DE3325855A1

DE3325855A1 - Einrichtung zum erzeugen eines signales entsprechend einem faltungsprodukt zweier funktionen

Info

Publication number: DE3325855A1
Application number: DE19833325855
Authority: DE
Inventors: Walter Prof. Dr. 8032 Lochham Hoppe
Original assignee: Max Planck Gesellschaft zur Foerderung der Wissenschaften eV
Current assignee: Max Planck Gesellschaft zur Foerderung der Wissenschaften eV
Priority date: 1983-07-18
Filing date: 1983-07-18
Publication date: 1985-01-31
Also published as: GB2144535A; GB8418276D0; NL8402264A; JPS6083916A

Description

18. Juli 1983
11339 Dr.v.B/Schä

Max-Planck-Gesellschaft
zur Förderung der Wissenschaften e.V.,
Bunsenstrasse 10, 3400 Göttingen

Einrichtung zum Erzeugen eines Signales
entsprechend einem Faltungsprodukt zweier Funktionen

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Einrichtung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.

Aus DE-C-24 41 288 (entsprechend US-A-39 71 936 und JA-PA 103896/75) sowie DE-C-25 29 735, auf die hier ausdrücklich Bezug genommen wird, ist es bekannt, die Lage eine.s abzubildenden Objekts in einem Elektronenmikroskop mittels eines Fehlersignales zu regeln, welches durch eine Korrelation eines Ist-Objektbildes mit einem früheren Zustand seiner selbst, einem sogenannten Soll-Objektbild, gewonnen wird. Das Fehlersignal entspricht dabei einem Faltungsprodukt der beiden Funktionen. Besonders einfache Verhältnisse ergeben sich, wenn die Funktionen binäre Funktionen sind, d.h. wenn die Funktionswerte nur zwei verschiedene Beträge anzunehmen vermögen. Bezüglich näherer Einzelheiten sei auf die obengenannten Veröffentlichungen verwiesen.

Im bekannten Falle wird das Faltungsprodukt aus einem Ist-Objektbild und einem gespeicherten Soll-Objektbild erzeugt. Die bekannten Einrichtungen lassen sich jedoch offensichtlich zum Erzeugen eines Faltungsproduktes zweier beliebiger Funktionen verwenden, wenn die Funk-

tionswerte zum Erzeugen eines optischen Bildes aus Bildelementen, die den Werten der Funktionen entsprechen, verwendet werden können.

Die wesentlichsten Teile bestimmter Typen dieser auch als "optische Computer" bezeichneten bekannten Einrichtungen sind eine Vorrichtung zum Erzeugen eines optischen Strahlungs- bzw. Emissionsbildes der einen Funktion, ferner ein Licht- oder Strahlungsrelais zum Erzeugen eines Bildes oder Musters aus Bildementen entsprechend der zweiten Funktion und eine optische Korrelationsvorrichtung zum Überlagern des Strahlungsbildes und des Bildelementmusters und zum Gewinnen des gewünschten Signales aus dem Ergebnis der Überlagerung. Die Bildelemente des Strahlungsrelais haben Intensitätsübertragungsfunktionen entsprechenden den Werten der zweiten Funktion. Als Strahlungsrelais sind Bildspeicherröhren, Photoplatten, Hologramme, Eidophor-Röhren u.a.m. bekannt. Alle diese Vorrichtungen haben mindestens einen der folgenden Nachteile: Sie sind apparativ relativ aufwendig, platzraubend, ungenau oder benötigen relativ lange Zeit zum Herstellen.

Der vorliegenden Erfindung liegt dementsprechend die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung der obengenannten Art zu vereinfachen.

Dies wird bei einer Einrichtung der eingangs genannten Art erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 1 erreicht.

Flüssigkristallzellenanordnungen, insbesondere Flüssigkristall-Punktmatrix-Anzeigevorrichtungen sind für an-

- dere Zwecke, nämlich zum Zwecke der Informationsausgabe, bekannt und im Handel erhältlich, siehe z.B. den Bericht "Graphik-LCD" in der Zeitschrift FUNKSCHAU 12/1982 S. 12.

