DE3234699C2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- DE3234699C2 DE3234699C2 DE19823234699 DE3234699A DE3234699C2 DE 3234699 C2 DE3234699 C2 DE 3234699C2 DE 19823234699 DE19823234699 DE 19823234699 DE 3234699 A DE3234699 A DE 3234699A DE 3234699 C2 DE3234699 C2 DE 3234699C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- waveguide
- layers
- deposition
- layer
- metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
- H01P11/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing waveguides or resonators, lines, or other devices of the waveguide type
- H01P11/001—Manufacturing waveguides or transmission lines of the waveguide type
Description
Die Erfindung betrifft einen flexiblen Hohlleiter für
Millimeterwellen
wie er aus der US-PS 29 86 713 bekannt ist. Dieser
Hohlleiter weist eine axial verlaufende Naht auf.
Flexible Hohlleiterverbindungen werden für Frequenzen
unterhalb von 40 GHz realisiert als aus einzelnen Blechen
oder Formteilen in Fügetechnik zusammengesetzte Rohre. Im
Millimeterwellenbereich scheidet diese Art von Herstellung
infolge der geringen Querabmessungen des Hohlleiters aus.
Als flexible Verbindungen zweier Hohlleiter im Millimeter
wellenbereich mit beliebiger Querschnittsgeometrie der zu
verbindenden Hohlleiter ist beispielsweise aus der DE
30 39 357 A1 die Verwendung flexibler Wellenleiter aus
dielektrischen Materialien mit vorzugsweise niedriger
Dielektrizitätskonstante bekannt. Derartige dielektrische
Wellenleiter weisen jedoch gegenüber metallischen Hohlleitern
höhere Verluste durch Abstrahlung sowie durch Dämpfung im
Dielektrikum auf.
Aus DE-OS 15 90 675 ist ein Hohlleiter bekannt, der ein im Ver
hältnis zu seinem Durchmesser dünnwandiges, nahtloses Rohr hat,
das einen welligen Verlauf aufweist. Der Hohlleiter weist zusätz
lich quer zur Hohlleiterlängsachse verlaufende Sicken auf.
Aus DE-OS 14 65 663 ist ein Verfahren zum Herstellen von Hohl
leitern bei dem auf einem verlorenen Kern mehrere Metallschichten
aufgebracht werden bekannt.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, einen flexiblen
verlustarmen Hohlleiter beliebiger Querschnittsgeometrie
anzu
geben.
Der erfindungsgemäße, flexible Hohlleiter ist im Patentanspruch
1 beschrieben.
Das Verfahren zur Herstellung dieses Hohl
leiters ist im Patentanspruch 3 beschrieben.
Die Unteransprüche
enthalten vorteilhafte Ausführungen und Weiterbildungen der
Erfindung bzw. des Herstellungsverfahrens.
Durch die nahtlose Ausführung des Rohres werden ohmsche Verluste
und Streuungen von Wellen an derartigen Nahtstellen vermieden.
Zudem ist durch nahtlose Ausführung eine einwandfreie Abschirmung
der geführten Wellen gewährleistet. Die Rohrwand weist in Hohl
leiterlängsrichtung einen welligen Verlauf auf, ähnlich wie die
für größere Wellenlängen verwendeten, in Fügetechnik zusammenge
setzten flexiblen Hohlleiter. Durch den welligen Wandverlauf
ergibt sich in Verbindung mit der geforderten Dünnwandigkeit des
Rohres eine hohe Flexibilität des Hohlleiters gegen seitliche
Auslenkungen. Der wellige Verlauf der Wandung erstreckt sich um
den gesamten Rohrumfang in Form von quer zur Hohlleiterlängsachse
verlaufenden Sicken. Die Rohrwand ist aus mehreren radial aufein
anderfolgenden Schichten verschiedener Metalle aufgebaut. Dies
ermöglicht die Berücksichtigung der verschieden an den Hohlleiter
gestellten Forderungen wie Stabilität gegen wechselnde
mechanische Beanspruchung oder hohe Leitfähigkeit der Hohlleiter
innenwand.
Der flexible Hohlleiter wird hergestellt, indem ein Kern
stück mit einem der Form des Innenraums des Hohlleiters
entsprechenden Profil auf seinem Außenmantel nacheinander
mit verschiedenen Metallen beschichtet wird. Nach dem
Aufbringen der Metallschichten wird das Kernstück chemisch
herausgelöst. Besonders vorteilhaft ist die galvanische
Abscheidung der Metallschichten aus einer Metallsalz
lösung, wobei das Kernstück aus Metall besteht. Ein
solches Herstellungsverfahren ist an sich als Galvano
formung bekannt und findet beispielsweise Anwendung zur
Herstellung sehr kleiner Federbälge zum Ausgleich von
Fertigungstoleranzen bei Innenleitern von koaxialen Steck
verbindungen.
