DE3122408A1 - Verfahren und vorrichtung zur reinigung und benetzung der frontflaeche eines ultraschall-objektives - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur reinigung und benetzung der frontflaeche eines ultraschall-objektives

Info

Publication number
DE3122408A1
DE3122408A1 DE19813122408 DE3122408A DE3122408A1 DE 3122408 A1 DE3122408 A1 DE 3122408A1 DE 19813122408 DE19813122408 DE 19813122408 DE 3122408 A DE3122408 A DE 3122408A DE 3122408 A1 DE3122408 A1 DE 3122408A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
cleaning
front surface
lens
nozzle
wetting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19813122408
Other languages
English (en)
Other versions
DE3122408C2 (de
Inventor
Herbert 6330 Wetzlar 21 Fischbach
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leica Microsystems Holdings GmbH
Original Assignee
Ernst Leitz Wetzlar GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ernst Leitz Wetzlar GmbH filed Critical Ernst Leitz Wetzlar GmbH
Priority to DE19813122408 priority Critical patent/DE3122408A1/de
Priority to JP57094150A priority patent/JPS58751A/ja
Priority to US06/384,893 priority patent/US4472204A/en
Publication of DE3122408A1 publication Critical patent/DE3122408A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3122408C2 publication Critical patent/DE3122408C2/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/02Cleaning by the force of jets or sprays

