DE3133048A1 - Stellungsfuehler - Google Patents

Stellungsfuehler

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DE3133048A1 DE19813133048 DE3133048A DE3133048A1 DE 3133048 A1 DE3133048 A1 DE 3133048A1 DE 19813133048 DE19813133048 DE 19813133048 DE 3133048 A DE3133048 A DE 3133048A DE 3133048 A1 DE3133048 A1 DE 3133048A1
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Shinichiro 48057 Auburn Heights Mich. Iwasaki
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Aisin Seiki Co Ltd
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/003Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring position, not involving coordinate determination

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  • Physics & Mathematics (AREA)
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  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Description

  • Stellungsfühler
  • Die Erfindung bezieht sich auf einen Stellungsfühler zur Umsetzung einer Versetzung eines bewegbaren Teils in ein elektrisches Signal.
  • Bin herkömmlicher Stellungsfühler ist mit einem Potentiometer ausgestattet, dessen Schleifer auf übliche Weise mit einem bewegbaren Teil verbunden ist. Bei einem Stellungsfühler dieser Art wird das bewegbare Teil im Ansprechen auf eine von außen her ausgeübte Kraft versetzt wobei das Potentiometer eine im wesentlichen zu der Versetzung des bewegbaren Teils proportionale analoge Spannung ergibt. Es wurde jedoch festgestellt 9 daß die Abriebfestigkeit eines Dünnfilm-Widerstands in dem Potentiometer gering ist, so daß der Wert einer der Schleiferstellung entsprechenden Ausgangs spannung nicht gleichmäßig ist und das bewegbare Teil nicht in Konstantandruckberührung mit dem Schleifer gebracht werden kann9 so daß es nicht möglich ist9 bei Vibrationen oder Stößen den Kontakt zwischen dem Schleifer und dem Dünnfilm-Widerstand aufrechtzuerhalten.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Stellungsfühler zur Umsetzung einer mechanischen Versetzung in ein elektrisches Signal zu schaffen, bei dem die Größe der Versetzung eines bewegbaren Glieds mit Hilfe eines berührungsfreien mechanisch-elektrischen Umsetzmechanismus gemessen wird.
  • Ferner soll der erfindungsgemäße Stellungsfühler eine genaue Messung der Versetzung des bewegbaren Glieds unter Verwendung eines einfachen elektrischen Signalverarbeitungssystems und einer einfachen logischen Abnahmeschaltung mit einer integrierten Schaltung hohen Integrationsgrad ermöglichen. Der erfindungsgemäße Stellungsfuhler soll mindestens ein bewegbares Teil, einen Permanentmagneten, ein Teil aus magnetisch weichem Material und eine elektrische Spule aufweisen, die derart um das magnetisch weiche Material gewickelt ist, daß die Größe der Versetzung des bewegbaren Teils leicht und genau meßbar ist.
  • Vor der Beschreibung von Ausführungsbeispielen des Stellungsfühlers wird zur Verdeutlichung der Aufgabe, der Merkmale und des Aufbaus des Stellungsfuhlers allgemein die Anwendung von amorphen magnetischen Materialien bei dem erfindungsgemäßen Stellungsfühler erläutert.
  • Im folgenden ist T eine Zeit, die dafür notwendig ist, von einem Zeitpunkt an, zu dem an eine um ein magnetisch weiches Material gewickelte Spule elektris-che Leistung angelegt wird, das magnetisch weiche Material magnetisch zu sättigen. Die Zeit T ist durch die Gleichung N T (»m ax) (1) E gegeben, wobei E die an die elektrische Spule angelegte Spannung ist, N die Windungszahl der Spule ist, Am der maximale Magnetfluß ist (der annähernd mit dem Sättigungs-Magnetfluß identisch ist) und der auf ein äußeres Magnetfeld zurückzuführende Magnetfluß ist.
  • Aus der vorstehenden Gleichung ist ersichtlich, daß sich T ändert, wenn sich im Ansprechen auf eine Versetzung eines bewegbaren Glieds ßx ändert.
  • Wenn somit ein Permanentmagnet entsprechend einer Versetzung eines an dem Magneten angeschlossenen bewegbaren Teils versetzt wird, so daß eine Änderung des an einem magnetisch weichen Teil entstehenden äußeren Magnetflusses #x verursacht wird, ändert sich die Zeit T nach dem Anlegen einer Spannung an die Spule bis zum Erreichen eines vorgegebenen Spulenstrom-Pegels.
  • Demgemäß kann bei dem erfindungsgemäßen Stellungsfühler eine elektrische Schaltung oder eine elektronische Halbleitereinrichtung dafür verwendet werden, den Wert der Zeit T zu bestimmen und ein elektrisches Signal in der Porm eines Spannungspegels oder eines digitalen Codes abzugeben, das diesen Wert anzeigt. Zur Bildung des magnetisch welchen Teils wird ein amorphes magnetisches Material verwendet. Da jedoch ein amorphes magnetisches Teil durch Abschrecken eines Metalls aus der Flüssigpha se gewonnen werden muß, hat das Teil immer die Form eines dünnen Blatts. Es zeigt Ferromagnetismus und hat einen hohen magnetischen Sättigungswert, eine hohe Permeabilität zumal >103) und eine geringe Koerzitivkraft < 1,0 Oe), während es sehr hohe Bruchfestigkeit, hervorragende Elastizität und hervorragende Dauerhaftigkeit zeigt. Diese Eigenschaften des amorphen Materials sind für die Anwendung bei dem erfindungsgemaßen Stellungsfühler vorteilhaft. Durch die Verwendung des Materials wird vorteilhafterweise die Signalverarbeitung erleichtert Und die Genauigkeit hinsichtlich der Bestimmung des.
  • Werts der Zeit T gesteigert. Ferner ist in mechanischer Hinsicht die Herstellung vereinfacht, während die Widerstandsfähigkeit gegenüber Schwingungen bzw, Vibrationen oder Stößen verbessert ist. Einige magnetisch weiche Materialien sind in dem Artikel "Soft Magnetic Properties of Metallic Glasses - Recent Developments" J. Appl.
  • Phys. 50(3), März 1979, Seiten 1551-1556 von Hasegawa u.a. beschrieben. Magnetisch weiche Materialien werden unter der Handelsbezeichnung MEDGIAS (TM) von der Allied Chemical Corp. vertrieben.
  • Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert.
  • Fig. 1 ist eine Längsschnittansicht eines Stellungsfühlers gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel.
