenkt und auf dem Zeilensensor 108 b abge­ bildet. Die Keilprismen 105 c und 105 d, die dicht neben der op­ tischen Achse L des Objektivs 101 angeordnet sind, haben einen kleineren Keilwinkel. Durch diese Keilprismen 105 c und 105 d verlaufende Strahlenbündel werden auf die Zeilensensoren 108 c und 108 d ab­ gebildet.

Durch das optische Element 106 zur Veränderung der optischen Weglänge ist die Bildschärfe der auf den Zeilensensoren 108 a bis 108 d erzeugten Sekundärbilder nicht überall gleich. Bei diesem spezifischen Aus­ führungsbeispiel ist das sekundäre Abbildungssystem derart angeordnet, daß die Strahlenbündel, die zur Abbil­ dung auf die Zeilensensoren 108 c und 108 d mittels der Sekundärabbildungslinse 107 durch die Keilprismen 105 c und 105 d verlaufen, ohne Unschärfe abgebildet werden, wenn das in der vorbestimmten Bildebene des Objektivs 101 erzeugte Bild scharf ist. Verglichen mit den durch die Keilprismen 105 c und 105 d gehenden Strahlenbündel haben die durch die Keilprismen 105 a und 105 b gehenden Strahlenbündel eine andere optische Weglänge. Folglich werden die Sekundärbilder auf den Zeilensensoren 108 a und 108 b mit geringer Unschärfe er­ zeugt.

Diese Beziehung ist in Fig. 3 dargestellt, die die Zu­ stände der Sekundärstrahlenbündel zeigt, nachdem sie durch die Sekundärabbildungslinse 107 gegangen sind. Gemäß Fig. 3 ha­ ben die durch die Keilprismen 105 c und 105 d gegangenen ersten Sekundärstrahlenbündel Lc und Ld durch die transparente Platte 106 b den gleichen optischen Weglängenunterschied und sind somit korrekt auf den Zeilensensoren 108 c und 108 d abgebildet. Ein zweites Sekundärstrahlenbündel La, das durch das Keilprisma 105 a gegangen ist, hat aufgrund des Nichtvorhandenseins eines optischen Elementes zur Änderung der optischen Weglänge einen längeren optischen Weg als die oben erwähnten ersten Sekundär­ strahlenbündel Lc und Ld. Folglich wird das zweite Sekundärstrahlenbündel La an einem Punkt P 1 vor dem vor dem Zeilensensor 108 a abgebildet und ist somit auf diesem etwas verschwommen. Ein weiteres zweites Sekundärstrahlenbündel Lb, das durch das Keilprisma 105 b gegangen ist, hat aufgrund der Wirkung der transparenten Platte 106 a, die dicker als die Platte 106 b ist, eine kürzere optische Weglänge. Das zum Zeilensensor 108 b gerichtete zweite Sekundärstrahlenbündel Lb wird somit in einem Punkt P 2 hinter dem Zeilensensor 108 b abgebildet und ist auf diesem ebenfalls verschwommen. Unter der Annahme, daß die Ent­ fernung zwischen dem Bildpunkt des zweiten Sekundärstrahlenbündels La und der Abbildungsebene 108 als d 1 und diejenige zwischen dem zweiten Sekundärstrahlenbündel Lb und der Abbildungsebene 108 als d 2 bezeichnet ist, ist der optische Weglängen­ unterschied entsprechend diesem Ausführungsbeispiel so bestimmt, daß sich die Beziehung d 1 = d 2 ergibt. In einem Zustand, in dem das Objekt 101 ein Bild in der vorbestimmten Bildebene korrekt erzeugt, sind die auf den Zeilensen­ soren 108 a und 108 b erzeugten Sekundärbilder im gleichen Ausmaß verschwommen. Wenn das Objektiv 101 einem Scharfeinstell­ zustand sehr nahe ist, ist deshalb durch Vergleich der Schärfe der Sekundärbilder auf den Zeilensensoren 108 a und 108 b unterscheidbar, ob das Objektbild vor oder hinter der vorbestimmten Bildebene fokussiert ist. Eine für eine derartige Schärfeermittlung erforderliche Signalverarbeitung kann z. B. mittels eines Verarbeitungssystems zur Schärfeermittlung vorgenommen werden, das in der japanischen Patentanmel­ dung Sho 55-18 652 vorgeschlagen ist, auf die an dieser Stelle nicht weiter eingegangen werden soll.

