DE1964509B2 - Spektralfotometer - Google Patents
SpektralfotometerInfo
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- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 title description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 9
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 16
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 4
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000013074 reference sample Substances 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
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-
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Description
40
Die Erfindung betrifft ein Spektralfotometer gemäß Oberbegriff des Hauptanspruches.
Ein Spektralfotometer dieser Art ist aus der DT-AS 39 870 bekannt. Bei diesem Spektralfotometer wird
der von dem Monochromator kommende Strahl durch eine Linse auf einen rotierenden Spiegel projiziert,
dessen Mantelfläche eine ungerade Anzahl ebener Spiegelflächen aufweist. Die der Lichtquelle zugewandte
Seite des rotierenden Spiegels bildet den ersten Reflektor, während die der Strahlquelle abgewandte
Seite des rotierenden Spiegels den zweiten Reflektor bildet. Bei dieser Anordnung ändert sich die relative
Lage der reflektierenden Fläche des rotierenden Spiegels gegenüber den Spiegeln der beiden Spiegelpaare
ständig, so daß kein ruhender Strahl auftritt, d. h. die Strahlen wandern über die Spiegel der beiden
Spiegelpaare, die den Strahlengang durch die Meßprobe bzw. den Strahlengang durch die Bezugsprobe bilden.
Dadurch wird stets eine neue Stelle aller insgesamt verwendeten Ablenkspiegel beaufschlagt, wodurch
entsprechende Reflexionsungenauigkeiten infolge fertigungstechnisch bedingter Störungen der Spiegeloberflächen
auftreten, die sich nicht ohne weiteres kompensieren lassen, da sie stets verschieden sind.
Dieses bekannte Spektralfotometer ist daher nicht im strengen Sinne symmetrisch, vielmehr führt die
Verwendung eines nur in einer Richtung umlaufenden, rotierenden Spiegels zu einer umgekehrten Symmetrie.
Ferner wandern auch die zu vergleichenden Strahlen über die beiden Vergleichszellen, so daß eine entsprechende
Ungenauigkeit dadurch eingeführt wird, daß nicht ein eng definierter Bereich ausgewählt wird.
Es ist ferner ein Spektrairotomeier bekannt (US-PS
30 22 704), bei dem ein aus einem Monochromator kommendes Strahlenbündel von einem rotierenden
Spiegel mit lichtdurchlässigen Sektoren abwechselnd hindurchgelassen und reflektiert wird. Das reflektierte
Strahlenbündel wird direkt auf einen Ablenkspiegel geworfen, während das hindurchgelassene Strahlenbündel
erst über einen Zwischenspiegel auf einen Ablenkspiegel geworfen wird. Nach dem Durchlaufen
jeweils einer Probenzelle und einer Bezugszelle gelangen diese Strahlenbündel über Ablenkspiegel auf
einen Reflektor, der aus zwei im Winkel zueinander angeordneten Spiegeln besteht, die das von den
Ablenkspiegein auf sie fallende Strahlenbündel auf eine Fotozelle lenken. Bei diesem Spektralfotometer ist an
der Fotozelle die Intensitätsverteilung über den Querschnitt des einen Strahlenbündels spiegelsymmetrisch
zu der Intensitätsverteilung über den Querschnitt des anderen Strahlenbündels. Da die lichtempfindliche
Oberfläche einer Fotozelle nie eine völlig gleichmäßige Lichtempfindlichkeit aufweist, ergeben sich wegen der
unterschiedlichen Intensitätsverteilung der beid»n
Strahlenbünde! nicht vernachlässigbare Abweichungen im Ausgangssignal der Fotozelle, die zu Meßverfälschungen
führen können. Außerdem werden mit dem Reflektor dieses Spektralfctometers die Strahlenbündel
aus unterschiedlichen Richtungen auf die Fotozelle
geworteti, »as weiter die Fehlermöglichkeit vergrößert.