  • Fig. 2a ist ein Schaltbild einer an den in Fig. 1 gezeigten Stellungsfühler angeschlossenen elektrischen Verarbeitungsschaltung zur Abgabe eines Analogspannangs-Signale mit einem Pegel, der einer gemessenen Verstellung entspricht.
  • Fig. 2b ist eine graphische Darstellung, die die Kurvenformen von Eingangs- und Ausgangssignalen der in Fig. 2a gezeigten Verarbeitungsschaltung zeigt.
  • Fig. 3a ist ein Schaltbild einer weiteren, an den in Fig. 1 gezeigten Stellungsfühler angeschlossenen elektrischen Verarbeitungsschaltung für die Abgabe von Impulsen, die eine einer gemessenen Verstellung entsprechende Verzögerungszeit angeben.
  • Fig. 3b ist eine graphische Darstellung-, die die Kurvenformen von Eingangs- und Ausgangssignalen der in Fig. 3a gezeigten Verarbeitungsschaltung zeigt.
  • Fig. 4 ist ein Blockschaltbild einer Zählerschaltung, die eine Verzögerungszeit zwischen Bingangs- und Ausgangsimpulsen der Verarbeitungsschaltung nach Fig. 3a in einen digitalen Code umsetzt.
  • Fig. 5 ist ein Blockschaltbild einer an den in Fig.
  • 1 gezeigten Stellungsfühler angeschlossenen elektronischen Verarbeitungseinheit zur Ermittlung einer Verzögerungszeit vom Zeitpunkt des Anlegens eines Spannungsimpulses an eine elektrische Spule des Stellungsfühlers bis zur Anstiegsflalike eines durch die elektrische Spule fließenden S-troms, wobei der Spannungsimpuls von einem Einzelbaustein-Nikrocomputer angelegt wird.
  • Fig. 6a ist eine perspektivische Ansicht, die eine Anordnung eines magnetisch weichen Teils und eines Permanentmagneten veranschaulicht, welche bei der Ermittlung einer Verzögerungszeit verwendet wird, die sich entsprechend der Relativlage des lZermanentmagneten gegenüber dem magnetisch weichen Teil verändert.
  • Fig. 6b ist eine graphische Darstellung, die Spannungsdaten über eine Verzögerungszeit zeigt, welche sich entsprechend einer Wegstrecke y eines 10 mm langen Permanentmagneten in Y-Y-Richtung unter Verwendung der in Fig. 6a gezeigten Anordnung ändern, wenn eine elektrische Spule an die in Fig. 2a gezeigte elektrische Verarbeitungsschaltung angeschlossen ist und an die elektrische Spule Spannungsimpulse derart angelegt werden, daß an dem gemäß Fig. 6a oberen Ende des magnetisch weichen Teils ein S-Pol erzeugt wird.
  • Fig. 6c ist eine graphische Darstellung, die den nasen nach Fig. 6b entsprechende Daten für einen 30 mm langen Permanentmagneten zeigt.
  • Fige 6d ist eine graphische Darstellung, die den in Fig. 6b entsprechende Daten für einen 30 mm langen Permanentmagneten in dem Pall zeigt, daß die Spannungsimpulse an die elektrische Spule mit einer derartigen Polung angelegt werden, daß an dem gemäß Fig. 6a oberen Ende des magnetisch weichen Teils ein N-Pol erzeugt wird.
  • Fig. 7a ist eine I,ängsschnittansicht eines Stellungsfühlers gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel.
  • Fig. 7b ist eine Seitenansicht des in Pig. 7a gezeigten Stellungsfühlers.
  • Fig. 7c ist eine Schnittansicht längs einer Linie B-B in Fig. 7b.
  • Fig. 7d ist eine Schnittansicht längs einer Linie A-A in Fig. 7a.
  • Fig. 8a ist eine graphische Darstellung, die einer Verzögerungszeit entsprechende Spannungsdaten zeigt, welche sich entsprechend einer Wegstrecke x eines 10 mm langen permanentmagneten in X-X-Richtung verändert, wenn unter Anschluß der elektrischen Spule an die in Fig. 2a gezeigte elektrische Verarbeitungsschaltung die in Fig.
  • 6a gezeigte Anordnung verwendet wird und an die elektrische Spule Spannungsimpulse mit einer derartigen Polung angelegt werden, daß an dem gemäß Fig. 6a oberen Ende des magnetisch weichen Teils ein S-Pol erzeugt wird.
  • Pig. 8b ist eine graphische Darstellung, die Verzögerungszeit-Daten für den Pall zeigt, daß unter Verwendung der in Fig. 6a gezeigten Anordnung und Bewegung des Permanentmagneten in der X-X-Richtung die Spule an die in Fig. 3a gezeigte elektrische Verarbeitungsschaltung angeschlossen wird, wobei Is,ingangs- und Ausgangsimpulse an ein Synchroskop angelegtwerden und-Spannungsimpulse an dieelektrische Spule so angelegt werden, daß an dem gemäß Fig. 6a oberen Ende des magnetisch weichen Teils ein S--Pol erzeugt wird.
  • Fig. 8c ist eine graphische Darstellung, die den Daten nach Fig. 8a entsprechende Daten in dem Fall zeigt, daß die Spannungsimpulse an die elektrische Spule mit einer derartigen Polung angelegt werden, daß an dem gemäß Fig. 6a oberen Ende des magnetisch weichen Teils ein N-Pol erzeugt wird.
  • Fig. 8d ist eine graphische Darstellung, die den Daten nach Fig. 8b entsprechende Daten in dem Fall zeigt, daß Spannungsimpulse an die elektrische Spule mit einer derartigen Polung angelegt werden, daß an dem gemäß Fig. 6a oberen Ende des magnetisch weichen Teils ein N-Pol erzeugt wird.
  • Fig. 8e ist eine graphische Darstellung, die den Daten nach Fig. 8a entsprechende Daten bei Verwendung eines 30 mm langen Permanentmagneten zeigt.
  • Figo 8f ist eine graphische Darstellung, die den Daten nach Fig. 8b entsprechende Daten bei Verwendung eines 30 mm langen Permanentmagneten zeigt.
  • Pig 9a ist eine Längsschnittansicht eines Stellungsfühlers gemäß einem dritten Ausführungs-beispiel.
  • Fig. 9b ist eine Seitenansicht des in Fig. a gezeigten Stellungsfühlers.
  • Fig. 9c ist eine Schnittansicht längs einer Linie B-B in Fig. 9b.
  • Fig. 9d ist eine Schnittansicht längs einer Linie A-A in Fig. 9a.