Description

Patentabteilung . $. Pat St/Wi - 18.05.81
A 2148/B 3016
Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung und Benetzung der Frontfläche eines Ultraschall-Objektives
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Reinigung und Benetzung der Frontfläche eines Ultraschall-Objektivs.
Aus der DE-OS 25 04 988 ist ein akustisches Mikroskop bekannt. Wesentlicher Teil dieses Mikroskops ist eine akustische Linse zur Fokussierung von Schallwellen. Zur Erzeugung und zum Nachweis der Schallwellen dient ein auf der akustischen Linse angebrachter piezoelektrischer Wandler, der an einen Hochfrequenzgenerator bzw. Empfänger angekoppelt ist. Das aus akustischer Linse und piezoelektrischem Wandler bestehende Bauelement soll als Ultraschall-Objektiv bezeichnet werden.
Der piezoeletrische Wandler erzeugt in der akustischen Linse eine ebene Schallwelle. Durch eine besondere
Patentabteilung " 6 " Pat St/Wi ~ 18.05.81
A 2148/B 3016
Formgebung der Frontfläche der akustischen Linse wird die austretende Schallwelle beim Übergang in ein Medium mit geringerem Schallgeschwindigkeitskoeffizienten fokussiert. Üblicherweise ist die Frontfläche konkav sphärisch geformt, wobei die Fläche noch poliert und reflexionsmindernd vergütet wird. Der Krümmungsradius dieser Frontfläche beträgt etwa 100 μη und der Durchmesser etwa 80 μτη.
Für den Übergang der Schallwelle in das Medium mit geringerem Schallgeschwindigkeitskoeffizienten (Immersion) ist es wichtig, daß ein ungestörter, inniger Kontakt zwischen Linsenfrontflache und Immersion besteht. Dazu müssen insbesondere alle Niederschläge auf der Frontfläche beseitigt werden, die die Oberflächenspannung der Linse erhöhen, da sonst die Frontfläche nur unvollkommen mit der Immersion benetzt und eine Luftblase in der von der Frontfläche gebildeten Kugelkalotte eingeschlossen wird.
Die Reinigung und Benetzung der Frontfläche des Ultraschall-Objektivs muß vor jedem Arbeitsbeginn und Präparatwechsel beim akustischen Mikroskop durchgeführt werden. Die übliche Methode besteht darin, mit einem mit destilliertem Wasser angefeuchteten Wattestäbchen solange über die Frontfläche zu reiben, bis am Signalausgang des Mikroskops ein aus der Bewegung des Watte-Stäbchens resultierendes Videosignal entsteht. Danach
- 7 - Pat St/Wi - 18.05.81
Pa,en,ab,ei,ung A
wird mit einer Pipette ein Tropfen der Immersion, beispielsweise ebenfalls destilliertes Wasser, auf die Frontfläche gegeben.
Diese Art der Reinigung und Benetzung ist mühsam und sehr zeitaufwendig. Für die Erstreinigung vor Arbeitsbeginn sind hierfür oft Zeiten zwischen 30 und 45 Minuten nötig. Das erklärt sich daraus, daß der Kopf des Wattestäbchens sehr viel größer als die zu reinigende Frontfläche des Ultraschall-Objektivs ist und es mehr vom Zufall abhängt, ob einzelne Fasern in die Kugelkalotte eintauchen und über dieFrontfläche wischen. Neben dem großen Zeitaufwand besteht noch die Gefahr, daß die Vergütungsschicht beschädigt wird. Eine Automatisierung des Vorgangs mit reproduzierbaren Ergebnissen ist nicht möglich.
Der Erfindung lag daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine geeignete Vorrichtung anzugeben, mit der eine schnelle und sichere Reinigung und Benetzung der Frontfläche des Ultraschall-Objektivs möglich ist, wobei die Arbeitsabläufe und der Betrieb der Vorrichtung auch automatisierbar sein sollten.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß ein feiner Strahl einer Reinigungs- und/oder Benetzungsflüssigkeit gegen die Linsenfrontflache gelenkt wird.
Patentabteilung
Pat St/Wi - 18.05.1981 A 2148/B 3016
Dabei ist es vorteilhaft, wenn ein pulsierender Strahl verwendet wird. Auch kann das Ultraschall-Objektiv während des Reinigungsvorganges quer zum Strahl der Flüssigkeit schwingen. Zweckmäßigerweise wird als Reinigungs- und Benetzungsflüssigkeit destilliertes Wasser verwendet. Bei einem in Reflexion arbeitenden Ultraschall-Objektiv kann während des Reinigungsvorganges das am Signalausgang entstehende elektrische Signal gemessen und in Abhängigkeit von der Signalgröße das Ende der Reinigung bestimmt werden.