Bei einem weitei».r bekannten Spektrofotometer
(GB-PS 8 69 194) werden Lichtstrahlen verwendet, die aus der Strahlenquelle in verschiedenen Winkeln
austreten. Dadurch kann schon nicht gewährleistet werden, daß diese Strahlen die gleiche Intensität und
Farue haben, da davon ausgegangen werden muß, daß bei einer normalen Strahlungsquelle eine unterschiedliche
und unregelmäßige Intensitäts- und Farbverteilung über die strahlende Fläche vorliegt. Die Strecke
zwischen den Spiegeln des einen Strahlenganges ist größer als die Sirecke zwischen den Spiegeln des
anderen Strahlenganges. Diese unterschiedlichen Strekken können sich auch nicht in ihrer jeweiligen Wirkung
kompensieren, da jeweils Spiegel dazwischengeschaltet sind, die eine strahlintensitäts- und farbabhängige
Dämpfung einführen, so daß sich eine unterschiedliche Behandlung der Strahlen insgesamt ergibt.
Demgegenüber liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Spektralfotometer der obengenanten Art
zu schaffen, bei dem die von der Strahlquelle abwechselnd durch die Probenzelle und die Bezugszelle
geführten Strahlenbündel mit Ausnahme der Beeinflussung durch die Probenzelle und die Bezugszelle genau
gleichen Einflüssen unterliegt, so daß eine Meßverfälschung durch die unterschiedlichen Wege, über die die
beiden Strahlenbündel abwechselnd geführt werden, mit Sicherheit ausgeschlossen ist. Insbesondere soll ein
derartiges Spektralfotometer geschaffen werden, bei dem die Strahlengänge durch die Probenzelle und die
Meßzelle vollständig äquivalent sind, so daß keine Kompensation der 100%-Linie erforderlich ist.
Diese Aufgabe wird durch das Kennzeichen des Hauptanspruchs gelöst. Bei dem erfindungsgemäßen
Spektralfotometer wird eine vollständige Symmetrie für die Strahlengänge zwischen der Strahlungsquelle über
die Proben- und Bezugsquelle bis hinein in die
Meß-Photozelle erreicht. Dabei ist zu beachten, daß stets der gleiche Fleck der Strahlungsquelle auf der
gleichen Stelle der Photozelle abgebildet wird. Dadurch wird einerseits erreicht, daß die durch die beiden Zellen
laufenden Lichtstrahlen genau die gleiche intensität und Farbe haben, während andererseits sichergestellt ist,
daß die Photozelle stets mit der gleichen Empfindlichkeit arbeitet. Weiterhin wird erreicht, daß die zu
vergleichenden Strahlen genau die gleiche Strecke durchlaufen, wodurch eine gleiche Dämpfung durch
diese Laufstrecken für beide Strahlen gewährleistet ist. Schließlich werden die zu vergleichenden Strahlen von
der gleichen Anzahl an Spiegeln reflektiert, die an symmetrischen Stellen angeordnet sind, wodurch auch
eine Reflexion in genau dem gleichen Winkel jeweils an der gleichen Stelle des entsprechenden Spiegels erreicht
wird. Durch diese hundertprozentig gleiche Strahlenreflexion wird wiederum eine genau gleiche Etehandlung
der beiden zu vergleichenden Strahlen erreicht.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen in Zusammenhang
mit der folgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels an Hand der Figur.
In der Figur ist eine Lichtquelle 30 gezeigt, deren Licht über einen Eintrittsspalt 32 in einen Monochrometor
3 eintritt, in dem es auf einen Austrittsspalt 38 fokussiert wird. Der monochromatische, aus dem
Monochromator austretende Strahl verläuft entlang einer optischen Achse 37 auf einen Konkavspiegel 39.
Die Achse 40 des Konkavspiegels 39 liegt iichräg und bildet einen Winkel θ mit der optischen Achse 37 des
austretenden, monochromatischen Lichtstrahls.
Ein reflektierender Unterbrecher 50 schickt dei
durch den Konkavspiegel 39 reflektierten, monochromatischen Lichtstrahl abwechselnd entlang einem Weg
51R oder einem Weg 515 zu Konkavspiegeln 44/? bzw.
445. Die Lichtstrahlen längs der Wege 51« und 515 werden im folgenden als Bezugstrahl bzw. Probenstrahl
bezeichnet. Die Spiegel 44/? und 445 sind zu dem Unterbrecher 50 symmetrisch angeordnet, wobei jeder
der Spiegel 44/? und 445 so liegt, daß seine Achse mit der optischen Achse des Bezugsstrahles 51/? bzw.
des Probestrahles 515 einen vorbestimmten Winkel θ bildet. Der Bezugsstrahl 51/? und der Probenstrahl
515 gehen dann durch eine Bezugszelle 42/? bzw. eine Probenzelle 425 und treffen auf Konkavspiegel 46/?
bzw. 465 auf.