  • Fig. 10a ist ein Schaltbild einer an den in Figo 9 gezeigten Stellungsfühler angeschlossenen elektrischen Verarbeitungsschaltung zur Abgabe einer analogen Spannung mit einem Pegel, der von einer gemessenen Verstellung abhängt.
  • Fig. 1Ob ist ein Blockschaltbild einer an den in Fig 9 gezeigten Stellungsfühler angeschlossenen elek- trischen Verarbeitungsschaltung zur Abgabe eines digitalen Codes, der eine gemessene Verstellung angibt.
  • Fig. 10c ist ein Blockschaltbild einer an den in Fig. 9 gezeigten Stellungsfühler angeschlossenen elektronischen logischen Verarbeitungseinheit zur Abgabe eines digitalen Codes, der eine gemessene Verstellung angibt.
  • Pig. 11a ist eine perspektivische Ansicht, der die relative Anordnung eines Paars magnetisch weicher Teile und eines Permanentmagneten zeigt, die zur Bestimmung einer Verzögerungszeit an zugeordneten elektrischen Spulen in Übereinstimmung mit der Lage des Permanentmagneten in Bezug auf die Teile verwendet wird.
  • Pig. 11b ist eine graphische T)arstellung, die einer Verzögerungszeit entsprechende Spannungsdaten zeigt, die sich bei Verwindung der in Fig. 11a gezeigten Anordnung und eines Paars in einem Abstand von 35 mm stehender elektrischer Spulen, die an die in Fig. 10 gezeigte elektrische Verarbeitungsschaltung angeschlossen sind, in Übereinstimmung mit einer Wegstrecke x eines 30 mn langen Permanentmagneten in der X-X-Richtung verändert, wobei an die elektrischen Spulen Spannungsimpulse mit einer derartigen Polung angelegt werden, daß an den gemäß Fig. 11a oberen Enden der magnetisch weichen Teile jeweils ein S-Pol erzeugt wird.
  • Fig. 11c ist eine graphische Darstellung, die den Daten nach Fig. 11b entsprechende Daten für den Fall zeigt, daß die Spannungsimpulse an die elektrischen Spulen mit einer derartigen Polung angelegt werden, daß an den gemäß Fig. 11a oberen Enden der magnetisch weichen Teile jeweils ein N-Pol erzeugt wird.
  • Fig. lid ist eine graphische Darstellung, die den Daten nach Fig. lib entsprechende Daten für den Fall zeigt, daß die elektrischen Spulen einen Abstand von 50 mm haben.
  • Pig, 11e ist eine graphische Darstellung, die den Daten nach Fig. 11c entsprechende Daten für den Fall zeigt, daß die elektrischen Spulen einen Abstand von 50 mm haben.
  • Fig. 12 ist eine graphische Darstellung 9 die den Zusammenhang zwischen aus der in Fig0 2a gezeigten elektrischen Verarbeitungsschaltung abgegebenen Spannungsdaten für die Verzögerungszeit und der Verstellung bzw0 Wegstrecke x des Permanentmagneten in der X-X-Richtung bei der in Fig. 6a gezeigten Anordnung fiir unterschied liche magnetisch weiche Teile veranschaulicht0 In der Zeichnung sind durchgehend zur Bezeichnung identischer oder einander entsprechender Teile die gleichen Bezugszeichen verwendet; im einzelnen zeigt die Fig. 1 einen Stellungsfühler 1 gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel mit einem Gehäuse 29 in welchem ein permanentmagnet 5 so angeordnet ist, daß er gegen ein Verbindungsglied 4 stößt0 An dem Verbindungsglied 4 ist mit einem Ende ein bewegbares Glied 3 befestigt, dessen anderes Ende nach außen ragt, so daß bei einer Versetzung bzw. Verstellung des bewegbaren Glieds 3 durch eine an dem nach außen ragenden Teil des bewegbaren Glieds ausgeübte äußere Kraft der Permanentmagnet 5 in der durch den Pfeil dargestellten Richtung bewegt yrird Der Permanentmagnet 5 ist mittels einer Peder 6 vorgespannt, die den Permanentmagneten 5 in seine ursprüngliche Stellung zurückbringt, wenn die äußere Kraft entfällt Parallel zu dem Permanentmagneten 5 ist in Abstand zu diesem ein magnetisch weiches Teil 7 angeordnet0 Eine Kunstharzplatte 89 an der das magnetisch weiche Teil 7 angebracht ist, verhindert eine Verformung des magnetisch weichen Teils 7. Um den Aufbau aus dem Teil 7 und der Platte bzw.
  • Schutzvorrichtung 8 herum ist eine Spule 9 gewickelt, deren eines Ende 9a zusammen mit einem Ende 8a der Platte 8 mit Hilfe eines Niets an einem Ende 10a eines Anschlusses 10 befestigt ist, während die anderen Enden 9b der Spule 9 bzw. 8b der Platte 8 gleichermaßen an einem Ende 10b eines zweiten Anschlusses 10 befestigt sind.
  • ';wenn bei dieser Anordnung das bewegbare Glied 3 und der permanentmagnet 5 unter Kraftanwendung in die in Fii. 1 durch den 1'feil angegebene Richtung bewegt werden, erfaßt das magnetisch weiche Teil 7 eine derartige Versetzung bzw. Verstellung des bewegbaren Glieds 3 und bewirkt eine Umsetzung der Versetzung in ein elektrisches Signal. Die Versetzung des Permanentmagneten 5 wird mittels einer elektrischen Verarbeitungsschaltung und/oder einer elektronischen logischen Verarbeitungseinrichtung bzw. Verarbeitungseinheit ermittelt.
  • Die Fig. 2a zeigt eine Form einer elektrischen Verarbeitungsschaltung 100. Die Schaltung 100 hat einen Anschluß 101, der an eine vorgegebene Versorgungs-Gleichspannung Vcc in der Größenordnung von beispielsweise +5 V anschließbar ist. Perner hat die Schaltung einen ingangsanschluß 102, an den Spannungsimpulse mit einer Frequenz in einer Größenordnung von beispielsweise-5 bis 25 kHz angelegt werden. Ein mit seiner Basis an den Eingangsanschluß 102 angeschlossener NPN-Transistor 103 ist während der Zeit durchgeschaltet, während der die Impulsspannung positiv bleibt, und wird gesperrt, wenn die Impulsspannung Massepegel annimmt. Wenn der Transistor 103 durchgeschaltet bzw. gesperrt wird, wird ein PNP-Transistor iO4 durchgeschaltet bzw. gesperrt. Daher wird während der Zeit des Anlegens positiver Impuls spannung an den Eingangsanschluß 102 an die elektrische Spule 9 die Versorgungsspannung Vcc angelegt, während bei Massepegel der Impulsspannung keine Spannung angelegt wird. An einem Widerstand 105 wird eine zu dem über die-Spule 9 fließenden Strom proportionale Spannung erzeugt, die mittels eines Integrators aus einem Widerstand 106 und einem Kondensator 107 integriert wird, so daß an einem Ausgangsanschluß 1o8 eine integrierte spannung auftritt.
