DE3218739C2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- DE3218739C2 DE3218739C2 DE19823218739 DE3218739A DE3218739C2 DE 3218739 C2 DE3218739 C2 DE 3218739C2 DE 19823218739 DE19823218739 DE 19823218739 DE 3218739 A DE3218739 A DE 3218739A DE 3218739 C2 DE3218739 C2 DE 3218739C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- light
- laser
- optical fibers
- beam splitter
- optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
- G02B6/2804—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers
- G02B6/2848—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers having refractive means, e.g. imaging elements between light guides as splitting, branching and/or combining devices, e.g. lenses, holograms
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4296—Coupling light guides with opto-electronic elements coupling with sources of high radiant energy, e.g. high power lasers, high temperature light sources
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft eine optische Wellenleitervorrichtung
gemäß Oberbegriff des Anspruchs 1 bzw. 3.
Eine derartige optische Wellenleitervorrichtung ermöglicht
das Aufteilen des Lichtstrahlenbündels eines Lasers in meh
rere Teilstrahlenbündel und deren Übertragung zu mehreren
verschiedenen Objekten, z. B. mehreren chirurgischen Laser
skalpellen, -schneidvorrichtungen oder -werkzeugen.
Bisher hat man bei einem Laserwerkzeug oder bei einem
chirurgischen Laserskalpell, bei denen ein Lichtstrahlen
bündel hoher Energie, beispielsweise von einem CO₂-Laser,
verwendet wird, als optischen Wellenleiter eine Anordnung
mit einstellbaren Armen benutzt, die mehrere Spiegel zur
Lichtstrahlenbündelleitung umfaßt. Nachteilig bei einer
solchen Anordnung ist, daß sie nicht glatt und reibungslos
arbeitet und es durch Spiegelvibrationen zu einer uner
wünschten Änderung der Richtung des Lichtstrahlenbündels
kommt. Zur Behebung dieses Problems ist die Verwendung einer
speziellen optischen Faser aus einer KRS-5 (Mischkristall
aus Tlb und TlI) genannten Substanz in Betracht gezogen
worden.
Fig. 1 zeigt ein Beispiel einer früheren optischen Wellen
leitervorrichtung, bei der eine optische Faser 3 für ein
Laserbearbeitungsgerät oder ein chirurgisches Lasergerät
verwendet wird. In der optischen Wellenleitervorrichtung
wird ein Lichtstrahlenbündel 5, das in einem CO₂-Laser 1
erzeugt worden ist, mittels einer Fokussierlinse 2 fokus
siert, und das fokussierte Strahlenbündel 6 tritt am Ein
gangsende der optischen Faser 3 in diese ein. Das in der
optischen Faser 3 übertragene Lichtstrahlenbündel tritt an
der Endfläche der optischen Faser 3 aus und wird von einer
zweiten Fokussierungslinse scharf auf einen Objektpunkt 8
fokussiert, wo ein Werkstück oder ein einer chirurgischen
Operation zu unterziehender Teil angeordnet und bearbeitet
oder operiert wird.
In der DE-OS 29 03 288 ist ein optischer Wellenleiter mit
Multiplexer/Demultiplexer beschrieben, bei dem ein Licht
strahlenbündel, das Licht verschiedener Wellenlängen ent
hält, mittels Strahlenbündelteiler (Multiplexer) in Teil
strahlen mit bestimmter Wellenlänge aufgeteilt wird. Als
Strahlenbündelteiler werden wellenlängenselektive Filter
eingesetzt, die je nach Wellenlänge ein optisches Licht
strahlenbündel z. T. durchlassen oder reflektieren, wobei
der reflektierte Teil des Lichtstrahlenbündels auf das
jeweils nächste Filter gerichtet ist.
Eine weitere, aus der US-PS 42 57 673 bekannte Wellenleiter
vorrichtung der eingangs genannten Art ist zur Übertragung
von monochromatischem Licht ausgelegt und enthält als Strah
lenbündelteiler ein Beugungsgitter, in welchem auf bekannte
Weise eine Unterteilung des eintretenden Lichtstrahlenbün
dels in eine Anzahl von Teilstrahlenbündeln erfolgt. Das aus
dem Beugungsgitter austretende Licht ist divergierend und
tritt in eine entsprechende Anzahl von optischen Fasern ein,
wobei es über bekannte optische Mittel eingekoppelt und ge
führt wird. Die gleichen Spektralkomponenten der einzelnen
Teilstrahlenbündel werden dadurch realisiert, daß bei der
bekannten Wellenleitervorrichtung Lichtstrahlenbündel mit
monochromatischem Licht verwendet werden.
Wenn eine Laserbearbeitung durchgeführt wird, ist es oft
wünschenswert, mehrere Teile gleichzeitig bearbeiten zu
können, und dies ist besonders vorteilhaft, wenn eine sehr
schnelle und genaue Bearbeitung beabsichtigt ist. Verwendet
man für einen solchen Zweck eine erforderliche Anzahl der in
Fig. 1 gezeigten Anordnungen, treten Probleme hinsichtlich
der Arbeitsabläufe, der Wartung, des Platzbedarfs und der
Kosten auf. Zudem führt die Verwendung einer optischen Faser
mit großem Durchmesser zur Übertragung größerer Lichtener
gie, die auf einen einzigen Fleck gerichtet wird, unver
meidlich zu einer schlechten Flexibilität des Wellenleiters,
wodurch der Vorteil der optischen Faser verloren geht.
