DE3123241C2 - Verfahren zum Herstellen eines plattenförmigen Schaltmoduls - Google Patents
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Abstract
Verfahren zum Herstellen von einem plattenförmigen Schaltungsmodul, das nach seiner Herstellung einen plattenförmigen Träger (T), auf dem entsprechend vorbereiteten Träger (T) mit Lötpaste aufgedruckte, bei Überschreiten der Schmelztemperatur schmelzende Innenanschlüsse (IA) von Leitungen (L), z.B. von in ihrer gesamten Länge zwischen ihrem Außenanschluß (AA) und Innenanschluß (IA) mittels Siebdruck aus Lötpaste gedruckten Leitungen (L), und mindestens einen gehäuselos bleibenden integrierten Halbleiterschaltungskörper (H) ("Chip") mit Zuleitungszungen (I), die ihrerseits zunächst auf die Innenanschlüsse (IA) gelegt und danach, beim Schmelzen der Innenanschlüsse (IA), mit diesen (IA) leitend fest verbunden wurden, wobei die Zuleitungszungen (I) bei dieser Temperatur selber noch nicht durch und durch schmolzen, enthält. In aufeinanderfolgenden Schritten werden a) auf die auf dem Träger (T) mittels Lötpaste aufgedruckten, noch feuchten, mehr oder weniger klebrigen Innenanschlüsse (IA) die Zuleitungszungen (I) berührend oder eintauchend gelegt und b) die Innenanschlüsse (IA), insbesondere erst viel später nach einer Trocknung der Lötpaste, anpreßdruckfrei in einem Ofen, nämlich ohne diese Zuleitungszungen (I) mittels eines heißen Stempels bzw. Bügels auf die hierbei schmelzenden Innenanschlüsse (IA) zu drücken, vorübergehend geschmolzen, wobei die Oberflächenspannung der Lötpaste den Chip in seine richtige Lage zieht, selbst wenn der Chip bei breiter Justiertoleranz im ......
Description
6. Schaltmodul, das nach dem Verfahren gemäß einem der Patentansprüche 1 bis 5 hergestellt ist,
dadurch gekennzeichnet, daß
— der Abstand zwischen benachbarten, zu ein und demselben Halbleiterschaltungskörper (H) gehörenden
Zuleitungszungen (I), und dementsprechend der Abstand zwischen den zugehörenden
Innenanschlüssen (IA), sowie
— die jeweilige Breite dieser benachbarten Zuleitungszungen (I), und dementsprechend die Breite
der zugehörenden Innenanschlüsse (IA)
jeweils so klein sind, daß nebeneinander benachbart mindestens 3 Zuleitungszungen (I) pro Millimeter
und damit mindestens 3 Innenanschlüsse (IA) pro Millimeter angebracht sind.
7. Schaltmodul nach Patentanspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß
— Abstände zwischen den Zuleitungszungen (I) durch mindestens einen Kunststoffstreifen (KS)
stabilisiert sind, der
— quer über oder unter den Zuleitungszungen angeordnet ist und
— zwischen einerseits dem Halbleiterschaltungskörper (H) und andererseits solchen
Zuleitungszungenenden, die im Schritt c) die Innenanschlüsse (IA) berühren bzw.
dann in diese eintauchen, an diese Zuleitungszungen (X/befestigt ist.
Die Erfindung entwickelt das im Oberbegriff angegebene, der DE-OS 21 04 847 sowie den älteren Patentanmeldungen
P 30 33 900.5 und P 30 33 881.9 entnehmbare spezielle Verfahren zum Herstellen von einem plattenförmigen
Schaltmodul weiter. Ein zumindest ähnlichcs Verfahren ist auch der US-PS 37 57 075 entnehmbiir,
das im wesentlichen aber die spezielle Gestaltung der Innenanschlüsse betrifft. Bekannt ist auch das Anlöten
der Zuleitungszungen, mittels eines speziellen, rasch stark aufheizbaren Bügels, der auf die Zuleitungszungen
gepreßt wird, vgl. z. B. Siemens, bauteile report 16(1978) H. 2, S. 40 bis 44, insbesondere Bild 7 und dessen Beschreibung
auf S. 42 sowie Bild 9 und dessen Beschreibung auf S. 43.
Die Erfindung wurde an sich insbesondere zum Herstellen von gehäuselosen senkrecht steckbaren flachen
CODEC-Schaltmodulen für Fernsprech-Vermittlungssystemc
entwickelt; sie ist aber auch in anderen Bereichen einsetzbar.