Eine erfindungsgemäße Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens zeichnet sich dadurch aus, daß eine auf die Linsenfrontfläche gerichtete Düse vorgesehen ist, die über eine Leitung mit einem Vorratsgefäß für die Reinigungs- und/oder Benetzungsflüssigkeit verbunden ist und daß in die Leitung eine Pumpe eingefügt ist, die die Flüssigkeit unter Druck durch die Düsenöffnung preßt. Die Düse kann dabei aufwärts gerichtet unterhalb der Linsenfrontfläche angeordnet und von einem Auffanggefäß für die Flüssigkeit umgeben sein. Dabei wird zweckmäßig eine Absaugleitung an das Auffanggefäß angeschlossen. Von Vorteil ist es, wenn eine Pumpe vorgesehen wird, die mit der Düsenleitung und mit der Absäugleitung verbindbar ist und die in der ersteren einen Überdruck und in der letzteren einen Unterdruck erzeugt. Die Pumpe kann auch einen pulsierenden Über- bzw. Unterdruck
- 9 - Pat St/Wi - 18.05.81
Patentabteilung A 2148/B 3016
erzeugen. Anstelle eines Auffanggefäßes kann die Düsenöffnung auch konzentrisch von einem Absaugkanal umgeben sein, in dem während des Reinigungsvorgangs ein Saugstrom erzeugt wird. Der die Düse enthaltende Teil der Vorrichtung kann auf einer Schwenkvorrichtung befestigt sein, der zweckmäßigerweise ein Anschlag derart zugeordnet wird, daß die Düsenöffnung bei Anlage an diesem Anschlag der zu reinigenden bzw. zu benetzenden Linsenfrontflache gegenüberliegt. Zur weiteren Automatisierung kann die Schwenkvorrichtung mit einem motorischen Antrieb versehen sein. Der Durchmesser der Düsenöffnung kann etwas größer als der Durchmesser der zu reinigenden Linsenfrontflache gewählt werden. Eine Programmablaufsteuerung ermöglicht einen automatischen Rexnxgungs- und/oder Benetzungsvorgang.
Ausführungsbeispiele der erfindungsgemäßen Vorrichtung werden anhand der Zeichnungen beschrieben. Diese zeigen schematisch in
Fig. 1 einen Schnitt durch die Reinigungsvorrichtung in Arbeitsstellung,
Fig. 2 eine Aufsicht,
Fig. 3 ein Blockschaltbild für eine vollautomatische Reinigungsvorrichtung.
In Fig. 1 ist an einem Stativ 10 ein Haltearm 11 befestigt, der das Ultraschall-Objektiv 12 mit der kon-
- 10 -
- 10 - Pat St/Wi - 18.05.81
Patentabteilung A 2148/B 3016
kav sphärisch geformten Frontfläche 13 trägt. In den Haltearm 11 ist eine Schwingvorrichtung 14 eingebaut, durch die das Ultraschall-Objektiv 12 in Schwingbewegungen entlang der Pfeilrichtung versetzt werden kann.
Die Reinigungs- und Benetzungsvorrichtung besteht aus einer Düse 15, deren Öffnung 16 gegen die Frontfläche 13 des Ultraschall-Objektivs gerichtet ist. In die Düse 15 wird über einen Schlauch 17 die Mnigungs- bzw. Benetzungsflüssigkeit geleitet. Die Düse 15 ist von einem Auffanggefäß 18 umgeben, das eine Ausflußöffnung 19 besitzt, an die ein Schlauch 20 angeschlossen ist. Düse 15 und Auffanggefäß 18 sind starr miteinander verbunden und auf einem Schwenkarm 21 angeordnet, der um eine Achse 22 schwenkbar ist. Dies kann z. B. die Achse eines Motors 23 sein, der ebenfalls an dem Stativ 10 befestigt ist.
Die Aufsicht in Fig. 2 zeigt die Reinigungs- und Benetzungsvorrichtung im ausgeschwenkten Zustand neben der akustischen Mikroskopeinrichtung, zu der z.B.
auch ein an dem Stativ 10 befestigter Objekttisch gehört, der nicht weiter dargestellt ist, da er z.B. von dem Haltearm 11 verdeckt wird. Für den Schwenkarm 21 ist ein Anschlag 24 vorgesehen. Bei Anlage des Schwenkarms 21 an diesem Anschlag 24 ist die Düsenöffnung 16 in die Achse 25 des akustischen Mikroskops eingeschwenkt.
- 11 -
- 11 - Pat St/Wi - 18.05.81
Patentabteilung A 2148/B 3016
Die Schläuche 17 und 20 sind mit einer Pumpe 26 verbunden, die aus einem Vorratsgefäß 27 Flüssigkeit in die Düse 15 hineindrückt und die im Auffanggefäß 18 befindliche Flüssigkeit in ein Gefäß 28 hineinleitet. Die Arbeitsweise der Pumpe 26 ist z.B. so ausgelegt, daß periodisch in der Düsenleitung 17 ein Überdruck und in der Absaugleitung 20 ein Unterdruck erzeugt wird. Auf diese Weise wird ein pulsierender Strahl der Reinigungsflüssigkeit aus der Düsenöffnung 16 austreten.