  • T)ie Fig. 2b zeigt graphisch die Kurvenformen der Fingangs- und Ausgangsspannungen der in Fig. 2a gezeigten Schaltung. Die Verzögerungszeit td von der Anstiegsflanke der Eingangsspannung IN bis zu dem Zeitpunkt, an dem die Spannung an dem Widerstand 105 einen vorgegebenen pegel übersteigt, sowie die integrierte Spannung Vy bzw. Vx, die ein Integral der Spannung an dem Widerstand 105 darstellt, hängen beide von der Lage des Permanentmagneten 5 ab.
  • Die Fig. 3a zeigt eine weitere elektrische Verarbeitungsschaltung 120. In diesem Fall werden ein NPN-Transistor 103 und ein PNP-Transistor 104 während der Zeitdauer positiver Eingangsspannung IN durchgeschaltet, wodurch die Versorgungsspannung Vcc an die Spule 9 angelegt wird. Während der Zeit des Massepegels der Eingangsspannung IN sind die Transistoren 103 und 104 gesperrt. Ein Paar von N-Kanal-Sperrschicht-Peldeffekttransistoren FET 1 und FET 2 bildet eine Konstantstromquelle, die einen konstanten Stromfluß über die Spule aufrechterhält. Die Stärke des über den Feldeffekttransistor FET 2 fließenden Stroms kann mittels eines veränderbaren Widerstands 122 eingestellt werden. Die an dem mit den Feldeffekttransistoren FET 1 und FET 2 verbundenen Anschluß der Spule entstehende Spannung wird einem Paar von invertierenden Verstärkern IN 1 und IN 2 zugeführt, wo sie verstärkt und (zu Impulsen) geformt wird.
  • Die Fig. 3b zeigt graphisch die Kurvenformen der Singangs- und Ausgangsspannungen der Schaltung nach Fig.
  • Da. Die Schaltung 120 gibt Ausgangsspannungsimpulse OUT ab, die in Bezug auf jeweils entsprechende Eingangsimpulse IN um eine Verzögerungszeit td verzögert sind 9 wobei die Dauer der Verzögerungszeit von der Lage des Per manentmagneten 5 abhängt.
  • Die Fig. 4 zeigt eine Zählerschaltung 1409 die den Wert der Verzögerungszeit td in einen entsprechenden digitalen Code umsetzt. Bei der Schaltung nach Fig. 4 wird von der Anstiegsflanke einer Eingangsimpulsspannung IN ein Flipflop Pl gesetzt, wodurch dessen Q-Ausgangssignal auf hohen Pegel "1" wechselt, durch den ein UND-Glied Al zum Durchlaß von mittels eines Taktimpulsoszil lators 141 erzeugten Impulsen an einen Zählimpulseingang CK eines Zählers 142 durchgeschaltet wird. Ein Ausgangsimpuls OUT und das Q-Ausgangssignal des Flipflops F1 werden an ein UND-Glied A2 angelegt, das ein Signal hohen Segels "1" abgibt, wenn der Ausgangsimpuls OUT auf hohen Pegel ansteigt. Zu diesem Zeitpunkt wird das Flipflop F1 rückgesetzt, wodurch sein Q-Ausgangssignal auf niedrigen Pegel II "O" zurückkehrt. Dadurch wird das UND-Glied Al gesperrt und damit die Zufuhr von Taktimpulsen zu dem Zähler 142 unterbrochen. Wenn das UND-Glied A2 das Ausgangssignal mit dem hohen Pegel "1" abgibt, wird ein den Zählstand des Zählers 142 darstellender Code in einen Zwischenspeicher 143 eingespeichert. Nach dem Rücksetzen des Flipflops F1 und dem Beschicken des Zwischenspeichers 143 mit dem Zählstand-Code läßt ein UND-Glied A3 vaktimpulse zum Löschen des Zählers 142 durch. Ein Ausgangscodesignal des Zwischenspeichers 143 gibt die Anzahl der während des Zeitintervalls der Verzögerungszeit td durchgelassenen Taktimpulse an und stellt damit die Dauer der Verzögerungszeit td dar.
  • Eine in der Fig. 5 gezeigte elektronische Verarbeitungseinheit 160 hat einen Einzelbaustein-Mikrocomputer (integrierte llalbleitereinheit mit hohem Integrationsgrad, LSI) 161, einen Verstärker 162, einen N-Kanal-Sperrschicht-Feldeffekttransistor FET 1, der als Konstantstromquelle wirkt, einen Widerstand 163, einen Kondensator 164, einen Verstärker 165 und einen Taktimpulsoszillator 166. Die Zusammenschaltung aus dem Widerstand 163 und dem Kondensator 164 bildet ein Filter, das die Wirkung von Spannungsschwingungen mit Frequenzen unterdrückt, die höher als die Frequenz der Eingangs- und der Ausgangsimpulse sind. Der Mikrocomputer 161 bildet auf- grund der von dem Taktimpul.soszillator 166 erzeugten Taktimpulse Tmpulse mit einer vorgegebenen Frequenz in einem Bereich von 5 bis 30 kHz und führt diese Impulse dem Verstärker 162 zu. Andererseits überwacht der Nikrocomputer 161 die an dem Verbindungspunkt zwischen dem N-Kanal-Feldeffekttransistor FET 1 und einem Ende der Spule entstehende Spannung bzw. die Ausgangsspannung des Verstärkers 164 und zählt die Taktimpulse, die während der Zeitdauer von der Anstiegsflanke des vom Mikrocomputer abgegebenen Impulses bis zum Anstieg der Ausgangsspannung des Verstärkers 165 auf einen vorgegebenen pegel erzeugt werden. Dieses Zeitintervall entspricht der Verzögerungszeit td, für deren Wert der Mikrocomputer ein Ausgangseodesignal bildet.
  • Gemäß den vorangehenden Ausführungen kann der Stellungsfühler 1 nach Fig. 1 mit mancherlei elektrischen Verarbeitungsschaltungen oder einer elektronischen logischen Verarbeitungseinheit verbunden werden, um damit ein elektrisches Signal zu liefern, das die Lage des Permanentmagneten 5 in dem Stellungsfühler 1 angibt. Die Verwendung des in Fig. 1 gezeigten Stellungsfühlers in Verbindung mit den elektrischen Verarbeitungsschaltungen 100, 120 und 140 oder der logischen Verarbeitungseinheit 160 zur Abgabe eines die Versetzung des bewegbaren Glieds 3 darstellenden elektrischen Signale wird nun erläutert.
  • Die Umsetzung der Lage des Permanentmagneten 5 in ein elektrisches Signal wird nun anhand von Versuchsdaten erläutert, die in den Fig. 6b bis 6d dargestellt sindb Bei diesen Versuchen wurde das magnetiech weiche Teil 7 fest an einem Tisch angebracht, wie es in der Fig. 6a dargestellt ist, und parallel zu dem Teil der Permanentmagnet 5 angeordnet Eine X-X-Achse wurde so gewählt, daß sie quer durch die Längsmitte des magnetisch weichen Teils 7 in der zu dessen Längsrichtung senkrechten Richtung verläuft. Als Ursprung einer zu der X-X-Achse senkrechten Y-Y-Achse wurde hinsichtlich des Permanentmagneten 5 die Stelle gewählt, die an derX-X-Achse liegt. Danach wurden Werte der Spannung Vy und der Verzögerungszeit td als Funktion der Wegstrecke bzw. des Wegs y des Permanentmagneten 5 in der Y-Y-Richtung ermittelt. Die besonderen Werte der verschiedenartigen Parameter und das Material des magnetisch-weichen bzw.
  • weichmagnetischen Teils sowie die erzielten Daten sind in der nachstehenden Tabelle 1 als Fälle Nr. 1 bis 3 aufgelistet.
  • In der Tabelle bedeutet in der mit "Spannungspolung" bezeichneten Spalte die Angabe "S-N" einen Anschluß der Spule 9 an die elektrische Schaltung 100 oder 120 in der Weise, daß an dem oberen Ende des magnetisch weichen Teils 7 ein S-Pol erzeugt wird. Gleichermaßen bedeutet der Ausdruck "N-N", daß die Spule 9 an die elektrische. Schaltung 100 oder 120 so angeschlossen ist, daß an dem oberen Ende des magnetisch weichen Teils ein N-Pol erzeugt wird.
  • Tabelle 1
    mass Magnetisch weiches Teil 7 Spule 9
    Nr. Material I)icke a b Blatt- Windungs
    Atom-Gew.% mm mm mm anzahl anzahl
    1 Fe40Ni38Mo4B18 0,050 40 1,8 5 1000
    amorph
    2 " " " " " "
    3 " " " " " "
    4 " " " " " "
    5 " " " " " "
    6 " " " " " "
    7 " " " " " "
    8 " " " " " "
    9 " " " " " "
    14 Fe40Ni40P14B6 0,058 40 1,8 5 1000
    amorph
    15 " " " " " "
    16 Ni80Fe16Mo4 0,200 40 5 2 1000
    µ-Metall
    17 " " " " " "
    18 Ni80Fe20 0,100 40 5 2 1000
    Super-
    Permalloy
    19 " " " " " "
    Tabelle 1 (Fortsetzung)
    Permanent- Ab- Meßvorr.
    Fall- Spannungs-
    magnet 5 stand u. Eingangs- Daten
    Nr. polung
    Impulsfre-
    mm mm mm mm
    1 10 5 4 5 Schaltung 100 S-N Fig.6
    5 kHz
    2 30 " " " " " Fig. 6c
    3 30 " " " " N-N Fig. 6d
    4 10 " " X " S-N Fig. 8a
    5 10 " " X Schaltung 120 S-N Fig. 8b
    u. Synchroskop
    5 kHz
    6 10 " " X Schaltung 100 N-N Fig. 8c
    5 kHz
    7 10 " " X Schaltung 120 N-N Fig. 8d
    u. Synchroskop
    5 kHz
    8 30 " " X " S-N Fig. 8c
    9 30 " " X " N-N Fig. 8f
    14 30 5 4 X Schaltung 100 S-N Fig. 15
    A1
    15 " " " X " N-N Fig. 15
    A2
    16 30 5 4 X Schaltung 100 S-N Fig. 15
    5 kHz B1
    17 " " " X " N-N Fig. 15
    B2
    18 " " " X " S-N Fig. 15
    C1
    19 " " " X " N-N Fig. 15
    C2
    Wie für Fall Nr.1 nus indigo 6b gezeigten Daten ersichtlich ist, kann eine Spannung Vy mit sehr hoher Genauigkeit für einen Weg y des Magneten von 0 mm bis +14 mm oder von -1 mm bis -15 mm und vorzugsweise von +2 mm bis +12 mm oder von -3 mm bis -13 mm in Richtung der Y-Y-Achse erzielt werden. Wie auch bei dem Fall Nre 3 (Fig0 6d) ersichtlich ist; kann eine Spannung Vy hoher Genauigkeit für einen Weg y des Magneten über einen im Vergleich zu dem Fall Nr. 1 erweiterten Bereich erzielt werden. Bei dem Fall Nr. 2 (Fig. 6c) ist der Bereich gu ter Linearität in seiner Breite relativ eingeengt 9 jedoch verteilt sich die Spannung auf verschiedene Bereiche des Wegs y. Damit wird ein Arbeitsbereich des Permanentmagneten 5 in dem Stellungsfühler 1 nach Fig. 1 so gewählt, daß die Spannung Vy eine gute Linearität in Bezug auf den Weg bzw. die Lage y des Magneten 5 zeigt0 In den Fig. 7a bis 7d ist ein Stellungsfühler 9 gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel gezeigte Ein Gehäuse 2 umgibt eine Kammer 21, in der ein Permanentmagnet 5 und ein magnetisch weiches Teil 7 parallel zueinander angeordnet sind. Der Permanentmagnet 5 ist mit einem bewegbaren Glied 3 versehen, während das magnetisch weiche Teil 7 an seiner Außenfläche mit einem Spulenkörper 20 versehen ist, um den eine elektrische Spule 9 gewickelt ist. Ein Ende 20a des Spulenkörpers 20 ist durch Löten an einem Ende 10a der Spule 9 sowie einem Anschluß 10 festgelegt. Bin Teil des bewegbaren Glieds 3 ragt aus dem Gehäuse 2 heraus. Wenn das bewegbare Glied 3 bewegt wird, wird auch der Permanentmagnet 5 entsprechend dem Ausmaß der Bewegung des bewegbaren Glieds versetzt 9 um damit von dem magnetisch weichen Teil 7 ein elektrisches Signal abzunehmen. Bei diesem Ausführungsbeispiel bewegt sich in Bezug auf das magnetisch weiche Teil 7 der Permanentmagnet 5 längs der in Fig, 6a gezeigten X-X-Achse0 Die bei einer derartigen Bewegung des Permanentmagneten 5 erzielten Versuchsdaten sind in den Fig0 8a bis 8f dargestellt. Verschiedenerlei Parameter wie der Aufbau, die Größe und die Anordnung der zusammengehörigen Teile, die für die Erzielung der in den Fig, 8a bis 8f dargestellten Daten verwendet werden, sind in der Tabelle 1 als Fälle Nr. 4 bis 9 angegeben. Aus den in den Fig. 8a bis 8f gezeigten Daten ist ersichtlich, daß bei der Bewegung des Permanentmagneten 5 in Richtung der X-X-Achse der Bereich guter Linearität der Spannung.Vx oder der Verzögerungszeit td als Funktion des Wegs x des Magneten 5 relativ eingeengt ist. Da jedoch in diesem eingeengten Bereich das Ausmaß der Änderung groß ist, kann der Aufbau so gewählt werden, daß sich der Permanentmagnet 5 über diesen engen Bereich bewegt.