Zur Erläuterung der Aufgabe der Erfindung wird ein Ausschnitt aus einem Herstellungsverfahrensbeispiel
schematisch in Γ ig. 1 der vorliegenden Schrift gezeigt: Der mit den Leitungen und Innenanschlüssen bedruckte
Träger T liegt mit engen räumlichen Toleranzen auf dem Tisch des Arbeitsplatzes PX justiert z. B. mittels
des Anschlages AS sowie einer Leiste dieses Tisches P 3.
Am benachbarten Tisch P3a werden aus einer Vorratseinriclitung
MR die Halblciterschallungskörper H entnommen, z. B. aus einem Chips FO mit Ziileilungs-
zungen tragenden Band mittels des Stempels 57" gestanzt und geformt Der Halbleiterschaltungskörper H
wird dann auf dem bedruckten Träger T am Arbeitsplatz P3, z. B. mittels des Armes RA des Manipulators
RO, mit engen Toleranzen justiert und anschließend verlötet, z. B. mittels eines erhitzten An jireßbügels, welcher
die Zuleitungszungen des Halbleiterschaltungskörpcrs H auf die dabei schmelzenden Innenanschlüsse gepreßt
Die Toleranzen für die Innenanschlüsse und Zuleitungszunger;
müssen umso enger sein, je schmaler diese Zuleitungszungen bzw. die Innenanschlüsse sind und je
enger benachbart solche Zuleitungszungen bzw. Innenanschlüsse sind. Es addieren sich nämlich die Fehler der
Toleranzen von
— der Justierung des Trägers auf dem Tisch ^3,
— der Genauigkeit des Drückens der Lötpaste der
Innenanschlüsse auf dem Träger T,
— der justierung des Auflegemechanismus RO/RA beim Auflegen des Halbleiterschaltungskörpers H
auf die gedruckten Innenanschlüsse,
— des nachträglichen Verrutscheiis des aufgelegten Halbleiterschaltungskörpers H, vor allem wenn die
die Innenanschlüsse bildenden Lötpastenanhäufungen steilwandig und inzwischen relativ hart geworden
sind, besonders beim Andrücken eines zunächst noch kalten Lötbügels, sowie
— der endgültigen Breite bzw. Form der nach dem Schmelzen wiedererstarrten Innenanschlüsse, wobei
diese endgültige Form auch z. B. von der Lötj>astenmenge,
Löttemperatur, Wackeltoleranzen des Lötbügels und Verschmutzung des Lötbügels mit
Lötpastenresten, also auch von schwer beherrschbaren Imponderabilien abhängt.
Die Summe dieser Toleranzen begrenzt die Anzahl der möglichen Z:ileitungszungen pro Millimeter Kantenlänge
des Halbleiterschaltungskörpers H.
Die Aufgabe der Erfindung ist, mit möglichst kleinem Aufwand ganz enge Toleranzen für die Innenanschlüsse
und Zuleitungszungen einhalten zu können, also ausschußarm und aufwandsarm bei Bedarf sogar eine hohe
Anzahl von Zuleitungszungen pro Millimeter Kantenlänge eines Clip zulassen zu können. Diese Aufgabe
wird durch die im Patentanspruch 1 genannten Merkmale gelöst.
Bei der Erfindung wird der Halbleiterschaltungskörper nach diesem Auflegen während des Anlölens der
Zuleitungszungen an die Innenanschlüsse selbsttätig durch die Oberflächenspannung vor allem der geschmolzenen
Lötpaste hinsichtlich seiner Lage auf dem Träger nachjustiert, indem diese Oberflächenspannung
die Achsen der Zuleitungszungen mehr oder weniger in die Mitte der Innenanschlüsse zieht.