Auf diese Weise sind vorteilhafterweise
Hohlleiter beliebigen Querschnitts, insbesondere mit
rechteckigem, kreisförmigem oder elliptischem Querschnitt
herstellbar. Die Formung eines entsprechenden Kernstücks
ist mit geringem Aufwand möglich, so daß die Herstellung
vergleichsweise kostengünstig erfolgen kann.
Die erste abgeschiedene Metallschicht, die die innere
Oberfläche des Hohlleiters bildet, ist vorteilhafterweise
eine Goldschicht, da Gold eine hohe Leitfähigkeit besitzt
und gleichzeitig widerstandsfähig gegen Säuren und Laugen
für die Herauslösung des Kernstücks sowie gegen Oxydation
ist. Günstigerweise folgt auf die Goldschicht eine Schicht
aus Kupfer.
Als weitere Materialien für die Metallschichten können
z. B. Kupfer oder Nickel Verwendung finden, wobei gemäß
einer vorteilhaften Ausführung sich Schichten aus Kupfer
und Nickel aufeinanderfolgend abwechseln. Mechanisch
besonders günstig ist es, zwischen den Kupfer- und Nickel
schichten jeweils eine dünne Schicht aus Silber abzuschei
den. Die Silberschicht kann dabei dünn sein im Vergleich
zu den Dicken der Kupfer- und Nickelschichten.
Vorteilhafterweise wird in einem weiteren Verfahrens
schritt nach dem Abscheiden der Metallschichten und dem
Herauslösen des Kernstücks der Hohlleiter einer Wärme
behandlung unterzogen, bei welcher die Schichten an den
Schichtgrenzen miteinander legieren. Die Temperatur der
Wärmebehandlung hängt dabei ab von den abgeschiedenen
Metallen. Durch die Legierungsbildung werden die Eigen
schaften der verschiedenen Metallschichten einander ange
glichen. Die Wärmebehandlung erstreckt sich in erster
Linie auf den flexiblen Bereich des Hohlleiters und
erfolgt vorzugsweise in einer Schutzgasatmosphäre.
Die Hohlleiterenden können in fertige Flansche eingelötet
werden. Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung der
Erfindung ist es jedoch auch vorgesehen, die Hohlleiter
flansche gleichfalls durch Metallabscheidung in einer
vorgegebenen Form direkt an die Hohlleiterenden anzu
schließen. Hierdurch kann auf besonders einfache und
elegante Weise die Goldschicht in den Bereich der Hohl
leiterflansche erweitert werden. Die Form der Flansche ist
nahezu beliebig. Zum Schutz gegen Umwelteinflüsse und zur
Verbesserung der mechanischen Stabilität kann der
metallische Hohlleiter mit einem Elastomer-Mantel umgossen
werden.
Die Sicken in der Hohlleiterwand bzw. auf dem Kernstück
können gemäß einer ersten einfachen Ausführung als in sich
geschlossene Einstiche auf dem Umfang des Kernstücks in
der Ebene senkrecht zur Längsachse verlaufen. Für den
gesamten Hohlleiter sind dann eine Vielzahl parallel
verlaufender Sicken in engem Abstand in Achsrichtung
nacheinander vorgesehen. Besonders vorteilhaft ist jedoch
eine Ausführung, bei welcher die Sicken in Achsrichtung
mit einer geringen Steigung versehen sind und damit die
Form eines durchgehenden Schraubengewindes aufweisen. Das
Kernstück für eine solche Ausführung ist besonders einfach
in nahezu beliebiger Länge herzustellen.
Der Querschnitt der Sicken richtet sich im allgemeinen
nach den geforderten mechanischen Eigenschaften des
flexiblen Hohlleiters, also z. B., ob der Hohlleiter in
Längsrichtung stauchbar sein soll/darf oder nicht. Der
erfindungsgemäße Hohlleiter zeigt beim Verbiegen günsti
gerweise keine elektrisch oder mechanisch meßbare Änderung
der Querschnittsform wie z. B. von kreisrund nach
elliptisch.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist nachfolgend noch anhand der Abbildung
veranschaulicht. Dabei zeigt
Fig. 1 einen Hohlleiter mit Kernstück
im Längsschnitt,
Fig. 2 einen vergrößerten Ausschnitt aus diesem Hohl
leiter,
Fig. 3 eine vergrößerte Darstellung
der Sicken.