Wenn man andererseits eine Anzahl optischer Fasern 20a, 20b
und 20c bündelt, wie in Fig. 2 durch eine Frontansicht ge
zeigt ist, und wenn man auf dieses Faserbündel ein Laser
lichtstrahlenbündel mit einer Querschnittsfläche richtet,
wie sie mit der gestrichelten Linie 22 dargestellt ist, dann
führt ein beträchtlicher Teil der Laserlichtenergie, die in
außerhalb der Querschnittsflächen der optischen Fasern 20a,
20b und 20c liegende leere Teile 22a, 22b und 22c eintritt,
zu einem Kopplungsverlust. Ein solcher Kopplungsverlust
bedeutet nicht nur eine Verschwendung der Laserlichtenergie,
sondern ist auch nachteilig im Hinblick auf eine Beschä
digung des optischen Faserbündels und im Hinblick auf eine
Erhitzung und ein Verbrennen des Füllmaterials in den leeren
Teilen 22a, 22b und 22c, wodurch es zu einem Schmelzen des
Eingangsendteils der optischen Fasern 20a, 20b und 20c kom
men kann.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine optische Wel
lenleitervorrichtung zu schaffen, die es ermöglicht, unter
Verwendung eines Lasers mit hoher Ausgangsenergie, wie eines
CO₂-Lasers, und mehrerer optischer Fasern, größere Licht
energie auf einen Fleck zu richten und/oder gleichzeitig
mehrere Teile zu bearbeiten.
Die Aufgabe ist durch die Erfindung bei einer Wellen
leitervorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 oder 3
gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der erfindungsgemäßen
Wellenleitervorrichtung sind Gegenstand der Unteransprüche.
Die erfindungsgemäße optische Wellenleitervorrichtung er
möglicht durch die Verwendung mehrerer optischer Fasern die
gleichzeitige Benutzung des Laserlichts eines einzigen ge
meinsamen Hochenergielasers an verschiedenen Bearbeitungs
stellen und schafft eine optische Wellenleitervorrichtung
mit einer praktischen Flexibilität.
Mehr im einzelnen, der Strahlenbündelteiler besteht bei
einer Ausführungsform der Erfindung aus einer Anzahl von in
einer Ebene angeordneten Strahlenbündelspaltern, beispiels
weise Teil- oder Halbspiegeln, und einem gemeinsamen Re
flexionsspiegel, der in bezug auf die Strahlenbündelspalter
in einem Winkel angeordnet ist, wodurch das aufgeteilte
Strahlenbündel, d. h. die Teilstrahlenbündel, auf einen
gemeinsamen Punkt bzw. Fleck konzentriert werden kann. Bei
diesem sogenannten einzigen Punkt ist dann die Fokussier
einrichtung für die Teilstrahlenbündel angeordnet. Auf diese
Weise kann eine einzige gemeinsame Fokussiereinrichtung für
drei und mehr Teilstrahlenbündel vorgesehen werden, was in
Anbetracht der z. B. bei CO₂-Lasern verwendeten Wellenlänge
eine große Kosten- und Raumersparnis bedeutet.
Vorteilhaft sind die Strahlenbündelspalter als teildurch
lässige Spiegel ausgebildet, wobei der gemeinsame Re
flexionsspiegel totalreflektierend ist. Durch entsprechende
Wahl der Reflexions- bzw. Durchlässigkeitskoeffizienten der
Strahlenbündelspalter bzw. Teilspiegel können die Verhält
nisse der Intensitäten der Teilstrahlenbündel in gewünschter
Weise aufgeteilt werden.
Bei einer altenativen Ausführungsform des Strahlenbündel
teilers besteht dieser aus einem Polyederprisma mit einer
Lichteintrittsebene und n Lichtaustrittsebenen. Die Anzahl
der Austrittsebenen entspricht der Anzahl der Teilstrahlen
bündel. Infolge der Brechung im Strahlenbündelteiler werden
die Teilstrahlenbündel auf einen einzigen Punkt bzw. Fleck
zentriert, in welchem die Fokussiereinrichtung angeordnet
ist. Bei dieser Ausführungsform sind die Querschnitte der
Teilstrahlenbündel fächerförmig.
Im folgenden werden die Erfindung und ihre Vorteile der
Erfindung anhand von Ausführungsformen näher erläutert. In
der beigefügten Zeichnung zeigen
Fig. 1 eine Seitenansicht eines früheren optischen Wel
lenleiters mit einer einzigen optischen Faser;
Fig. 2 eine Frontansicht eines hypothetischen früheren
optischen Bündelwellenleiters;
Fig. 3 eine Blockdiagramm des grundsätzlichen Aufbaus einer
erfindungsgemäßen Wellenleitervorrichtung;
Fig. 4 eine Seitenansicht einer tatsächlichen Ausführungs
form einer erfindungsgemäßen optischen Wellenlei
tervorrichtung;
Fig. 5 eine Draufsicht zur Darstellung der Anordnung der
optischen Wellenleitervorrichtung von Fig. 4 im
Zusammenhang mit den Räumen eines Gebäudes;
Fig. 6 eine Seitenansicht einer weiteren tatsächlichen
Ausführungsform einer erfindungsgemäßen optischen
Wellenleitervorrichtung zur Übertragung eines
Strahlenbündels besonders hoher Energie zu einem
einzigen Fleck;
Fig. 7 (a) eine Vorderansicht eines speziell geformten
Prismas als Strahlenbündelteiler;
Fig. 7 (b) eine Seitenansicht des Prismas von Fig. 7(a);
und
Fig. 7 (c) eine Seitenansicht einer weiteren Ausführungs
form einer erfindungsgemäßen optischen Wellenlei
tervorrichtung, bei der das Prisma von Fig. 7(a)
und 7(b) verwendet wird.
In der gesamten Beschreibung werden gleiche Bezugsziffern
verwendet, um gleiche oder im wesentlichen gleiche Kom
ponenten oder Teile zu bezeichnen, und demgemäß gelten die
Beschreibungen für die gleichen Komponenten oder Teile auch
ohne besonderen Hinweis.