Durch die Erfindung wird nicht nur der Aufwand für das Aufpressen irgendeines Bügels auf die Zuleitungszungen beim Anlöten derselben eingespart. Auch alle
Anteile der Toleranzen, die auf das Anpressen dieses Bügels beruhen, werden vermieden. Zwar werden bei
der Erfindung die Zuleitungszungen mit noch recht großer Toleranz auf die noch ungeschmolzenen Innenanschlüsse
aufgelegt, nämlich nur so, daß diese Zulcitungszungen die zugeordneten Innenanschlüsse mindestens
berühren, aber noch picht einen elektrischen Kurzschluß
zwischen zwei Penachbarten Innenanschlüssen bilden. Durch die Erfindung wird aber vor allem auch
vermieden, daß
— die Justierungsungenauigkeit, welche beim Auflegen
des Halbleiterschaitungskörpei s auf die !nnenanschlüsse
besteht, auch noch nach dem Anlöten in den Übergangswiderstand erhöhender, und die Fesügkeit
beeinträchtigender Weise weiter besteht,
— ein nachträgliches Verrutschen des aufgelegten Halbleiterschaltungskörpers aus einer vorläufigen
Lage, besonders beim Beginn des Andrückens eines noch kalten Bügels, überhaupt auftritt, und
die endgültige Breite bzw. Form der nach dem Schmelzen wiedererstarrten Innenanschlüsse verschlechtert
wird, z. B. wegen des Bügels, nämlich durch Zerquetschen der Innenanschlüsse-Lötpaste,
ungleichmäßiger Lötpastenmenge, Wackeltoleranzen des Lötbügels und/oder Verschmutzung des
Bügels.
Sogar Ungenauigkeiten der Lage des Trägers beim Drucken der Lötpaste und beim Justieren des Trägers
auf dem Tisch beim Auflegen des Halbleiterkörpers, auch Justiertoleranzen des Auflegemechanismus selber
werden durch die bei der Erfindung ausgenutzte Oberflächenspannung der Lötpaste selbsttätig kompensiert.
Die Oberflächenspannung der geschmolzenen, teilweise bereits der ungeschmolzenen. Lötpaste zieht also den
Halbleiterkörper in seine endgültige richtige Lage, selbst wenn er mit großer Justiertoleranz im Schritt c).
warum auch immer, nur ungenau aufgelegt war. Daher kann bei der Erfindung auch die Anzahl der Zuleitungszungen
pro Millimeter Kantenlänge des Halbleiterkörpers erhöht werden bzw. bei unveränderter Zuleitungszungendichte
die Ausschußquote, insbesondere im Vergleich zu mit Bügeln angepreßten Zuleitungszungen,
vermindert werden.
Die in den Unteransprüchen angegebenen weiteren Maßnahmen gestatten zusätzliche bzw. verstärkte Vorteile.
So gestattet die Maßnahme gemäß Patentanspruch
2. ein besonders rasches Arbeiten bei besonders kleinem Zwischenlager;
3. eine besonders geringe Ausschußquote bei der Herstellung des Schaltmoduls;
4. neben einer induktivitätsarmen Erdung des Substrats gleichzeitig ein Ansaugen des Substrats auf
den Träger während des Schmelzvorganges, und eine größere Robustheit des fertigen Schaltmoduls
gegen mechanische Erschütterungen, sowie eine verbesserte Kühlung des Substrats über seinen Innenanschluß
beim späteren Betrieb;
5. eine größere Robustheit des Schaltmoduls gegen mechanische Erschütterungen;
6. eine Vergrößerung der Anzahl der Zuleitungszungen pro Halbleiterschaltungskörpcr und
7. eine weitere erhebliche Vergrößerung der Anzahl der dann besonders dicht angebrachten, schmalen
Zuleitungszungen.
Die Erfindung und ihre Weiterbildungen werden anbo hand der in den F i g. 1 bis 5 schematisch gezeigten Beispiele
weiter erläutert, wobei
Fig. 1 wie bereits erläutert, das von einem Roboter bzw. i\lanipulator durchgeführte Auflegen des aus einer
Filmrolle ausgestanzten Halbleiterschaltungskörpers br>
auf den bedruckten Träger,
F i g. 2 einen aus der Filmrolle ausgestanzten Halbleiterschaltungskörper
zusammen mit seinen auf richtige Länge und Durchbiegung gestanzten Zuleituneszuneen.
F i g. 3 den Halbleiterschaltungskörper vor dem Auflegen
auf den bedruckten Träger,
Fig. 4 einen Querschnitt durch die auf die noch
feuchten Innenanschlüsse gelegten Zuleitungszungen vor deren Verlötung, und
F i g. 5 den in F i g. 4 gezeigten Querschnitt nach der
Verlötung zeigen.
Erfindungsgemäß werden also am Arbeitsplatz P3 in
aufeinander folgenden Schritten
10
— auf die auf dem Träger T mittels Lötpaste aufgedruckten,
noch feuchten, mehr oder weniger klebrigen Innenanschlüsse IA, vgl. Fig. 1, 3 und 4, die
Zuleitungszungen / berührend oder eintauchend gelegt und danach r,
— die Innenanschlüsse IA, /.. B. erst viel später nach
einer Trocknung der Lötpaste, anpreßdruckfrei in einem Ofen, nämlich ohne diese Zuleitungszungen /
mittels eines heißen Bügels auf die hierbei schmelzenden Innenanschlüsse IA zu drücken, vorübergehend
geschmolzen und auf diese Weise leitend fest mit den Zuleitungszungen /, und hier im Beispiel
damit auch mit den an der Schaltmodulkante angebrachten Außenanschlüssen AA, verbunden.
25
Es genügt, vgl. den Querschnitt in Fig.4, daß die
Zuleitungszungen / beim Auflegen irgendwie die noch feuchte, mehr oder weniger klebrige Lötpaste der Innenanschlüsse
IA berühren oder mehr oder weniger in diese Lötpaste IA eintauchen. Wegen der Oberflächenspannung
der Lötpaste IA — insbesondere später in deren geschmolzenem Zustand — werden die Achsen
der Zuleitungszungen /. vgl. F i g. 5. jedenfalls tendenziell, nachträglich in die Mitte der Innenanschlüsse IA
gezogen, wobei selbsttätig, ohne zusätzliche äußere |u-Stiermittel,
alle genannten Toleranzen beim Auflegen des Halbleiterkörpers H nachträglich ausgeglichen werden.
Es zeigte sich, daß dieser nachträgliche Ausgleich besonders gut ist. daß also die Zuleitungszungen / im allgemeinen,
durch die Oberflächenspannung der Lötmasse, genau in die Mitte der Innenanschlüsse IA gezogen wurden,
wenn im Schritt d) das Eigengewicht des Halbleiterschaltungskörpers H voll von den Zuleitungszungen
/ auf die Innenanschlüsse IA übertragen wird. Dies ist erreichbar, indem beim Ausstanzen bzw. beim Zuschneiden,
vgl. den Tisch P3a in Fig. 1, die Zulcitungszungen
/ des Halbleiterschaltungskörpers H so verdrückt werden, daß diese Zuleitungszungen /. nach dem
Auflegen gemäß dem Schritt c), federnd den dann zwisehen den Zuleitungsznngen / brückenähnlich schwebenden
Halbleiterschaltungskörper /-/tragen.
Dieses Zurecht-Drücken der Zuleitungszungen / kann gleichzeitig mit dem Zurecht-Schneiden der Länge
der Zuleitungszungen bei dem in F i g. 1 gezeigten Beispiel dadurch erreicht werden, daß die vielen zunächst
mit zu langen Zuleitungszungen ausgestatteten Halbleiterschaltungskörper hintereinander, vgl. die Teile FO,
auf einem aufgerollten Filmstreifen MR fest angebracht sind, vgL auch z. B. die bereits zitierte Druckschrift Sie- ω
mens, bauteile report. Bild 5, 7, 8 und 9. sowie DE-PS
24 14 297 und elektronik Industrie 9-1976 (13. Oktober 1976) S. 227. Aus diesem Filmstreifen MR werden die
Halbleiterschaltungsmodule /-/, mit richtiger Länge und
Verbiegung/Verdrückung der Zuleitungszungen /, mittels des Stanzstempels ST herausgestanzt, so daß im
Filmstreifen MR nach dem Ausstanzen die leeren Fenster F zurückbleiben. Der Arm RA des Roboters RO
transportiert also in diesem Falle Halbleiterschaltungskörper H, deren Zuleitungszungen /, vgl. F i g. 1, jeweils
etwas nach unten vom Stanzstempel ST gedrückt sind, damit das Halbleitersubstrat des Halbleiterschaltungskörpers
H nachher auf den Innenanschlüssen IA brükkenähnlich
von den jeweils etwas nach unten gebogenen Zuleilungszungen /getragen wird.
Die Fig. 2 veranschaulicht, daß mittels des in Fig. 1
gezeigten Stanzstempels ST die Zuleitungszungen / längs der Linien SZ. auf richtige Länge geschnitten werden,
also die überschüssigen Längen AF dieser Zuleitungszungen als Abfall abgeschnitten werden. Der evtl.
angebrachte, in F i g. 4 gezeigte Kunststoffstreifen KS, der hier ringsum den Halbleiterkörper H einrahmt, wird
weiter unten erläutert.
Es ist unnötig, vor dem Verlöten zu warten, bis die Lötpaste IA nach dem Schritt c) getrocknet ist, also hart
geworden ist. Eine trockene harte Lötpaste gestattet zwar, mit vergleichsweise geringer Vorsicht bzw. mechanischer
Stöße den belegten Träger Γ zu einem Ofen zu befördern. Dadurch, daß man, bei einer gewissen
Vorsicht bez. mechanischer Stöße, den Schritt d) durchführt, bevor die Lötpaste IA getrocknet bzw. hart geworden
ist. wird eine Zwischenlagerung des belegten Trägers T zur Trocknung der Lötpaste eingespart, sowie
der Zeitaufwand zwischen den Schritten c) und d) entsprechend verkürzt.
Damit das Substrat des Halbleiterschaltungskörpers H später an ein separat zugeleitetes Ruhepotential gelegt
werden kann, kann man vor dem Schritt c) unter dem Substrat auf dem Träger Γ zusätzlich einen
schmelzbaren Innenanschluß IA für das Ruhepotential anbringen, wobei im Schritt c) das Substrat, diesen noch
feuchten zusätzlichen Innenanschluß IA berührend, aufgelegt wird sowie dann im Schritt d) dieser zusätzliche
Innenanschluß IA an das Substrat mit angeschmolzen wird. Dieser zusätzliche, noch flüssige Innenanschluß IA
saugt zudem wegen seiner Oberflächenspannung das Substrat beim Anlöten gegen den Träger Γ mit niedriger
Reibungskraft, was das Eintauchen der Zuleitungszungen in die Innenanschlüsse verstärkt, vgl. F i g. 4 und
5, und verbessert zudem später im Betrieb die Stoßfestigkeit und die Kühlung der Schaltung auf dem Substrat.
Ähnliche Saugwirkungen, Stoßfestigkeitsverbesserung und manchmal auch Kühlungsverbesserung ist dadurch
erreichbar, daß vor dem Schritt c) unter dem Substrat des Halbleiterschaltungskörpers H zusätzlich ein
Klebstofffleck auf dem Träger T angebracht wird, wenngleich die durch F i g. 4 und 5 illustrierte Saugkraft,
welche die Zuleitungszungen in die Mitte der geschmolzenen Innenanschlüsse saugt, in ihrer Wirkung teilweise
kompensiert wird, falls der Klebstoff in der Hitze zu schnell aushärten würde.
Durch die Verbesserung der Toleranzen aufgrund der durch die Oberflächenspannung der geschmolzenen Innenanschlüsse
IA erreichten Selbstjustierung der Zuleitungszungen / kann zugelassen werden, daß der Abstand
z. B. 100 bis 150 μηη zwischen benachbarten, zu ein
und demselben Halbleiterschaltungskörper //gehörenden
Zuleitungszungen / beträgt und daß der Abstand zwischen den zugehörenden Innenanschlüssen IA entsprechend
klein ist. Ferner kann durch die Erfindung zugelassen werden, daß die jeweilige Breite dieser benachbarten
Zuleitungszungen Iz. B. 100 bis 150 μπι beträgt
und daß die Breite der zugehörenden Innenanschlüsse IA ebenfalls entsprechend klein ist. Diese Maße
können also jeweils so klein sein, daß nebeneinander
benachbart mindestens 3 Zuleilungszungen / pro Millimeter, also 5 Zuleitungszungen / pro Millimeter, und
damit mindestens 3 Innenanschlüsse IA pro Millimeter, auf dem Schaltungsmodul angebracht sind. Die Erfindung
eignet sich also auch für komplizierte Chips H mit vielen Zuleitungszungen /.
Die Abstände zwischen den Zuleitungszungen / können durch mindestens einen Kunststoffstreifen KS stabilisiert
werden, vgl. F i g. 2 der, insbesondere vor dem Schritt c), quer über oder unter den Zuleitungszungen
angeordnet ist und der, insbesondere vor dem Schritt c), zwischen einerseits dem Halbleiterschaltungskörper H
und andererseits solchen Zuleitungszungenenden, die im Schritt c) die Innenanschlüsse IA berühren bzw. dann
in diese eintauchen, an diese Zuleitungszungen / befestigt wurde. Ein solcher Kunststoffstreifen KS kann
auch z. B., vgl. F i g. 2, zur weiteren Erhöhung der Stabilität rahmenartig den Chip H umgeben und beim Ausstanzen
mittels des Stanzstempels STaus dem Filmstreifen MR miterzeugt sein, vgl. dazu auch den in Verbindung
mit dem Filmstreifen MR angegebenen Stand der Technik.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
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Claims (5)
1. Verfahren zum Herstellen eines plattenförmigen Schaltmoduls, insbesondere zum Herstellen von
gehäuselosen senkrecht steckbaren flachen CO-DEC-Schaltmodulen
für Fernsprechvermittlungssysteme, bei dem
a) auf einen entsprechend vorbereiteten plattenförmigen
Träger mit einer Lötpaste schmelzbare Innenanschlüsse auf die Verbinoungsleitungen
aufgedrückt werden und
b) mindestens ein gehäuseloser integrierter Halbleiterschaltungskörper
mit seinen Zuleitungszungen auf die Innenanschlüsse gelegt und durch einen Schmelzvorgung mit diesen leitend
verbunden wird,
dadurch gekennzeichnet, daß in aufeinanderfolgenden Schritten
c) der Halbleiterschaltungskörper (H) mit seinen Zuleitungszungen (I) auf die noch feuchten,
mehr oder weniger klebrigen Innenanschlüsse (IA) berührend oder eintauchend gelegt wird
und
d) die Innenanschlüsse (IA) anpreßdruckfrei in einem Ofen vorübergehend geschmolzen werden.
30
2. Verfahren nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
— der Schritt d) noch vor dem Trocknen der Lötpaste durchgeführt wird.
3. Verfahren nach Patentanspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß
— im Schritt d) das Eigengewicht des Halbleiter-Schaltungskörpers
(H), der dann zwischen den Zuleitungszungen (I) brückenähnlich schwebt,
voll von den Zuleitungszungen (I) auf die I nnenanschlüsse (IA) übertragen wird, indem vor dem
Schritt c) beim Ausstanzen bzw. Zuschneiden des vorher mit zu großen Zuleitungszungen (I)
ausgestatteten Halbleiterschaltungskörpers (H) die Zuleitungszungen so gebogen werden, daß
diese Zuleitungszungen (I) nach dem Schritt c) federnd den Halbleiterschaltungskörper (H)
tragen.
4. Verfahren nach Patentanspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß
55
— neben den mit den Zuleitungszungen (I) zu verbindenden
Innenanschlüssen (IA) zusätzlich ein schmelzbarer Innenanschluß (IA)Iw das Ruhepotential
auf dem Träger ("^angebracht wird,
— im Schrit c) das Substrat des Halbleiterkörpers bo
(H) auch auf diesen noch feuchten Innenanschluß (IA) beruh rend gelegt wird, und
— im Schritt d) dieser zusätzliche Innenanschluß
(IA)an das Substrat mit angeschmolzen wird.
5. Verfahren nach Patentanspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß
— vor dem Schritt c) unter dem Substrat des Halbleiterschaltungskörpers
(H) zusätzlich ein Klebstoff fleck auf dem Träger (T) angebracht wird.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3123241A DE3123241C2 (de) | 1981-06-11 | 1981-06-11 | Verfahren zum Herstellen eines plattenförmigen Schaltmoduls |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3123241A DE3123241C2 (de) | 1981-06-11 | 1981-06-11 | Verfahren zum Herstellen eines plattenförmigen Schaltmoduls |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3123241A1 DE3123241A1 (de) | 1983-01-20 |
DE3123241C2 true DE3123241C2 (de) | 1984-08-23 |
Family
ID=6134487
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE3123241A Expired DE3123241C2 (de) | 1981-06-11 | 1981-06-11 | Verfahren zum Herstellen eines plattenförmigen Schaltmoduls |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3123241C2 (de) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3406528A1 (de) * | 1984-02-23 | 1985-08-29 | Brown, Boveri & Cie Ag, 6800 Mannheim | Leistungshalbleitermodul |
DE4112857C2 (de) * | 1990-04-27 | 1998-07-02 | Aeg Ges Moderne Inf Sys Mbh | Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2004857A1 (de) * | 1970-02-03 | 1971-08-12 | Siemens Ag | Verfahren zum Herstellen kleiner Kontakt flachen gleichmäßiger Dicke in Dickschicht schaltungen |
GB1274782A (en) * | 1970-02-06 | 1972-05-17 | Standard Telephones Cables Ltd | Improvements in or relating to thick film circuit assemblies |
DE2414297C3 (de) * | 1974-03-25 | 1980-01-17 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Verfahren zur teilautomatischen Herstellung von Zwischenträgern für Halbleiterbauelemente |
-
1981
- 1981-06-11 DE DE3123241A patent/DE3123241C2/de not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3123241A1 (de) | 1983-01-20 |
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