DE3138929A1 - Verbessertes sekundaerelektronen-spektrometer fuer die potentialmessung an einer probe mit einer elektronensonde - Google Patents

Verbessertes sekundaerelektronen-spektrometer fuer die potentialmessung an einer probe mit einer elektronensonde

Info

Publication number
DE3138929A1
DE3138929A1 DE19813138929 DE3138929A DE3138929A1 DE 3138929 A1 DE3138929 A1 DE 3138929A1 DE 19813138929 DE19813138929 DE 19813138929 DE 3138929 A DE3138929 A DE 3138929A DE 3138929 A1 DE3138929 A1 DE 3138929A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
sample
spectrometer
secondary electrons
secondary electron
electron
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19813138929
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Hans-Peter Dipl.-Phys. 8000 München Feuerbaum
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Siemens Corp
Original Assignee
Siemens AG
Siemens Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG, Siemens Corp filed Critical Siemens AG
Priority to DE19813138929 priority Critical patent/DE3138929A1/de
Priority to US06/398,542 priority patent/US4514682A/en
Priority to DE8282107490T priority patent/DE3276035D1/de
Priority to EP82107490A priority patent/EP0075709B1/de
Priority to JP57168239A priority patent/JPS5871542A/ja
Publication of DE3138929A1 publication Critical patent/DE3138929A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/02Details
    • H01J49/08Electron sources, e.g. for generating photo-electrons, secondary electrons or Auger electrons
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/44Energy spectrometers, e.g. alpha-, beta-spectrometers

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
DE19813138929 1981-09-30 1981-09-30 Verbessertes sekundaerelektronen-spektrometer fuer die potentialmessung an einer probe mit einer elektronensonde Withdrawn DE3138929A1 (de)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19813138929 DE3138929A1 (de) 1981-09-30 1981-09-30 Verbessertes sekundaerelektronen-spektrometer fuer die potentialmessung an einer probe mit einer elektronensonde
US06/398,542 US4514682A (en) 1981-09-30 1982-07-15 Secondary electron spectrometer for measuring voltages on a sample utilizing an electron probe
DE8282107490T DE3276035D1 (en) 1981-09-30 1982-08-17 Spectrometer for detecting secondary electrons produced by an electron probe from a target
EP82107490A EP0075709B1 (de) 1981-09-30 1982-08-17 Spektrometer zum Nachweis der von einer Elektronensonde auf einer Probe ausgelösten Sekundärelektronen
JP57168239A JPS5871542A (ja) 1981-09-30 1982-09-27 二次電子スペクトロメ−タ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19813138929 DE3138929A1 (de) 1981-09-30 1981-09-30 Verbessertes sekundaerelektronen-spektrometer fuer die potentialmessung an einer probe mit einer elektronensonde

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE3138929A1 true DE3138929A1 (de) 1983-04-14

Family

ID=6143065

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19813138929 Withdrawn DE3138929A1 (de) 1981-09-30 1981-09-30 Verbessertes sekundaerelektronen-spektrometer fuer die potentialmessung an einer probe mit einer elektronensonde
DE8282107490T Expired DE3276035D1 (en) 1981-09-30 1982-08-17 Spectrometer for detecting secondary electrons produced by an electron probe from a target

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE8282107490T Expired DE3276035D1 (en) 1981-09-30 1982-08-17 Spectrometer for detecting secondary electrons produced by an electron probe from a target

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4514682A (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html)
EP (1) EP0075709B1 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html)
JP (1) JPS5871542A (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html)
DE (2) DE3138929A1 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59211953A (ja) * 1983-05-17 1984-11-30 Univ Osaka 2次電子分光装置
GB8327737D0 (en) * 1983-10-17 1983-11-16 Texas Instruments Ltd Electron detector
DE3638682A1 (de) * 1986-11-13 1988-05-19 Siemens Ag Spektrometerobjektiv fuer korpuskularstrahlmesstechnik
JPS63126148A (ja) * 1986-11-14 1988-05-30 Hiroshi Daimon 荷電粒子アナライザ−
JP2696216B2 (ja) * 1988-01-11 1998-01-14 セイコーインスツルメンツ株式会社 イオンビーム加工装置
JPH03101041A (ja) * 1989-09-14 1991-04-25 Hitachi Ltd 電子ビームによる電圧測定装置
US6359451B1 (en) 2000-02-11 2002-03-19 Image Graphics Incorporated System for contactless testing of printed circuit boards
WO2001058558A2 (en) 2000-02-14 2001-08-16 Eco 3 Max Inc. Process for removing volatile organic compounds from an air stream and apparatus therefor
RU2171467C1 (ru) * 2000-06-30 2001-07-27 Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет Микрореактор для химического и генетического тестирования
EP3203494B1 (en) * 2014-09-24 2019-12-18 National Institute for Materials Science Energy-discrimination electron detector and scanning electron microscope in which same is used
JP6713454B2 (ja) * 2016-01-21 2020-06-24 公益財団法人高輝度光科学研究センター 阻止電位型エネルギー分析器

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1946931A1 (de) * 1969-09-17 1971-03-18 Gen Electric Verfahren zum Pruefen von Schaltungen und Vorrichtung zur Ausfuehrung des Verfahrens
DE2823642A1 (de) * 1978-05-30 1980-01-03 Siemens Ag Verfahren zur beruehrungslosen potentialmessung an einem elektronischen bauelement

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2946002A (en) * 1958-02-17 1960-07-19 Kingston Electronic Corp Signal-pickup test probe
US3445708A (en) * 1967-02-06 1969-05-20 Gen Electric Electron diffraction unit
US3531716A (en) * 1967-06-16 1970-09-29 Agency Ind Science Techn Method of testing an electronic device by use of an electron beam
US3448377A (en) * 1967-10-12 1969-06-03 Atomic Energy Commission Method utilizing an electron beam for nondestructively measuring the dielectric properties of a sample
US3549999A (en) * 1968-06-05 1970-12-22 Gen Electric Method and apparatus for testing circuits by measuring secondary emission electrons generated by electron beam bombardment of the pulsed circuit
JPS4823385A (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html) * 1971-07-28 1973-03-26
DE2151167C3 (de) * 1971-10-14 1974-05-09 Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen Elektronenstrahl-Mikroanalysator mit Auger-Elektronen-Nachweis
US3796947A (en) * 1973-02-27 1974-03-12 Bell Telephone Labor Inc Electron beam testing of film integrated circuits
US4169244A (en) * 1978-02-03 1979-09-25 Plows Graham S Electron probe testing, analysis and fault diagnosis in electronic circuits
DE2814049A1 (de) * 1978-03-31 1979-10-18 Siemens Ag Verfahren zur beruehrungslosen messung des potentialverlaufs in einem elektronischen bauelement und anordnung zur durchfuehrung des verfahrens
US4179604A (en) * 1978-09-29 1979-12-18 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Electron collector for forming low-loss electron images
JPS55156867A (en) * 1979-05-28 1980-12-06 Hitachi Ltd Potential measuring device
US4417203A (en) * 1981-05-26 1983-11-22 International Business Machines Corporation System for contactless electrical property testing of multi-layer ceramics

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1946931A1 (de) * 1969-09-17 1971-03-18 Gen Electric Verfahren zum Pruefen von Schaltungen und Vorrichtung zur Ausfuehrung des Verfahrens
DE2823642A1 (de) * 1978-05-30 1980-01-03 Siemens Ag Verfahren zur beruehrungslosen potentialmessung an einem elektronischen bauelement

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
DE-Z: "Elektronik", 1972, Heft 12, S. 415-420, 428 *
FR-Z: "Revue de Physique Appliquee", 11, 1976, S. 13-21 *

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6352428B2 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html) 1988-10-19
DE3276035D1 (en) 1987-05-14
EP0075709A3 (en) 1983-06-29
EP0075709B1 (de) 1987-04-08
JPS5871542A (ja) 1983-04-28
EP0075709A2 (de) 1983-04-06
US4514682A (en) 1985-04-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE4019005C2 (de) Vorrichtungen zur Analyse von Ionen hoher Masse
EP0104577B1 (de) Verfahren zur kontaktlosen Prüfung eines Objekts, insbesondere von Mikroverdrahtungen, mit einer Korpuskularstrahl-Sonde
EP0189777B1 (de) Korpuskularstrahl-Messverfahren zum berührungslosen Testen von Leitungsnetzwerken
EP0205184B1 (de) Abberrationsarmes Spektrometer-Objektiv hoher Sekundärelektronen-Akzeptanz
DE4134905A1 (de) Tandem-massenspektrometer basierend auf flugzeitanalyse
EP0194570A2 (de) Raster-Korpuskularmikroskop mit verringertem Boersch-Effekt
DE3138929A1 (de) Verbessertes sekundaerelektronen-spektrometer fuer die potentialmessung an einer probe mit einer elektronensonde
DE3532781A1 (de) Anordnung zur detektion von sekundaer- und/oder rueckstreuelektronen in einem elektronenstrahlgeraet
EP0013876B1 (de) Einrichtung zur berührungslosen Potentialmessung
EP1801844B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Abstandsmessung
EP0048857B1 (de) Anordnung für stroboskopische Potentialmessungen mit einem Elektronenstrahl-Messgerät und Verfahren zum Betrieb einer solchen Anordnung
DE19635645C2 (de) Verfahren für die hochauflösende Spektrenaufnahme von Analytionen in einem linearen Flugzeitmassenspektrometer
DE2255302A1 (de) Einrichtung fuer die sekundaer-ionenmassenspektroskopie
DE3036708A1 (de) Elektronenstrahl-messgeraet zur stroboskopischen messung hochfrequenter periodischer vorgaenge
EP0613171A1 (de) Massenspektrometer zur flugzeitabhängigen Massentrennung
EP0440901B1 (de) Ionenstrahlgerät sowie Verfahren zur Durchführung von Potentialmessungen mittels eines Ionenstrahles
EP0172477A2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Registrierung von Teilchen oder Quanten mit Hilfe eines Detektors
DE102010046731A1 (de) Kalibrierfunktion für Flugzeitmassenspektrometer höchster Massengenauigkeit
EP0472938B1 (de) Anordnung zum Testen und Reparieren einer integrierten Schaltung
DE3204897A1 (de) Korpuskularstrahlerzeugendes system und verfahren zu seinem betrieb
EP0431233A1 (de) Partialdruckmesszelle mit Kaltkathodenionenquelle für die Lecksuche in Vakuumsystemen
EP0232790A1 (de) Verfahren und Anordnung zur Messung zeitabhängiger Signale mit einer Korpuskularsonde
DE2414221C3 (de) Ionenoptisches Gerät zur Untersuchung der Oberfläche einer Probe durch IonenbeschuB und Analyse der vom beschossenen Oberflächenbereich ausgehenden Ionen
EP0858674A1 (de) Flugzeit-massenspektrometer mit positionssensitiver detektion
DE1918948A1 (de) Verfahren und Geraet zur Analyse metastabiler Ionen bei Massenspektrometern

Legal Events

Date Code Title Description
OM8 Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
8139 Disposal/non-payment of the annual fee