Fig. 3 zeigt den grundsätzlichen Aufbau einer erfindungs
gemäßen optischen Wellenleitervorrichtung, bei der ein
starker Laser 9, wie ein CO₂-Laser, verwendet wird. Das vom
Laser 9 ausgesendete Lichtstrahlenbündel 13 wird mittels
eines Strahlenbündelteilers 10 in mehrere Teilstrahlenbündel
14a, 14b und 14c aufgeteilt. Die Teilstrahlenbündel 14a, 14b
und 14c werden dann in eine Fokussiervorrichtung 12 geführt,
welche die Teilstrahlenbündel 14a, 14b und 14c auf die
Flächen von Eingangsenden 11a, 11b und 11c von optischen
Fasern 11 fokussiert. Von den Flächen der Ausgangsenden der
optischen Fasern 11 austretende Lichtstrahlenbündel 17a, 17b
und 17c werden dann durch zweite Fokussiervorrichtungen 16a,
16b und 16c fokussiert, um scharfe Licht-, d. h. Strahl
flecken 19a, 19b und 19c auf Bearbeitungspunkten zu bilden,
wodurch gleichzeitige Bearbeitungsvorgänge, wie Schneiden
usw., relevanter Teile eines Werkstücks (oder auch mehrerer
Werkstücke) ermöglicht werden. Das Merkmal,
- (1) mehrere Teile eines Werkstücks gleichzeitig bearbeiten zu können und
- (2) an mehreren verschiedenen Positionen gleichzeitig aktiv sein zu können,
ist vorteilhaft, da durch eine einzige Ausrichtung eines
Werkstücks mehrere Positionen genau bearbeitet werden, was
genaue Abmessungen zwischen diesen sicherstellt, und da
chirurgische Operationen gleichzeitig in verschiedenen
Operationsräumen durchgeführt werden können.
Die Anzahl der optischen Fasern 11 braucht nicht auf drei
beschränkt zu sein, sondern kann zwei oder vier oder auch
größer sein. Der Radius und die Anzahl der optischen Fasern
11 sollte in Abhängigkeit von dem Zweck des Gerätes bestimmt
werden. Die optischen Fasern 11 sind in der Praxis mit
Kunststoffbeschichtungen umhüllt, wenn dies auch in der
Zeichnung nicht gezeigt ist. Um die zuvor erwähnten Probleme
der Beschädigung des Bündelbildungsteils, des Hüllenteils
oder der Enden der optischen Fasern durch Hitze zu ver
meiden, sollten die auf die Eingangsenden 11a, 11b und 11c
der optischen Fasern 11 fokussierten Strahlflecke genügend
innerhalb des Umfangs der Eingangsendflächen der optischen
Fasern liegen. Durch die obige Anordnung können Verluste
beim Koppeln eines einzigen Lichtstrahlenbündels in mehrere
optische Fasern nahezu ausgeschaltet werden.
Fig. 4 zeigt eine tatsächliche optische Wellenleiteran
ordnung gemäß der Erfindung. Dabei wird das von einem nicht
dargestellten CO₂-Laser emittierte Lichtstrahlenbündel 13 in
einen Strahlenbündelteiler 10 geführt, der einen ersten
Strahlenbündelspalter 23a, einen zweiten Strahlenbündel
spalter 23b und einen Spiegel 24 aufweist. Der erste Strah
lenbündelspalter 23a und der zweite Strahlenbündelspalter
23b sind Halbspiegel, die Strahlen langer Wellenlänge
übertragen können und beispielsweise aus ZnSe-Kristall mit
geeigneten optischen Beschichtungen hergestellt sind. Das
Lichtstrahlenbündel 13 gelangt unter Bildung eines Teil
strahlenbündels 14a teilweise durch den ersten Strah
lenbündelspalter 23a und wird von diesem teilweise re
flektiert, wodurch ein reflektiertes Teilstrahlenbündel 25
gebildet wird. Das reflektierte Teilstrahlenbündel 25 wird
dann von dem Spiegel 24 reflektiert und gelangt unter
Bildung eines Teilstrahlenbündels 14b teilweise durch den
zweiten Teilstrahlenbündelspalter 23b und wird von diesem
unter Bildung eines reflektierten Teilstrahlenbündels 26
teilweise reflektiert. Das reflektierte Teilstrahlenbündel
26 wird dann von dem Spiegel 24 unter Bildung eines Teil
strahlenbündels 14c reflekiert. Die Teilstrahlenbündel 14a,
14b und 14c gelangen durch eine gemeinsame Fokussierungs
linse 27, und die fokussierten Teilstrahlenbündel 15a, 15b
und 15c treten an entsprechenden Eingangsenden 11a, 11b und
11c in die optischen Fasern 11 ein. Wenn man den Durchläs
sigkeitskoeffienten und den Reflexionskoeffizienten des
ersten Strahlenbündelspalters 23a zu 33% bzw. 67% wählt, den
Durchlässigkeitskoeffizienten und den Reflexionskoeffizien
ten des zweiten Strahlenbündelspalters 23b zu 49% bzw. 51%
und den Reflexionskoeffizienten des Spiegels 24 zu im we
sentlichen 100%, werden die Verhältnisse der Intensitäten
der Teilstrahlenbündel 14a, 14b und 14c zum Lichtstrahlen
bündel 13 aus dem Laser 9 etwa je 30%, d. h. dieses wird in
drei im wesentlichen gleiche Teile aufgeteilt. Mehr im
einzelnen, es tritt in den Strahlenbündelspaltern 23a und
23b eine Absorption von etwa 1% auf, was jedoch einen
vernachlässigbaren, unbedeutenden Gesichtspunkt darstellt.