Das durchgehende Kernstück 2 weist ebenso wie die Wand 3
des Hohlleiters im flexiblen Teil des Hohlleiters Sicken 1
auf. Das Kernstück besteht vorzugsweise aus Aluminium oder
Molybdän. Es kann nach dem Beschichtungsvorgang mittels
geeigneter Laugen oder Säuren, wie z. B. Natronlauge oder
Salzsäure, rückstandslos entfernt werden. Im Bereich der
Flansche 4 ist der Hohlleiter nicht mehr flexibel aus
geführt und weist daher in diesem Bereich keine Sicken
mehr auf. Form, Anzahl und Material der einzelnen
Schichten der Hohlleiterwand 3 richten sich nach den
elektrischen und mechanischen Anforderungen. Der Überzug 5
aus elastischem Kunststoff verleiht dem Hohlleiter eine
höhere mechanische Stabilität und schützt ihn vor Umwelt
einflüssen. Fig. 3 zeigt in starker Vergrößerung einen
Querschnitt durch eine elektrisch besonders vorteilhafte
Ausführung der Sicken im Hohlleiterlängsschnitt. Die
Breite a der Sicken ist gemäß dieser Ausführung klein
gegenüber der Tiefe b der Sicken. Das Verhältnis a/b ist
günstigerweise kleiner als 1/5. Die Hohlleiterwandströme
verlaufen bei dieser Ausführungsform im wesentlichen nur
noch in dem Oberflächenbereich I der Hohlleiterwand
zwischen den Sicken als galvanische Ströme, während
zwischen diesen Oberflächenstücken im Bereich II der
Sicken sich mit abnehmendem Verhältnis a/b vermehrt
Verschiebungsströme ausbilden. Dadurch verringert sich die
Hohlleiterdämpfung, welche sich in erster Linie aus den
galvanischen Wandströmen ergibt. Sie erreicht Werte, die
denen glatter Hohlleiter entsprechen. Der Querschnitt
zeigt wieder die Aufeinanderfolge verschiedener Schichten
von innen nach außen beginnend mit einer Goldschicht 3A
und weiteren, im gezeigten Fall zwei verschiedenen
Schichten 3B und 3C aus beispielsweise Kupfer und Nickel
sowie den Elastomer-Mantel 5.
Claims (8)
1. Flexibler Hohlleiter für Millimeterwellen, bestehend aus einem
im Verhältnis zu seinem Durchmesser dünnwandigen, nahtlosen Rohr,
das einen welligen Verlauf aufweist und mit quer zur Hohlleiter
längsachse verlaufenden Sicken versehen ist, dadurch gekennzeichnet,
daß
- - der Hohlleiter einen äußeren Elastomer-Mantel (5) aufweist, der in seinem Inneren mit der gewellten Leitschicht beschichtet ist;
- - die Sicken (1) einen rechteckigen Verlauf aufweisen und mit ei ner gegenüber der Sickentiefe geringen Sickenbreite ausgebildet sind;
- - das Rohr aus mehreren radial aufeinanderfolgenden Schichten verschiedener Metalle aufgebaut ist;
- - an den Enden des Hohlleiters Hohlleiter-Flansche (4) ausgebil det sind.
2. Hohlleiter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Sic
ken (1) die Form eines durchgehenden Schraubengewindes mit geringer
Gewindesteigung aufweisen.
3. Verfahren zur Herstellung eines flexiblen Hohlleiters nach An
spruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
- - auf dem Außenmantel eines Kernstücks (2) in einem der Form des Innenraumes des Hohlleiters entsprechenden Profil nacheinander mehrere Schichten verschiedener Metalle abgeschieden werden und nach Abscheidung der Metallschichten das Kernstück (2) mittels chemischer Verfahren herausgelöst wird;
- - das Kernstück (2) aus Metall besteht und die Abscheidung galva nisch erfolgt;
- - der Hohlleiter außen mit einem Elastomer-Mantel (5) umgossen wird;
- - Hohlleiterflansche (4) durch formgebende Metallabscheidung an den Hohlleiterenden hergestellt werden.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die erste
abgeschiedene Metallschicht eine Goldschicht ist.