  • In den Fig. 9a bis 9d ist ein Stellungsfühler gemäß einem dritten Ausführungsbeispiel gezeigt. Dieses Ausführungsbeispiel hat im wesentlichen den gleichen Aufbau wie das in den Fig. 7a bis 7d gezeigte Ausführungsbeispiel mit der Ausnahme, daß in der Kammer 21 des Gehäuses 2 in gegenseitigem Abstand zwei weichmagnetische Teile 7 und 29 angeordnet sind.
  • Die Fig. 1Oa zeigt eine elektrische Verarbeitungsschaltung 180, die eine analoge Spannung Vx in Übereinstimmung mit der Lage des Permanentmagneten 5 in dem in den Fig. 9a bis 9d gezeigten Stellungsfühler 1 abgibt.
  • Im einzelnen wird in der Schaltung 180 ein NPN-Transistor 103 während der Zeit durchgeschaltet, während der eine tingangsimpulsspannung IN auf positivem Pegel verbleibt, und zu dem Zeitpunkt gesperrt, an-dem die Eingangsimpulsspannung Massepegel annimmt. Die Kollektorspannung des Transistors 103 wird mittels eines Paars invertierender Verstärker IN3 und IN4 verstärkt und geformt, bevor sie an die Basis eines NPN-Transistors 121 angelegt wird. Daher wird dann, wenn die Eingangsimpulsspannung IN positiven Pegel annimmt, der Transistor 103 durchgeschaltet, während der Transistor 121 gesperrt wird. Als Folge davon wird während dieses Zeitintervalls ein PNP-Transistor 104 gesperrt Demgegenüber ist während der Zeitdauer des Massepegele der Eingangsimpulsspannung der Transistor 103 gesperrt9 während die Transistoren 121 und 104 durchgeschaltet sind D.h., , es werden auf gleichartige weise wie bei der Schaltung 120 nach Fig. 3a an die Spule 9 Spannungsimpulse angelegt 9 wodurch an einem Widerstand 105 Spannungsimpulse mit einer Verzögerungszeit tdl von der jeweiligen abfallenden Flanke der Eingangsspannungsimpulse IN an in der Weise auftreten9 daß die Verzögerungszeit dem Abstand xl des Permanentmagneten 5 von dem weichmagnetischen Teil 7 entspricht0 An eine weitere, um das magnetisch weiche Teil 29 gewickelte elektrische Spule 31 ist eine Konstantspannung über einen FNP-Transistor 181 anlegbar. Wenn der Transistor 103 durchgeschaltet wird 9 damit ein invertierender Verstärker INS ein positives Ausgangssignal abgibt, welches wiederum während der Zeitdauer positiven Pegels der Eingangsimpulsspannung IN einen NPg-Transistor 182 durch schaltet, wird der Transistor 181 gleichfalls durchgeschaltet, während dieser gesperrt wird9 wenn die Eingangsimpulsspannung IN Massepegel annimmt. Demzufolge wird an die zweite Spule 31 die konstante Versorgungsspannung Vcc angelegt, wenn an die erste Spule 9 keine Spannung angelegt wird, während an die zweite Spule 51 keine Versorgungsspannung angelegt wird, wenn an die Spule 9 die Spannung angelegt wird. D.h., die konstante Versorgungsspannung Vcc wird abwechselnd in Übereinstimmung mit den Eingangsspannungsimpulsen IN an die erste und die zweite Spule 9 und 31 angelegt Die zweite Spule 31 ist mit einem Widerstand 183 verbunden, an welchem Spannungsimpulse auftreten, deren Anstiegeflanken gegenüber den Anstiegsflanken der Eingangsspannungsimpulse IN um ein Zeitintervall einer Verzögerungszeit td2 verzö gert sind, die von dem Abstand x2 des Permanentmagneten 5 von dem magnetisch weichen Teil 29 abhängt Die an dem Widerstand 105 entstehende Spannung Vx1 wird an einen Belag eines Kondensators 184 angelegt, während an den anderen Belag des Kondensators 184 die an dem Widerstand 183 entstehende Spannung Vx2 angelegt wird. Da die Abstände zwischen dem Permanentmagneten 5 einerseits und dem ersten und dem zweiten magnetisch weichen Teil 7 und 29 andererseits mit x1 bzw. x2 dargestellt sind, wobei x1 + X2 = k (konstant) gilt, und-da die Spannungen Vx1 und Vx2 jeweils zu den Abständen x1 bzw. x2 proportional sind, bildet die Potentialdifferenz an dem Kondensator 184, der zusammen mit einem Widerstand 185 einen Integrator bildet, eine Spannung an dem Kondensator, die der Größe (x1 - x2) entspricht. Da x2 = k -x1 gibt, gilt X1 ~ X2 = 2x1 - k. Daher entspricht die Spannung an dem Kondensator 184 der Größe 2x1. D.h., es wird eine analoge Spannung erzielt, die dem Doppelten des Wegs x1 des Permanentmagneten 5 in Bezug auf das erste magnetisch weiche Teil 7 entspricht. Die gegenpoligen Anschlüsse des Kondensators 184 sind mit den beiden Eingängen eines Rechenverstärkers 186 verbunden, der als Differenzverstärker ausgebildet ist. Der Verstärker 186 gibt eine analoge Ausgangsspannung Vx ab, die der Größe 2x1 entspricht.
