DE3230879C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Einrichtung zur galvanischen Metallabscheidung, wobei ein Metallüberzug, z. B. aus Kupfer, Nickel, Chrom oder Gold, auf eine elektrisch leitende Oberfläche, z. B. ein Substrat oder einen dünnen Metallisierungsfilm, der auf einem elek­ trisch nichtleitenden Gegenstand oder einer solchen Form vorgeformt wurde, galvanisch abgeschieden wird. Ein solches Substrat bzw. ein solcher Gegenstand bzw. eine solche Form werden nachstehend als "Werkstück" bezeichnet.

Die galvanische Metallabscheidung wird in großem Umfang dazu eingesetzt, einen Gegenstand mit einem dauerhaften Metall­ überzug zu versehen, sowie auch zum Elektroformen eines Werkzeugs oder einer Werkzeugelektrode zur elektrischen Bearbeitung (z. B. für die Funkenerosion). Beim Elektrofor­ men wird auf eine Form, die typischerweise aus einem metal­ lisierten elektrisch nichtleitenden Werkstoff besteht, ein erwünschtes Metall galvanisch abgeschieden, und der galvani­ sche Metallüberzug muß mit einer beträchtlichen Dicke abgeschieden werden, so daß er anschließend entformt und als der gewünschte Gegenstand verwendet werden kann. Der Gegen­ stand oder die Form, also das Werkstück, das den Überzug erhalten soll, ist häufig groß und kompliziert geformt oder makroskopisch uneben, so daß sich eine oder mehrere vertief­ te oder ausgesparte Bereiche ergeben. Erwünschterweise soll ein Überzug oder eine Elektroform gleichmäßige Dicke oder eine erwünschte Dickenverteilung über die Gesamtfläche einer solchen komplizierten oder unebenen Kontur aufweisen. Ferner ist es häufig erwünscht, daß der Metallüberzug in vorsprin­ genden Bereichen dünner und in Vertiefungen dicker ist; diese Anforderungen stehen jedoch normalerweise im Gegensatz zu der Eigenart der galvanischen Metallabscheidung. So besteht bei einem galvanischen Metallüberzug die Tendenz, daß er in vorspringenden Bereichen, z. B. auf Kanten oder konvexen Winkelabschnitten, dicker ist, während er in Vertiefungen dünner ist. In einer Vertiefung besteht die Tendenz, daß sich die Abscheidung am Öffnungsrand derselben konzentriert und nur sehr wenig oder sogar praktisch gar nichts auf dem Boden und in den Ecken abgeschieden wird, wenn eine konventionelle Einrichtung zur galvanischen Metallabscheidung eingesetzt wird, bei der das Werkstück in eine ruhende Masse des galvanischen Bads eintaucht und eine einfache planare Elektrode in großem Abstand davon angeord­ net ist. Ein Strom zur galvanischen Metallabscheidung kann dann nur mit sehr geringer Stromdichte zugeführt werden.

Andererseits ist es bekannt, daß die Stromdichte bei der galvanischen Metallabscheidung erhöht werden kann, wenn das das Metall enthaltende galvanische Bad dem Bereich von Elektrode und Werkstück im Zwangsfluß zugeführt wird oder diesen Bereich durchspült. Es hat sich zwar gezeigt, daß der Einsatz einer Elektrode, die komplementär zu den Werkstück­ konturen geformt ist und die so angeordnet wird, daß sie der Werkstückoberfläche in nahem Abstand gegenüberliegt, eine Erhöhung der Dichte des zuführbaren Abscheidungsstroms erlaubt und damit die Abscheidungsrate steigert; diese Maßnahme hat sich jedoch hinsichtlich einer erheblichen Verbesserung der Gleichmäßigkeit des Überzugs auf der profilierten Oberfläche als im allgemeinen unbefriedigend erwiesen, und zwar offenbar deshalb, weil die erwünschte gleichmäßige Verteilung des Spülbads über die Gesamtfläche nicht unbedingt erzielbar ist. Ferner ist diese Maßnahme dann nicht anwendbar, wenn eine selektive oder örtlich begrenzte galvanische Metallabscheidung vorzunehmen ist.