Das oben beschriebene, optische System zwischen dem Monochromator und den Zellen ist derart
ausgeführt, daß die mmdionalen und sagittalen Bildebenen absichtlich axial voneinander verschoben
werden. Dies wird dadurch bewirkt, daß der Spiegel 39 derart in den Strahlengang eingesetzt ist, daß seine
Achse mit der Achse des optischen Systems einen vorbestimmten Winkel bildet. Bei dieser Anordnung hat
das Lichtstrahlenbündel über eine beträchtliche Strecke entlang der optischen Achse eine wohldefinierte, sehr
kleine und im wesentlichen gleiche Querschnittsfläche. Auf diese Strecke ist die Probenzelle bzw. die Meßzelle
so angeordnet, daß die Querschnittsfläche des monochromatischen Lichtstrahlenbündels im wesentlichen
mit derjenigen der Zelle über deren gesamter Länge zusammenfällt.
Die von den Spiegeln 46/? und 465 reflektierten Lichtstrahlen werden mit Hilfe eines zweiten, reflektierenden
Unterbrechers 52, der synchron mit dem Unterbrecher 50 rotiert, abwechselnd auf einen
Konkavspiegel 53 reflektiert, der das Licht auf der lichtempfindlichen Oberfläche einer Fotovervielfacherröhre
43 sammelt. Die Spiegel 46/? und 465 sind symmetrisch zu dem Unterbrecher 52 angeordnet. Um
zu bewirken, daß die ganze durch die Probe hindurchtretende Lichtenergie durch die lichtempfindliche
Oberfläche der Fotovervielfacherröhre 43 aufgenommen wird und daß das Licht eben und gleichförmig
auf die ganze wirksame lichtempfindliche Oberfläche der Fotovervielfacherröhre 43 auftrifft, haben die
Spiegel 465 und 53 bzw. die Spiegel 46/? und 53 gegebenenfalls unter Mitwirkung des Unterbrechers 52
dieselbe Zuordnung wie die Spiegel 39 und 445 bzw. 39 und 44/?. Die Krümmungen und Winkellagen der
Spiegel 465 und 53 bzw. 56/? und 53 sind so festgelegt,
daß das ganze durch die Probenzelle 425 oder die Bezugszelle 42R übertragende Licht eben und gleichförmig
auf die ganze lichtempfindliche Oberfläche der Fotovervielfacherröhre 43 auftrifft.
Aus der vorhergehenden Beschreibung des erfindungsgemäßen Spektralfotometers ergibt sich noch
folgendes. Da alle verwendeten, optischen Elemente Reflektoren sind, wird keine chromatische Aberration
eingeführt. Da Bezugsstrahl und Probenstrahl äquivalent sind, kann die Absorption der Probe ohne jegliche
Kompensation gemessen werden. Da das von dem Monochromator ausgehende Licht alternativ als Bezugsstrahl
und als Probenstrahl ausgenutzt wird, wobei' die beiden Betriebsweisen an der Betriebszeit anteilig
beteiligt sind, kann für die Messung 100 Prozent der Lichtenergie ausgenutzt werden.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (2)
1. Spektralfotometer, bei dem eine Lichtquelle einen Strahl entlang einer festen optischen Achse
auf einen ersten Reflektor richtet, von dem der Strahl abwechselnd auf den einen oder den anderen
Spiegel eines ersten Spiegelpaares gelangt, von denen die Strahlen durch eine Probenzelle bzw. eine
Bezugszelle geschickt werden, und bei dem die aus den Zellen austretenden Strahlen von einem zweiten
Spiegelpaar, das symmetrisch zu dem ersten Spiegelpaar angeordnet ist, auf einen zweiten
Reflektor geworfen werden, wobei der zweite Reflektor die beiden Strahlen auf einen Detektor
richtet, dadurch gekennzeichnet, daß der erste und der zweite Reflektor zwei getrennte,
synchron umlaufende, reflektierende Unterbrecher (50, 52) sind, und daß das erste Spiegelpaar (449.
44R) symmetrisch zu der reflektierenden Fläche des ersten Unterbrechers (50) und das zweite Spiegelpaar
(465, 46R) symmetrisch zu der reflektierenden Fläche des zweiten Unterbrechers (52) angeordnet
ist, wobei die jeweiligen optischen Achsen der von den Unterbrechern (50,52) reflektierten und der von
den Unterbrechern (50, 52) durchgelassenen Strahlen in ihrer jeweiligen Richtung unverändert bleiben.
2. Spektralfotometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Lichtquelle (3t)
und dem ersten Unterbrecher (50) ein Kcr.kavspiegel
(39) vorgesehen ist, der den Strahl auf den ersten Unterbrecher 50) umlenkt und daß zwischen dem
zweiten Unterbrecher (52) und dem Detektor (43) ein zweiter Konkavspiegel (53) vorgesehen ist, der
die aus der Richtung des zweiten Unterbrechers (52) kommenden Strahlen auf den Detektor (43) umlenkt.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP44000731A JPS5011266B1 (de) | 1968-12-31 | 1968-12-31 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1964509A1 DE1964509A1 (de) | 1970-09-24 |
DE1964509B2 true DE1964509B2 (de) | 1976-03-04 |
Family
ID=11481863
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19691964509 Granted DE1964509B2 (de) | 1968-12-31 | 1969-12-23 | Spektralfotometer |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3606547A (de) |
JP (1) | JPS5011266B1 (de) |
DE (1) | DE1964509B2 (de) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS545987B2 (de) * | 1972-12-28 | 1979-03-23 | ||
US4014612A (en) * | 1974-08-22 | 1977-03-29 | The Perkin-Elmer Corporation | Photometric measuring apparatus |
US4192614A (en) * | 1975-02-06 | 1980-03-11 | The Perkin-Elmer Corporation | L/C detector cell assembly |
US4022529A (en) * | 1975-12-11 | 1977-05-10 | White John U | Feature extraction system for extracting a predetermined feature from a signal |
USRE32598E (en) * | 1975-12-11 | 1988-02-09 | Feature extraction system for extracting a predetermined feature from a signal | |
DE2651086B2 (de) * | 1976-11-09 | 1978-11-09 | Hewlett-Packard Gmbh, 7030 Boeblingen | Photometer |
US4175864A (en) * | 1978-02-21 | 1979-11-27 | The Foxboro Company | Astigmatic illuminating system in an internal reflection spectometer |
DE2905230C2 (de) * | 1979-02-12 | 1984-03-29 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Zweistrahl-Wechsellicht-Kolorimeter |
JPS582641U (ja) * | 1981-06-29 | 1983-01-08 | 株式会社島津製作所 | 分光光度計 |
US4498766A (en) * | 1982-03-25 | 1985-02-12 | Becton, Dickinson And Company | Light beam focal spot elongation in flow cytometry devices |
US4888484A (en) * | 1986-02-20 | 1989-12-19 | Automatik Machinery Corporation | Apparatus and method for spectrophotometric analysis of a material in a moving process stream |
FR2605100B1 (fr) * | 1986-10-10 | 1988-12-09 | Labo Electronique Physique | Dispositif optique d'eclairement d'un echantillon pour un ellipsometre spectroscopique a haute resolution laterale |
AU2003900902A0 (en) * | 2003-02-27 | 2003-03-13 | Varian Australia Pty Ltd | Spectrophotometer |
US7378836B2 (en) * | 2006-01-10 | 2008-05-27 | Spansion, Llc | Automated loading/unloading of devices for burn-in testing |
-
1968
- 1968-12-31 JP JP44000731A patent/JPS5011266B1/ja active Pending
-
1969
- 1969-12-22 US US887390A patent/US3606547A/en not_active Expired - Lifetime
- 1969-12-23 DE DE19691964509 patent/DE1964509B2/de active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US3606547A (en) | 1971-09-20 |
DE1964509A1 (de) | 1970-09-24 |
JPS5011266B1 (de) | 1975-04-30 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
E77 | Valid patent as to the heymanns-index 1977 | ||
EHJ | Ceased/non-payment of the annual fee |