JPS6083916A - 信号発生装置 - Google Patents
信号発生装置Info
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- JPS6083916A JPS6083916A JP15047084A JP15047084A JPS6083916A JP S6083916 A JPS6083916 A JP S6083916A JP 15047084 A JP15047084 A JP 15047084A JP 15047084 A JP15047084 A JP 15047084A JP S6083916 A JPS6083916 A JP S6083916A
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- crystal cells
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/21—Means for adjusting the focus
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/261—Details
- H01J37/265—Controlling the tube; circuit arrangements adapted to a particular application not otherwise provided, e.g. bright-field-dark-field illumination
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、情報処理装置に関するものであシ、特に、
それに制限されるものではないが、１対のパターンを相
関させるだめの装置に関するものである。
それに制限されるものではないが、１対のパターンを相
関させるだめの装置に関するものである。
〈発明の背景、従来技術〉
ホープ（Ｈｏｐｐｅ ）氏の米国特許第３９７１９３６
号（西独特許第２４４１２８８号、特願昭５０−１０３
８９６号に対応）明細書には、実際の対象物の像と、基
準対象物の像として使′用される同じ対象物の先の像と
の相関によって生成される誤差信号によって電子顕微鏡
中における対象物の位置を調整するだめの方法々らびに
装置が開示されている。誤差信号は上記実際の像と基準
像を表わす１対の関数のたたみこみ積（Ｃｏｎｖｏｌｕ
ｔｉｏｎ ｐｒｏｄｕｃｔ ）を表わす。
号（西独特許第２４４１２８８号、特願昭５０−１０３
８９６号に対応）明細書には、実際の対象物の像と、基
準対象物の像として使′用される同じ対象物の先の像と
の相関によって生成される誤差信号によって電子顕微鏡
中における対象物の位置を調整するだめの方法々らびに
装置が開示されている。誤差信号は上記実際の像と基準
像を表わす１対の関数のたたみこみ積（Ｃｏｎｖｏｌｕ
ｔｉｏｎ ｐｒｏｄｕｃｔ ）を表わす。
もし関数が２進関数、すなわち関数の値か２つのレベル
に制限されておれば、この情勢に最も簡単になる。これ
についての更に詳細は上記特許に示されているの、で、
必要ならばそＪＬを参照されだめ。
に制限されておれば、この情勢に最も簡単になる。これ
についての更に詳細は上記特許に示されているの、で、
必要ならばそＪＬを参照されだめ。
周知の装置では、たたみこみ積に実際の対象物の像と記
憶された基準対象物の像とから引出される。周知の装置
は、各光学像ＰＣよって表わされる任意の数の対をなす
関数のただみこみ積を得るのに明らかに有効であシ、上
記−＞′を浮作のピクセル（画素）は各関数の値を表わ
す・ しばしば光相関器または１１光学コンピユータ！１と称
される周知の装置の特定の形式のもの＼必須の（１６成
要件は、相関されるべき関数λ゛・」の第１の光学輻射
または放射像を生成するだめの手段、上記関数の第２の
ものを表わす像Ｊ：たはピクセルのパターンを生成する
だめの光また５１輻射リレー、および上記輻射像と上記
ビクセル素子パターンとを１ね合わせ、この重ね合わせ
によって基糸信号を取出すだめの光学的相関手段からな
る。上記輻射リレーのピクセルは上記第２の関数の値に
対応する強度伝送関数を有している。周知の装置では、
輻射リレーとして、映像蓄積管、写真用乾板、ホログラ
ム、ア４ドホール管（ｅｉｄｏｐｈｏｒ ｔｕｂｅ ：
映像管の一種）等か使用される。これらの装置は、高価
である、複雑である、じゃまになる、不正確である、基
準パターンを形成するのに１１寺間かか＼る等の欠点の
少なくとも１つをもってｂる。
憶された基準対象物の像とから引出される。周知の装置
は、各光学像ＰＣよって表わされる任意の数の対をなす
関数のただみこみ積を得るのに明らかに有効であシ、上
記−＞′を浮作のピクセル（画素）は各関数の値を表わ
す・ しばしば光相関器または１１光学コンピユータ！１と称
される周知の装置の特定の形式のもの＼必須の（１６成
要件は、相関されるべき関数λ゛・」の第１の光学輻射
または放射像を生成するだめの手段、上記関数の第２の
ものを表わす像Ｊ：たはピクセルのパターンを生成する
だめの光また５１輻射リレー、および上記輻射像と上記
ビクセル素子パターンとを１ね合わせ、この重ね合わせ
によって基糸信号を取出すだめの光学的相関手段からな
る。上記輻射リレーのピクセルは上記第２の関数の値に
対応する強度伝送関数を有している。周知の装置では、
輻射リレーとして、映像蓄積管、写真用乾板、ホログラ
