DE3302881A1 - Bearbeiten von werkstuecken aus sproed-bruechigen werkstoffen - Google Patents

Bearbeiten von werkstuecken aus sproed-bruechigen werkstoffen

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Description

  • Bearbeiten von Werkstücken aus spröd-brüchigen Werkstoffen Die Erfindung betrifft das Bearbeiten von Werkstücken aus sprödbrüchigen Werkstoffen mit großer Härte.
  • Die Zerspanung von Metallen und nichtmetallischen Werkstoffen durch Schleifen findet mehr und mehr Eingang in der Fertigungstechnik, wobei zwei Entwicklungsziele angestrebt werden, nämlich einerseits die Erreichung höchster Genauigkeit und Oberflächengüte und andererseits eine Erhöhung der Zerspanungsleistung. Beide Ziele schließen sich bisher gegenseitig aus, da gemäß dem derzeitigen Stand der Technik der Aufbau der Maschinen und vor allem die Spezifikation der Schleifwerkzeuge speziell ausgelegt sein müssen, um das eine oder das andere Optimum zu erreichen.
  • Derzeit sind zwei Schleifverfahren bekannt, nämlich das "Umfangsschleifen" und "Seitenschleifen". Das "Umfangsschleifen" ist dabei weiterentwickelt als das "Seitenschleifen" und teilweise bereits konkurrenzfähig hinsichtlich Zerspanungsleistung und Genauigkeit gegenüber Drehen, Fräsen und Hobeln. Die beiden unterschiedlichen Schleifverfahren gemäß dem Stand der Technik sind eingehend in der technischen Literatur beschrieben, wobei die Leistungsgrenzen in wissenschaftlichen Arbeiten, Fachliteratur und Produktinformationen angegeben sind und den jeweils erreichten letzten Stand widerspiegeln.
  • Beide oben erwähnte Schleifverfahren haben ihre eigenen, sich teilweise überdeckenden Einsatzgebiete, in denen sie optimal arbeiten. Dabei ist für sehr harte, spröde ulid empfindlache:Materialien und sehr ebene Planflächen das Seitenschleifverfahren überlegen. Solche Materialien sind vor allem nichtmetallische Werkstoffe, die in großen Mengen in Scheiben- oder Ringform verwendet werden, beispielsweise als Substrat für Elektronikbauteile oder Dichtungen. Ein Beispiel ist hier die Bearbeitung von sehr dünnen Scheiben aus Silizium, Germanium, Quarzen, Saphiren und lll-V-Verbindung, wie sie in stark zunehmendem Maß als Substrat für die Herstellung elektronischer Bauteile weltweit verwendet worden. Das zu Beginn zur Oberflächenbearbeitung ausschließlich angewendete Läppen wird mehr und mehr durch Schleifen mit diamantbelegten Schleifscheiben ersetzt. Dieses Verfahren wurde von der Anmelderin produktionsreif entwickelt.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, beim Bearbeiten von Werkstücken aus spröd-brüchigen und oft extrem harten Materialien eine gegenüber dem derzeitigen Stand der Technik verbesserte Zerspanungsleistung bei werkstoffschonendem Material abtrag zu ermöglichen, wobei die bei einem Schneidprozeß unvermeidlichen Veränderungen der obersten Materialschichten und die sich hieraus ergebende Zerstörungstiefe geringer sein sollen als bei derzeit bekannten und angewendeten Abtragsverfahren und wobei gleichzeitig eine Verbesserung der Oberflächengüte erzielt wird, um die Anzahl der bei solchen Materialien notwendigen aufeinanderfolgenden Arbeitsgänge, wie beispielsweise Schrupp-, Schlicht- und Feinschleifen, zu verringern.
  • Spröd-brüchige Werkstoffe, die erfindungsgemäß bearbeitet werden, haben eine Mindest-Vickers-Härte von 5000 N/mm2, vorzugsweise von 7000 - 25000 N/mm2. Bevorzugte Beispiele derartiger Werkstoffe sind Spezialglas und Glaskeramik mit einer Vickers-Härte bis 7000 N/mm2 zur Anwendung in der Optik. Eine besonders bevorzugte Gruppe von Werkstoffen sind Alll-BV-Verbindungen mit einer Vickers-Härte bis 8500, Ferrite mit einer Vickers-Härte bis 7000, Germanium mit einer Vickers-Härte bis 7500, Silizium mit einer Vickers-Härte bis 11500, Spinell mit einer Vickers-Härte bis 14000, sowie Saphir- und Gallium-Gadolinium-Granat (GGG) mit einer Vickers-Härte von 19000 bis 21500. Derartige Werkstoffe finden bevorzugt Anwendung in der Elektronik. Weitere in Frage kommende Werkstoffe sind Siliziumkarbid SiC mit einer Vickers-Härte von 15000 bis 25500, Siliziumnitrit Si3N4 , mit einer Vickers-Härte von 15000 - 20000 (beziehungsweise 35000 beim Einzelkristall) sowie#Borkärbid B mit einer Vickers-Härte von 22500 bis 31000. Derartige Werkstoffe finden Anwendung im Maschinenbau, Motorenbau sowie Anlagenbau. Eine weitere bevorzugte Gruppe von Werkstoffen umfaßt Schneidkeramik mit einer Vickers-Härte von 17000 bis 28500 sowie Korund A12 °3 mit einer Vickers-Härte von 21500. Diese Werkstoffe dienen als nichtmetallische Schneidstoffe. In Frage kommen weiterhin Frequenzkeramiken, Schwingquarze und Porzellan jeweils mit einer Vickers-Härte# bis 8000 N/mm2.
  • Die Aufgabe ist erfindungsgemäß gelöst durch die Verwendung des Verfahrens Plan-Seiten-Querschleifen zum Bearbeiten von Werkstücken aus spröd-brüchigen Werkstoffen mit einer Mindest-Vickers-Härte von 5000 N/mm2.
  • Das Verfahren Plan-Seiten-Querschleifen umfaßt im Gegensatz zu den bisher zur Bearbeitung derartiger Materialien verwendeten Schleifverfahren nur zwei Bewegungskomponenten, nämlich die Rotation der Schleifscheibe und die senkrecht zur zu schleifenden Werkstückoberfläche gerichtete Annäherung der Schleifscheibe. Die Vorschubbewegung, die bei den bisher zur Bearbeitung derartiger Werkstoffe eingesetzten Schleifverfahren als ein dominierender Verfahrensparameter angesehen wurde, entfällt.
  • Der Schleifablauf beim Plan-Seiten-Querschleifen besteht aus einem Eintauchen der rotierenden Schleifscheibe in die Werkstückoberfläche, so daß für diese Bearbeitung die Bezeichnung "Tauchschleifen" vorgeschlagen wird. Der Schleifbelag ist dabei vorzugsweise so bemessen, daß die gesamte zu schleifende Werkstückoberfläche überdeckt wird, es ist aber bei sehr ausgedehnten Werkstücken ein sich wiederholendes partielles Tauchschleifen möglich, wobei das Werkstück nach jedem Tauchschliff um die Belagbreite zur Schleifscheibenachse verschoben wird.
  • Das Plan-Seiten-Q uerschleifen hat bei harten, spröden Materialien, die gegen Kristallgitterzerstörungen an der bearbeiteten Oberfläche anfällig sind, überraschenderweise ein außerordentlich gutes Zerspanungsverhalten zur Folge. So ist die Zerspanungsleistung um ein Mehrfaches größer als die heute bekannten Werte. Begründen läßt sich dies aus der Tatsache, daß alle an der Schleifscheibenfläche vorhandenen Schleifkörner an der Zerspanung beteiligt sind. Die Spangröße und Schneidekraft des Einzelkorns kann trotz mehrfach größerer Gesamtzerspanung kléinel gehalten werden.