So sind aus der DE-OS 21 06 164 ein Verfahren und eine Ein­ richtung gemäß Oberbegriff des Patentanspruchs 1 bzw. 7 be­ kannt, die von einer Unterteilung des galvanischen Bades durch flüssigkeitsdurchlässige Trennwände in zwei oder mehrere Zel­ len Gebrauch machen, wobei die Anoden und die zu galvanisie­ renden Teile in getrennten Zellen untergebracht sind und in der die Teile aufnehmenden Zelle eine mäßige Badumwälzung vor­ genommen wird und ein Über- oder Unterdruck auf den Badspiegel einwirken kann.

Auch aus der DE-OS 26 19 987 sind ein Verfahren und eine Ein­ richtung gemäß Oberbegriff des Patentanspruchs 1 bzw. 7 be­ kannt, wobei der Beschichtungsprozeß in einem unter Unterdruck stehenden Raum stattfindet und die Elektrolytflüssigkeit in einem Kreislaufsystem umläuft.

Andererseits ist aus der DE-OS 30 20 824 ein Verfahren zum galvanischen Metallabscheiden auf eine Unterlage bekannt, bei dem eine stabförmige Anode relativ zur Unterlage bewegt wird und Metall jeweils bevorzugt auf den einem Anodenende gegen­ überliegenden Bereich der Unterlage abgeschieden wird, bis die gesamte Unterlage beschichtet ist. Auf das Problem schädlicher Folgen von dabei gebildeten Abgasen auf die Umwelt und die verwendete Einrichtung wird dabei nicht eingegangen.

Es wurde also gefunden, daß ein erwünschter galvanischer Metallüberzug von erheblicher und gleichmäßiger Dicke in sehr wirksamer Weise dadurch erhalten werden kann, daß eine einfache Elektrode mit einer aktiven Elektrodenfläche verwendet wird, die wesentlich schmaler als die zu überzie­ hende Werkstückoberfläche ist, wobei die Elektrode relativ zu dem Werkstück bewegbar ist, so daß die aktive Elektroden­ fläche die Werkstückoberfläche überstreicht, und wobei der geringe Zwischenraum bzw. Spalt zwischen Elektrode und Werkstück ständig mit dem galvanischen Bad geflutet oder davon durchspült wird, so daß der Abscheidungsstrom hoher Dichte in dem Spalt unterhalten werden kann. Auf diese Weise kann eine unebene und große oder komplizierte Oberfläche, die eine oder mehrere Vertiefungen aufweist, einen guten galvanischen Metallüberzug erhalten, wobei dies jedoch im Vergleich zu dem konventionellen Verfahren innerhalb äußerst kurzer Zeit erfolgt. Eine selektive oder örtlich begrenzte galvanische Metallabscheidung sowie die Bildung eines galvanischen Überzugs mit kontrollierter Dickenverteilung kann erreicht werden durch Regelung der Größe des Abschei­ dungsstroms und/oder des Durchsatzes des galvanischen Bads.

Es wurde somit zwar gefunden, daß praktisch auf jede geeignete Oberfläche sehr schnell ein galvanischer Überzug aufgebracht werden kann, indem ein dynamischer Strom des galvanischen Bads unterhalten wird; es wurde nunmehr jedoch erkannt, daß dabei infolge der Verbesserung von Wirkungsgrad und Leistung ein Problem auftritt. In dem Zwischenraum, in dem die galvanische Metallabscheidung stattfindet, werden mit sehr hoher Geschwindigkeit für die Umwelt sowie für wesentliche Einheiten oder Teile der Einrichtung schädliche Stoffe erzeugt. In dem Metallabscheidungs-Zwischenraum werden elektrolytisch Gase erzeugt, die zusammen mit feinen Tröpf­ chen des Bads zu Abgasen werden, die aus dem galvanischen Bad aufsteigen und nicht nur für den Bediener, sondern auch für die Umwelt und die empfindlichen Teile der Einrichtung schädlich sind. Diese Abgase sind nicht nur für Personen schädlich oder gefährlich, sondern bei Auftreten über einen längeren Zeitraum können sie die Korrosion oder den Ausfall von Bauteilen und somit der Einrichtung zur Folge haben.

Aufgabe der Erfindung ist die Bereitstellung eines neuen und verbesserten Verfahrens und einer Einrichtung zur galvani­ schen Metallabscheidung auf eine elektrisch leitende Ober­ fläche, wobei der erwünschte Metallüberzug mit sehr hoher Geschwindigkeit und Gleichmäßigkeit oder mit erwünschter Dicken- oder Musterverteilung aufbringbar sein soll, ohne daß die Umwelt durch Schadstoffe verunreinigt und die Einrichtung beschädigt wird. Dabei soll die Einrichtung relativ kompakt gebaut sein und die Hochpräzsisions- und Hochleistungs-Bildung eines galvanischen Metallüberzugs auf einer elektrisch leitenden Oberfläche gewährleistet und gleichzeitig in wirksamer Weise eine Umweltverschmutzung und einen korrosionsbedingten Ausfall von Einrichtungsteilen aufgrund von Schadstoffen verhindern.