Falls das Objektiv 101 in der Bildebene kein scharfes Bild erzeugt und das Bild in großem Ausmaß unscharf ist, werden Betrag und Richtung der Bewegung des Objektivs 101 durch Berechnung bestimmt, indem der Versatz der durch die ersten Sekundärstrahlenbündel Lc und Ld, die durch die Keilprismen 105 c und 105 d gehen, auf den Zeilensensoren 108 c und 108 d erzeugten Sekundär­ bilder ermittelt wird. Sodann wird das Objektiv 101 be­ wegt, um den Unschärfezustand zu beseitigen. Eine zur Er­ mittlung des obenerwähnten Bildversatzes erforderliche Signalverarbeitung kann mittels verschiedener Methoden durchgeführt werden. Wenn sich das Objektiv 101 dem Schärfezustand nach dem obenerwähnten Verfahren nähert, kann dieser Zustand korrekt durch das obengenannte Bildschärfe-Ermittlungsverfahren bestimmt werden.

Fig. 4 zeigt ein Flußdiagramm, das den zur Bestimmung ei­ nes Schärfezustandes bei diesem Ausführungsbeispiel ver­ wendeten Algorithmus zeigt. Zunächt wird das Maß der Un­ schärfe durch das Bildversatz-Erfassungsverfahren erhalten. Die Position des Objektivs 101 wird eingestellt, um das Unschärfemaß innerhalb eines gewissen zulässigen Bereichs zu bringen. Anschließend wird durch das Bildschärfe-Ermitt­ lungsverfahren Feinfokussierung ausgeführt.

Bei diesem Ausführungsbeispiel dienen die Zeilensensoren 108 a und 108 b zur Ermittlung der Bildschärfe. Vorzugsweise sind für diese Sensoren fotoelektrische Umwandlerelemente vorge­ sehen, die möglichst geringe Größe haben und mit ge­ ringer Teilung angeordnet sind. Andererseits sind andere Zeilensensoren 108 c und 108 d zum Zwecke der Ermittlung des Bildversatzes vorgesehen. Deren fotoelektrische Umwandler­ elemente müssen keine derartig kleinen Abmessungen wie im Fall der Zeilensensoren 108 c und 108 d aufweisen. Ferner muß bei diesem spezifischen Ausführungsbeispiel die Länge der Zeilensensoren 108 a und 108 b nicht gleich derjenigen der Zeilensensoren 108 c und 108 d sein. Jeder der letztgenannte Zeilensensoren 108 c und 108 d, der zur Ermittlung des Bild­ versatzes dient, erfordert eine relativ lange Reihe von Elementen, um einen Zustand großer Unschärfe zu ermitteln. Die Zeilensensoren 108 a und 108 b, die zur Ermittlung der Bildschärfe dienen, erfordern jedoch keine derartig lange Anreihung.

Eine solche Anordnung von Zeilensensoren 108 a bis 108 d ist in Fig. 5(a) gezeigt. Die in gestrichelten Linien darge­ stellten Blöcke Aa-Ad, die die Zeilensensoren 108 a bis 108 d umfassen, stellen Sekundärbilder dar, die in der Abbildungsebene 108 durch das sekundäre Abbildungssystem erzeugt sind. Bei diesem Beispiel ermitteln die Zeilensensoren 108 a und 108 b die Bildschärfe und die Zeilensensoren 108 c und 108 d den Bildversatz.