5. Verfahren nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß auf
der Abscheidung der Goldschicht die Abscheidung einer weiteren Me
tallschicht, vorzugsweise Kupfer, folgt.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeich
net, daß abwechselnd Schichten aus Kupfer und Nickel aufeinander
folgen.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen
Kupfer- und Nickelschichten jeweils eine im Vergleich zu deren Dicke
dünne Schicht aus Silber abgeschieden wird.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 3 bis 7, dadurch gekennzeich
net, daß nach Abscheiden aller Schichten und Entfernen des Kernstüc
kes der Hohlleiter einer Wärmebehandlung, bei welcher die Schichten
an den Schichtgrenzen miteinander legieren, unterzogen wird.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19823234699 DE3234699A1 (de) | 1982-09-18 | 1982-09-18 | Flexibler hohlleiter fuer millimeterwellen sowie verfahren zur herstellung eines solchen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19823234699 DE3234699A1 (de) | 1982-09-18 | 1982-09-18 | Flexibler hohlleiter fuer millimeterwellen sowie verfahren zur herstellung eines solchen |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3234699A1 DE3234699A1 (de) | 1984-03-22 |
DE3234699C2 true DE3234699C2 (de) | 1991-02-14 |
Family
ID=6173603
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19823234699 Granted DE3234699A1 (de) | 1982-09-18 | 1982-09-18 | Flexibler hohlleiter fuer millimeterwellen sowie verfahren zur herstellung eines solchen |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3234699A1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2958187A1 (de) | 2014-05-28 | 2015-12-23 | Spinner GmbH | Flexibler, faltbarer und verdrehbarer Terahertzwellenleiter |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3906587A1 (de) * | 1989-03-02 | 1990-09-06 | Galvano T Electroforming Plati | Hohlleiter aus einem elektrisch und thermisch gut leitenden metall |
CN114204242A (zh) * | 2021-12-07 | 2022-03-18 | 上海传输线研究所(中国电子科技集团公司第二十三研究所) | 一种毫米波软波导制备方法及其制备的软波导 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2986713A (en) * | 1958-04-29 | 1961-05-30 | Kent Howard | Corrugated flexible wave guide |
DE1465663A1 (de) * | 1964-04-15 | 1969-05-08 | Kabel Metallwerke Ghh | Verfahren zum Herstellen von Hohlleiterbauelementen |
DE1590675C3 (de) * | 1965-10-01 | 1974-07-18 | Telefunken Patentverwertungsgesellschaft Mbh, 7900 Ulm | Hohlleiter |
DE3039357A1 (de) * | 1980-10-18 | 1982-05-19 | Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt | Flexible hohlleiterverbindung |
-
1982
- 1982-09-18 DE DE19823234699 patent/DE3234699A1/de active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2958187A1 (de) | 2014-05-28 | 2015-12-23 | Spinner GmbH | Flexibler, faltbarer und verdrehbarer Terahertzwellenleiter |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3234699A1 (de) | 1984-03-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3009617C2 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Mikrowellen-Verzögerungsleitung | |
DE2949174C2 (de) | ||
DE4236560A1 (de) | Kabel und Verfahren zur Herstellung eines Kabels | |
EP3530314A1 (de) | Herstellungsverfahren für eine ringelektrode | |
DE2060822A1 (de) | Vorrichtung zum Tragen einer Verzoegerungsleitung und Verfahren zu ihrer Herstellung | |
CH331670A (de) | Magnetron-Anodengebilde | |
DE2059179B2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines faserverstärkten Formkörpers sowie Anwendung des Verfahrens zur Herstellung spezieller Formkörper | |
EP0680549B1 (de) | Elektrisch isolierende stützstruktur mit möglichkeit zur metallischen anbindung, verfahren zur ihrer herstellung und deren anwendung | |
DE3234699C2 (de) | ||
DE2253915A1 (de) | Verfahren zur vakuumdichten verbindung von teilen aus keramik und aluminium und diese verbindung aufweisender vakuumkolben | |
DE2445565A1 (de) | Hochfrequenz-koaxialkabel und verfahren zu seiner herstellung | |
DE1120530B (de) | Hohlleiter oder Hohlleiterverbindung und Verfahren zu deren Herstellung | |
DE2204067A1 (de) | Verfahren zur Herstellung elektrischer Wicklungen | |
DE3200117C2 (de) | Einbau-Bandpaßfilteranordnung für ein Koaxialkabel | |
DE4130390C2 (de) | Widerstandselement | |
DE3037134A1 (de) | Koaxialkabel mit einem bandpassfilterelement | |
DE2135767C3 (de) | Trimmerkondensator und Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE2725260A1 (de) | Rahmen- und leiter-anordnung fuer ein halbleiterbauelement | |
DE1927486B2 (de) | Heizring | |
DE3244746A1 (de) | Dielektrischer flexibler wellenleiter | |
DE69931095T2 (de) | Koaxiales dielektrisches Filter | |
DE2730495C2 (de) | Doppelwandiges Kühlgefäß zur Aufnahme und Kühlung einer strahlungsempfindlichen Detektoranordnung und Verfahren zu seiner Herstellung | |
DE2843478C2 (de) | Verfahren zur Herstellung von Hohlleitern für die Übertragung elektromagnetischer Wellen im Leitungszug integrierter Mikrowellen-Schaltungen | |
AT343737B (de) | Verfahren zur kontinuierlichen herstellung eines koaxialkabels und nach diesem verfahren hergestelltes koaxialkabel | |
DE3001932C2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Sperrschichtkondensators |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: TELEFUNKEN SYSTEMTECHNIK GMBH, 7900 ULM, DE |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: SCHMIEG, RAINER, 7900 ULM, DE |
|
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |