DE2601765A1 - Mikrokugel aus lotmaterial mit einem metallischen kern und verfahren zur herstellung derselben - Google Patents
Mikrokugel aus lotmaterial mit einem metallischen kern und verfahren zur herstellung derselbenInfo
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Description
Patentanwälte
GQO München 22 ■ Steinsdorfstraße 21 - 22 · Telefon 089 / 29 84 62
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B 7667
SENJU METAL INDUSTRY CO., LTD. No. 23, Senju Hashido-cho, Adachi-ku, Tokyo, JAPAN
zur Herstellung derselben
Die Erfindung betrifft eine Mikrokugel aus Lotmaterial mit einem metallischen
Kern und die Herstellung derselben sowie insbesondere eine Mikrokugel aus Lotmaterial mit einem metallischen Kern, welche bei
Lötvorgängen in Zusammenhang mit integrierten Schaltungen und dgl. notwendig sind.
Beispielsweise aus der US-Patentschrift 3 303 393 ist die Verbindung
zwischen einem mikrominiaturisierten Bauelement und einer Grund-
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platte unter Verwendung eines kugelförmigen Kontaktelementes, beispielsweise
eines Sphäroids aus Kupfer bekannt. Die Verbindung von Anschlüssen mit Lotmaterial hat sich in der Praxis jedoch noch nicht
erfolgversprechend durchgesetzt, da es schwierig ist, Lotmaterial in äußerst geringen, jedoch genau gesteuerten Mengen aufzubringen.
Dies ist jedoch bei der kontaktgerechten Verbindung von Bauelementen und Anschlüssen notwendig.
Es ist bekannt, Kupfer- oder Silberkörner mit Lotmaterial zu galvanisieren
bevor das Kupfer- bzw. Silberkorn zwischen einem mikrominiaturisierten Bauelement und einem Anschluß angeordnet wird. Hierzu
hat man in einem Trommelverfahren die Galvanisierung durchgeführt. Die hierbei erzielten Dicken des Lotmaterialüberzuges betragen höchstens
10 - 20 Mikron. Es ist nicht möglich, einen Überzug aus Lotmaterial zu gewinnen, der mehr als 20 Mikron dick ist. Demzufolge
hat man eine zusätzliche Lotmenge auf die Verbindungsstelle während des Verlötens des Bauelementes und des Anschlusses aufbringen müssen.
Außerdem ist es äußerst schwierig, die zusätzliche Lotmenge, welche man beim Verlöten aufbringen mußte, genau zu steuern.
In neuerer Zeit ist auf dem technischen Gebiet elektronischer mikrominiaturisierter
Bauelemente eine wesentliche Verbesserung durchgeführt worden, welche das Verlöten von mikrominiaturisierten Bauelementen
in mikroelektronischen Einrichtungen erleichtert. Es wird hierbei ein kleines Kügelchen aus Metall, beispielsweise aus Kupfer
oder Silber mit einem relativ dicken Lotmaterialüberzug verwendet.
In der am 23. April 1974 eingereichten japanischen Patentanmeldung
Nr. 45 062/1974 ist ein Verfahren zur Herstellung eines kleinen Kügelchens bzw. einer Mikrokugel aus Lotmetall mit einem Metallkern
beschrieben, bei dem zunächst ein Metallkorn, beispielsweise
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aus Kupfer, Silber oder einer Legierung davon in Löchern, welche
in einem Streifen bzw. einem Blech vorgesehen sind, angeordnet werden und Lötpaste, welche ein Flußmittel enthält in jedes dieser
Löcher eingebracht wird. Anschließend werden die Metallkörner und die Lötpaste auf eine erhöhte Temperatur gebracht, so daß man
Mikrokügelchen aus Lotmaterial mit einem Metallkern erhält.
Bei diesem Verfahren ist es jedoch schwierig, eine bestimmte Menge
der Lötpaste in jedes der Löcher in genau gesteuerter Weise einzubringen. Demzufolge kann die Dicke des Lotmaterialüberzuges, welcher
die kugelförmige Fläche des Metallkornes umgibt, nicht genau gesteuert werden. Wenn man die Lötpaste mit einer Palette aufbringt, so läßt
es sich nicht vermeiden, daß die Kanten der Löcher beschädigt und abgenutzt werden. Hieraus ergibt sich eine Vergrößerung der Abmessungen
der Löcher. Bei diesem Verfahren kann daher die Zulieferung einer vorgegebenen Menge an Lotmaterial nicht genau vorbestimmt
werden.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, eine Mikrokugel aus Lotmaterial
mit einem metallischen Kern zu zeigen, bei dem die Dicke des Lotmaterialüberzuges
stärker ist als 20 Mikron.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß man wenigstens
ein Korn aus Lotmaterial zum Überziehen des metallischen Kernes schmilzt.
Die Erfindung zeigt demnach eine Mikrokugel bzw. ein kleines Kügelchen
aus Lotmaterial mit einem Metallkern, bei dem die Dicke des Überzuges aus Lotmaterial stärker als 20 Mikron ist. Dieses Mikrokügelchen
kann dadurch hergestellt werden, daß man ein Blech mit mehreren Aushöhlungen, die sich über das ganze Blech hin erstrecken,
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verwendet und ein kugelförmiges Korn aus einem Metall zusammen mit wenigstens einem Korn aus Lotmetall in jede dieser Aushöhlungen
einbringt. Jedes Metallkcrn ist durch das Lotmaterial benetzbar. Die Körner in den Aushöhlungen werden in Anwesenheit eines
Flußmittels erhitzt, so daß die Metallkörner mit dem Lotmaterial überzogen werden. Man erhält auf diese Weise ein kugelförmiges Lotmaterial
mit einem metallischen Kern.
Vorteilhaft ist bei der Erfindung, daß das Verfahren wirkungsvoll durchgeführt werden kann, indem man Mikrokügelchen aus Lotmaterial
mit einem Metallkern in hoher Ausbeute erhält.
Ein weiterer Vorteil ist darin zu sehen, daß man in Massenfertigung
Mikrokugeln aus Lotmaterial mit einem Metallkern herstellen kann.
Eine Ausgestaltung der Erfindung ist darin zu sehen, daß sie ein Verfahren
zur Herstellung einer Mikrokugel aus Lotmaterial mit einem Metallkern zeigt, bei dem eine vorbestimmte Anzahl von Lotmaterial,-körnern
und ein kugelförmiges Metallkorn zubereitet werden und die Körner in Anwesenheit eines Flußmittels auf eine erhöhte Temperatur
gebracht werden, welche höher liegt als der Schmelzpunkt des Lotmaterials, jedoch niedriger als der Schmelzpunkt des Metallkernkornes,
so daß das Metallkorn mit einem Lotmaterialüberzug versehen wird.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung wird ein Verfahren
zur Herstellung einer Mikrokugel aus Lotmaterial mit einem Metallkern gezeigt, bei dem ein Blech mit mehreren Aushöhlungen
versehen wird, die sich über das gesamte Blech hin erstrecken. In jede der Aushöhlungen wird ein kugelförmiges Metallkorn zusammen
mit einer bestimmten Anzahl von Körnern aus Lotmaterial ein-
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gebracht. Die Metallkörner sind durch das Lotmaterial benetzbar. Anschließend werden die Körner in den Aushöhlungen in Anwesenheit
eines Flußmittels auf eine Temperatur gebracht, die höher als der Schmelzpunkt des Lotmaterials ist, jedoch niedriger als der
Schmelzpunkt des Metallkernes, so daß jeder Metallkern mit dem Lotmaterial überzogen wird und man ein kugelförmiges Lotmaterial
mit einem Metallkern erhält.
Schließlich besteht eine Ausführungsform der Erfindung darin, daß zur Herstellung einer Mikrokugel aus Lotmaterial mit einem Metallkern
ein Grundblech mit mehreren Aushöhlungen versehen wird und ein zweites Blech, welches mit mehreren Löchern bzw. Bohrungen
versehen ist, auf das Grundblech aufgebracht wird. Die Bohrungen sind dabei mit den Aushöhlungen ausgerichtet. Das zweite Blech ist
dabei zumindest in einer Richtung gleitend auf dem Grundblech angeordnet. Indem man das zweite Blech um einen geringen Betrag auf
dem Grundblech bewegt, werden die Bohrungen durch das Grundblech geschlossen. Man kanndann in jedes Loch ein kugelförmiges Korn aus
Metall einbringen. Das Blech wird dann in seine Ausgangsposition zurückgebracht, so daß in jede Aushöhlung des Grundbleches ein
Korn fällt. Anschließend wird das zweite Blech wiederum in einer Richtung auf dem Grundblech verschoben, so daß die Bohrungen
durch das Grundblech abgeschlossen werden, lh jeder Bohrung des
zweiten Bleches wird wenigstens ein Korn aus Lotmaterial angeordnet
und das zweite Blech wird in seine Ausgangslage zurückgebracht, so daß das eine oder mehrere Körner aus Lotmaterial in jede der
Aushöhlungen fallen. Das zweite Blech wird dann vom Grundblech entfernt, so daß das Grundblech zurückbleibt und in jeder der Aushöhlungen wenigstens ein Metallkorn und Lotmaterialkörner untergebracht
sind. Die Körner werden dann auf eine Temperatur erhitzt, die höher liegt als der Schmelzpunkt des Lotmaterials, jedoch niedriger
als der Schmelzpunkt des Metallkornes, das den Kern bilden soll.
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Das Metallkorn wird dadurch mit einem Lotmaterialüberzug versehen.
Auch kann man ein Zwischenbleeh, welches mit mehreren Bohrungen
versehen ist, zwischen dem Grundblech und dem zweiten Blech anordnen. Die Bohrungen des Zwischenbleches sind dabei mit den Aushöhlungen
des Grundbleches und den Bohrungen des zweiten Bleches ausgerichtet.
Bei der Erfindung ist es möglich, die Dicke des Lotmaterialüberzuges
genau zu steuern, da jedes beim Überziehen des Metallkornes verwendete Lotmaterialkorn einen vorbestimmten Durchmesser aufweist.
Wie im folgenden noch gezeigt wird, kann die Dicke durch Ändern der Anzahl der Lotmaterialkörner, welche in die Aushöhlungen eingebracht
werden, variiert werden. Auch ist es möglich, den Durcchmesser der verwendeten Lotmaterialkörner zu ändern. Der auf diese Weise
erzielte Überzug ist bedeutend dicker als der Überzug, den man bei den bekannten Verfahren erhält.
Bei der Herstellung des Lötkügelchens gemäß der Erfindung benötigt
man eine äußerst einfache Vorrichtung. Diese ermöglicht erstmals in der Praxis die Massenfertigung von kugelförmigem Lotmaterial.
Ih den Figuren sind bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung dargestellt und es soll anhand dieser Figuren die Erfindung noch
näher erläutert werden. Es zeigen:
Fig. 1 die einzelnen Verfahrensschritte bei der Herstellung 1S einer Mikrokugel aus Lotmaterial mit einem Metallkern;
Fig. 8 eine Photographie von Mikrokugeln aus Lotmaterial,
welche gemäß der Erfindung hergestellt worden sind und
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Fig. 9 eine-Photographie eines Querschnittes durch eine Mikrokugel
mit einem metallischen Kern und einem Lotmaterialüberzug, welche gemäß der Erfindung hergestellt worden
ist.
Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung wird eine
Mikrokugel aus Lotmaterial mit einem Durchmesser von 0,35 mm
hergestellt, die einen kugelförmigen Kern aus Silber mit einem Durchmesser von 0,25 mm aufweist. Die Dicke des Überzuges aus
Lotmaterial beträgt daher etwa 0,05 mm. Die Lotmaterialzusammensetzung enthält 60 Gew.% Sn und 40 Gew.% Pb.
Wie in der Fig. 1 dargestellt, ist ein.Blech 2 aus Aluminium mit
mehreren Aushöhlungen 1 versehen. Diese besitzen einen Durch-
etwa
messer von^l, 5 mm und eine Tiefe von 0,8 mm. Ein Zwischenblech aus rostfreiem Stahl und einer Dicke von 0,2 mm ist mit Bohrungen versehen, die einen Durchmesser von 0,55 mm aufweisen. Dieses Zwischenblech ist auf dem Blech 2 aus Aluminium angeordnet. Jede der Bohrungen ist mit einer entsprechenden Aushöhlung im Aluminiumblech ausgerichtet (siehe Fig. 2). Ferner wird ein zweites Blech 6 aus rostfreiem Stahl mit einer Dicke von 0,2 mm auf dem Zwischen blech 4 angeordnet. Dieses zweite Blech ist mit Bohrungen 5 versehen, die einen Durchmesser von 0,35 mm haben. Die Bohrungen des zweiten Bleches 6 sind ebenfalls mit den Bohrungen im Blech und den Aushöhlungen im Blech 2 ausgerichtet (siehe Fig. 3). Das Blech kann gleitend auf dem Blech 4 wenigstens in einer Richtung bewegt werden. Das Zwischenblech 4 ist jedoch nicht unbedingt notwendig, um die Erfindung ausführen zu können. Wenn man jedoch das rostfreie Zwischenblech 4 verwendet, erhält man eine erhöhte Sicherheit bei der richtigen Anordnung der kugelförmigen Metallkörner, beispielsweise aus Silber, Kupfer oder Legierungen davon und der
messer von^l, 5 mm und eine Tiefe von 0,8 mm. Ein Zwischenblech aus rostfreiem Stahl und einer Dicke von 0,2 mm ist mit Bohrungen versehen, die einen Durchmesser von 0,55 mm aufweisen. Dieses Zwischenblech ist auf dem Blech 2 aus Aluminium angeordnet. Jede der Bohrungen ist mit einer entsprechenden Aushöhlung im Aluminiumblech ausgerichtet (siehe Fig. 2). Ferner wird ein zweites Blech 6 aus rostfreiem Stahl mit einer Dicke von 0,2 mm auf dem Zwischen blech 4 angeordnet. Dieses zweite Blech ist mit Bohrungen 5 versehen, die einen Durchmesser von 0,35 mm haben. Die Bohrungen des zweiten Bleches 6 sind ebenfalls mit den Bohrungen im Blech und den Aushöhlungen im Blech 2 ausgerichtet (siehe Fig. 3). Das Blech kann gleitend auf dem Blech 4 wenigstens in einer Richtung bewegt werden. Das Zwischenblech 4 ist jedoch nicht unbedingt notwendig, um die Erfindung ausführen zu können. Wenn man jedoch das rostfreie Zwischenblech 4 verwendet, erhält man eine erhöhte Sicherheit bei der richtigen Anordnung der kugelförmigen Metallkörner, beispielsweise aus Silber, Kupfer oder Legierungen davon und der
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Lotmetallkörner in den Aushöhlungen im Grundblech 2.
Die Durchmesser der Aushöhlungen im Grundblech 2 und die Bohrungen
im Zwischenblech 4 und dem zweiten Blech 6 können in Abhängigkeit vom Korndurchmesser der Metallkörner und der Lotmetallkörner,
welche verwendet werden sollen und in Abhängigkeit von der Dicke des Lotmaterialüberzuges verändert werden.
Das Grundblech 2 kann aus einem beliebigen Material hergestellt sein, das gegenüber Lotmaterial keine Benetzbarkeit aufweist. Im
allgemeinen kann man das Blech aus Aluminium, rostfreiem Stahl, Magnesium oder aus einem Keramikmaterial herstellen. Aluminium
ist jedoch ein bevorzugtes Material. Das Material des zweiten Bleches und des Zwischenbleches ist jedoch nicht auf diese beschränkt.
Bei der Herstellung einer Mikrokugel aus Lotmaterial gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung werden das Zwischenblech 4 (wenn
es verwendet wird) und das zweite Blech 6 in einer ersten Stellung auf dem Grundblech 2 angeordnet, wobei jede der Aushöhlungen im
Grundblech 2 mit einer entsprechenden Bohrung im Zwischenblech 4 und im zweiten Blech 6 ausgerichtet ist. Dann wird das zweite Blech
in einer Richtung um einen geringen Betrag verschoben, wobei die Bohrungen 5 durch das Zwischenblech 4 bzw. durch das Grundblech
verschlossen werden (siehe Fig. 4). In dieser Stellung werden kugelförmige Metallkörner, beispielsweise aus Silber, mit einem Durchmesser
von 0,25 mm über das zweite Blech 6 verstreut. Die Anordnung der Bleche wird dann geneigt oder in Vibration versetzt, wobei
jedes der Löcher 5 mit einem Metallkorn 7 gefüllt wird. Die auf dem Blech verbleibenden Metallkörner werden beispielsweise mit einer
Bürste oder dgl. entfernt.
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Daraufhin wird das Blech 6, welches aus rostfreiem Stahl bestehen kann, in seine Ausgangslage zurückgebracht, so daß jeweils ein
Metallkorn 7 in eine Aushöhlung 1 fällt (siehe Fig. 5).
Das gleiche Verfahren wird beim Einbringen eines Lotmaterialkornes
mit einem Durchmesser von 0,30 mm wiederholt. Wie in Fig. 6 dargestellt, ist in jeder Aushöhlung des Grundbleches 2 ein Metallkorn
und ein Lotmaterialkorn 8 angeordnet.
Natürlich kann man auch eine solche Reihenfolge anwenden, daß in
die Aushöhlungen im Grundblech 2 zuerst das Lotmaterialkorn und dann das Metallkorn eingebracht werden.
In dieser Verfahrensstufe werden die Bleche 4 und 6 aus ihren Positionen
entfernt. Das zurückbleibende Grundblech 2 enthält in jeder der Aushöhlungen ein Metallkorn und ein Lotmaterialkorn. Die Anzahl
der Lotmaterialkörner kann jedoch in Abhängigkeit von der gewünschten Dicke des Lotmaterialüberzuges ^ändert werden. Wenn zwei Lotmaterialkörner
in jede der Aushöhlungen eingebracht werden, ist die Lotmaterialschicht dicker als in dem Fall, in welchem nur ein Lotmaterialkorn
verwendet wird.
Nachdem eine Flußmittelzusammensetzung in flüssiger Form in die
Aushöhlungen eingesprüht worden ist, wird das Grundblech 2 durch einen Ofen oder durch ein Lötbad geschickt, wo das Grundblech auf
eine Temperatur von etwa 270 C erhitzt wird. Bei dieser Temperatur schmilzt das Lötmaterial und man erhält eine Kugel aus Lötmaterial
mit einem metallischen Kern aufgrund der Oberflächenspannung (siehe Fig. 7).
Das Flußmittel, das bei der Erfindung verwendet wird, unterstützt
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die Benetzbarkeit des Metallkornes für das Lotmaterial. Demzufolge
ist das Flußmittel nicht auf ein spezielles Flußmittel eingeschränkt, da das Flußmittel lediglich die Benetzbarkeit des Metallkornes für
das Lotmaterial unterstützen soll. Die bei der Erfindung verwendbaren Flußmittel sind beispielsweise solche, die Kolophoniumharze,
organische Säuren oder anorganische Stoffe enthalten. Obgleich es erwünscht ist, das Flußmittel in flüssiger Form auf die in den Aushöhlungen
angeordneten Körner zu sprühen, kann das Flußmittel auch auf die innere Oberfläche der Aushöhlungen mit einer Bürste auf gestrichen
werden bevor die Körner in den Aushöhlungen angeordnet werden.
Mit dem Bezugszeichen 9 ist ein Lotmaterialüberzug bezeichnet. Das Blech wird dann gekühlt und ein restliches Flußmittel 10 wird
durch Waschen mit Wasser oder einem geeigneten Lösungsmittel entfernt. Auf diese Weise erhält man die Lötkugel mit einem metallischen
Kern.
Die Figur 8 "zeigt eine Photographie von Mikrokugeln, welche mit
Hilfe des erfindungsgemäßen Verfahrens hergestellt worden sind.
Die Fig. 9 zeigt einen Querschnitt durch eine Mikrokugel aus Lotmaterial
mit einem metallischen Kern in 130-facher Vergrößerung.
Im vorstehenden ist ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung
dargestellt. Die Erfindung ist jedoch auf dieses Ausführungsbeispiel nicht beschränkt.
Der Metallwahlfür das kugelförmige Metallkorn ist keine Grenze gesetzt.
Es kann ein beliebiges Metall sein, das benetzbar ist für Lotmaterial und eine elektrische Leitfähigkeit aufweist. Im Normalfall
werden Kupfer, Silber oder Legierungen davon verwendet. Die kugel-
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förmigen Kupfer- oder Silberkörner werden durch Zerstäuben in einer inerten Atmosphäre in einfacher Weise hergestellt.
Wenn man eine Diffusion des Metalls, welches als kugelförmiges Korn bzw. Kern verwendet wird, in das Lotmaterial während des
Überzugsverfahrens verhindern will, ist es möglich, eine Sperrschicht um das Metallkorn zu legen. Diese Sperrschicht kann durch
stromloses Überziehen mit Nickel mit einer Dicke von 1-2 Mikron hergestellt werden.
Verschiedene Arten von Lotmaterial können bei der Erfindung zur Anwendung kommen. Diese sind beispielsweise Sn, Pb, Sn-Pb, Sn-Pb-Ag,
Sn-Pb-Cd, Pb-Ag, Pb-Sn-In, Pb-In, Sn-In, Pb-Ag-In. Aus diesen Stoffen lassen sich durch Zerstäubung in einer inerten Atmosphäre in einfacher
Weise Partikel bilden.
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Claims (14)
1. Mikrokugel aus Lotmaterial mit einem Metallkern, gekennzeichnet
durch einen Lotmaterialüberzug (9) mit einer Dicke über 20 Mikron, welcher durch Schmelzen wenigstens eines Lotmaterialkornes
(8) auf den Metallkern (7) aufgebracht ist.
2. Mikrokugel nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Metallkern (7) im wesentlichen aus einem kugelförmigen
Korn besteht, dessen Metall für Lotmaterial benetzbar und elektrisch leitfähig ist,
3. Mikrokugel nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich ■
net, daß das Metall des Kernes (7) Kupfer, Silber oder Legierungen derselben ist.
4. Mikrokugel nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet,
daß das Lotmaterial Sn, Pb, Sn-Pb, Sn-Pb-Ag, Sn-Pb-Cd, Pb-Ag, Pb-Sn-In, Pb-In, Sn-In oder Pb-Ag-In ist.
5. Verfahren zur Herstellung einer Mikrokugel aus Lotmaterial mit einem Metallkern nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß eine vorbestimmte Anzahl an Lotmaterialkörnern und ein kugelförmiges Metallkorn in Anwesenheit
eines Flußmittels auf eine Temperatur, die höher als der Schmelzpunkt des Lotmaterials und niedriger als der Schmelzpunkt des Metallkornes
ist, erhitzt wird, so daß das Metallkorn mit einem Lotmaterialüberzug versehen wird.
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6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß für das kugelförmige Metallkorn ein Metall ausgewählt wird,
das für Lötmaterial benetzbar und elektrisch leitfähig ist.
7. Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß als Metall für das kugelförmige Metallkorn Kupfer, Silber
oder Legierungen derselben ausgewählt werden.
8. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß als Lotmaterial Sn, Pb, Sn-Pb, Sn-Pb-Ag, Sn-Pb-Cd, Pb-Ag,
Pb-Sn-In, Sn-In, Pb-Ag-In ausgewählt werden.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet,
daß in mehreren Aushöhlungen eines Bleches jeweils das eine kugelförmige Metallkorn zusammen mit der vorbestimmten
Anzahl der Lotmaterialkörner eingebracht werden und dann die Körner in den Aushöhlungen in Anwesenheit eines Flußmittels
auf eine Temperatur gebracht werden, die höher als der Schmelzpunkt des Lotmaterials, jedoch niedriger als der Schmelzpunkt des
kugelförmigen Metallkornes ist, so daß das Metallkorn mit einem Lotmaterialüberzug umgeben wird.
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß als Metall für das kugelförmige Metallkorn Kupfer, Silber oder
Legierungen derselben verwendet werden.
11. Verfahren nach Anspruch 9 , dadurch gekennzeichnet, daß als Lotmaterial Sn, Pb, Sn-Pb, Sn-Pb-Ag, Sn-Pb-Cd, Pb-Ag,
Ph-Sn-In, Pb-In, Sn-In oder Pb-Ag-In verwendet werden.
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12. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß auf einem Grundblech das mit den Aushöhlungen versehen wird,
ein zweites Blech, welches mit mehreren Bohrungen versehen ist, angeordnet wird, wobei die Bohrungen mit den Aushöhlungen ausgerichtet
werden und das zweite Blech auf dem Grundblech wenigstens in einer Richtung gleitend bewegt werden kann, daß das zweite Blech
auf dem Grundblech in der Weise verschoben wird, daß die Bohrungen durch das Grundblech verdeckt werden, daß in jede Bohrung ein kugelförmiges
Metallkorn eingebracht wird und das Blech in seine Ausgangsposition zurückgebracht wird, so daß die Metallkörner in die
Aushöhlungen fallen, daß das zweite Blech wiederum auf dem Grundblech in einer Richtung verschoben wird, so daß die Bohrungen des
Bleches durch das Grundblech verdeckt sind, daß wenigstens ein Lotmaterialkorn in jede der Bohrungen eingebracht wird und das Blech
in seine Ausgangsposition zurückverschoben wird, so daß das eine oder die mehreren Lotmaterialkörner in jedes der Aushöhlungen
fallen, daß das zweite Blech vom Grundblech entfernt wird, in dessen Aushöhlungen jeweils ein Metallkorn und wenigstens ein Lotmaterialkorn
enthalten sind und daß die Körner in Anwesenheit eines Flußmittels auf eine Temperatur gebracht werden, die höher liegt als
der Schmelzpunkt des Lotmaterials und niedriger als der Schmelzpunkt des Metallkornes, so daß um das Metallkorn ein Lotmaterialüberzug
gelegt wird.
13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß zuerst wenigstens ein Lotmaterialkom in jeder der Aushöhlungen
eingebracht wird und anschließend das Metallkorn.
14. Verfahren nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen das Grundblech und das zweite Blech
ein Zwischenblech angeordnet wird, in der Weise, daß in dem Zwischenblech vorhandene Bohrungen mit den Aushöhlungen im Grund-
blech und den Bohrungen im zweiten Blech ausgerichtet werden. 7667 609831/0671
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