Bei diesem spezifischen Ausführungsbeispiel sind die auf den Zeilensensoren 108 a und 108 b erzeugten Sekundärbilder, wie bereits erwähnt, aufgrund der Verwendung des optischen Elementes 106 verschwom­ men, selbst wenn das Objektiv 101 ein scharfes Bild in der vorbe­ stimmten Bildebene erzeugt. Diese verschwommenen Zustände der auf den Zeilensensoren 108 a und 108 b erzeugten Sekundärbilder führen zu einem geringen Versatz der Bilder nach links und rechts. Bei dem erläuterten Ausführungsbeispiel ist das Maß des Versatzes, der aus dem verschwommenen Bild resultiert, aus der unterschiedlichen optischen Weglänge und dem Einfallswinkel des Mittelstrahls der zu den Zeilen­ sensoren kommenden Strahlenbündel zuvor berechenbar. Folglich ist die Länge der Zeilensensoren 108 a und 108 b in ihrer Längsrichtung so bestimmt, daß sie nur das Licht gemein­ samer Bereiche der verschobenen Sekundärbilder empfangen. Bei einer möglichen Alternativanordnung wählt die Vorrichtung aus den Ausgangssignalen der Zeilensensoren 108 a und 108 b nur die Signale aus, die den gemeinsamen Bereichen ent­ sprechen und gibt diese Signale an einen Signalverarbei­ tungsschaltkreis wei­ ter.

Dieses Ausführungsbeispiel ist nicht auf die Anordnung der Zeilensensoren 108 a bis 108 d, die in Fig. 5(a) dargestellt ist, beschränkt. Diese Anordnung kann auch durch eine Anordnung gemäß Fig. 5(b) ersetzt sein. In diesem Fall sind die den Bildversatz ermittelten Zeilensensoren 108 c und 108 d an den äußeren Seiten angeordnet und die die Bildschärfe er­ mittelnden Zeilensensoren 108 a und 108 b an den inneren Sei­ ten. Bei einer derartigen Anordnung ist der Keilwinkel der Ablenk- bzw. Keilprismen 105 a und 105 b der Teilervorrichtung 105 gemäß Fig. 2 kleiner, während derjenige der anderen ablen­ kenden Keilprismen 105 c und 105 d größer ist. In jedem Fall sind die Zeilensensoren 108 a bis 108 d vorzugsweise symmetrisch über und unter der optischen Achse des sekundären Abbildungssystems angeordnet, da durch eine derartig symme­ trische Anordnung der Ausgleich der optischen Qualität der beiden zu vergleichenden Sekundärbilder verbessert werden kann.

Ein zweites Ausführungsbeispiel ist in Fig. 6 dargestellt. Dieses unterscheidet sich vom vorangehen­ den ersten Ausführungsbeispiel bezüglich der Anordnung einer Teilervorrichtung 115, eines optischen Elementes 116 zur Änderung der optischen Weglänge, einer Sekundärabbildungslinse 117 und eines Sensorträgers in einer Abbildungsebene 118. Die Teilervorrichtung 115 besteht in diesem Fall aus einem flachen transparenten Teil 115 a und einem kleinen Prismen­ teil 115 b, wie in einer vergrößerten Ansicht gemäß Fig. 7 gezeigt ist. Das die optische Weglänge ändernde optische Element 116 besteht aus einem ersten Teilbereich 116 a in Form einer ebenen Platte, die eine dem linken Bereich des erwähnten flachen Teils 115 a der Teilervorrichtung 115 zugeordnete erste Dicke hat, aus einem ersten Bereich 116 b in Form einer ebenen Platte, die eine dem kleinen Prismenteil 115 b zugeordnete zweite Dicke hat, und aus einem zweiten Teilbereich 116 c in Form einer ebenen Platte, die eine dem rechten Bereich des flachen Teils 115 a der Teilervorrichtung 115 zugeordnete dritte Dicke hat, wie auch in Fig. 7 gezeigt ist. Die Sekundärabbildungslinse 117 hat einen ge­ radlinigen Grenzbereich und besteht aus einem Linsenpaar 117 a und 117 b. Die optischen Achsen dieser Linsen 117 a und 117 b weichen symmetrisch von derjenigen des Objektivs 111 ab. Ein durch die linke Seite der Teilervorrich­ tung 115 gehendes Strahlenbündel wird durch die Linse 117 ab­ gebildet. Ein anderes, durch die rechte Seite der Teilervorrichtung gehendes Strahlenbündel wird durch die an­ dere Linse 117 b abgebildet. Diese Strahlenbündel bilden dann Sekundärbilder auf verschiedenen Zeilensensoren ab. Folglich sind beim zweiten Ausführungsbeispiel die Linsen 117 a und 117 b so angeordnet, daß sie ebenfalls eine Teilervorrichtung bilden.

Da die Teilervorrichtung ver­ schieden zum ersten Ausführungsbeispiel angeordnet ist, sind die Zeilensensoren 118 a bis 118 b ebenfalls auf ver­ schiedene Art und Weise angeordnet. Bei diesem Ausführungs­ beispiel werden Sekundärbilder infolge von Strahlenbündeln von inne­ ren Seiten der Pupille des Objektives 111 auf die den Ver­ satz erfassenden Zeilensensoren 118 c und 118 d geworfen, während Strahlenbündel von den äußeren Seiten der Pupille auf die die Bildschärfe erfassenden Zeilensensoren 118 a und 118 b gerichtet sind. Die Dicke des ersten Bereichs 116 b des optischen Elementes 116 ist folgendermaßen festgesetzt: das Bild innerhalb der Gesichtsfeldöffnung 112 a wird korrekt auf die Zeilen­ sensoren 118 c und 118 d zur Versatzermittlung abgebildet, wenn das Objektiv 111 scharf eingestellt ist. Die Dicke des ersten bzw. zweiten Teilbereichs 116 c bzw. 116 a ist so bestimmt, daß ihre optischen Weglängen kürzer bzw. länger als diejenige des ersten Bereichs 116 b sind. Deshalb wirkt das optische Element 116 in der gleichen Art und Weise wie beim ersten Ausführungsbeispiel, trotz des Unterschieds in der baulichen Anordnung. Ferner müssen die Teilervor­ richtung 115 und das optische Element 116 nicht aus getrennten Bauteilen bestehen, sondern können in einem einheitlichen Körper angeordnet sein.

Wie im vorstehenden beschrieben, ermittelt die erläuterte Vorrichtung einen Bildversatz, indem sie Teil-Strahlenbündel verwendet, die innerhalb des vom Objektiv ausgesandten Gesamt-Strahlenbündels relativ dicht an der optischen Achse liegen. Deshalb ist der Ver­ satz von Bildern auf den Zeilensensoren gering, selbst wenn das Objektiv in relativ großem Ausmaß unscharf einge­ stellt ist. Die erläuterte Vorrichtung kann Richtung und Betrag der Bewegung des Objektivs genau ermitteln. Wenn das Objektiv nahe an den Scharfeinstellzustand herankommt, bestimmt die Vorrichtung den Schärfezustand mit einem hohen Maß an Genauigkeit, indem die Bildschärfe ermittelt wird. Dabei sind die Vorteile, die aus einer Ermitt­ lung des Bildversatzes resultieren, und diejenigen, die aus der Ermittlung der Bildschärfe resultieren, vereint, wobei ein einfacher struktureller Aufbau erreicht ist.

Claims (8)

1. Vorrichtung zur Ermittlung eines Scharfeinstellzustan­ des, mit
einem hinter einer vorbestimmten Bildebene eines Objektivs angeordneten sekundären Abbildungssystem, mittels dessen in einer Abbildungsebene mehrere erste Sekundärbilder eines in der Bildebene erzeugten Bildes eines Objektivs ausbildbar sind, wobei das sekundäre Abbildungssystem eine erste Tei­ lervorrichtung aufweist, mittels der das aus dem Objektiv austretende Strahlenbündel in mehrere erste Sekundärstrah­ lenbündel aufteilbar ist, und
ersten lichtempfindlichen Elementen, die jeweils Licht ei­ nes ersten Sekundärbildes empfangen und die den Relativ­ positionen der ersten Sekundärbilder entsprechende Aus­ gangssignale erzeugen, auf deren Grundlage der Scharfein­ stellzustand des Objektivs ermittelbar ist,
dadurch gekennzeichnet,
daß das sekundäre Abbildungssystem (105, 106, 107; 115, 116, 117) eine zweite Teilervorrich­ tung (105 a, 105 b; 117 a, 117 b), mittels der von dem aus dem Objektiv (101; 111) austretenden Strahlenbündel mehrere zweite Sekundärstrahlenbündel (La, Lb) abteilbar sind, und ein optisches Element (106; 116) aufweist, mittels dessen die optische Weglänge der zweiten Sekundärstrahlenbündel (La, Lb) derart veränderbar ist, daß in der Abbildungsebene (108; 118) unscharfe Sekundärbilder erzeugt werden, und
daß zweite lichtempfindliche Elemente (108 a, 108 b; 118 a, 118 b) vorgesehen sind, die den Unschärfegrad der zweiten Sekundärbilder erfassen und entsprechende Ausgangssignale erzeugen, auf deren Grundlage der Scharfeinstellzustand des Objektivs (101; 111) ermittelbar ist,
wobei das Objektiv (101; 111) in Abhängigkeit von den Aus­ gangssignalen der ersten (108 c, 108 d; 118 c, 118 d) und/oder der zweiten lichtempfindlichen Elemente (108 a, 108 b; 118 a, 118 b) in seinen Scharfeinstellungszustand gebracht wird.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Verstellung des Objektivs (101; 111) solange auf der Grundlage der Ausgangssignale der ersten lichtempfindlichen Elemente (108 c, 108 d; 118 c, 118 d) durchgeführt wird, bis eine Scharfeinstellung des Objektivs innerhalb vorbestimm­ ter Grenzen erreicht ist, und daß die weitere Verstellung des Objektivs auf der Grundlage der Ausgangssignale der zweiten lichtempfindlichen Elemente (108 a, 108 b; 118 a, 118 b) durchgeführt wird.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich­ net, daß ein weiteres optisches Element (106 b; 116 b) zur Einstellung der optischen Weglänge der ersten Sekundär­ strahlenbündel (Lc, Ld) vorgesehen ist.

4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die erste und zweite Teilervorrichtung durch Keilprismen gebildet ist.

5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, gekenn­ zeichnet durch eine Feldlinse (103; 113), die die Teiler­ vorrichtungen in die Nähe der Austrittspupille des Objek­ tivs (101; 111) abbildet.

6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das optische Element (106; 116) zur Einstellung der optischen Weglänge einen ersten Bereich (106 b; 116 b), der die in der Nähe der optischen Achse (L) des Objektivs (101; 111) verlaufenden Lichtstrahlen hin­ durchläßt, sowie einen zweiten Bereich (106 a; 116 a, 116 c) aufweist, der die in Randbereichen des Objektivs (101; 111) verlaufenden Lichtstrahlen hindurchläßt, wobei sich der er­ ste Bereich (106 b; 116 b) und der zweite Bereich (106 a; 116 a; 116 c) in der optischen Dicke voneinander unterschei­ den

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Bereich in Teilbereiche (116 a, 116 c) unterteilt ist, die relativ zur optischen Achse symmetrisch angeordnet sind und eine unterschiedliche optische Dicke haben.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die optische Dicke des ersten Bereichs (116 b) des optischen Elementes (116) zur Einstellung der optischen Weglänge im wesentlichen dem Mittelwert aus den optischen Dicken der Teilbereiche (116 a, 116 c) des zweiten Bereichs entspricht.