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Durch die Verwendung einer solchen Flüssigkristallzellenanordnung in einer Einrichtung der obengenannten Art in Kombination mit einem lichtoptischen Korrelator ergeben sich eine Reihe erheblicher Vorteile: Flüssigkristallzellenanordnungen sind nicht nur verhältnismäßig preiswert, betriebssicher und raumsparend, bei ihrer Verwendung ergibt sich außerdem aufgrund ihres Aufbaus automatisch eine eindeutige Aufteilung in diskrete Bildelemente, die bei voller Aussteuerung

-j,- infolge der Sättigungscharakteristik binäre optische Übertragungseigenschaften haben, d.h. die Reflexion oder Transmission nimmt in diesem Falle je nach Ansteuerung des betreffenden Bildelements (Pixels) einen von zwei diskreten Beträgen an. Das eine Funktion darstellende Muster läßt sich auch genügend schnell ändern und praktisch beliebig lange speichern.

Im folgenden wird der Erfindungsgedanke an Hand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeich-„, nung näher erläutert.

Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Draufsicht auf eine Flüssig-„₀ kristall-Punktmatrix-Anzeigevorrichtung, wie sie bei der vorliegenden Einrichtung Verwendung finden kann;

Fig. 2 eine schematische Darstellung einer ersten Ausoc führungsform der vorliegenden Einrichtung, bei der zumindest eine der Flüssigkristall-Anzeigevorrichtungen in Transmission betrieben wird;

Fig. 3 eine schematische Darstellung einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Einrichtung, bei der zumindest die eine der Flüssigkristallzellenanordnungen in Reflexion betrieben wird, und

Fig. 4 eine besonders einfache, bevorzugte Ausführungsform der Erfindung.

In Fig· 1 ist eine Flüssigkristall-Punktmatrix-Anzeigevorrichtung (im folgenden kurz "LCD-Vorrichtung") in Draufsicht dargestellt, wie sie z.B. als Graphik- LCD im Handel erhältlich ist. Eine bekannte LCD-Vorrichtung dieser Art enthält eine Punktmatrix mit 240 χ 64 kreisförmigen Punkten oder Pixels. In Fig. 1 sind der Einfachheit halber nur 15 x 6 quadratische Pixels dargestellt. Die Pixels können durch Anlegen einer Spannung jeweils in verschiedene Zustände versetzt werden, bei Ansteuerung mit einer gewöhnlich mitgelieferte.n Ansteuerelektronik arbeiten LCD-Vorrichtungen gewöhnlich binär, d.h. die Pixels nehmen jeweils wahlweise einen von zwei dikreten Zuständen an. Diese diskreten Zustände sind bei einer mit dynamischer Streuung arbeitenden LCD a) lichtstreuend (reflektierend) oder b) nichtstreuend (transparent). Bei einer LCD mit nematischer Schraubenstruktur ("twisted nematic type") und Polarisatoren sind die beiden Zustände a) lichtdurchlässig bzw. b) opak. Bei entsprechender Bemessung der Ansteuerspannung sind jedoch auch analoge Zwischenzustände einstellbar, wie z.B. aus DE-B-21 58 563 bekannt ist.

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-, Bei den folgenden Beispielen soll angenommen werden, daß die LCD binär arbeiten, d.h. daß die Pixels einen der beiden oben erwähnte Extremwerte der Lichtübertragungsfunktion, also der Transparenz oder des Streuvermögens, annehmen.

Die in Fig. 1 schematisch dargestellte LCD-Vorrichtung 10 besteht im wesentlichen ?"ς ejnpm aktiven Bereich 12 und einem diesen umgebenden Rahmen 14. Der aktive

-,0 Bereich 12 besteht im wesentlichen aus zwei nahe be nachbarten, parallelen Glasplatten, deren einander zugewandte Flächen durchsichtige Elektroden tragen, und einer zwischen den Glasplatten angeordneten dünnen Flüssigkristallschicht. Die eventuell noch erforder-

-|c liehen Polarisatoren sind zur Verinfachung der Zeichnung nicht dargestellt. Der Rahmen 14 kann die gewöhnlich mit integrierten Schaltkreisen aufgebaute Ansteuerelektronik enthalten.