Natürlich kann man das Verhältnis der Energieaufteilung nach
Wunsch der Benutzungsanforderung der Teilstrahlenbündel
entsprechend wählen. Wenn der erste Strahlenbündelspalter
23a und der zweite Strahlenbündelspalter 23b in derselben
Ebene angeordnet sind, wie in Fig. 4 gezeigt ist, und wenn
die Ebene der Strahlenbündelspalter bezüglich der Ebene des
reflektierenden Spiegels 24 um einen Winkel R geneigt ist,
sind die Winkel zwischen den Teilstrahlenbündeln 14a und 14b
oder zwischen 14b und 14c gleich 2 R, und folglich verlaufen
die Teilstrahlenbündel 14a, 14b und 14c so, daß sie sich
nahezu in einem Punkt treffen. Die Mitte der ersten fokus
sierenden Linse 27 ist so gewählt, daß sie diesen Punkt
trifft, wie es in Fig. 4 gezeigt ist. Jedes Teilstrahlen
bündel 14a, 14b und 14c besteht aus parallelen Strahlen, und
daher werden diese Teilstrahlenbündel von der gemeinsamen
Fokussierungslinse 27 auf die Eingangsenden 11a, 11b und 11c
der jeweiligen optischen Faser 11 fokussiert. Natürlich sind
die Eingangsenden 11a, 11b und 11c im wesentlichen in der
Brennebene der Linse 27 angeordnet. Wie zuvor erwähnt, ist
die Linse 27 so gewählt oder aufgebaut, daß Strahlflecken
gebildet werden, die ausreichend kleiner als die Fläche der
Eingangsenden 11a, 11b und 11c sind. Somit liegt der Umfang
der Strahlflecken jeweils ausreichend entfernt von und im
Inneren des Umfangs der optischen Fasern, so daß keine Teil
strahlenbündel über die Eingangsendfläche hinaus streuen und
die optischen Fasern beschädigen. Experimente zeigen: Wenn
die Lage und Größe der Strahlenbündel-Lichtflecken sorg
fältig gemäß Obigem gewählt sind, ist der Kopplungsverlust
vom Strahlenbündelteiler in die optische Faser nahezu Null,
und der Gesamtverlust ist 2 bis 3%, wenn man die Energie
verluste der Linse 27, der Strahlenbündelspalter 23a und 23b
und des Reflektors 24 zusammenzählt, die jeweils weniger als
1% betragen. Da bei der Ausführungsform nach Fig. 4 die
Ebene der Strahlenbündelspalter 23a und 23b gegenüber der
Ebene des reflektierenden Spiegels 24 geneigt angeordnet
ist, verlaufen die Teilstrahlenbündel 14a, 14b und 14c
derart, daß sie nahezu in der Mitte der ersten Fokussie
rungslinse zusammenlaufen. Da ferner alle Teilstrahlenbündel
im wesentlichen die gleiche Größe haben und in dieselbe Flä
che der Linse 27 eintreten, kann eine einzige Fokussie
rungslinse 27 verwendet werden, um die Teilstrahlenbündel
auf die einzelnen Eingangsflächen der optischen Fasern zu
fokussieren. Da die Fokussierungslinse 27, die für einen
CO₂-Laser langer Wellenlänge beispielsweise aus ZnSe-
Kristall hergestellt ist, und Justierungsvorrichtungen zum
Positionieren des Strahlenbündelteilers, der Linse und der
Eingangsflächen der Fasern sehr teuer sind, ist die Ver
wendung einer einzigen gemeinsamen Linse 27 zum Fokussieren
mehrerer Strahlenbündel, z. B. der Teilstrahlenbündel 14a,
14b und 14c, außerordentlich vorteilhaft, da Kosten, Raum
bedarf und Wartungsaufwand reduziert werden. Ohne die
geneigte Anordnung der Strahlenbündelspalter 23a und 23b
gegenüber dem (Reflexions-) Spiegel 24 würden sich die
Teilstrahlenbündel nicht auf eine einzige gemeinsame Linse
konzentrieren. Es würden dann mehrere Linsen benötigt und
die zuvor erwähnten Vorteile wären nicht erreichbar.
Obwohl die Flächen der Eingangsenden 11a, 11b und 11c der
optischen Fasern 11 in derselben Brennebene der Linse 27
liegen sollten, können die mittleren Teile und Ausgangs
endteile der optischen Fasern 11 so angeordnet werden, daß
sie dem Zweck des Gerätes genügen.
Bei der Ausführungsform von Fig. 4 ist eine Gruppe zweiter
Fokussierungslinsen 16a, 16b und 16c zu dem Zweck, die
Bedürfnisse einer jeden Verwendung zu erfüllen, jenseits der
Ausgangsenden 11x, 11y und 11z der optischen Fasern 11 an
geordnet. Die zweiten Fokussierungslinsen 16a, 16b und 16c
sind bezüglich der Ausgangsenden 11x, 11y bzw. 11z mittels
einer (nicht gezeigten) Fixierungshülse festgelegt. Die
Verbundkonstruktion einer jeder optischen Faser in der Nähe
ihres Ausgangsendes und der entsprechenden Fixierungshülse
einschließlich der zweiten Fokussierungslinsen 16a, 16b und
16c ist einstückig bewegbar. Daher können die Fixierhal
terungen an den Ausgangsenden für gewünschte Teile eines
Werkstücks oder von Werkstücken angewendet werden, die
konzentriert oder mit weiterem Abstand voneinander ange
ordnet sind, wobei der Vorteil der Flexibilität der op
tischen Faser 11 ausgenutzt wird. Die fokussierten Strahl
flecken 19a, 19b und 19c werden zum Schneiden oder für
ähnliche Arbeiten verwendet.
Fig. 5 zeigt eine Draufsicht einer Anordnung einer Ausfüh
rungsform des Gerätes in Räumen eines Fabrikgebäudes, eines
Labors oder eines Krankenhauses. In einem Laserraum 30 ist
ein starker CO₂-Laser 9 installiert. Das von ihm ausgesandte
Strahlenbündel wird mit Hilfe eines Strahlenbündelteilers 10
aufgeteilt und die Teilstrahlenbündel werden mittels einer
Fokussierungslinse 12 fokussiert, um fokussierte Strahl
flecken auf die Eingangsenden der optischen Fasern 11, 11
und 11 zu projizieren. Die optischen Fasern 11, 11, 11 sind
durch Wände 28, 28 und 28 oder in Fußboden- oder Deckenhohl
räumen und zum Teil durch einen Korridor 31 zu den einzelnen
Räumen 29a, 29b und 29c geführt, um dort Werkstücke bear
beiten oder chirurgische Operationen durchführen zu können.
Die an den jeweiligen Ausgangsenden der optischen Fasern
austretenden Teilstrahlenbündel werden mittels zweiter
Fokussierungslinsen 16a, 16b und 16c fokussiert, um
fokussierte Strahlflecken für die Bearbeitungen oder
Operationen zu bilden.