  • Messungen bestätigen, daß nachteilige Veränderungen im Kristallgitter des Werkstoffes an der Schleifoberfläche vergleichsweise geringer sind als bei bisher verwendeten Schleifverfahren.
  • Mit einer relativ feinkörnigen Schleifscheibe werden Zerspanungsleistungen erzielt, die bisher nur sehr grobkörnige Schruppscheiben erbrachten, wobei aber die der feineren Schleifscheibe eigene glattere Oberfläche am Werkstück erhalten bleibt und sogar merklich verbessert wird. Die Ebenheit und Rauhtiefe kann noch wesentlich verbessert werden, wenn nach dem Ende der Zustellung des "Tauchschleifens" das Werkstück parallel zur Schleifscheibenfläche aus dem Eingriffsbereich gezogen wird.
  • Die Spuren der etwas weiter aus dem Schleifscheibenbelag herausstehenden Kornspitzen werden dabei egalisiert. Mann kann diesen zusätzlichen Arbeitsschritt mit dem sogenannten "Ausfeuern" in stark vereinfachter Form vergleichen.
  • Die erfindungsgemäße Verwendung des Verfahrens "Plan-Seiten-Querschleifen" zum Bearbeiten von Werkstücken aus spröd-brüchigen Werkstoffen mit hoher Härte schafft eine neue Schleiftechnologie mit vielfältigen Vorteilen.
  • Da während der Zerspanung keine Vorschubbewegung erfolgt, ist der Bau einer einfacheren und sehr stabilen Maschine möglich. Bekannte automatische Einzel- oder Mehrstationen-Schleifmaschinen arbeiten mit Rundtischen als Werkstückträger und -vorschubeinrichtung, bei denen bedingt unterschiedliche, nach außen hin zunehmende Vorschubgeschwindigkeiten auftreten.
  • Dieser Nachteil, der sich negativ auf die Oberflächengüte und die Materialbeanspruchung während des Schleifkorneingriffes auswirkt, entfällt, da gegebenenfalls wie oben beschrieben ein abschließendes "Ausfeuern" als geradlinige Bewegung, beispielsweise des Schleifspindelstockes, durchgeführt werden kann, um eine sehr feine und gleichmäßige Oberfläche zu erhalten. Herkömmliche Rundtisch-Schleifautomaten mit mehreren Stationen haben an allen Schleifstationen eine gleiche Vorschubgeschwindigkeit, unabhängig davon, ob vor-, fein- oder feinstgeschliffen wird. Beim erfindungsgemäß verwendeten Verfahren Plan-Seiten-Q uerschleifen, bei dem während des Schleifvorganges keine Vorschubbewegung stattfindet, kann die "Ausfeuerbewegung" jeweils individuell und optimal mit geringem maschinellen Aufwand angepaßt werden, wobei im allgemeinen eine lineare "Ausfeuerbewegung" nur an der letzten Schleifstation notwendig ist. Da während des Schleifens der Werkstückträger stillsteht, beispielsweise in Form eines getakteten Rundtisches, ist eine sehr präzise und von der Handhabung einfache Werkstückbe- und -entladung gegeben.
  • Ein weiterer Vorteil ist, daß während dieser Periode eine völlige räumliche Abtrennung zwischen Schleif- und Be- und Entladebereich ermöglicht wird, was bei hochgenauen Werkstücken sehr bedeutend ist, weil die Werkstückspannstelle gereinigt und sauber gehalten werden kann, bis das nächste Werkstück aufgelegt ist.
  • Die vorliegende Erfindung bringt den außerordentlichen Vorteil einer um ein Mehrfaches höheren Zerspanungsleistung bei relativ geringer Werkstück- und Werkzeugbeanspruchung mit sich. Dies ermöglicht das Abschleifen spröder Materialien auf sehr geringe Dicken, da vorteilhafterweise das Kristallgitter des Werkstoffes nur geringfügig verändert wird. Ein weiterer Vorteil ist, daß während des Schleifens der Werkstückträgertisch fest blockiert direkt auf dem Maschinenständer aufliegt und damit sehr schwingungsstabil ist.
  • Ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung sind geringe spezifische Werkzeugkosten, die aus der langen Standzeit der Schleifscheibe resultieren, wozu noch wesentlich beiträgt, daß die maximal mögliche Anzahl Schleifkörper am Schneidprozeß beteiligt ist, was die Kornbelastung verringert und die Spanabfuhr erleichtert, wobei sich die auf das Einzelkorn wirkende konstante und vibrationsarme Schnittkraft hinsichtlich der Schleiffläche als raumfester Vektor darstellen läßt. Bedingt durch die nicht erforderliche Vorschubbewegung wird somit das Ausbrechen des Schleifkörpers aus der Bindung verzögert.
  • Die für das erfindungsgemäß verwendete Verfahren erforderlichen Schleifscheiben sind unkompliziert und leicht zu fertigen. Im allgemeinen wird man Schleifkörper, vorzugsweise mit Diamantkorn als Schneidstoff, in Form von Scheiben, Platten oder Streifen auf einem Grundkörper befestigen. Die dabei freibleibenden Zwischenräume zwischen den einzelnen Schleifelementen verstärken den Kühleffekt und erleichtern den Späneaustrag. Der Abstand zwischen den einzelnen Schleifelementen beziehungsweise Schleifsegmenten ist dabei jeweils kleiner als die zu bearbeitende Oberfläche. Auf diese Weise wird vermieden, daß ein Werkstück zwischen zwei Schleifsegmente einrückt und beim Rotieren der Schleifscheibe dann ein herkömmlicher Seitenschleifvorgang abläuft,bei dem nur die Kante des Schleifsegments wirksam wird. Es sind jedoch auch Schleifscheiben mit durchgehendem Belag, dessen Abmessungen auf die Werkstückgröße abgestimmt ist, vorteilhaft einsetzbar.
  • Beim erfindungsgemäß verwendeten Verfahren lassen sich wirtschaftlich feinere Körnungen einsetzen, was beim Schleifen von nichtmetallischen Werkstoffen glattere Oberflächen ergibt.
  • In den beigefügten Zeichnungen sind vorteilhafte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung im einzelnen erläutert.
  • Dabei zeigen: Figur 1 eine Ausführungsform einer Vorrichtung zur erfindungsgemäßen Anwendung des Verfahrens Plan-Seiten-Querschleifen, Figur 2 eine schematische Darstellung der Größenrelationen zwischen Schleiffläche der Schleifscheibe und Werkstück bei einer Vorrichtung gemäß Figur 1, Figur 3 schematische Darstellungen 3a bis 3e von Beispielen von vorteilhaften Ausgestaltungen der Schleifflächen von Schleifscheiben für das erfindungsgemäß verwendete Verfahren.
  • Die in Figur 1 dargestellte Ausführungsform einer Vorrichtung besteht aus einem im wesentlichen quaderförmigen Maschinenständer 1, auf dessen horizontaler oberen Fläche ein taktweise drehbarer oder horizontal verschiebbarer Tisch 2, der während des Schleifprozesses festgespannt werden kann, zur Aufnahme und zum Weitertransport der Werkstücke 3 gelagert ist. Die Werkstückaufnahme wird von einem Support 4 überragt, an dem der Antriebsmotor 8 und die Schleifspindel 5, die die Schleifscheibe 6 mit der den Werkstücken zugewandten Schleiffläche 7 trägt, befestigt sind. Der Support 4 ist mit genauen und steifen Führungselementen 9 am Ständer 1 vertikal auf- und abbeweblich befestigt.