Gegenstand der Erfindung, womit diese Aufgabe gelöst wird, sind das Verfahren und die Einrichtung gemäß den Patentan­ sprüchen 1 und 7.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen 2 bis 6 und 8 bis 10 gekennzeichnet.

Anhand der Zeichnung wird die Erfindung beispielsweise näher erläutert.

Fig. 1 teilweise im Schnitt und teilweise in Form eines Blockschaltbilds eine Ansicht der galvanischen Metallabscheidungs-Einrichtung nach der Erfin­ dung;

Fig. 2 eine Draufsicht von oben längs der Linie II-II von Fig. 1; und

Fig. 3 eine der Fig. 1 ähnliche Ansicht, die ein weiteres Ausführungsbeispiel der Einrichtung zeigt.

Nach Fig. 1 ist eine galvanoplastische Form 1, z. B. aus Kunststoff, in einem elektrisch nichtleitfähigen Arbeitsbe­ hälter 2 in einem darin enthaltenen galvanischen Bad gesi­ chert. Die Form 1 weist einen dünnen Metallüberzug 4 auf, der vorher auf einen ausgewählten Oberflächenbereich z. B. durch chemische Abscheidung aufgebracht wurde und als elektrisch leitendes Substrat bzw. Werkstück dient. Das galvanische Bad 3 wird entweder kontinuierlich oder inter­ mittierend von einem Vorrat 5 durch eine Leitung 6 in den Arbeitsbehälter 2 zugeführt, überflutet den Metallüberzug 4 und strömt durch einen Auslaß 7 in eine Pumpe 8. Die galva­ noplastische Form 1 ist in dem Arbeitsbehälter 2 durch Stützen 9 festgelegt.

Der leitenden Oberfläche 4 der Form 1 in engem Abstand gegenüberliegend ist eine als Anode geschaltete lange Elektrode 10 positioniert, die vertikal oder in Z-Achsen­ richtung bewegbar ist. Die Anode 10 wird von einem Antrieb 12, der eine Treibrolle 13 und eine Andruckrolle 14 umfaßt, in einer Buchse 11 bewegt. Ein Motor 15 für die Treibrolle 13 wird mit einem Signal von einer Steuereinheit 16 getrie­ ben, die die Position der Anodenarbeitsfläche 10 a bestimmt, die durch die untere Endfläche der Anode 10 gebildet ist. Zwei Rollen 17 und 18 dienen der weiteren Führung der vertikal bewegten langen Anode 10. Der Antrieb 12 und die Rollen 17 und 18 sind an einem Gestell 19 befestigt, das mittels Rädern auf zwei parallelen Schienen 20 mit Hilfe eines Motors 21 in Richtung der X-Achse verfahrbar ist. Jede Schiene 20 erstreckt sich in Richtung der X-Achse und ist an der Buchse 11 gesichert, die ebenfalls Räder aufweist und damit auf zwei parallelen Schienen 22 durch einen Motor 23 in Richtung der Y-Achse verfahrbar ist. Die Motoren 15, 21 und 23 werden durch Ansteuersignale von der Steuereinheit 16 aktiviert und verschieben die Anode 10 so, daß ihre Arbeits­ fläche 10 a die profilierte Oberfläche 4 entlang einer vorprogrammierten Bahn in dem X-, Y- und Z-Koordinatensystem überstreicht. Der enge Spalt zwischen der Arbeitsfläche 10 a und der Werkstückoberfläche wird im wesentlichen gleichblei­ bend gehalten.

Ein Anschluß einer Stromversorung 24 ist elektrisch an die elektrisch leitende Oberfläche 4 angeschlossen, und der andere Anschluß ist über die Schienen 22, die Buchse 11, die Schienen 20, das Gestell 19 und einen Leiter 25 an die Anode 10 angeschlossen. Die Buchse 11, die Schienen 20 und 22 und das Gestell 19 bestehen aus Metall und sind elektrisch leitend.