Das Blockschaltbild nach Fig. 3 zeigt eine vollautomatische Vorrichtung, die z„B. über einen Mikroprozessor 29 programmgesteuert wird. Über eine Starttaste 30 wird der Motor 23' für die' Schwenkvorrichtung 21/22 in Richtung auf die Anschlagfläche 24 in Gang gesetzt und bei Anlage über den Schalter 31 abgestellt. Danach werden die Pumpe 26 und der Schwinger 14 eingeschaltet. Durch die Düse 16 hindurch wird ein Flüssigkeitsstrahl gegen die Linsenoberfläche des Ultraschall-Objektivs 12 gedrückt. Die von der Oberfläche des Objektivs abtropfende Flüssigkeit wird in dem Auffanggefäß 18 gesammelt und von der Pumpe abgesaugt. Das piezoelektrisch gewandelte Ultraschallsignal am Ausgang 32 des Objektivs 12 wird in den Mikroprozessor 29 eingegeben, der nach Vorliegen einer entsprechenden Signalgröße zunächst die Pumpe 26 und den Schwinger 14 abschaltet und danach den Motor 23
- 12 -
Patentabteilung
- 12 -
Pat St/Wi - 18.05.81 A 2148/B 3016
einschaltet, der den Schwenkarm 21 gegen eine Anschlagfläche 33 schwenkt. Bei Anlage an dieser Fläche schaltet ein Schalter 34 die Reinigungsvorrichtung ab.
Da die Düsenöffnung 16, wie in Fig. 1 dargestellt,
einen sehr geringen Abstand von der zu reinigenden Frontfläche 13 hat, bleibt nach dem Ausschwenken der Reinigungsvorrichtung ein Tropfen der verwendeten Flüssigkeit an dieser Fläche haften, so daß das Objektiv automatisch benetzt ist. Da überwiegend destilliertes Wasser zur Reinigung und als Immersion benutzt wird, erfolgt somit Reinigung und Benetzung in einem Arbeitsgang.
Der Durchmesser des aus der Düse 16 austretenden Strahls ist, wie ebenfalls aus Fig. 1 ersichtlich, etwas größer als der Durchmesser der als Kugelkalotte ausgebildeten Fläche 13, so daß gewisse Toleranzen beim Einschwenken der Vorrichtung zulässig sind und außerdem sichergestellt ist, daß beim Schwingen des Ultraschall-Objektivs die zu reinigende Fläche 13 immer bestrahlt wird. Die Bewegung des Objektivs quer zur Richtung des FlussigkeitsStrahls ist vorteilhaft aber nicht Voraussetzung für die Funktionsweise der Vorrichtung. Hier hat sich in überraschender Weise gezeigt, daß allein ein geringer Strahldruck und die im Strahl vorhandenen
- 13 -
Patentabteilung
- 13 -
Pat St/Wi - 18.05.81 A 2148/B 3016
bzw. die beim Auftreffen des Strahls auf die Linsenoberfläche durch unterschiedliche Reflexion entstehenden Wirbel die Reinigung bewirken und Luftblasen aus der Kugelkalotte herausdrücken. Außerdem konnte festgestellt werden, daß nach einer ersten Grundreinigung die erforderlichen Reinigungszeiten auch nach Betriebsunterbrechung von einigen Tagen deutlich geringer sind als bei der Grundreinigung.
Das in den Figuren dargestellte Ausführungsbeispiel benutzt z.B. ein in Reflexion arbeitendes Ultraschall-Objektiv, das oberhalb des Objektes angeordnet ist. Die Reinigungsvorrichtung wird daher unter das Objektiv geschwenkt und die vom Objektiv abtropfende Reinigungsflüssigkeit kann einfach in einem Gefäß aufgefangen werden. Es ist jedoch auch die umgekehrte Betriebsweise möglich. Um dann zu verhindern, daß die Reinigungsflüssigkeit in die Fassung des Ultraschall-Objektivs hineinläuft, kann um die Düsenöffnung 16 herum ein Absaugkanal angeordnet werden, in dem über die Pumpe 26 ein ausreichender Unterdruck erzeugt wird, der die Reinigungsflüssigkeit vom Objektiv absaugt. Durch geeignete zeitliche Abstimmung zwischen Strahlen und Absaugen kann erreicht werden, daß auch bei Beendigung des Reinigungsvorganges noch ein Tropfen der Flüssigkeit die Frontfläche 13 benetzt.
- 14 -
- 14 - Pat St/Wi - 18.05.81
Patentabteilung A 2148/B 3016
Bei Verwendung von Ultraschall-Objektiven, bei denen eine elektrische Messung des Ultraschallkontaktes zwischen der Frontfläche 13 und dem Übertragungsmedium nicht möglich ist, kann für den Reinigungsvorgang eine nach der Erfahrung bestimmte Zeit vorgegeben werden. Diese kann beispielsweise an dem Mikroprozessor 29 eingestellt werden. Sie liegt auf jeden Fall deutlich unter den bisher benötigten Zeiten beim mechanischen Wischen über die Linsenoberfläche.

Claims (16)

Ansprüche
1.) Verfahren zur Reinigung und Benetzung der Frontfläche eines Ultraschallobjektivs, dadurch gekennzeichnet, daß ein feiner Strahl einer Reinigungs- und/oder Benetzungsflüs-sJLgkeit gegen die Linsenfrontfläche (13) gelenkt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein pulsierender Strahl der Flüssigkeit gegen die Linsenfrctitfläche (13) gelenkt wird.
3. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Ultraschallobjektiv (12) während des Reinigungsvorgangs quer zum Strahl der Flüssigkeit schwingt.
4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß mit destilliertem Wasser gereinigt und benetzt wird.
Patentabteilung
2 - Pat St/Wi - 18.05.81 A 2148/B 3016
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß bei einem in Reflexion arbeitenden Ultraschallobjektiv (12) während des Reinigungsvorgangs das am Signalausgang entstehende elektrische Signal gemessen und in Abhängigkeit von der Signalgröße das Ende der Reinigung bestimmt wird.
6. Vorrichtung zur Reinigung und Benetzung der Frontfläche eines Ultraschallobjektivs, dadurch gekennzdchnet, daß eineauf die Linsenfrontflache (13) gerichtete Düse (15/16) vorgesehen ist, die über eine Leitung (17) mit einem Vorratsgefäß (27) für die Reinigungs- und/oder Benetzungsflussigkeit verbunden ist und in die Leitung (17) eine Pumpe (26) eingefügt ist, die die Flüssigkeit unter Druck durch die Düsenöffnung (16) preßt.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Düse (15/16) aufwärts gerichtet unterhalb der Linsenfrontflache (13) angeordnet und von einem Auffanggefäß (18) für die Flüssigkeit umgeben ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß an das Auffanggefäß (18) eine Absaugleitung (20) angeschlossen ist.
9. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß eine Pumpe (26) vorgesehen ist, die mit der
Patentabteilung
3 - Pat St/Wi - 18.05.81 A 2148/B 3016
Düsenleitung (17) und mit der Absaugleitung (20) verbindbar ist und die in der ersteren einen Überdruck und in der letzteren einen Unterdruck erzeugt.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Pumpe (26) einen pulsierenden Überbzw. Unterdruck erzeugt.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Düsenöffnung (16) konzentrisch von einem Absaugkanal umgeben ist, in dem während des Reinigungsvorgangs ein Saugstrom erzeugt wird.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß der die Düse (15/16) enthaltende Teil auf einer Schwenkvorrichtung (21, 22) befestigt ist.
20
13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Schwenkvorrichtung (21,22) ein Anschlag (24) derart zugeordnet ist, daß die Düsenöffnung (16) bei Anlage an diesem Anschlag der zu reinigenden bzw. zu benetzenden Linsenfrontflache (13) gegenüberliegt.
14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Schwenkvorrich-
Patentabteilung
-:.31224O8
Pat St/Wi - 18.05.81 A 2148/B 3016
tung (21,22) mit einem motorischen Antrieb (23) versehen ist.
15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß der Durchmesser der Düsenöffnung (16) etwas größer als der Durchmesser der zu reinigenden Linsenfrontfläche (13) gewählt wird.
16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß eine Programmablaufsteuerung (29) für einen automatischen Reinigungs· und/oder BenetzungsVorgang vorgesehen ist.
DE19813122408 1981-06-05 1981-06-05 Verfahren und vorrichtung zur reinigung und benetzung der frontflaeche eines ultraschall-objektives Granted DE3122408A1 (de)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19813122408 DE3122408A1 (de) 1981-06-05 1981-06-05 Verfahren und vorrichtung zur reinigung und benetzung der frontflaeche eines ultraschall-objektives
JP57094150A JPS58751A (ja) 1981-06-05 1982-06-03 超音波対物レンズの前面を清掃しそして湿らすための方法および装置
US06/384,893 US4472204A (en) 1981-06-05 1982-06-04 Process and apparatus for cleaning and wetting the concave surface of an acoustic lens