  • Die Fig. 10b zeigt eine weitere elektrische Verarbeitungsschaltung 200, bei der ein Paar von Impulsen gebildet wird, welche jeweils der Anstiegsflanke von Eingangsimpulsen IN um Zeitintervalle tdl bzw. td2 nacheilen. Diese Impulse werden jeweils an ein Paar von Zählerschaltungen 140 angelegt, wo sie in ein Paar von Codesignalen S7 bzw. S29 umgesetzt werden, die die Größen der Zeitintervalle bzw. Verzögerungszeiten tdl bzw. td2 darstellen. Diese Codesignale werden an einen Subtrahierer 201 angelegt, der den Wert (tdl - td2) berechnet und ein digitales Ausgangscodesignal Sx = S7 - S29 abgibt, das die Größe (tdl - td2) bzw. 2x1 darstellt.
  • Die Fig. 10o zeigt eine elektronische logische Verarbeitungseinheit 220 mit e einem einem Einzelbaustein-Mikrocomputer 221, der einen Einzelimpuls an die mit der elektrischen Spule 9 verbundene Schaltung 120 anlegt, während er von der Anstiegsflanke dieses Impulses an einen Zeit zählvorgang einleitet, um einen tdl -Zählungs-Datenwert S7 zu erzielen, der gespeichert wird0 Daraufclgend legt der Mikrocomputer einen Einzelimpuls an die mit der elektrischen Spule 31 verbundene Schaltung 120 an, während er einen Zeitzählvorgang von der Anstiegsflanke dieses Impulses an einleitet, um einen td2-Zählungs-Datenwert S29 zu erzielen. Danaeh berechnet der Mikrocomputer die Differenz (td1 - td2) und gibt ein entsprechendes Ausgangscodesignal Sx = S7 - S29 abO Solange ein Meßbefehls-Steuersignal vorliegt, setzt der Mikrocomputer diesen Arbeitsablauf fort.
  • Der Wert der Spannung Vx als Funktion des Wegs x des Permanentmagneten 5 in Richtung der X-X-Achse wurde unter Verwendung der in Fig0 11a gezeigten Anordnung gemessen, bei der die magnetisch weichen Teile 7 und 29 parallel zueinander fest angebracht sind, während der Permanentmagnet 5 parallel zu den beiden Teilen 7 und 29 zwischen diese gesetzt ist0 Eine durch den Magneten und die Teile 7 Und 29 in einer zu ihren Längsachsen senkrechten Richtung laufende Achse wird als X-X-Achse bestimmt, deren Ursprung (x = o) an der Stelle des Magneten 5 gewählt wird9 an der dieser in der Mitte zwischen den Teilen 7 und 29 steht, Parameter a bis f für den Aufbau und die Anordnung sowie das Material der magnetisch weichen Teile sind in der nachstehenden Tabelle 2 in Übereinstimmung mit zugehörigen Meßdaten angegeben Tabelle 2
    Spulen Permanent- Ab- Meßvorr. Span-
    Fall Magnetisch weiche Teile 7 und 29 9 u. 31 magnet 5 stand u. Eing.- nungs- Daten
    Nr. Material Dicke a b Blatt- Windungs- c d e f Impuls- po-
    (Atom-Gew.%) mm mm mm anzahl anzahl mm mm mm mm frequenz lung
    10 Fe40Ni40Mo2B18 0,05 30 1,8 4 1000 30 5 4 35 Schal- S-N Fig.
    amorph tung 180 11b
    5 kHz
    11 " " " " " " " " " 35 " N-N Fig.
    11c
    12 " " " " " " " " " 50 " S-N Fig.
    11d
    13 " " " " " " " " " 50 " N-N Fig.
    11c
    Wenn der Abstand zwischen den magnetisch weichen eilen 7 und 29 klein ist 9 wird eine Vx-Ansprechkennlinie mit einer bezüglich des Abstands bzw0 Wegs guten Linearität in einem Bereich von -10 mm <x <10 mm erzielt, wie es in den Fig. 11b und 11c dargestellt ist. Bei einem vergrößerten Abstand f zwischen den Teilen 7 und 29 wird bei einer S-N-Retriebsart eine verhaltnismäßig gute Linearität in einem Bereich von -9 mm < x < 9 mm erzielt, wie es in der T'i. lid dargestellt ist, jedoch ist dabei der Bereich guter Linearität gegenüber demjenigen eingeengt, der bei einem verringerten Wert von f erzielt wird0 Ferner ist die Linearität im Vergleich zu der mit einem kleineren Wert von f erzielten herabgesetzt. Gemäß der Darstellung in der Fig. 11e ist bei einer N-N-Betriebsart die Linearität in einem Bereich in der Nähe des Ursprungs (x = o) sehr gering, während die Linearität bei Annäherung an eines der magnetisch weichen Teile verbessert ist, wobei die Linearität derjenigen bei den Fällen Nr 4 bis 9 sehr nahe kommt. Dies ist deshalb der Fall, weil das von dem Permanentmagneten 5 auf die magnetisch weichen Teile 7 und 29 aufgeprägte Magnetfeld verringert ist, wenn der Magnet in der Nähe des Ursprungs steht. Da daher das Vx-Ansprechvermögen nicht nur von dem Abstand f zwischen den magnetisch weichen Teilen 7 und 29, sondern auch von der Gestaltung des Permanentmagneten 5 und der von diesem hervorgerufenen Seldstärke abhängt, kann auf verhältnismäßig einfache Weise ein erwünschtes Ansprechvermögen erzielt werden0 Bei den beschriebenen Ausführungsbeispielen und Abwandlungen bestehen die magnetisch weichen Teile 7 und 29 aus mehreren Blättern eines amorphen magnetischen Materials, das hohe Elastizität und hohe Verformungs-Widerstandsfähigkeit zeigt. Für den Stellungsfühler können jedoch auch andere magnetische Materialien für die magnetisch weichen Teile 7 und 29 verwendet werden. Die Fig.
  • 12 zeigt graphisch Vx-Daten für einen Vergleich zwischen der Anwendung eines amorphen magnetischen Materials und der Anwendung anderer magnetischer Materialien. Zur Y1rzielung dieser Daten werden ein magnetisch weiches Teil und ein Permanentmagnet gemäß der Darstellung in der Fih. 6a angeordnet, wobei der Permanentmagnet in Richtung der X-X-Achse verstellt bzw. versetzt wird. Verschiedenerlei Parameter hinsichtlich des Aufbaus und der Anordnung der Teile sind in der Tabelle 1 als Fälle Nr.