Die Antriebsvorrichtung mit den Elementen 11-23 ist in einem Deckel 26, der Lüftungsöffnungen 26 a aufweist und auf dem Arbeitsbehälter 2 befestigt ist, aufgenommen. Ferner ist die Antriebsvorrichtung gegenüber dem Arbeitsbehälter 2 durch ein faltenbalgartiges Trennelement 27 isoliert, das am oberen Ende der Wandung des Arbeitsbehälters 2 gesichert ist und eine lange viereckige Öffnung 38 (vgl. Fig. 2) zur Aufnahme der Buchse 11, die die lange Anode 10 führt, aufweist. Das Trennelement 27 ist in Richtung der Y-Achse gefaltet und ermöglicht eine Bewegung der Anode 10 in dieser Richtung. In die Öffnung 38 ist ein geteiltes Anschlußstück 39 eingesetzt, durch das die Anode 10 so verschiebbar einsetzbar ist, daß sie in Richtung der X-Achse bewegbar ist. Das Anschlußstück 39 kann ein geteiltes schwammartiges Organ sein, das den durch die Oberfläche des galvanischen Bads 3, die Wandung des Arbeitsbehälters 2 und das Trennele­ ment 27 gebildeten Raum im wesentlichen hermetisch dicht abschließt.

Mit der vorstehend erläuterten Einrichtung wird eine Hochge­ schwindigkeits- und Hochleistungs-Metallabscheidung auf die elektrisch leitende Oberfläche 4 durchgeführt, wobei diese Oberfläche 4 kompliziert geformt oder makroskopisch uneben sein kann. Wenn an die Anode 10 und die elektrisch leitende Oberfläche bzw. Kathode 4 ein Strom angelegt ist, baut sich der galvanische Metallüberzug auf der örtlich begrenzten Fläche der Oberfläche 4 schnell auf, und zwar aufgrund des Zwangsflusses des galvanischen Bades in den Bereich zwischen Anode 10 und Kathode 4, die in engem Abstand voneinander liegen. Mit fortschreitender galvanischer Metallabscheidung wird die Anode 10 relativ zu der Form 1 bewegt, so daß die aktive Anodenfläche 10 a abtastend über die leitende Fläche 4 bewegt wird, wodurch die Oberfläche 4 fortschreitend mit einem galvanischen Überzug aus dem Metall des Bades 3 überzogen wird.

Mit dem Beginn bzw. dem Fortgang der galvanischen Metallab­ scheidung werden in dem Spalt elektrolytisch Gase erzeugt, die feine Tröpfchen aus dem galvanischen Bad 3 mitreißen und somit in einem Abgas resultieren, das stark korrosiv und schädlich ist; das Abgas sammelt sich in dem durch die Wandung des Arbeitsbehälters 2, die Oberfläche des galvani­ schen Bads 3 und das Trennelement 27 gebildeten Raum. Gemäß einem wesentlichen Merkmal der vorliegenden Erfindung ist ein geschlossener Raum 28, der durch den vorgenannten Raum gebildet sein kann, vorgesehen, der über eine Leitung 29 mit einer Saugpumpe 30 in Verbindung steht, die das Abgas absaugt. Dadurch, daß der Raum 28 durch das Trennelement 27 wirksam abgeschlossen ist, kann das Abgas nicht in Kontakt mit Teilen der Antriebsvorrichtung 11-23 gelangen. Das geteilte Anschlußstück 29 in dem Trennelement 27 kann durch ein poröses oder luftdurchlässiges verformbares Organ gebildet sein. Frischluft wird von der das Abgas absaugenden Pumpe 30 durch die Lüftungsöffnungen 26 a in den Raum 28 angesaugt. Der Druck innerhalb des Raums 28 wird dann auf einem Unterdruckpegel gehalten. Das von der Pumpe 30 abge­ saugte Abgas kann in einem Gasaufbereitungssystem 31 behan­ delt werden, das das Gas von der Badflüssigkeit 3 trennt und erforderlichenfalls die Gase in unschädliche Komponenten zerlegt. Die von den Gasen abgetrennte Flüssigkeit kann in einer konventionellen Flüssigkeits-Aufbereitungsanlage (nicht gezeigt) behandelt und abgeführt werden. In den Leitungen 29 sind Absperrorgane 32 angeordnet, die die Abgasmenge regeln, die aus dem Raum 28 von der Pumpe 30 abgesaugt wird.

Das geteilte Anschlußstück 29 kann auch ein undurchlässiges verformbares Teil sein. In diesem Fall steht der Raum 28 über Leitungen 33 und Ventilanordnungen 34 mit einer Luftversorgung 35 oder einem ähnlich unschädlichen oder ungiftigen externen Gas, z. B. Argon oder Stickstoff, in Verbindung. Die Gasversorgung 35 führt das Gas in den von der Saugpumpe 30 evakuierten Raum 28 zu. Der Gasdruck im Raum 28 wird durch das Ventil 34 geregelt und kann auf einem Überdruckpegel gehalten werden, der bevorzugt oberhalb 1,96 bar liegt und bis zu 4,9 bar betragen kann. Alternativ kann der Druck im Raum 28 auf einem Unterdruckpegel gehalten werden, indem die Ventilanordnung 32 in Verbindung mit der Ventilanordnung 34 geregelt wird.

Das Ausführungsbeispiel nach Fig. 3 entspricht im wesentli­ chen demjenigen nach den Fig. 1 und 2, wobei jedoch das galvanische Bad 3 in einer Zwangsströmung durch eine rohr­ förmige Anode 40 zugeführt wird. Dabei wird der Elektrolyt aus einem Behälter 42 durch eine Pumpe 41 in die rohrförmige Anode 40 über ein Druckregelsystem 43, ein Drosselventil 44 und ein Durchsatzregelventil 45 gefördert und strömt in den Spalt zwischen der Anode 40 und dem Werkstück 4 durch eine Endöffnung 40 a der Anode 40. Da auch bei diesem Ausführungs­ beispiel das Trennelement 27 sowie das Abgas-Abzugssystem 29-32 und die Lüftungsöffnungen 26 a oder die externe Gasför­ dervorrichtung 33-35 vorgesehen sind, kann die Zuführrate des galvanischen Bads in den Spalt zwischen der aktiven Anodenfläche 40 a und dem Werkstück 4 auf einen Höchstwert gesteigert werden, so daß die höchstmögliche Abscheidungs- Stromdichte und damit die höchstmögliche Abscheidungsrate ohne Umweltverschmutzung, Korrosion der Elemente der An­ triebsvorrichtung oder gesundheitliche Gefährdung des Bedieners gewährleistet sind. Der Druck der in den Abscheidungsspalt geförderten Elektrolytlösung 3 wird von dem Ventil 43 geregelt und sollte bevorzugt nicht weniger als 4,9 bar betragen.

Bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 3 kann die Ventilan­ ordnung 45 in vorprogrammierter Weise durch Ausgangssignale der Steuereinheit 16 verstellt werden. Somit wird der zugeführte Volumenstrom des galvanischen Bads in und durch den Spalt bevorzugt als eine Funktion der jeweiligen Form einer Fläche auf dem elektrisch leitenden Werkstück 4 und damit der Form 1, die der aktiven Anodenfläche 40 a gegen­ überliegt, geregelt. So kann für eine vertiefte oder ausge­ sparte Fläche der Durchsatz erhöht werden. Umgekehrt sollte bzw. kann für eine konvexe oder ebene Fläche der Durchsatz verringert bzw. minimiert werden. Auf diese Weise kann die elektrisch leitende Fläche 4 gründlich und gleichmäßig oder mit einer erwünschten Dickenverteilung über ihre Gesamflä­ che und mit gesteigerter Geschwindigkeit mit einem galvani­ schen Überzug versehen werden.

Claims (12)

1. Verfahren zur galvanischen Metallabscheidung auf eine elektrisch leitende Oberfläche mit folgenden Verfahrens­ schritten:

• a) Anordnen eines Werkstücks, das eine mit einem galvanischen Metallüberzug zu versehene Fläche aufweist, in einem Be­ hälter;
• b) Positionieren einer Anode mit Abstand gegenüber dem Werk­ stück in dem Behälter;
• c) Spülen eines galvanischen Bads mindestens in den Bereich eines Zwischenraums zwischen der Anode und dem Werkstück innerhalb des Behälters; und
• d) Leiten eines Abscheidungsstroms zwischen die Anode und das Werkstück zur Abscheidung des Metalls aus dem galvanischen Bad auf der Werkstückoberfläche,

dadurch gekennzeichnet, daß im Schritt d) das Metall aus dem galvanischen Bad minde­ stens hauptsächlich auf einen begrenzten Bereich der Werk­ stückoberfläche gegenüber der Anode galvanisch abgeschieden wird und elektrolytisch erzeugte Gase aus dem Zwischenraum, gegebenenfalls zusammen mit feinen Tröpfchen des galvanischen Bads, als Abgas in einem Raum innerhalb des Behälters gesam­ melt werden;