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19813122408 DE3122408A1 (de) 1981-06-05 1981-06-05 Verfahren und vorrichtung zur reinigung und benetzung der frontflaeche eines ultraschall-objektives

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3122408A1 true DE3122408A1 (de) 1982-12-23
DE3122408C2 DE3122408C2 (de) 1990-07-26

Family

ID=6134036

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19813122408 Granted DE3122408A1 (de) 1981-06-05 1981-06-05 Verfahren und vorrichtung zur reinigung und benetzung der frontflaeche eines ultraschall-objektives

Country Status (3)

Country Link
US (1) US4472204A (de)
JP (1) JPS58751A (de)
DE (1) DE3122408A1 (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0209353A1 (de) * 1985-07-17 1987-01-21 Hybritech Incorporated Gerät zum Waschen von Perlen
DE102015200927A1 (de) * 2015-01-21 2016-07-21 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Ausbildung eines Immersionsmittelfilms
CN111610251A (zh) * 2019-02-25 2020-09-01 巴滕伯格机器人两合公司 用于检验焊接处的方法和超声波检验头装置

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6086960U (ja) * 1983-11-18 1985-06-14 オリンパス光学工業株式会社 超音波顕微鏡装置
DE102004033208B4 (de) * 2004-07-09 2010-04-01 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Vorrichtung zur Inspektion eines mikroskopischen Bauteils mit einem Immersionsobjektiv

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2207581A1 (de) * 1972-02-18 1973-08-23 Klaus Grohmann Druck-saugduese zum reinigen von vorzugsweise aussenflaechen von hochhaeusern und wohnhaeusern
DE2335893A1 (de) * 1973-06-12 1975-01-02 Cerac Inst Sa Vorrichtung zum erzeugen von pulsierenden fluessigkeitsstrahlen hoher geschwindigkeiten bei hoher impulsfrequenz
DE2824302A1 (de) * 1977-09-23 1979-03-29 Zellweger Uster Ag Reinigungsvorrichtung fuer messelektroden

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3360400A (en) * 1961-06-07 1967-12-26 Ajem Lab Inc Method for power washing, surface reforming and the like
US3212378A (en) * 1962-10-26 1965-10-19 Union Carbide Corp Process for cutting and working solid materials
JPS5030592A (de) * 1973-06-11 1975-03-26
US3928063A (en) * 1974-06-05 1975-12-23 Exxon Research Engineering Co Method for cleaning a crystal microbalance
JPS5827837Y2 (ja) * 1976-11-27 1983-06-16 出光興産株式会社 ガラス器具洗浄器
SE7702537L (sv) * 1977-03-07 1978-09-08 Aga Ab Forfarande och anordning for att rengora en lutande eller vertikal yta pa ett optiskt element

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2207581A1 (de) * 1972-02-18 1973-08-23 Klaus Grohmann Druck-saugduese zum reinigen von vorzugsweise aussenflaechen von hochhaeusern und wohnhaeusern
DE2335893A1 (de) * 1973-06-12 1975-01-02 Cerac Inst Sa Vorrichtung zum erzeugen von pulsierenden fluessigkeitsstrahlen hoher geschwindigkeiten bei hoher impulsfrequenz
DE2824302A1 (de) * 1977-09-23 1979-03-29 Zellweger Uster Ag Reinigungsvorrichtung fuer messelektroden