Fig. 2 zeigt ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Einrichtung, das_ zur Lageregelung eines abzubildenden Objekts in einem Elektronenmikroskop 16 dienen kann, wie es in den oben erwähnten Veröffentlichungen beschrieben ist. Vom Elektronenmikroskop 16 ist nur der untere Teil dargestellt, der einen Lumineszenzschirm 18 enthält, auf dem ein Ist-Objektbild 19 erscheint. Ein Teil des Ist-Objektbildes wird durch eine Optik 20 auf einem optisch-elektronischen Wandler abgebildet, der bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel aus einer mit Ladungskopplung arbeitenden CCD-Bildaufnahmeeinrichtung 22 besteht. CCD-Bildaufnahmeeinrichtungen sind bekannt, sie werden bekanntlich mit einer Taktsignalquelle 24 betrieben und liefern an einem Ausgang 26 ein serielles

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Videosignal entsprechend einem üblichen Fernsehsignal. Der Ausgang 26 der CCD- Bildaufnahmeeinrichtung ist mit einem elektronischen Umschalter 28 gekoppelt, der zwei Ausgänge 28a, 28b aufweist und durch eine Steuerschaltung 30 steuerbar ist. Die Steuerschaltung 30 kann eine Vertikalsynchronisierimpuls-Abtrennstufe, deren Eingang mit dem Ausgang 26 gekoppelt ist, und einen mit dem Ausgang der Abtrennstufe gekoppelten Zähler enthalten, der nach Aktivierung durch eine nicht dargestellte, von TO Hand betätigbare Drucktaste den Schalter vom Ausgang 28a auf den Ausgang 28b umschaltet, wenn er den ersten Vertikalsynchronisierungsimpuls empfängt und beim Eintreffen des dritten Vertikalsynchronisierimpulses, also nach einem vollständigen aus zwei Halbbildern bestehenden Bildes den Umschalter wieder auf den Ausgang 28a zurückschaltet. Der Ausgang 28a ist mit einem Signaleingang einer ersten LCD-Vorrichtung 10a gekoppelt, die außerdem an eine Steuerschaltung 32 angeschlossen ist und zum Erzeugen eines Emissionsbildes dient. Der Steuerschaltung 32 ist das Ausgangssignal der Stufe 30 und ein Taktsignal vom Taktsignalgenerator 24 zugeführt. Sie bewirkt in bekannter Weise eine Darstellung des von der CCD-Vorrichtung aufgenommenen Bildes, das, falls erforderlich, durch eine Schwellenwertschaltung 34 in Binärform umgewandelt werden kann.

Der Ausgang 28b ist mit einer zweiten LCD-Vorrichtung 10b, die als Bildmuster Strahlungsrelais dient und mit Transmission arbeitet, gekoppelt. Die LCD-Vorrichtung 10b ist außerdem mit der Steuerschaltung 32 verbunden.

Wenn die CCD-Vorrichtung über den Schalterkontakt 28a mit der LCD-Vorrichtung 10a gekoppelt ist, so erzeugt diese laufend eine Darstellung des auf die CCD-Bildauf-

-I nahmevorrichtung projizierten Teil des Ist-Objektbildes in Form eines Transparentbildes.

Die LCD-Vorrichtungen 10a und 10b sind mit Abstand parallel zueinander in einem optischen Strahlengang angeordnet, der der Reihe nach eine Lichtquelle 38, einen Kondensor 40, eine Streu- und Mattglasscheibe 36 die LCD-Vorrichtungen 10a und 10b, ein als Sammellinse dargestelltes Objektiv 42 und einen flächigen optisch-elektrischen Wandler 44 enthält. Die von hinten beleuchteten transparenten Pixels der LCD-Vorrichtung 10a bilden das Ist-Bild in Form eines Emissionsbildes, dessen Strahlen das durch die LCD-Vorrichtung 10b erzeugte, aus einem Transparentbildmuster bestehende Soll-Bild durchsetzen und anschließend durch das Objektiv 42 auf den Wandler 44 fokussiert werden, der z.B. eine CCD-Bildaufnahmeeinrichtung enthalten kann und an einem Ausgang 44a ein Ausgangssignal liefert, das den Ort des Intensitätsmaximums in der Brennebene des Objektivs 42 und damit die Korrelationsfunktion darstellt.

Das Ausgangssignal des Wandlers 44 kann einer Anzeigevorrichtung, wie einem Fernsehmonitor und/oder einer bekannten Stellvorrichtung zur Änderung der Lage des abzubildenden Objekts im Elektronenmikroskop 16 zugeführt werden (nicht dargestellt), wie es in den eingangs erwähnten Patentschriften beschrieben ist.