  • 14 bis 19 angegeben. Die Kurven Al bis C2 in der Fig. 12 zeigen, daß jedwedes weichmagnetisches Teil eine hohe Linearität hinsichtlich des Vx-Ansprechvermögens über einen Bereich von mindestens 6 mm zeigt (nämlich beispielsweise von x = 10 mm bis x = 16 mm bei der Kurve Al und von x = 8 mm bis x = 14 mm bei der Kurve B1), so daß daher das Teil bei dem Stellungsfiihler verwendet werden kann. Ein magnetisch weiches Teil aus einem amorphen Material ist für Anwendungszwecke vorzuziehen, bei denen eine hohe Widerstandsfähigkeit gegenüber Schwingungen bzw. Vibrationen und Verformung erforderlich ist.
  • Aus der vorstehenden Beschreibung der verschiedenen Ausführungsbeispiele und den Darstellungen der Versuchsdaten ist ersichtlich, daß bei dem Stellungsfühler kein Schleifkontakt verwendet wird, sondern eine Versetzung eines bewegbaren Glieds in eine Verzögerungszeit td zwischen Eingangsimpulsen einer elektrischen Spule und über die Spule fließenden Stromimpulsen umgesetzt wird. Die Verzögerungszeit td wird dann in eine Analogspannung oder ein Zeitzählungs-Codesignal umgesetzt. Auf diese Weise wird über eine elektrische Verarbeitungsschaltung ein Stellungsmeßsignal erzielt, das außerordentlich unempfindlich gegenüber Schwingungs- oder Vibrationseinflüssen ist und wenig anfällig für eine Verschlechterung ist, die durch mechanischen Abrieb bzw. mechanische Abnutzung hervorgerufen werden könnte. Da kein Verbindungsmechanismus zwischen dem bewegbaren Körper bzw. dem bewegbaren Glied und dem ihm zugeordneten Wandler vorhanden ist, entsteht kein Spiel, so daß eine gleichmäßige Stellungsmessung bzw. Stellungsermittlung erzielt wird.
  • Perner ist es von Bedeutung 9 daß der Aufbau der an den Fühler angeschlossenen elektrischen Verarbeitungsschaltung einfach ist. Im einzelnen kann eine tlalbleitereinheit mit hohem Integrationsgrad wie ein Einzelbaustein-Mikrocomputer dafür verwendet werden9 Meßimpulse zu erzeugen und Verzögerungszeiten zwischen diesen Impulsen und über die elektrische Spule gelangenden Stromimpulsen in Form eines digitalen Codes abzugeben Es wird ein Stellungsfühler für die Erfassung einer Versetzung eines Objekts angegeben9 der ein mit dem Objekt verbundenes bewegbares Glied9 einen an das bewegbare Glied angeschlossenen Permanentmagneten und ein mit einer elektrischen Spule umgebenes magnetisch weiches Teil aufweist, das nahe dem Bewegungsbereich des Permanentmagneten festgelegt ist0 Spannungsimpulse werden an ein Windungsende der elektrischen Spule ange legt, dessen anderes Windungsende mit einem Widerstand in Reihe geschaltet ist Für jeden an die Spule angelegten Impuls wird der Spannungsabfall an dem Widerstand ermittelt und die Verzögerungszeit zwischen der ansteigenden Flanke des angelegten Impulses und dem entsprechenden Spannungsabfall an dem Widerstand mittels einer Verarbeitungsschaltung gemessen9 die ein Analogspannungs-Signal oder ein Digitalcode-Signal abgibt, das die Verzögerungszeit darstellt0 Eine Versetzung des Objekts ergibt eine Änderung des Magnetfelds an dem magnetisch weichen Teil, die eine entsprechende Veränderung der Verzö gerungszeit zur Folge hat, welche daher einen Maßstab für die Versetzung des Objekts darstellte

Claims (8)

  1. Patentansprüche 0 Stellungsfühler zur Messung einer Versetzung eines Objekts, gekennzeichnet durch ein bewegbares Glied (3), das mit dem Objekt verbunden ist, einen Permanentmagneten (5), der mit dem bewegbaren Glied verbunden ist und ein Magnetfeld erzeugt, das sich in einem vorbestimmten Bereich in Abhängigkeit von der Versetzung des bewegbaren Glieds ändert, eine Kernvorrichtung (7; 7, 29) aus magnetisch weichem Material, die in dem vorbestimmten Bereich angeordnet ist, um mit dem Permanentmagneten einen Magnetkreis zu bilden, und eine elektrische Spuleneinrichtung (9; 9, 31)die um die teMnvorrichtung gewickelt ist, um eine Änderung hinsichtlich des Magnetflusses in dem magnetisch weichen Material zu erfassen.
  2. 2. Stellungsfühler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kernvorrichtung (7; 7, 29) ein amorphes magnetisches Material aufweist.
  3. 3. Stellungsfühler nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch eine Kunstharzplatte (8), an der die Kernvorrichtung (7) festgelegt ist.
  4. 4. Stellungsfühler nach einem der Ansprüche 1 bis 3, gekennzeichnet durch ein Verbindungsglied (4), das an einem ,nde des bewegbaren Glieds (3) befestigt ist und eine Versetzung des Permanentmagneten (5) bewirkte
  5. 5. Stellungsfühler nach Anspruch 4, gekennzeichnet durch eine Feder (6), die an dem Permanentinagneten (5) an dem dem Verbindungsglied gegenüberliegenden ende eine Vorsnannungskraft ausübt.
  6. 6. Stellungsfühler nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Permanentmagnet (5) in seiner Längsrichtung magnetis-iert ist und an dem bewegbaren Glied (3) befestigt ist, daß die Kernvorrichtung (7, 29) einander gegenüberliegende Kernteile aufweist, die jeweils ein magnetisch weiches Material enthalten und die an einander gegenüberliegenden Seiten des Permanentmagneten angeordnet sind, und daß das bewegbare Glied in einer zur Längsachse des Permanentmagneten senkrechten Richtung versetzbar ist (Fig. 9).
  7. 7. Stellungsfühler nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das bewegbare Glied (3) in Längsrichtung der Kernvorrichtung (7) yersetzbar ist (Fig. 1).
  8. 8. Stellungsfühler nach einem der Ansprüche 1 tris 5, dadurch gekennzeichnet, daß das bewegbare Glied (3) in einer zur Längsachse der Kernvorrichtung (7) senkrechten Richtung bewegbar ist (Pig. 7; Fig. 9).
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