Die zweiten Fokussierungslinsen 16a, 16b und 16c sind
bezüglich der Ausgangsenden der jeweiligen optischen Fasern
mit Hilfe der Fixierungshülsen festgelegt. Eine geeignete
Länge der Endteile der optischen Fasern 11, 11 und 11 ist
frei beweglich im jeweiligen Raum angeordnet, so daß die
Fixierungshülsen zum Bearbeiten oder Operieren frei bewegt
werden können. Bei manchen genau bearbeitenden Maschinen
sind die Fixierungshülsen auf einer Positionierungsvorrich
tung der Maschine montiert, um eine hochgenaue Ausrichtung
mit dem Werkstück zu erhalten, oder alternativ dazu sind die
Fixierungshülsen an der Maschine befestigt, wobei das Werk
stück an einer Roboter-Bewegungsmaschine montiert ist.
Das leistungsstarke Lichtstrahlenbündel aus dem CO₂-Laser
9 wird somit vom Strahlenbündelteiler 10 aufgeteilt, mittels
der gemeinsamen Fokussierungslinse 12 fokussiert, zu den
Eingangsenden der optischen Fasern 11, 11, 11 geführt, von
deren Ausgangsenden abgenommen, mittels der zweiten Linsen
16a, 16b und 16c fokussiert und für die jeweiligen Zwecke
verwendet. Wenn man gemäß der vorliegenden Ausführungsform
lediglich einen starken Laser 9 verwendet, kann man daher
mehrere Bearbeitungen oder chirurgische Operationen unabhängig
in verschiedenen Räumen durchführen. Daher ist die Vorrichtung
vorteilhaft hinsichtlich der Wirtschaftlichkeit des Lasers,
einer leichten, zentralisierten Wartung, Einsparung von Raum
und hinsichtlich der Ausschaltung von Rauschen und Hitze,
die vom Betrieb des starken CO₂-Lasers stammen.
Fig. 6 zeigt eine andere Ausführungsform, bei der zwei oder
mehr Ausgangsenden der optischen Fasern in ein Bündel zu
sammengefaßt sind, um auf diese Weise einen sehr hoch kon
zentrierten Laserstrahlfleck zu erzeugen. In Fig. 6 ist mit
13 ein einziges Laserlichtstrahlenbündel bezeichnet, mit
10 ein Strahlenbündelteiler, mit 23a und 23b ein erster und
ein zweiter Strahlenbündelspalter, mit 24 ein Reflektor, mit
27 eine gemeinsame Fokussierungslinse zum Fokussieren dreier
Teilstrahlenbündel auf Eingangsenden von optischen Fasern
32, 32 und 32. Die Ausgangsenden der optischen Fasern 32, 32
und 32 sind zu einem Bündel zusammengefaßt, im Unterschied
zur vorausgehenden Ausführungsform von Fig. 3.
Die Arbeitsweise der Ausführungsform von Fig. 6 wird nun
erläutert. Ein einziges, energiereiches Strahlenbündel 13
wird mittels des Strahlenbündelteilers 10 in drei Teilstrah
lenbündel aufgeteilt, und zwar in der gleichen Weise, wie
sie im Zusammenhang mit Fig. 3 beschrieben worden ist. Die
Teilstrahlenbündel werden mittels der gemeinsamen Fokussie
rungslinse 27 fokussiert und jeweils in ein Eingangsende der
drei optischen Fasern 32 geführt. Die Teilstrahlenbündel
werden dann von den Ausgangsenden emittiert, die zusammen
gefaßt sind, um eine Fläche kleinen Querschnitts zu bilden.
Die aus den zusammengefaßten Ausgangsenden austretenden Strahlenbündel
werden dann mit einer gemeinsamen zweiten Fokussierungs
vorrichtung 33 fokussiert, um einen Strahlfleck 81 mit sehr
hoher Lichtenergie zu bilden. Da die Laserstrahlenergien
drei optischen Fasern in den einzigen Strahlfleck 81 kon
zentriert sind, ist die Energie dieses einzigen Strahlflecks
81 sehr hoch, und zwar im wesentlichen dreimal so hoch wie
der Energiegrenzwert, der von jeder einzigen optischen Faser
32 übertragen werden kann.
Wenn man die Ausführungsform nach Fig. 6 mit dem herkömmlichen
Fall gemäß Fig. 1 vergleicht, bei dem für die Übertragung der
selben Energiemenge eine einzige optische Faser verwendet
wird, braucht der Durchmesser einer jeden optischen Faser 32
dieser Ausführungsform nur 1/√ (= 0,58) mal so groß wie
derjenige der einzigen optischen Faser 3 in Fig. 1 zu sein.
Da der Durchmesser der optischen Fasern klein wird, ist die
Flexibilität der Gesamtheit der optischen Fasern 32 sehr viel
höher, und daher ist auch die Handhabbarkeit des Aus
gangsendes mit der Fixierungshülse stark verbessert.
Es folgen nun einige Betrachtungen hinsichtlich der Flexibili
tät der aufgeteilten und gebündelten optischen Fasern.
Es gilt einerseits: Wenn ein bestimmtes Biegemoment auf eine
optische Faser ausgeübt wird, stehen der Krümmungsradius ρ
der gebogenen Faser und der Faserdurchmesser d in folgender
Beziehung:
ρ ∼ d⁴.
Das heißt, bei gleichem auf die Faser wirkenden Biegemoment
erhöht sich der Krümmungsradius ρ 16 mal oder verringert sich
die Flexibilität auf 1/16, wenn sich der Faserdurchmesser ver
doppelt. Mit anderen Worten, der Faserdurchmesser hat einen
großen Einfluß auf die Flexibilität.
Andererseits gilt: Der Energiegrenzwert, der von einer opti
schen Faser übertragen werden kann, ist proportional zur
Querschnittsfläche der Faser, und daher erhöht sich die Ener
gieübertragungsfähigkeit viermal, wenn sich der Faserdurchmesser
verdoppelt. Wenn der Faserdurchmesser halbiert wird, ver
ringert sich die Energieübertragungsgrenze auf 1/4, und daher
werden vier Fasern erforderlich, um die gleiche Energie zu
übertragen. Vergleicht man eine einzige optische Faser mit
dem Durchmesser a und eine gebündelte optische Faser mit
vier optischen Fasern des Durchmessers a/2, sind die Energie
übertragungsfähigkeit und die Verluste im wesentlichen gleich.