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
DE-Z.: LABO, H. Okt. 1975, S. 906-911 *

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0209353A1 (de) * 1985-07-17 1987-01-21 Hybritech Incorporated Gerät zum Waschen von Perlen
US4754771A (en) * 1985-07-17 1988-07-05 Hybritech Incorporated Apparatus for washing beads
DE102015200927A1 (de) * 2015-01-21 2016-07-21 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Ausbildung eines Immersionsmittelfilms
US9939625B2 (en) 2015-01-21 2018-04-10 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Device and method for forming an immersion agent film
CN111610251A (zh) * 2019-02-25 2020-09-01 巴滕伯格机器人两合公司 用于检验焊接处的方法和超声波检验头装置
EP3699585A3 (de) * 2019-02-25 2020-10-07 Battenberg Robotic GmbH&Co. KG Verfahren zur überprüfung einer schweissung sowie ultraschallprüfkopfanordnung

Also Published As

Publication number Publication date
DE3122408C2 (de) 1990-07-26
US4472204A (en) 1984-09-18
JPH0379663B2 (de) 1991-12-19
JPS58751A (ja) 1983-01-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102004033208B4 (de) Vorrichtung zur Inspektion eines mikroskopischen Bauteils mit einem Immersionsobjektiv
EP3438674B1 (de) Vorrichtung und verfahren zur reinigung von pipettiernadeln
DE2641830B2 (de) Verfahren und Vorrichtungen zum Entfernen einer auf einer Wasseroberfläche schwimmenden Schmutzschicht
EP2179280B1 (de) Ultraschall-prüfvorrichtung mit verbesserter ausrichtung
EP1297561B1 (de) Verfahren und vorrichtung zum reinigen und anschliessendem bonden von substraten
DE3122408A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur reinigung und benetzung der frontflaeche eines ultraschall-objektives
DE102018218370A1 (de) Laserbearbeitungsvorrichtung
EP2179281B1 (de) Ultraschall-prüfvorrichtung mit clustergehäuse
DE2910063C3 (de) Vorrichtung zum Reinigen eines Filmstreifens
DE3415618C2 (de) Akustisches Mikroskop
DE19529749A1 (de) Verfahren zum schichtweisen Abtragen von Material von der Oberfläche eines Werkstücks
EP0417108A1 (de) Reinigungsrichtung für küvetten
DE102018218221A1 (de) Laserbearbeitungsvorrichtung
EP0360078A3 (de) Vorrichtung zum operativen Entfernen eines Gewebeteils aus einem menschlichen oder tierischen Körper
DE19653752C2 (de) Verfahren und Einrichtung zur Reinigung von Prozess-Meßzellen mit Kapillaren
DE719424C (de) Einrichtung zum mechanischen Waschen von Behaeltern
WO2008142011A1 (de) Verfahren zur reinigung von oberflächen eines werkstückes
DE3022848A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur messung von bierschaum
DE19516589A1 (de) Verfahren zur Reinigung von Schalungsmaterial
DE7003472U (de) Vorrichtung fuer das entfernen von tropfen von der muendung von zumessgeraeten
DE4038662A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum reinigen von gegenstaenden, insbesondere kraftfahrzeugen
DE1957033A1 (de) Verfahren zum Herstellen von Zinnschichten oder Zinnlegierungsschichten auf Draht aus Kupfer oder Kupferlegierungen durch Feuerverzinnen und Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens
DE2535019B2 (de) Ultraschallpruefverfahren zum erkennen von material- und bearbeitungsfehlern in rotationskoerpern
DE2832348C3 (de) Spülvorrichtung für Analysengeräte
DE202005020118U1 (de) Probenentnahmegerät mit einer Reinigungseinrichtung für ein Dosiergefäß

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: WILD LEITZ GMBH, 6330 WETZLAR, DE

D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: LEICA INDUSTRIEVERWALTUNG GMBH, 6330 WETZLAR, DE

8339 Ceased/non-payment of the annual fee