DE3330146A1 - Vorrichtung und verfahren zur schnellen regeneration von autonomen kryopumpen - Google Patents

Vorrichtung und verfahren zur schnellen regeneration von autonomen kryopumpen

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DE3330146A1
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Otto Dipl.-Ing. Dr. 9496 Balzers Winkler
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OC Oerlikon Balzers AG
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Balzers AG
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    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
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    • F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
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GB8323565D0 (en) 1983-10-05
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