Die Flexibilität der gebündelten Faser ist jedoch viermal so
groß wie diejenige der einzigen optischen Faser. Das heißt,
der Krümmungsradius ρ der gebündelten Faser ist für ein
bestimmtes Biegemoment ¼ desjenigen der einzigen Faser. Das
bedeutet, durch Bündeln von n optischen Fasern mit einem
Durchmesser, der mal so klein ist wie der Durchmesser
der einzigen optischen Faser, verbessert sich die Flexibili
tät n² mal. Durch die Verwendung solcher Fasern mit kleinerem
Durchmesser verbessert sich außerdem in großem Maß die Wider
standsfähigkeit gegen wiederholte Biegeaktionen, und zwar
derart, daß sich bei einer Verringerung des Durchmessers auf
die Widerstandsfestigkeit der Faser etwa zehnmal erhöht.
Es ist daher offensichtlich, daß die gebündelten dünnen opti
schen Fasern von größerem Vorteil sind als die dickere opti
sche Faser. Besonders für bei CO₂-Lasern verwendete Metall
halogenidkristallfasern, wie KRS-5, mit schlechter Flexibili
tät ist das beschriebene Bündel dünner Fasern außerordentlich
nützlich. Obwohl die Eingangsenden und die Ausgangsenden
der dünnen optischen Fasern zusammengebündelt werden müssen,
sollten die Mittelteile der optische Fasern möglichst lose
gehalten werden, um deren Flexibilität zu erhalten. Solche
lose gehaltenen optischen Fasern sind nicht nur vorteilhaft
hinsichtlich der Flexibilität, sondern auch hinsichtlich der
Wärmeableitung, und sie sind hoch widerstandsfähig selbst
dann, wenn einige mechanische Defekte oder Unreinheiten an
einer oder zwei der Einzelfasern auftreten, da die an einem
solchen Defekt erzeugte Wärme kaum zu den anderen Einzel
fasern geführt wird.
Wenn es die Umstände oder Zwecke erlauben oder erfordern, kön
nen bei den Ausführungsformen der Fig. 3, 4, 5 und 6 die
zweiten Fokussierungslinsen weggelassen werden, so daß das
Ausgangslichtstrahlenbündel oder die Ausgangslichtstrahlen
bündel direkt auf die Objekte auftreffen.
In Fig. 7(a), (b) und (c) ist eine weitere Ausführungsform
der Erfindung dargestellt. Dabei zeigt Fig. 7(c) den Gesamt
aufbau und Fig. 7(a) und 7(b) den Aufbau eines
Strahlenbündelteilers dieser Ausführungsform. Der Strahlen
bündelteiler 34 ist ein Polyederprisma aus einer Substanz,
die für das Laserstrahlenbündel transparent ist und einen
Brechungsindex aufweist, der von demjenigen von Luft ver
schieden ist. Falls ein CO₂-Laser verwendet wird, besteht
das Polyederprisma aus ZnSe-Kristall. Die Eintrittsfläche 34a
des Strahlenbündelteilers 34 ist eine Ebene, die im wesent
lichen senkrecht zum auftreffenden Laserstrahlenbündel ver
läuft. Die Austrittsfläche 34b des Strahlenbündelteilers 34
weist vier Flächen auf, die gegenüber der Eintrittsfläche
geneigt sind, wie in Fig. 7(b) gezeigt ist. Die Anzahl der
Ebenen der Austrittsfläche ist durch die Anzahl der benötig
ten Teillichtstrahlenbündel bestimmt. Eine Fokussierungslinse
37 ist zwischen der Austrittsfläche 34b des Strahlenbündel
teilers 34 und Eintrittsenden optischer Fasern 39 angeordnet,
und zwar derart, daß die Fokussierungslinse 37 die Teil
strahlenbündel 36a und 36b auf die Eintrittsenden der opti
schen Fasern 39 fokussiert.
Die Arbeitsweise und der Vorteil der optischen Wellenleiter
anordnung gemäß dieser Ausführungsform sind folgende:
Wenn das Lichtstrahlbündel 35 in den Strahlenbündelteiler
34 gelangt, werden die von ihm ausgehenden Ausgangslicht
strahlenbündel 36a und 36b gebrochen, da die Ebenen der Aus
trittsfläche 34b gegenüber der Eintrittsfläche 34a geneigt
sind. Und daher werden die Teilstrahlenbündel 36a und 36b
(in Wirklichkeit sind dies vier Lichtstrahlenbündel) auf
einen Fleck zentriert, in welchem sich die Mitte der Fokussierungs
linse 37 befindet. Daher werden die Teillichtstrahlen
36a, 36b . . . genauso wie bei den vorausgehenden Ausführungs
formen von der gleichen gemeinsamen Fokussierungslinse 37
auf die Eintrittsenden 39a, 39b . . . der einzelnen optischen
Fasern 39 fokussiert.
Bei dieser Ausführungsform sind die Querschnitte der Teil
lichtstrahlenbündel fächerförmig, da sie von den fächer
förmigen Ebenen der Austrittsfläche 34b des Strahlenbündel
teilers 34 emittiert werden, im Gegensatz zu den voraus
gehenden Ausführungsformen, bei denen die Querschnittsformen
der Teillichtstrahlenbündel im wesentlichen gleich denjenigen
des einfallenden Lichtstrahlenbündels 13 sind. Wenn das
System konzipiert wird, sollte man dafür sorgen, daß die
fokussierten Lichtstrahlenbündelflecken auf den Eintritts
enden der optischen Fasern 39 genügend kleiner als die
Fläche der Eintrittsenden der optischen Fasern 39 sind. Durch
eine solche Wahl kann man den Energieverlust bei der opti
schen Kopplung nahezu auf Null verringern.
Die Nützlichkeit und Einsetzbarkeit der von den Ausgangs
enden der optischen Fasern 39 ausgehenden Lichtstrahlen
bündel ist die gleiche wie bei den vorausgehenden Ausfüh
rungsformen.