  • Diese vertikale Auf- und Abbewegung kann beispielsweise von einer elektrisch angetriebenen Zustellspindel 10 eingeleitet werden. Diese Zustellspindel 10 stellt die Schleifscheibe 6 gemäß der vorliegenden Erfindung im "Tauchschliff" bis auf das Endmaß des Werkstückes nach unten zu und hebt im Eilgang den gesamten Support nach oben ab. Während dieser Rückbewegung des Supports wird durch taktweises Drehen oder horizontales Verschieben des Tisches 2 das fertig bearbeitete Werkstück aus dem Bereich der Schleifscheibe entfernt, gleichzeitig ein neues zu bearbeitendes Werkstück unter die Schleifscheibe gebracht und in Arbeitsstellung positioniert.
  • Diese gleichzeitige Ent- und Beladung erfolgt in Abstimmung mit der Rückbewegung des Supports, so daß keine Kollision zwischen neuem Werkstück und der Schleifscheibe stattfindet, solange die Transportbewegung nicht abgeschlossen und der Werkstückträger wieder festgeklemmt worden ist.
  • Figur 2 veranschaulicht eine Schleifscheibe für das erfindungsgemäß verwendete Verfahren. Die dargestellte Schleifscheibe 40 hat eine dem Werkstück 41 zugewandte Schleiffläche 42, die das während des Schleifvorganges fest positionierte und keiner Vorschubbewegung unterworfene Werkstück 41 flächenmäßig voll überdeckt. Auf diese Weise ist sichergestellt, daß während des Schleifens alle Schleifkörper der Schleiffläche 42 spanabhebend wirksam werden.
  • Figur 3 zeigt in schematischer Darstellung verschiedene Ausgestaltungsmöglichkeiten von für die vorliegende Erfindung einsetzbaren Schleifkörperflächen.
  • Figur 3a zeigt eine aus Schleifkörperpellets 43 gebildete Schleiffläche.
  • Figur 3b und 3c zeigen Schleifscheiben, deren Schleifbeläge aus quadratischen beziehungsweise trapezförmigen Schleifbelagselementen 44, 45 gebildet sind. Bei Figur 3d und 3e sind die Schleifbelagselemente stäbchenförmig 46 beziehungsweise bogenförmig 47 ausgebildet. In allen Ausführungsformen 3a bis 3e sind jeweils kreisförmige Werkstücke 41 eingezeichnet, wobei ersichtlich ist, daß die Schleifbeläge die Werkstücke in Fläche wirkungsmäßig voll abdecken.
  • Bei jeder dieser Ausführungsformen von Schleifscheiben ist sichergestellt, daß während des Schleifens alle Schleifkörper der dem Werkstück zugewandten Schleifbelagsegmenten spanabhebend wirksam werden. Dies steht in klarem Gegensatz zum herkömmlichen Seitenschliff, bei dem nur die Schleifkörper der Schleifscheibenkante spanabhebend wirken.
  • Ein weiterer Vorteil der Erfindung ist die Tatsache, daß die Schleifbelastung und der Eingriffsbereich der Schleifscheibe am Werksrück während der gesamten Schleifzeit konstant sind. Dadurch wird ein sehr gleichgemäßiges Schliffbild und ein sehr stabiler Schleifablauf erreicht.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren Plan-Seiten-Q uerschleifen ist beispielsweise in dem Entwurf zu DIN 8589, Teil 11, Seite 10, beschrieben.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRUCH Verwendung des Verfahrens Plan-Seiten-Querschleifen zum Bearbeiten von Werkstücken aus spröd-brüchigen Werkstoffen mit einer Mindest-Vickers-Härte von 5000 Nimm2
DE19833302881 1982-05-18 1983-01-28 Bearbeiten von scheibenförmigen Werkstücken aus Silizium Expired DE3302881C2 (de)

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NL8301700A NL8301700A (nl) 1982-05-18 1983-05-11 Slijpwerkwijze en inrichting voor het uitvoeren van de werkwijze alsmede bewerking van werkstukken uit bros-brokkelige materialen.
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