Die Einrichtung gem. Fig. 2 läßt sich z.B. dadurch abwandeln, daß als LCD-Vorrichtung 10a eine in Refle-

-j xion arbeitende Flüssigkristallzellenanordnung verwendet wird, der dann eine Lichtquelle 38' zugeordnet ist, die die der LCD-Vorrichtung 10b zugewandte Seite beleuchtet. An die Stelle der Streuscheibe 36 kann dann je nach dem Typ der Flüssigkristallmaterials z.B. eine opake oder reflektierende Rückplatte 36 treten. Wenn das Strahlungsbild invers zum Bildmuster der Strahlungsrelais LCD ist, kehrt sich das Vorzeichen der Korrelationsfunktion um. Will man das vermeiden, so IQ kann man einen Invertierer 29 in die Leitung vom Kontakt 28b zur LCD-Vorrichtung 10b schalten, wie in Fig. 2 gestrichelt dargestellt ist.

Die in Fig. 3 teilweise dargestellte Ausführungsform der vorliegenden Einrichtung enthält zwei LCD-Vorrichtungen 10'a und 10'b, die mit Reflexion arbeiten. Die LCD-Vorrichtung 10'a kann wie die Vorrichtung 10a geschaltet sein und zur Darstellung einer ersten Funktion, z.B. eines Ist-Objektbildes dienen. Sie wird durch eine Lichtquelle 50 beleuchtet, so daß sie ein Emissionsbild liefert. Dessen Strahlen fallen durch einen schräg stehenden teildurchlässigen Spiegel 52 auf die zweite LCD-Vorrichtung 10'b, die ein Soll-Reflexionsbild erzeugt, das um einen vorgegebenen Faktor kleiner als das von der Vorrichtung 10'a erzeugte Ist-Bild ist.

Die von der aktiven Fläche der LCD-Vorrichtung 10'b reflektierte Strahlung wird durch den schräg stehenden teildurchlässigen Spiegel 52 auf einen flächigen optisch elektrischen Wandler 44' reflektiert, der wie der Wandler 44 (Fig. 2) arbeitet und an dessen Ausgang ein dem gewünschten Faltungsprodukt entsprechendes Aus-

gangssignal auftritt. Diese Ausführungsform arbeitet: auf dem Prinzip der Zentralprojektion, wie es anhand von Fig. 1 der DE-C-24 41 288 beschrieben ist.

Fig. 4 zeigt eine besonders einfache, bevorzugte Ausführungsform der Erfindung, die ebenfalls mit Zentralprojektion arbeitet und eine in Transmission betriebene LCD-Vorrichtung 10"b enthält. Die LCD-Vorrichtung 10"b dient wie die LCD-Vorrichtung TOb in Fig. 2 als Strahlungsrelais und erzeugt ein Bildelementmuster aus opaken und transparenten Pixels, die ein Soll-Bild der zu korrelierenden Funktion darstellen.

Zur Erzeugung des Ist-Bildes dient eine Bildverstärkerröhre 5, von der nur ein Teil dargestellt ist, der einen Leuchtschirm 52 enthält, auf dem ein Ist-Bild der zu korrelierenden Funktion erzeugt wird. Auf der der Bildverstärkerröhre 50 abgewandten Seite der LCD-Vorrichtung 10"b befindet sich wieder ein flächiger optisch-elektrischer Wandler 44", der wie der Wandler 44 in Fig. 2 arbeitet und wie dieser ausgebildet sein kann. Das Verhältnis der linearen Abmessungen der von den Einrichtungen 50 und 10"b erzeugten Bilder ist gleich dem Verhältnis der Abstände der Ebenen dieser Bilder von der Ebene des Wandlers 44", wie sich aus einfachen geometrischen Überlegungen ergibt.

Die LCD-Vorrichtung 10"b kann wie die Vorrichtung 10b in Fig. 2 geschaltet sein. Als Bildaufnahmeeinrichtung zur Aufnahme des Soll-Bildes kann der Wandler 44" dienen, wobei dann die LCD-Vorrichtung 10"b aus dem Strahlengang zwischen dem Bildschirm 52 und dem Wandler 44 herausgeschwenkt und stattdessen ein geeignetes

1 Objektiv in den Strahlengang eingeschwenkt wird, welches den Bildschirm 52 auf die aktive Fläche des Wandlers 44" abbildet.

Die beschriebenen Ausführungsformen lassen sich in der verschiedensten Weise abwandeln: Beispielsweise kann der Wandler 44 bzw. 44' durch eine zweidimensionale Matrix von Photodioden ersetzt werden, wie es anhand von Fig. 2a der eingangs genannten ersten Veröffentli-

Ί0 chung beschrieben ist. In Fig. 3 kann der Leuchtschirm 18 an die Stelle der Vorrichtung 10'a und der Lichtquelle 50 treten, d.h. daß das Ist-Objektbild selbst auf die LCD-Vorrichtung 10'b projiziert wird. Die Aufnahme des Soll-Objektbildes kann dann durch ein

^r Objektiv und eine CCD-Bildaufnahmevorrichtung erfolgen, die im Wege der vom teildurchlässigen Spiegel 52 reflektierten Bildschirm-Strahlung angeordnet sind.

Wenn die Anzahl der Matrixpunkte von kommerziell ver-2Q fügbaren LCD-Vorrichtungen nicht ausreicht, können mehrere solcher LCD-Vorrichtungen "parallel" betrieben, also nebeneinander angeordnet werden, d.h. daß jede dieser LCD-Vorrichtungen entsprechende Teile der Funktionen korreliert, wobei die Ergebnisse dieser Teil-Korrelationen dann summiert werden.

Wie erwähnt, kann das Transmissionsvermögen bzw. Streuvermögen der Pixels einer LCD-Vorrichtung auch kontinuierlich verändert werden, man kann also mit den LCD-Vorrichtungen anstelle eines binären Bildmusters auch ein Halbton-Emissionsbildmuster und/oder ein Halbton-Strahlungsrelais-Bildmuster erzeugen.

Anstelle einer CCD-Bildaufnahmevorrichtung kann auch
irgendeine andere Bildaufnahmevorrichtung verwendet
werden, z.B. eine übliche Fernsehkamera, insbesondere
eine mit langsamer Abtastung arbeitende hochauflösende Fernsehkamera.

Bei vielen Anwendungen benötigt man mehrere, verschiedene Soll-Bildmusterverteilungen, die bei wiederholten Meßreihen jeweils mehrfach benötigt werden. Bei Verwen-

TO dung einer LCD-Vorrichtung als Bildmuster-Strahlungsrelais läßt sich dies sehr einfach dadurch bewerkstelligen, daß man die verschiedenen Soll-Bildmuster in
einem Computer speichert und nach Bedarf aus dem Speicher abruft und in die Strahlungsrelais-LCD-Vorrichtung eingibt. Mehrere verschiedene Soll-Bildmuster werden z.B. bei tomographischen Verfahren benötigt, z.B. Verfahren, bei denen die dreidimensionale Struktur eines Objektes molekularer Größenordnung mittels eines Computers aus einer Anzahl von elektronenmikroskopischen Aufnahmen ermittelt wird, die unter verschiedenen Kippwinkeln zwischen dem Objekt und dem Strahlengang des Elektronenmikroskops aufgenommen worden sind.

Außer zur Lageregelung des Bildes in einem Korpuskular-Strahlenmikroskop, insbesondere Elektronenmikroskop, kann das der Faltung entsprechende Signal auch zur Fokusregelung verwendet werden, da das Faltungssignal auch stark vom Fokussierungszustand des Ist-Bildes abhängt.

Im vorstehenden ist also eine Einrichtung zum Erzeugen eines Signales, das ein Faltungsprodukt zweier z.B.

-j binärer Funktionen darstellt, beschrieben worden, welche eine Vorrichtung zum Erzeugen eines optischen Emissionsbildes der ersten Funktion, ein Strahlungsrelais mit einer Vorrichtung zum Erzeugen einer Überträte gungsfunktionsverteilung entsprechend der zweiten Funktion sowie eine Vorrichtung zur Überlagerung des Emissionsbildes und der Übertragungsfunktionsverteilung enthält. Die Vorrichtung zum Erzeugen der Übertragungsfunktionsverteilung und/oder die Vorrichtung zum Erzeu-Q gen des Emissionsbildes enthalten eine Flüssigkristallzellenanordnung, insbesondere eine Art von Flüssigkristall-Punktmatrix-anzeigevorrichtung. Je nach Aufbau der Überlagerungsvorrichtung können die Flüssigkristallzellenanordnungen in Transmission und/oder Reflexion arbeiten.

- Leerseite -

Claims

ΡΑΤ£ΛΎ AM WATTE

DR. DIETER V. BEZOLD _ _

DIPL. ING. PETER SCHÜTZ O 0 ^ D O 0

DIPL. ING. "WOLFGANG HEUSLER

MARIA-THERESIA-STRASSE 22 POSTFACH 86 02 60

D-8OOO MUENCHEN 86

ZUGELASSEN BEIM EUROPAISCHEN PATENTAMT

EUROPEAN PATENT ATTORNEYS MANDATA1RES EN BREVETS EUROPEE

TELEFON 089/4 70 60 06 TELEX 522 638 TELEGRAMM SOMBEZ

18. Juli 1983
11339 Dr.v.B/Schä

Max-Planck-Gesellschaft
zur Förderung der Wissenschaften e.V.,
Bunsenstrasse 10, 3400 Göttingen

Einrichtung zum Erzeugen eines Signales
entsprechend einem Faltungsprodukt zweier Funktionen

Patentansprüche

/H/ Einrichtung zum Erzeugen eines Signales, das ein Faltungsprodukt einer ersten Funktion mit einer zweiten Funktion darstellt, mit

a) einer Bilderzeugungsvorrichtung zum Erzeugen eines optischen Emissionsbildes aus Bildelementen (Pixels), denen Strahlungsdichten jeweils einem Wert der ersten Funktion zugeordnet sind,

b) einem Strahlungsrelais zum Erzeugen eines dem Emissionsbild entsprechenden Musters aus Bildelementen (Pixels), die jeweils einem Wert der zweiten Funktion zugeordnet sind und eine optische Intensitätsübertragungseigenschaft (Transmission, Reflexion) eines Betrages entsprechend dem Betrag des

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- betreffenden Wertes der zweiten Funktion haben,

c) einer optischen Vorrichtung zum Projizieren des Emissionsbildes auf das Bildelementmuster des Strahlungsrelais und zum Erzeugen einer der Faltung des

^ Emissionsbildes mit dem Bildmuster entsprechenden Strahlungsverteilung, und

d) einer optisch-elektrischen Wandlervorrichtung zum Erzeugen des gewünschten Signales aus der Strahlungsverteilung ,

1Q dadurch gekennzeichnet, daß das Strahlungsrelais (10b) eine Flüssigkristallzellenanordnung enthält.
2. Einrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß die Bilderzeugungsvorrichtung (10a) eine Flüssigckristallzellenanordnung enthält.
3. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn zeichnet, daß die Flüssigkristallzellenanordnung (10a, 10b) eine Flüssigkristall-Punktmatrix-Anzeigevorrichtung ist.
4. Einrichtung nach Anspruch 2 oder 2 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß zwei durch einen Abstand getrennte Flüssigkristallzellenanordnungen (10a, 10b) und ein Objektiv in einem Strahlengang zwischen einer Lichtquelle (38) und einer flächigen optisch-elektrischen Wandleranordnung (44) hintereinander angeordnet sind, wobei die Lichtquelle der ersten Flüssigkristallzellenanordnung (10a) so zugeordnet ist, so daß diese Anord-

2Q nung das Emissionsbild liefert, dessen Strahlung auf die als Strahlungsrelais arbeitende zweite Flüssigkristallzellenanordnung (10b) fällt, und wobei der Abstand zwischen dem Objektiv und dem Wandler gleich der Brennweite des Objektivs ist (Fig. 2).

1"
5. Einrichtung nach Anspruch 1 , 2 oder 3 mit einer auf dem Prinzip der Zentralprojektion arbeitenden optischen Korrelationsvorrichtung, dadurch gekennzeichnet, daß die als Strahlungsrelais arbeitende Flüssigkristallzellenanordnung (10'b), deren Pixels die Werte der zweiten Funktion darstellen, für ein Bildelementmuster ausgelegt ist, das um einen vorgegebenen Faktor kleiner als das Emissionsbild ist.

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6. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5> da durch gekennzeichnet, daß die Flüssigkristallzellenanordnung mehrere, nebeneinander angeordnete Einheiten enthält.
7. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet daß zumindest die Flussigkristallzellenanordnung des Strahlungsrelais binär arbeitet.
8. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7 gekennzeichnet durch die Verwendung zum Erzeugen eines Lagerregelsignales in einem Korpuskularstrahlenmikroskop.
9. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, gekennzeichnet durch die Verwendung zum Erzeugen eines Fokussierungsregelsignales in einem Korpuskularstrahlmikroskop.