ム、ア４ドホール管（ｅｉｄｏｐｈｏｒ ｔｕｂｅ ：
映像管の一種）等か使用される。これらの装置は、高価
である、複雑である、じゃまになる、不正確である、基
準パターンを形成するのに１１寺間かか＼る等の欠点の
少なくとも１つをもってｂる。
この発明の目的は、この種の形式の周知の装置に比して
よシ簡単で、しかも／またはよシ安価な第１の関数と第
２の関数とのたたみこみ積を表わす信号を生成するだめ
の装置を提供することにある。
よシ簡単で、しかも／またはよシ安価な第１の関数と第
２の関数とのたたみこみ積を表わす信号を生成するだめ
の装置を提供することにある。
〈発明の概要〉
この発明の実施例は、第１の関数と第２の関数のたたみ
こみ債を表わす信号を生成する装置からなシ、上記装置
は、 ａ）ピクセルを含む光学的放射像を発生し、その輻射密
度は上記第１の関数の対応する値の関数である映像発生
手段と、 ｂ）上記放射像と同様な構成であって、しかも各ピクセ
ルが上記第２の関数の対応する値に関連し、伝送または
反射時に上記第２の１３’Ｊ数の対応する値の大きさに
関連する大きさをもった光強度伝送特性を有する上′記
ピクセルからなるパターンを発生するための輻射リレー
と。
こみ債を表わす信号を生成する装置からなシ、上記装置
は、 ａ）ピクセルを含む光学的放射像を発生し、その輻射密
度は上記第１の関数の対応する値の関数である映像発生
手段と、 ｂ）上記放射像と同様な構成であって、しかも各ピクセ
ルが上記第２の関数の対応する値に関連し、伝送または
反射時に上記第２の１３’Ｊ数の対応する値の大きさに
関連する大きさをもった光強度伝送特性を有する上′記
ピクセルからなるパターンを発生するための輻射リレー
と。
Ｃ）上記放射像を上記輻射リレーのピクセル・パターン
上に投影して、上記放射像と上記ピクセル・パターンと
のだたみこみを表わす幅η、１パターンを生成する光学
手段と、 ｄ）上記輻射パターンを受けて所望の上記信号を生成す
る光学的−電気的変換手段と、〃・らなって込る。
上に投影して、上記放射像と上記ピクセル・パターンと
のだたみこみを表わす幅η、１パターンを生成する光学
手段と、 ｄ）上記輻射パターンを受けて所望の上記信号を生成す
る光学的−電気的変換手段と、〃・らなって込る。
この発明においては、上記輻射リレーは液晶装置（ＬＣ
Ｄ ）からなる。
Ｄ ）からなる。
上記映像発生装置もまた液晶装置力・らなることか好ま
し−。
し−。
液晶装置は、液晶ドツト・マ）リンクス表示装置の形式
であることが望ましい。
であることが望ましい。
液晶ドツト・マトリックス表示装置としての液晶装置は
市販されておフ、また西独技ｊｌ＆雑誌のＦＩＪＮＫＳ
ＨＡＵの１９８２年１２月号の第１２ページに掲賊され
ているレポート「グラフインクＬＣＤ （Ｇｒａｐｈｉ
ｋ−ＬＣＤ）Ｊに示されているように他の目的のために
も使用される。
市販されておフ、また西独技ｊｌ＆雑誌のＦＩＪＮＫＳ
ＨＡＵの１９８２年１２月号の第１２ページに掲賊され
ているレポート「グラフインクＬＣＤ （Ｇｒａｐｈｉ
ｋ−ＬＣＤ）Ｊに示されているように他の目的のために
も使用される。
上述の特定の装置において、液晶装置を光相関器と組合
わせて使用することによシ、本質的な効、朱が得られる
。液晶装！ｆは（３頼性かあ、シ、小型て、しかも比較
的安価である。さらに、液晶装置は、適当な振幅の信号
によって駆動されると、例えば反射または伝送が実質的
にＯパーセントおよび１００条にそれぞれ対応する２つ
の離れた値のいずれかを持つ２進伝送特性をもった個別
の映像素子を自動的に供給することかできる。また液晶
装置は、多くの適用例において実時間処理を行なうのに
充分な速さで表示パターンを変化させることかでき、ま
た実際上蓄積時間は制限されない。
わせて使用することによシ、本質的な効、朱が得られる
。液晶装！ｆは（３頼性かあ、シ、小型て、しかも比較
的安価である。さらに、液晶装置は、適当な振幅の信号
によって駆動されると、例えば反射または伝送が実質的
にＯパーセントおよび１００条にそれぞれ対応する２つ
の離れた値のいずれかを持つ２進伝送特性をもった個別
の映像素子を自動的に供給することかできる。また液晶
装置は、多くの適用例において実時間処理を行なうのに
充分な速さで表示パターンを変化させることかでき、ま
た実際上蓄積時間は制限されない。
以下に述べるこの発明の好ましい実施例によってこの発
明のさらに他の目的、特徴、効果等について詳細に説明
する。
明のさらに他の目的、特徴、効果等について詳細に説明
する。
〈実施例の説明〉
以下、図示の実施例を参照しつ＼この発明の詳細な説明
する。第１図は、市販さ）１ているグラフィックＬＣＤ
を使用することのできる液晶ドツト・マトリックス表示
装置の平面図を示す。この種の形式の周知のＬＣＤ１ｄ
２４０ Ｘ６４個の円形ドツトまたはピクセルのドツ
ト・マトリックスから々る。図を簡単にするために、第
１図には１５×６個の長方形のピクセルが示されている
。ピクセルは、異った状態で動作させるために適当な′
１シ圧を印加することによって制御される。ＬＣ’Ｊ）
表示装置は、一般に市販のＩ、ＣＤと組合わせて使用さ
ノする通常の駆動用電子回路と共に使用されると、２進
の形で動作する。すなわち、ピクセルは２つの異った状
態の一方において選択的に動作する。動的散乱の原理で
動作するＬＣＤにおいては、こｈ−らの異った状態は、
ａ）光の散乱（反射）、または１））非散乱（透過）で
ある。、偏光器と組合ゎぜて１災用されるねじれネマチ