• e) das Werkstück und die Anode relativ zueinander verschoben werden, so daß der begrenzte Bereich der Werkstückoberflä­ che fortschreitend überstrichen wird;
• f) die in dem Raum angesammelten Abgase aus dem Behälter abgesaugt werden; und
• g) während des Absaugens des Abgases aus dem Behälter nach außen entweder durch mindestens eine Lüftungsöffnung Frischluft in den Raum gesaugt wird oder unter Druck ein unschädliches Gas in den Raum gefördert wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Raum auf einem Unterdruck gehalten wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Raum auf einem Überdruck gehalten wird.

4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Überdruck im Bereich zwischen 1,96 und 4,9 bar liegt.

5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das galvanische Bad durch eine rohrförmige an ihrem Vorder­ ende offene Anode mit einem Druck von mindestens 4,9 bar in den Zwischenraum zwischen Anode und Werkstück gespült wird.

6. Verfahren nach den Ansprüchen 1, 3 oder 4, dadurch gekenn­ zeichnet, daß als unschädliches Gas unter Druck Luft, Stick­ stoff oder Argon in den Raum gefördert wird.

7. Einrichtung zur galvanischen Metallabscheidung mit

• a) einem Behälter zur Aufnahme eines Werkstücks (1) mit einer mit einem galvanischen Metallüberzug zu versehenden elek­ trisch leitenden Oberfläche (4);
• b) Elementen (9) zur Halterung des Werkstücks (1) im Behälter;
• c) Einheiten (11, 19) zur Halterung einer Anode (10; 40) mit Abstand gegenüber dem Werkstück (1) im Behälter;
• d) Mitteln zum Spülen eines galvanischen Bads (3) mindestens in den Bereich eines Zwischenraums zwischen der Anode (10; 40) und dem Werkstück (1) im Behälter; und
• e) einer Stromversorgung (24) die einen Abscheidungsstrom zwischen die Anode (10; 40) und das Werkstück (1) zur Ab­ scheidung des Metalls aus dem galvanischen Bad auf der Werkstückoberfläche schickt,

dadurch gekennzeichnet, daß die Abmessungen des Werkstücks (1) und der Anode (10; 40) so gewählt sind, daß das Metall aus dem galvanischen Bad (3) mindestens hauptsächlich auf einen begrenzten Be­ reich der Werkstückoberfläche (4) gegenüber der Anode (10; 40) abgeschieden wird, während in dem Zwischenraum elektro­ lytisch erzeugte Gase und gegebenenfalls Tröpfchen des gal­ vanischen Bads als Abgas sich in einem Raum (28) innerhalb des Behälters ansammeln;

• f) eine Antriebsvorrichtung (11-23) zur Verschiebung des Werk­ stücks (1) und der Anode (10; 40) relativ zueinander vorge­ sehen ist, so daß der begrenzte Bereich der Werkstückober­ fläche (4) ständig von der Anode (10; 40) überstrichen wird
• g) eine Saugvorrichtung (30) vorgesehen ist, die das in dem Raum (28) angesammelte Abgas aus dem Behälter absaugt; und
• h) entweder der Behälter Lüftungsmittel (26 a, 29) aufweist, die den Raum (28) mit der Atmosphäre verbinden, so daß wäh­ rend des Absaugens der Abgase aus dem Behälter in eine Aus­ laßleitung (29) Frischluft in den Raum (28) ansaugbar ist, oder eine Pumpe (30) vorgesehen ist, die unter Druck ein unschädliches Gas in den Raum (28) fördert.

8. Einrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Förder- und Saugvorrichtung den Druck in dem Raum (28) auf einem Unterdruckpegel hält.

9. Einrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Förder- und Saugvorrichtung den Raum (28) auf einem Über­ druck hält.

10. Einrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet,

• - daß die Anode ein Rohr (40) mit einem darin ausgebil­ deten Fluidkanal und einer Öffnung (40 a) am Vorderende ist, und
• - daß die unter (d) genannten Mittel einen Vorratsbehälter (42) für das galvanische Bad (3) und eine Pumpe (41) umfassen, die das galvanische Bad aus dem Vorratsbehälter (42) ansaugt, durch den rohrförmigen Fluidkanal (40) fördert und unter einem Druck von mindestens 4,9 bar aus der Öffnung (40 a) in den Zwischenraum spült.