Man kann den Strahlenbündelteiler 34 auch mit umgekehrter
Vorder- und Rückseite verwenden, das heißt, man kann die
Fläche mit den vier Ebenen auf der Lichteinfallsseite und
die Fläche mit der flachen Ebene auf der Lichtaustrittsseite
anordnen.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung ist nicht nur für CO₂-Laser
oder YAG-Laser (Yttrium-Aluminium-Granat-Laser) verwendbar,
sondern für jegliche Art energiereicher Laser.
Mit der vorliegenden Erfindung erreicht man eine Einsparung
von Kosten, Raum und Wartung und eine Verbesserung von Zu
verlässigkeit und Lebensdauer der optischen Wellenleiter
vorrichtung.
Mit der vorliegenden Erfindung werden auch die Kopplings
verluste der optischen Fasern verringert, da die Eintritts
enden mehrerer optischer Fasern jeweils Teilstrahlenbündel
über eine Fokussierungslinse empfangen und daher
keine Anteile der Lichtstrahlenbündel verloren gehen, im
Gegensatz zu dem hypothetischen herkömmlichen Fall, wie
er in Fig. 2 dargestellt ist.
Zusammengefaßt wird somit unter Verwendung einer optischen Wellenleiter
vorrichtung das Lichtstrahlenbündel eines Lasers 9, beispielsweise
eines CO₂-Lasers, mittels eines Strahlenbündelteilers 10 in
mehrere Teilstrahlenbündel 14a, 14b, 14c aufgeteilt, und
dann werden die mehreren Teillichtstrahlenbündel 14a, 14b,
14c auf Eingangsenden 11a, 11b, 11c einzelner optischer
Fasern 11 fokussiert. Von den Ausgangsenden 11x, 11y, 11z
der optischen Fasern 11 ausgehende Teilstrahlenbündel 17a,
17b, 17c werden auf jeweilige Objekte projiziert, und zwar
mit Hilfe jeweiliger optischer Lichtprojektionsvorrichtungen
16a, 16b, 16c, die an den jeweiligen Ausgangsenden vorge
sehen sind. Durch Verwendung einer solchen optischen Wellen
leitervorrichtung wird sehr energiereiches Licht durch einen
relativ flexiblen Wellenleiter übertragen, der aus mehreren
einzelnen optischen Fasern 11 besteht.
Wenn man zudem die Ausgangsenden der einzelnen optischen
Wellenleiter mit mehreren Endverbrauchergeräten verbindet,
ist die Ausgangsenergie eines gemeinsamen starken Lasers
(beispielsweise CO₂-Lasers) wirtschaftlich für mehrere
Geräte verwendbar.
Claims (9)
1. Optische Wellenleitervorrichtung, bei der von einem
Laser ausgesendeten Lichtstrahlenbündeln (14a, 14b, 14c)
über eine Fokussiereinrichtung (27) in eine Anzahl von
optischen Fasern (11; 32; 39) eingebracht werden, bei der
- - zwischen dem Laser (1) und der Fokussiereinrichtung (27) ein Strahlenbündelteiler (10) vorgesehen ist, der das vom Laser ausgesendete Lichtstrahlenbündel in n Teil strahlenbündel (14a, 14b, 14c) gleicher Spektral komponenten teilt,
- - jedes der Teilstrahlenbündel (14a, 14b, 14c) durch die Fokussiereinrichtung (27) tritt,
dadurch gekennzeichnet, daß
- - der Strahlenbündelteiler (10) n-1 in einer Ebene angeordnete Strahlenbündelspalter (23a, 23b) und einen gemeinsamen Reflexionsspiegel (24) aufweist, der in bezug auf die Strahlenbündelspalter in einem Winkel (R) angeordnet ist, und die Teilstrahlenbündel auf einen einzigen Punkt richtet, und
- - die Fokussiereinrichtung (27) so angeordnet ist, daß ihre optische Mitte bei dem einzigen Punkt liegt.
2. Optische Wellenleitervorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlenbündelspalter (23a,
23b) teildurchlässige Spiegel sind und der gemeinsame Re
flexionsspiegel (24) totalreflektierend ist.
3. Optische Wellenleitervorrichtung, bei der von einem
Laser ausgesendeten Lichtstrahlenbündeln (14a, 14b, 14c)
über eine Fokussiereinrichtung (27) in eine Anzahl von
optischen Fasern (11; 32; 39) eingebracht werden, bei der
- - zwischen dem Laser (1) und der Fokussiereinrichtung (27) ein Strahlenbündelteiler (10) vorgesehen ist, der das vom Laser ausgesendete Lichtstrahlenbündel in n Teil strahlenbündel (14a, 14b, 14c) gleicher Spektral komponenten teilt,
- - jedes der Teilstrahlenbündel (14a, 14b, 14c) durch die Fokussiereinrichtung (27) tritt,
dadurch gekennzeichnet, daß der Strahlenbündelteiler (34)
zur Erzeugung von n Teilstrahlenbündeln (36a, 36b) ausge
bildet ist und ein Polyederprisma (34) aus einer laser
lichttransparenten Substanz mit einer Lichteintrittsebene
(34a) und n Lichtaustrittsebenen (34b) ist.
4. Optische Wellenleitervorrichtung nach einem der An
sprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Eingangs
enden (11a, 11b, 11c; 39a, 39b) der optischen Fasern (11;
39) so angeordnet sind, daß sie die jeweiligen fokussierten
Teilstrahlenbündel empfangen.
5. Optische Wellenleitervorrichtung nach einem der An
sprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein
Ausgangsende (11x) der optischen Fasern (11) so angeordnet
ist, daß ein emittiertes Lichtstrahlenbündel auf ein Objekt
auftrifft, das von einem oder mehreren anderen Objekten ver
schieden ist, auf das oder die Lichtstrahlenbündel von Aus
gangsenden (11y, 11z) der anderen optischen Fasern (11) auf
treffen.
6. Optische Wellenleitervorrichtung nach einem der An
sprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens zwei
der Ausgangsenden der optischen Fasern (32) zusammengebün
delt sind, um ein Lichtstrahlenbündel in konzentrierter
Weise zu emittieren.