ック形式のＬＣＩ）の場合に姐、動作状態は、ａ）透明
と、ｂ）不透明である３、西独公告特許出願第２１５８
５６３号明細書にも示さノしているように液晶セルは、
これに適当な大きさの４ｄ号を供給することによって散
乱ま′には透過が連続的にアナログ状態で動作し得るこ
とは周知である。
する。第１図は、市販さ）１ているグラフィックＬＣＤ
を使用することのできる液晶ドツト・マトリックス表示
装置の平面図を示す。この種の形式の周知のＬＣＤ１ｄ
２４０ Ｘ６４個の円形ドツトまたはピクセルのドツ
ト・マトリックスから々る。図を簡単にするために、第
１図には１５×６個の長方形のピクセルが示されている
。ピクセルは、異った状態で動作させるために適当な′
１シ圧を印加することによって制御される。ＬＣ’Ｊ）
表示装置は、一般に市販のＩ、ＣＤと組合わせて使用さ
ノする通常の駆動用電子回路と共に使用されると、２進
の形で動作する。すなわち、ピクセルは２つの異った状
態の一方において選択的に動作する。動的散乱の原理で
動作するＬＣＤにおいては、こｈ−らの異った状態は、
ａ）光の散乱（反射）、または１））非散乱（透過）で
ある。、偏光器と組合ゎぜて１災用されるねじれネマチ
ック形式のＬＣＩ）の場合に姐、動作状態は、ａ）透明
と、ｂ）不透明である３、西独公告特許出願第２１５８
５６３号明細書にも示さノしているように液晶セルは、
これに適当な大きさの４ｄ号を供給することによって散
乱ま′には透過が連続的にアナログ状態で動作し得るこ
とは周知である。
再ひ第１図を参照すると、図示されたＬＣＤ表示装置は
実質的に活性領域１２と周囲のフレーム１４とからなっ
ている。活性領域１２は相対向する内面上に透明電極の
設けられた１対の接近して配置されたガラス板と、この
ガラス板の間に設けられた゛液晶拐料の薄層とからなっ
ている。装置の動作に必要な偏光器は図を明確にするた
めに図には示されてｂない。フレーム１４は通常集積回
路の形に構成された制御および、駆動電子回路からなる
。
実質的に活性領域１２と周囲のフレーム１４とからなっ
ている。活性領域１２は相対向する内面上に透明電極の
設けられた１対の接近して配置されたガラス板と、この
ガラス板の間に設けられた゛液晶拐料の薄層とからなっ
ている。装置の動作に必要な偏光器は図を明確にするた
めに図には示されてｂない。フレーム１４は通常集積回
路の形に構成された制御および、駆動電子回路からなる
。
第２図は、電子顕微鏡１６によって像が作られる対象物
（図示せず）の位置ｆ：調整するために使用されるこの
発明の実施例を示し、これに関連する部分の構造は前述
のホープ氏の特許明ａ書中によフ完全に示されている。
（図示せず）の位置ｆ：調整するために使用されるこの
発明の実施例を示し、これに関連する部分の構造は前述
のホープ氏の特許明ａ書中によフ完全に示されている。
電子顕微鏡１６は対象物の実像１９が現われる螢光体ス
クリーン１８を有している。対象物の実像の一部はレン
ズ２０によって電気−光変換器２２上に結像される。変
換器２２０″ｉ這荷結合装置を含む周知のＣＣＤイメー
ジヤからなるものでよい。ＣＣ’ＤＣＣＤイメージヤ汀
周知、また市販されておシ、クロック信号源２４と共同
して動作し、出力２６に標漁′形式のテレビジョンやビ
デオ信号全発生することができる。ＣＣＤイメージヤ２
２の出力は単極双投スイッチ２８の入力に結合さ九て贋
る。
クリーン１８を有している。対象物の実像の一部はレン
ズ２０によって電気−光変換器２２上に結像される。変
換器２２０″ｉ這荷結合装置を含む周知のＣＣＤイメー
ジヤからなるものでよい。ＣＣ’ＤＣＣＤイメージヤ汀
周知、また市販されておシ、クロック信号源２４と共同
して動作し、出力２６に標漁′形式のテレビジョンやビ
デオ信号全発生することができる。ＣＣＤイメージヤ２
２の出力は単極双投スイッチ２８の入力に結合さ九て贋
る。
このスイッチ２８としては制御回路３０によって制御さ
れる電子装置を使用することができる。制御回路３０は
、ＣＣ’ＤＣＣＤイメージヤ２６からビデオ信号を受信
する垂直同期分離器と、この同期分離器の出力に結合さ
れたカウンタとからなっている。カウンタは押ボタンΦ
スイッチによって発生され、ランチに記憶された信号に
よって（Ｊ勢され、これが付勢されると、第１の＊直同
期パルスがＣＣＤイメージヤから供給されたとき出力２
６をスイッチ出力端子２（３ａからスイッチ出力端子２
８Ｌ＋ １’こ切換え、第３の垂直同期パルスが供給さ
〕Ｌだとき出力２６を出力端子２８ａに戻し、それによ
って２フイールドからなる１枚の完全なＴＶ映像アレー
ン、が出力端子２８１）に供給される。出力端子２８．
１は第１のＬＣＤ１０ａの信号入力端子に結合されて層
る。この第１のＬＣＤ １０ａは、発゛生器２４からク
ロック信号が供給される関連す°る通常の駆動および制
御回路３２によって制御される。従って、上述の初期ス
イッチング期間の後、ＬＣＤ ｌｏａはＣＣＤイメージ
ヤ２２上に投影された映像の部分に対応する実像を連続
的に表示する。もし必要ならば、ＣＣＤイメージヤ２２
とスイッチ２８との間に増幅および制限回路３４を結合
し、ビデオ信号を処理して、もしＬＣＤ ｌｏａ自体に
よって影響を受けないならば上記ビデオ信号を２進信号
に変換してもよい。
れる電子装置を使用することができる。制御回路３０は
、ＣＣ’ＤＣＣＤイメージヤ２６からビデオ信号を受信
する垂直同期分離器と、この同期分離器の出力に結合さ
れたカウンタとからなっている。カウンタは押ボタンΦ
スイッチによって発生され、ランチに記憶された信号に
よって（Ｊ勢され、これが付勢されると、第１の＊直同
期パルスがＣＣＤイメージヤから供給されたとき出力２
６をスイッチ出力端子２（３ａからスイッチ出力端子２
８Ｌ＋ １’こ切換え、第３の垂直同期パルスが供給さ
〕Ｌだとき出力２６を出力端子２８ａに戻し、それによ
って２フイールドからなる１枚の完全なＴＶ映像アレー
ン、が出力端子２８１）に供給される。出力端子２８．
１は第１のＬＣＤ１０ａの信号入力端子に結合されて層
る。この第１のＬＣＤ １０ａは、発゛生器２４からク
ロック信号が供給される関連す°る通常の駆動および制
御回路３２によって制御される。従って、上述の初期ス
イッチング期間の後、ＬＣＤ ｌｏａはＣＣＤイメージ
ヤ２２上に投影された映像の部分に対応する実像を連続
的に表示する。もし必要ならば、ＣＣＤイメージヤ２２
とスイッチ２８との間に増幅および制限回路３４を結合
し、ビデオ信号を処理して、もしＬＣＤ ｌｏａ自体に
よって影響を受けないならば上記ビデオ信号を２進信号
に変換してもよい。
出力端子２８１）は、伝送モードで映像パターン輻射リ
レーとして動作する第２のＬＣＤ １ｏｂに結合されて
いる。上述の切換サイクルは、上記ｌフレームのテレビ
ジョン映像を基進映像パターンとしてＬＣＤ ｉｏｂ中
に蓄積するのに有効である。ＬＣＤ ｌｏａと同じ駆動
および制御回路でＬＣＤ ｌｏｂを制御してもよｌ／Ｉ
Ｌ、図示されていない別の駆動２よび制御回路で制御し
てもよい。
レーとして動作する第２のＬＣＤ １ｏｂに結合されて
いる。上述の切換サイクルは、上記ｌフレームのテレビ
ジョン映像を基進映像パターンとしてＬＣＤ ｉｏｂ中
に蓄積するのに有効である。ＬＣＤ ｌｏａと同じ駆動
および制御回路でＬＣＤ ｌｏｂを制御してもよｌ／Ｉ
Ｌ、図示されていない別の駆動２よび制御回路で制御し
てもよい。
ＬＣＤｌ０ａおよびＬＣＤ ｌｏｂけ、光源３８、コン
デンサ・レンズ４０、拡散器または基板用ガラス板３６
、ＬＣＤ ｌｏａ 、 ＬＣＩ） ｌｏｂ 、集束レン
ズ４２、および面形式の光−電気変換器４４からなる光
学路中に一＼＋ｉ行に且つ間隔を保゛つて配置されてい
る。 ＬＣＪ）１ｏｂから離れた側から照射されたＬＣ
Ｄ １０ｆｔのピクセルは放射または輻射形式の実像を
形成し、その光に、基準映像に対応する伝送パターンを
表示するＬＣＤｌ０ｂおよびレンズ４２を通って変換器
４４に達する。この変換器４４／ｄＣＣＤイメージヤま
たはカメラ管からなるものでよい。変換器４４／′ｉレ
ンズ４２の焦点ｉＩｉ」に位置する活性面を有し、これ
によって変換器４４は最大強度の点の位置を表わす出力
信号を発生し、従って、たたみこみ積すなわち相関関数
を表わす出力信号を発生する。変換器４４の出力り号は
、前述のホープ氏の特許明細書に示されているように、
電子顕微鏡１６中の対象物の位置を調整するために、テ
レビジョン・モニタおよび／ま／こに周知の装置のよう
な表示装置に供給される。
デンサ・レンズ４０、拡散器または基板用ガラス板３６
、ＬＣＤ ｌｏａ 、 ＬＣＩ） ｌｏｂ 、集束レン
ズ４２、および面形式の光−電気変換器４４からなる光
学路中に一＼＋ｉ行に且つ間隔を保゛つて配置されてい
る。 ＬＣＪ）１ｏｂから離れた側から照射されたＬＣ
Ｄ １０ｆｔのピクセルは放射または輻射形式の実像を
形成し、その光に、基準映像に対応する伝送パターンを
表示するＬＣＤｌ０ｂおよびレンズ４２を通って変換器
４４に達する。この変換器４４／ｄＣＣＤイメージヤま
たはカメラ管からなるものでよい。変換器４４／′ｉレ
ンズ４２の焦点ｉＩｉ」に位置する活性面を有し、これ
によって変換器４４は最大強度の点の位置を表わす出力
信号を発生し、従って、たたみこみ積すなわち相関関数
を表わす出力信号を発生する。変換器４４の出力り号は
、前述のホープ氏の特許明細書に示されているように、
電子顕微鏡１６中の対象物の位置を調整するために、テ
レビジョン・モニタおよび／ま／こに周知の装置のよう
な表示装置に供給される。
第２図の装置の変形例では＋ ＬＣＪ：） ｌＱａば反
射モードで動作し、そのＬＣＩ） ｌＯＬ＋と対向する
側は光源ＺＢＫよって昭七六省−で（八人−こσ）ＩＪ
、！＋今１ｒｌ’ Ｅ耐振式のＬＣＤで使用さ′れる液
晶材料の形式によって、素子３６は不透朔あるいは反射
性の背面板となる。
射モードで動作し、そのＬＣＩ） ｌＯＬ＋と対向する
側は光源ＺＢＫよって昭七六省−で（八人−こσ）ＩＪ
、！＋今１ｒｌ’ Ｅ耐振式のＬＣＤで使用さ′れる液
晶材料の形式によって、素子３６は不透朔あるいは反射
性の背面板となる。
ＬＣＤ） ｌｏａによって生成される輻射映像が、輻射
リレーとして動作するＬＣＤ ｌｏｂの映像パターンの
反転であれば、相関関数の符号は反転される。この反転
を避けるべきであるならば、第２図中に仮想線で示すよ
うに、端子２８ｂからＬＣＤ ｌｏｂの人力へ至る線路
中にインバータ２９を結合すればよい。
リレーとして動作するＬＣＤ ｌｏｂの映像パターンの
反転であれば、相関関数の符号は反転される。この反転
を避けるべきであるならば、第２図中に仮想線で示すよ
うに、端子２８ｂからＬＣＤ ｌｏｂの人力へ至る線路
中にインバータ２９を結合すればよい。
第３図は、共に反射形式である第１のＬＣＤ １０ａと
第２のＬＣＤ １ｏｂとからなる装置を概略的に示す。
第２のＬＣＤ １ｏｂとからなる装置を概略的に示す。
ＬＣＤ１’ｇａは第２図のＬＣＤ ｌＱａと同様に接続
されており、実際の対象物の像として第１の関数を表示
するように動作する。ＬＣＤ ｌｏａは光源５０によっ
て照射されて放射像を生成する。放射像の光線は傾斜し
て配置された部分透過性のミラー５２によって第２の反
射型のＬＣＤ１０ｂ上に伝達される。このＬＣＤ ｌｏ
ｂは、反射ピクセルおよび非反射ピクセルから々シ、Ｌ
ＣＤ ｌｏ’ａによって生成される実際の像よりも所定
の割合だけ小さい基準像を代表するパターンを表示する
。
されており、実際の対象物の像として第１の関数を表示
するように動作する。ＬＣＤ ｌｏａは光源５０によっ
て照射されて放射像を生成する。放射像の光線は傾斜し
て配置された部分透過性のミラー５２によって第２の反
射型のＬＣＤ１０ｂ上に伝達される。このＬＣＤ ｌｏ
ｂは、反射ピクセルおよび非反射ピクセルから々シ、Ｌ
ＣＤ ｌｏ’ａによって生成される実際の像よりも所定
の割合だけ小さい基準像を代表するパターンを表示する
。
ＬＣＤｌ０ｂの動作面から反射された光放射は、傾斜し
て配置された部分透過、部分反射ミラー５２によって更
に反゛射されて第２図の変換器４４と同様な面形式の光
−電気変換器４４上に導かルる。この変換器４４’は所
望のたたみこみ積を表わす出力信号を発生する。第３図
の実施例は、光技術分野で周知ル であシ、また例えば西独特許明細Ａ２４４１２８８号中
に示されて因る中心投影法則に基いて動作する。
て配置された部分透過、部分反射ミラー５２によって更
に反゛射されて第２図の変換器４４と同様な面形式の光
−電気変換器４４上に導かルる。この変換器４４’は所
望のたたみこみ積を表わす出力信号を発生する。第３図
の実施例は、光技術分野で周知ル であシ、また例えば西独特許明細Ａ２４４１２８８号中
に示されて因る中心投影法則に基いて動作する。
第４図はこの発明の特に簡単な実施例の原理を示し、こ
れもまた中心投影でＵσ１作し、透過形式のＬＣＤ：ｔ
ｏｂかＣなる。ＬＣＤ １ｏｂは第２図のり、ＣＩ）
１ｏｂと同様に輻射または光リレーとして動作し、相関
されるべき１対の関数の一方、例えば基準像を表わす不
透明および透明ビクセルのパターンを生成するために使
用される。第４図にに一部分のみが示されており、発光
スクリーン５２からなる装置５゜は、相関されるべき１
対の関数の他方に対応するパターンを実際の像として生
成するために使用される。第２図の変換器４４と同様な
光−電気変換器４４はＬＣＤ １０から離れて、その族
ｆｆｆｆ１５０側と反対側の面と対向して配置されてい
る。周知のように、装置５０とＬＣＤｌ０ｂとによって
生成される像の直線的な大きさの比は、簡単々幾何学的
考案から明らかなように、変換器４４の面からこれらの
像の面までの間隔の比に等しくなる。
れもまた中心投影でＵσ１作し、透過形式のＬＣＤ：ｔ
ｏｂかＣなる。ＬＣＤ １ｏｂは第２図のり、ＣＩ）
１ｏｂと同様に輻射または光リレーとして動作し、相関
されるべき１対の関数の一方、例えば基準像を表わす不
透明および透明ビクセルのパターンを生成するために使
用される。第４図にに一部分のみが示されており、発光
スクリーン５２からなる装置５゜は、相関されるべき１
対の関数の他方に対応するパターンを実際の像として生
成するために使用される。第２図の変換器４４と同様な
光−電気変換器４４はＬＣＤ １０から離れて、その族
ｆｆｆｆ１５０側と反対側の面と対向して配置されてい
る。周知のように、装置５０とＬＣＤｌ０ｂとによって
生成される像の直線的な大きさの比は、簡単々幾何学的
考案から明らかなように、変換器４４の面からこれらの
像の面までの間隔の比に等しくなる。
ＬＣＤｌ０ｂは第２図のＬＣＤ １ｏｂと同様に接続さ
れている。変換器４４を基準像として蓄積されるべき像
を検出するために使用することもできる。この光路から
取除き、代シに適当なレンズを配置して発光スクリーン
５２上の像を前述のようにＣＣＤイメージヤあるいはビ
ジコンのようなＴＶカメラ管を使用することのできる変
換器４４の動作面上に結像する。
れている。変換器４４を基準像として蓄積されるべき像
を検出するために使用することもできる。この光路から
取除き、代シに適当なレンズを配置して発光スクリーン
５２上の像を前述のようにＣＣＤイメージヤあるいはビ
ジコンのようなＴＶカメラ管を使用することのできる変
換器４４の動作面上に結像する。
上述の各実施例を種々の方法で変形することが気嚢換器
を、前述のホープ氏の特許明細書の第２ａ図に関連して
示されているように、発光ダイオードの２次元マトリッ
クスによって構成してもよい。
を、前述のホープ氏の特許明細書の第２ａ図に関連して
示されているように、発光ダイオードの２次元マトリッ
クスによって構成してもよい。
第３図において、ＬＣＤ １０ａ、、および光源５０の
代ＤＫ第１図の発光スクリーン１８を使用し、実際の対
象物の像自体をＬＣＤ） ｌｏｂ上に投影さ才りる光パ
ターンを与えるために使用することもできる。この場合
、第３図の左の方に部分透過性ミラー５２によって反射
すした放射光線の世路中に配置１°５″されたレンズお
よびＣＣＤイメージヤ（図示せず）によって、所望の対
象物の像を検出し、蓄積する。
代ＤＫ第１図の発光スクリーン１８を使用し、実際の対
象物の像自体をＬＣＤ） ｌｏｂ上に投影さ才りる光パ
ターンを与えるために使用することもできる。この場合
、第３図の左の方に部分透過性ミラー５２によって反射
すした放射光線の世路中に配置１°５″されたレンズお
よびＣＣＤイメージヤ（図示せず）によって、所望の対
象物の像を検出し、蓄積する。
市販のＬＣＤ表示装置のマトリックスドツトの数が不充
分であれば、幾つかのＬＣＩ）表示装置を並列に使用す
ればよい。この場合、各ＬＣＪ）ｉＬ、それが各関数の
対応する部分を相関さぜるために１丈用され、これらの
部分相関動作の結果、最終的な相関積が得られるように
合成されるように配置される。
分であれば、幾つかのＬＣＩ）表示装置を並列に使用す
ればよい。この場合、各ＬＣＪ）ｉＬ、それが各関数の
対応する部分を相関さぜるために１丈用され、これらの
部分相関動作の結果、最終的な相関積が得られるように
合成されるように配置される。
既に述べたように、ＬＣＤ装置のビクセルの透過性およ
び散乱の程度は連続的に制ｎ１１１さノ１．るので、連
続したトーンの放射映像パターンお」：び／または連続
したトーンの輻射リレー映ｆ’７７パターンを生成する
ことが可能である。上述のＣＣＶ）イメージヤの代りに
、他の適当なイメージヤを通常のテレビジョンΦカメラ
μｍで ６１．Ｖ （１１＋ｔイｔ・１１箇六λＡ ＋
’−七４遅速走査テレビジョン形式のカメラとして使用
することもできる。
び散乱の程度は連続的に制ｎ１１１さノ１．るので、連
続したトーンの放射映像パターンお」：び／または連続
したトーンの輻射リレー映ｆ’７７パターンを生成する
ことが可能である。上述のＣＣＶ）イメージヤの代りに
、他の適当なイメージヤを通常のテレビジョンΦカメラ
μｍで ６１．Ｖ （１１＋ｔイｔ・１１箇六λＡ ＋
’−七４遅速走査テレビジョン形式のカメラとして使用
することもできる。
幾つかの適用例では、一連のくシ返し測定動作中に各々
数回使用される複舷の異った基准映像＜ターンを必要と
する。映像パターン輻射リレーとしてＬＣＤ装置を使用
すると、コンピュータのメモリのような適当な記憶装置
に各種の基準映像パターンを記憶させ、また輻射リレー
ＬＣＤに対して必要なパターンを読出させることによシ
、上記の動作を極めて簡単に実行することができる。例
えば、複数の異った基準映像バター７（ｆＪ’、民ｉ層
写真法、例えば、分子寸法をもった対象物の３次元構造
を。
数回使用される複舷の異った基准映像＜ターンを必要と
する。映像パターン輻射リレーとしてＬＣＤ装置を使用
すると、コンピュータのメモリのような適当な記憶装置
に各種の基準映像パターンを記憶させ、また輻射リレー
ＬＣＤに対して必要なパターンを読出させることによシ
、上記の動作を極めて簡単に実行することができる。例
えば、複数の異った基準映像バター７（ｆＪ’、民ｉ層
写真法、例えば、分子寸法をもった対象物の３次元構造
を。
対象物と電子顕微鏡の電子ビーム通路との間の傾斜角を
変えることによって作られた電子顕微鏡の複敬の映像力
・らコンピュータの力を借シて再構成する方法において
必要になる。たたみこみを表わす信号は、電子顕微鏡の
ような粒子線顕微鏡ておける像の位置を安定化するため
に使用され、また、このたたみこみ信号は実際の像の焦
点の状態に強く依存することから、このような顕微鏡の
焦点の調整のためにも使用される。
変えることによって作られた電子顕微鏡の複敬の映像力
・らコンピュータの力を借シて再構成する方法において
必要になる。たたみこみを表わす信号は、電子顕微鏡の
ような粒子線顕微鏡ておける像の位置を安定化するため
に使用され、また、このたたみこみ信号は実際の像の焦
点の状態に強く依存することから、このような顕微鏡の
焦点の調整のためにも使用される。
この発明によれば、２進１犯数でもよい１対の関数のた
たみこみ稍を表わす信−シシーを生成するだめの装置を
提供することができる。この発明の装置は、上記関数の
うちの第１の関数を表わす光学放射パターンを生成する
だめの手段と、上記関数のうちの第２の関数に対応する
伝達１夕」数づ〕イＩｉ ｆ生成するだめの手段を備え
た輻射リレーと、上記放射パターンの映像と伝達関数分
布とを車ね合わせるための手段とからなっている。上記
伝速関数分布を生成するだめの手段および／または上記
放射パターンの映像を生成するだめの手段を液晶装置、
特にこれに限定されるものでにないが液晶ドツト・マト
リックス表示装置によって４．７．７成することができ
る。この発明の装置は、使用さノＬる像の重ね合わせ手
段の形式によって透過および／庄たは反射形式で動作す
る、液晶装置で構成さり、る。
たみこみ稍を表わす信−シシーを生成するだめの装置を
提供することができる。この発明の装置は、上記関数の
うちの第１の関数を表わす光学放射パターンを生成する
だめの手段と、上記関数のうちの第２の関数に対応する
伝達１夕」数づ〕イＩｉ ｆ生成するだめの手段を備え
た輻射リレーと、上記放射パターンの映像と伝達関数分
布とを車ね合わせるための手段とからなっている。上記
伝速関数分布を生成するだめの手段および／または上記
放射パターンの映像を生成するだめの手段を液晶装置、
特にこれに限定されるものでにないが液晶ドツト・マト
リックス表示装置によって４．７．７成することができ
る。この発明の装置は、使用さノＬる像の重ね合わせ手
段の形式によって透過および／庄たは反射形式で動作す
る、液晶装置で構成さり、る。
第１図はこの発明を実施するのにイ」効′ｈＬｃＤドツ
ト・マトリックス表示装置のｆｒｆｉ略化された平面図
、第２図は透過モードで動作する少なくとも１個のＬＣ
Ｄ表示装置からなるこの発明の第１の実施例の一部をブ
ロックの形で示した概略構成図、第３図は反射モードで
動作する少なくとも１個のＬＣＤ表示装置からなるこの
発明の第２の実施例の主要部の概略構成図、第４図はこ
の発明の特に簡単で最も好ましい実施例の主要部の概略
構成図である。 １０ａ・・・第１のＬＣＤ Ｃ光学的放射像生成手段）
、１０ｂ・・第２のＩ、ＣＤ （輻射リレー）、４２・
・レンズ（投影手段）、４４・・・光−電気変換手段。 特許出願人 マックス・ブランク・ゲセ゛ルシャフトツ
ール フエールデルンク デア ビラセンシャツテン ニー ファウ 代 理 人 清 水 哲 ほか２名 手続補正書（自発）（方式） 昭和５９４１飽０月１日 １ 事件の表示 特願昭５９−１５０４７０号 ２、発明の名称 信号発生装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 ドイツ連邦共和国 ３４００ ゲツチンゲン グンゼンシュトラーセ １０名 称 マ
ックス・ブランク・ゲゼルシャフト ツールフエールデ
ルンク デア ビラセンシャツテン ニー ファウ４、
代理人 ５ 補正の対象 明細書全文及び図面 ６ 補正の内容 （１） 明細書の浄書（内容に女史なし）（２）図面の
浄書（内容に女史なし） 添付書類 （１） 明 卸Ｉ 書 １通 （２） 図 面 ｌｌ１ｆｌ ｊ゛ノ 上
ト・マトリックス表示装置のｆｒｆｉ略化された平面図
、第２図は透過モードで動作する少なくとも１個のＬＣ
Ｄ表示装置からなるこの発明の第１の実施例の一部をブ
ロックの形で示した概略構成図、第３図は反射モードで
動作する少なくとも１個のＬＣＤ表示装置からなるこの
発明の第２の実施例の主要部の概略構成図、第４図はこ
の発明の特に簡単で最も好ましい実施例の主要部の概略
構成図である。 １０ａ・・・第１のＬＣＤ Ｃ光学的放射像生成手段）
、１０ｂ・・第２のＩ、ＣＤ （輻射リレー）、４２・
・レンズ（投影手段）、４４・・・光−電気変換手段。 特許出願人 マックス・ブランク・ゲセ゛ルシャフトツ
ール フエールデルンク デア ビラセンシャツテン ニー ファウ 代 理 人 清 水 哲 ほか２名 手続補正書（自発）（方式） 昭和５９４１飽０月１日 １ 事件の表示 特願昭５９−１５０４７０号 ２、発明の名称 信号発生装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 ドイツ連邦共和国 ３４００ ゲツチンゲン グンゼンシュトラーセ １０名 称 マ
ックス・ブランク・ゲゼルシャフト ツールフエールデ
ルンク デア ビラセンシャツテン ニー ファウ４、
代理人 ５ 補正の対象 明細書全文及び図面 ６ 補正の内容 （１） 明細書の浄書（内容に女史なし）（２）図面の
浄書（内容に女史なし） 添付書類 （１） 明 卸Ｉ 書 １通 （２） 図 面 ｌｌ１ｆｌ ｊ゛ノ 上
Claims (9)
- （１）各々が第１の関数の対応する値に関連する輻射密
度をもったピクセルの光学放Ω」像を生成するだめの手
段と。 各々が第２の関数の対応する値に関）！する光学強度伝
達関数特性をもったピクセルのパターンヲ生成するだめ
の手段からなる輻射リレーと、上記放射像を上記輻射リ
レーの上記ピクセル・パターン上に投影して上記放射ｆ
象とピクセル・バター７とのたたみこみに相当する輻射
パターンを生成するだめの手段と、 上記輻射パターンを受けて上記ただみこみの信号を生成
するだめの光−電気変換手段と、からなり、 上記輻射リレーは液晶セルの配列からなることを特徴と
する上記第１の関数と第２の関数とのた主装置。 - （２） 上記放射像を生成するだめの手段は液晶セルの
配列からなることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の鱈号発生装置。 - （３）上記液晶セル表示装置は液晶ドツト・マトリック
ス表示装置であることを特徴とする特許請求の範囲第１
項または第２項記載の信号発生装置。 - （４）上記第１および第２の液晶セルの配列、光学、レ
ンズ、および光−電気変換手段は拡大された感光領域を
有し、上記光源、上記第１および第２の液晶セルの配列
、上記レンズ、および上記変換手段は、この順序で上記
光源から上記変換手段に至る光路に沿って間隔を保って
配置されておシ、それによって上記第１の液晶セルの配
列は輻射パターンを生成し、その輻射パターンの像は上
記第２の液晶セルの配列を経て上記変換手段上に導かｔ
、上記レンズと上記変換手段との間ゐ距離は上記レンズ
の焦点距離に等しく定められていることを特徴とする特
許請求の範囲第２項記載の信号発生装− - （５）各ピクセルが上記第２の関数の値を表わす液晶セ
ルの配列は上記放射像よシも所定の割合だけ小さいピク
セル・パターンを生成するよ５に配列されておシ、中心
投影の法則に従って動作することを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の信号発生装置。 - （６） 上記液晶セルの配列は互いに隣接して配置され
た複数の個別液晶装置がら゛なることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載のｒ８号光発生置。 - （７）上記液晶セルの配列は互いに隣接して配置された
複数の個別液晶装置からなることを特徴とする特許請求
の範囲第２項記載ＯｆＪ七発生装置。 - （８）上記液晶セルの配列は２進形式で動作するもので
ある特許請求の範囲第１項記載のイ、」号発生装置。 - （９）上記液晶セルの配列は２進形式で動作するもので
ある特許請求の範囲第２項記戦の信号発生装置。 θＱ 上記たたみこみ積を表わす上記信号は粒子線顕微
鏡の位置調整装置に供給さノＬるものである特許請求の
範囲第１項記載の信号発生装置。 αυ 上記たたみこみ積を表わす上記信号は粒子線顕微
鏡の焦点調整装置に供給されるものである特許請求の範
囲第１項記戦の信号発生装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19833325855 DE3325855A1 (de) | 1983-07-18 | 1983-07-18 | Einrichtung zum erzeugen eines signales entsprechend einem faltungsprodukt zweier funktionen |
| DE3325855.4 | 1983-07-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6083916A true JPS6083916A (ja) | 1985-05-13 |
Family
ID=6204255
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15047084A Pending JPS6083916A (ja) | 1983-07-18 | 1984-07-18 | 信号発生装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6083916A (ja) |
| DE (1) | DE3325855A1 (ja) |
| GB (1) | GB2144535A (ja) |
| NL (1) | NL8402264A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63502221A (ja) * | 1986-01-20 | 1988-08-25 | スキャネラ ソシエテ シビル | 光学的システムの伝達関数を制御するための画像処理装置 |
| JPH01502161A (ja) * | 1986-11-21 | 1989-08-03 | ジェネラル エレクトリック セージェーエール エス．アー | 核磁気共鳴を利用した測定によって身体内の運動部分を表示する方法 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH073774B2 (ja) * | 1986-10-08 | 1995-01-18 | 株式会社日立製作所 | 電子顕微鏡 |
| DE4305807A1 (de) * | 1993-02-25 | 1994-10-13 | Thomson Brandt Gmbh | Kamera mit einer steuerbaren Blende |
| DE4420637A1 (de) * | 1994-06-14 | 1995-12-21 | Bertram Dr Rapp | Optische Abbildungsvorrichtung |
| DE19607728A1 (de) * | 1996-02-29 | 1997-09-04 | Siemens Ag | Infrarot-Datenschnittstelle |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2441288C2 (de) * | 1974-08-27 | 1976-10-28 | Max Planck Gesellschaft | Korpuskularstrahlmikroskop, insbesondere elektronenmikroskop, mit verstelleinrichtungen zur aenderung der lage des abzubildenen objekts oder des objektbildes |
-
1983
- 1983-07-18 DE DE19833325855 patent/DE3325855A1/de not_active Withdrawn
-
1984
- 1984-07-17 NL NL8402264A patent/NL8402264A/nl not_active Application Discontinuation
- 1984-07-18 GB GB08418276A patent/GB2144535A/en not_active Withdrawn
- 1984-07-18 JP JP15047084A patent/JPS6083916A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63502221A (ja) * | 1986-01-20 | 1988-08-25 | スキャネラ ソシエテ シビル | 光学的システムの伝達関数を制御するための画像処理装置 |
| JPH01502161A (ja) * | 1986-11-21 | 1989-08-03 | ジェネラル エレクトリック セージェーエール エス．アー | 核磁気共鳴を利用した測定によって身体内の運動部分を表示する方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| NL8402264A (nl) | 1985-02-18 |
| GB8418276D0 (en) | 1984-08-22 |
| GB2144535A (en) | 1985-03-06 |
| DE3325855A1 (de) | 1985-01-31 |
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