7. Optische Wellenleitervorrichtung nach einem der An
sprüche 1 bis 6, gekennzeichnet durch eine oder mehrere
zweite Fokussiereinrichtungen (16a, 16b, 16c; 33) zum
Fokussieren der von den Ausgangsenden der optischen Fasern
(11; 32; 39) emittierten Lichtstrahlenbündel.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56076254A JPS57190904A (en) | 1981-05-19 | 1981-05-19 | Optical waveguide device |
JP57068339A JPS58184904A (ja) | 1982-04-22 | 1982-04-22 | 光導波装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3218739A1 DE3218739A1 (de) | 1982-12-09 |
DE3218739C2 true DE3218739C2 (de) | 1991-02-14 |
Family
ID=26409567
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19823218739 Granted DE3218739A1 (de) | 1981-05-19 | 1982-05-18 | Optische wellenleitervorrichtung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3218739A1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4230224A1 (de) * | 1992-09-10 | 1994-03-17 | Bundesrep Deutschland | Strahlaufspaltungs- und Fokussierungsoptik |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3418188A1 (de) * | 1984-05-16 | 1985-11-21 | B.A.T. Cigaretten-Fabriken Gmbh, 2000 Hamburg | Vorrichtung zur erzeugung von mindestens zwei nebeneinanderliegenden perforations-reihen in cigaretten bzw. filterbelag oder filterumhuellungspapier |
US4913142A (en) * | 1985-03-22 | 1990-04-03 | Massachusetts Institute Of Technology | Catheter for laser angiosurgery |
US5125404A (en) * | 1985-03-22 | 1992-06-30 | Massachusetts Institute Of Technology | Apparatus and method for obtaining spectrally resolved spatial images of tissue |
US5199431A (en) * | 1985-03-22 | 1993-04-06 | Massachusetts Institute Of Technology | Optical needle for spectroscopic diagnosis |
US5104392A (en) * | 1985-03-22 | 1992-04-14 | Massachusetts Institute Of Technology | Laser spectro-optic imaging for diagnosis and treatment of diseased tissue |
US4718417A (en) * | 1985-03-22 | 1988-01-12 | Massachusetts Institute Of Technology | Visible fluorescence spectral diagnostic for laser angiosurgery |
US5318024A (en) * | 1985-03-22 | 1994-06-07 | Massachusetts Institute Of Technology | Laser endoscope for spectroscopic imaging |
US4850351A (en) * | 1985-05-22 | 1989-07-25 | C. R. Bard, Inc. | Wire guided laser catheter |
GB2175505B (en) * | 1985-05-22 | 1989-10-25 | Bard Inc C R | Wire guided laser catheter |
JPS633873A (ja) * | 1986-06-23 | 1988-01-08 | 富士電機株式会社 | レ−ザ−治療器 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL7714270A (nl) * | 1977-12-22 | 1979-06-26 | Nederlanden Staat | Inrichting voor het koppelen van ten minste drie lichtgeleiders. |
IT1109751B (it) * | 1978-01-31 | 1985-12-23 | Nippon Telegraph & Telephone | Moltiplatore e demultiplatore ottico |
GB2014751A (en) * | 1978-02-17 | 1979-08-30 | Trw Inc | Optical switching |
-
1982
- 1982-05-18 DE DE19823218739 patent/DE3218739A1/de active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4230224A1 (de) * | 1992-09-10 | 1994-03-17 | Bundesrep Deutschland | Strahlaufspaltungs- und Fokussierungsoptik |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3218739A1 (de) | 1982-12-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2852203C3 (de) | Lichtleiteinrichtung für eine mit Auflicht betriebene Abbildungsvorrichtung | |
DE19725262C2 (de) | Optische Strahltransformationsvorrichtung | |
DE69908311T2 (de) | Mehrfachecke kirkpatrick-baez optische strahlbehandlungsanordnung | |
DE2745940B2 (de) | Optischer Übertragungskörper | |
DE3218739C2 (de) | ||
DE102007057868A1 (de) | Vorrichtung zur Strahlformung | |
DE19515321A1 (de) | Durchstimmbare, justierstabile Laserlichtquelle mit spektral gefiltertem Ausgang | |
DE2210320C3 (de) | Akusto-optisches Ablenksystem | |
DE19846532C1 (de) | Einrichtung zur Strahlformung eines Laserstrahls und Hochleistungs-Diodenlaser mit einer solchen Einrichtung | |
DE3338967C2 (de) | ||
DE3327672C2 (de) | Koaxiale Auflicht-Hellfeldbeleuchtung für Stereomikroskope | |
DE3789908T2 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur gesteuerten Emission des Lichts aus einem Prismenlichtwellenleiter. | |
DE1964509B2 (de) | Spektralfotometer | |
DE10215162B4 (de) | Strahlteilervorrichtung und Laserrastermikroskop | |
DE102020116268A1 (de) | Fasergekoppelter laser mit variablem strahlparameterprodukt | |
DE3853637T2 (de) | Achromatisches abtastsystem. | |
EP1381902B1 (de) | Reflexionsfiltersystem in beleuchtungseinrichtung | |
DE3737426C2 (de) | Interferometer | |
DE102019204032A1 (de) | Vorrichtung zur Erzeugung einer räumlich modulierbaren Leistungsdichteverteilung aus Laserstrahlung | |
DE4025851C2 (de) | ||
DE10062453B4 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Überlagerung von Strahlenbündeln | |
DE3409043C2 (de) | ||
DE10031458A1 (de) | Scan-Mikroskop mit einem Zirkulator | |
DE102020116802A1 (de) | Strahlungsübermittlungseinrichtung für Mikroskop-Systeme | |
DE10331442B4 (de) | Anordnung zur Transformation eines optischen Strahlungsfelds |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8125 | Change of the main classification |
Ipc: G02B 5/176 |
|
8126 | Change of the secondary classification |
Ipc: ENTFAELLT |
|
8128 | New person/name/address of the agent |
Representative=s name: JUNG, E., DIPL.-CHEM. DR.PHIL. SCHIRDEWAHN, J., DI |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |