DE3041119C2

DE3041119C2 - Vorrichtung zur Bearbeitung von langen Werkstücken mittels Lichtbogenentladung

Info

Publication number: DE3041119C2
Application number: DE19803041119
Authority: DE
Inventors: Viktor N. Dedowsk Moskovskaja oblast' Blinov; Vladimir P. Moskva Pavlov; Eduard F. Moskva Popov; Jurij N. Orel Serebrjakov; Tatjana W. Sosnovskaja; Vladimir P. Terechov; Vladimir K. Volkov
Original assignee: VSESOJUZNYJ NAUCNO-ISSLEDOVATEL'SKIJ INSTITUT METIZNOJ PROMYSLENNOSTI VNIIMETIZ MAGNITOGORSK CELJABINSKAJA OBLAST' SU
Current assignee: VSESOJUZNYJ NAUCNO-ISSLEDOVATEL'SKIJ INSTITUT METIZNOJ PROMYSLENNOSTI VNIIMETIZ MAGNITOGORSK CELJABINSKAJA OBLAST' SU
Priority date: 1980-10-31
Filing date: 1980-10-31
Publication date: 1984-01-26
Also published as: DE3041119A1

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Bearbeitung von langen Werkstücken mittels Lichtbogenentladung der im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 beschriebenen, aus der US-PS 31 46 336 bekannten Art Die Erfindung kann zur Oberflächenreinigung von

Werkstücken, wie z. B. Drähten, Rohren, Bändern und dergleichen durch Entzundern oder Entölen sowie zu deren Erhitzung Verwendung finden.

Bei der US-PS 3146 336 sind die Elektroden ringförmig ausgebildet und gleichachsig zum Werkstück angeordnet Während des Betriebs dieser Vorrichtung dreht sich unter Einwirkung eines Magnetfeldes, das von ringförmigen Spulen erzeugt wird, der Lichtbogen im Ringraum zwischen Werkstück und Elektrode. Der Betrieb derartiger Ringelektroden erfordert jedoch einen komplizierten Aufbau, da ein Magnetsystem zur Rotation des Lichtbogens erforderiich ist Außerdem erzeugt der rotierende Lichtbogen ein starkes Geräusch und die Vorrichtung muß zur Säuberung der Innenseite der Ringelektrode außer Betrieb gesetzt werden.

Ferner ist es aus der DE-PS 6 65 540 bekannt, die Bearbeitung eines Werkstücks, nämlich die Säuberung

und das Überziehen des Werkstücks mit eir°m Metall, im Vakuum vorzunehmen, wozu ebenfalls e.r.; ringförmige Elektrode vorgesehen ist

Es ist somit Aufgabe der Erfindung, eine Vorrichtung zur Bearbeitung von langen Werkstücken mittels Lichtbogenentladung vorzuschlagen, die sich durcn einen einfachen Aufbau, verbesserte Arbeitsbedingungen und lange Betriebsperioden auszeichnet

Diese Aufgabe wird durch die im Patentanspruch 1 beschriebenen Merkmale gelöst

Bevorzugte Weiterbildungen und Ausgestaltungen hiervon sind Gegenstand der Patentansprüche 2 bis 15.

Mit Hilfe der Erfindung können zur Erzielung einer

hochreinen Werkstückoberfläche einfache Stab- bzw. Scheibenelektroden verwendet werden. Dies bringt

so neben dem einfachen Aufbau zudem den Vorteil, daß der Lichtbogen nur an der dem Werkstück gegenüberliegenden Stelle der Elektrode brennt. Durch Bewegung dei Elektrode läßt sich die Brennstelle des Lichtbogens auf der Elektrode verändern, während die alte Brennstelle auf der Elektrode gereinigt werden kann. Ferner kann die Energiedichte des Lichtbogens infolge des Vakuums verringert werden.

Die Erfindung wird im folgenden anhand konkreter Ausführungsbeispiele und der Zeichnung näher erläutert Es zeigt

Fig. 1 schematisch die Gesamtansicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung, wobei die Elektroden in Form von Scheiben ausgeführt und durch eine Abschirmwand getrennt sind,

F i g. 2 einen Schnitt gemäß der Linie IMI in F i g. 1,

F i g. 3 die Gesamtansicht eines Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Vorrichtung, bei dem die Elektroden durch zwei Abschirmwände getrennt sind.

wobei zwischen den Abschinnwänden eine mit dem Werkstück kontaktierende Rolle angeordnet ist,

Fig.4 die Außenansicht einer Oberflächenreinigungseinrichtung für die Elektrode,

Fig.5 die Außenansicht eines weiteren Ausführungsbeispiels einer Oberflächenreinigungseinrichtung für die Elektrode,

F i g. 6 eine aus zwei Teilen ausgeführte erfindungsgemäße Elektrode,

F i g. 7 eine Ansicht in Richtung des Pfeils B in F i g. 6,

Fig.8 die Gesamtansicht eines weiteren Ausführungsbeispiels der erfindungsgeraäßen Vorrichtung,

F i g. 9 eine Ansicht der in F i g. 8 dargestc"ten Stange zur Lichtboguizündung in Richtung des Pfe:;s A,

Fig. 10 die Gesamtansicht eines weiteren ?^r:ihrungsbeispieles der erfüidungsgemäßcii Vorn ' rung, bei der die Elektrode in Form eines seßkre«'h- -t- Achse des Werkstücks beweglich angeordneten · ~·ά uiit zwei Oberflächenreinigungseinrichtungen . v.sehenen Bolzens ausgeführt ist,

Fig. 11 die Gesamtansicht en/- anderen Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Vorrichtung, bei der die Elektrode in Form einer drehbar und hin- und herbeweglich angeordneten Schnecke ausgeführt ist,

Fig. 12 ein weiteres Ausführungsbeispiel einer Oberflächenreinigungseinrichtung für die Elektrode, die in Form einer an der Stange verschiebbar angeordneten Aufhängung ausgeführt ist

Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Bearbeitung von langen Werkstücken durch eine Lichtbogenentladung weist eine Kammer 1 auf (F i g. 1), in der in einem vorgegebenen Abstand vom Werkstück 2 Elektroden 3 angeordnet sind.

Wie Untersuchungen ergeben haben, erfordert die Anwendung eines unbeweglichen (um die Achse des Werkstücks nicht rotierenden) Lichtbogens zur e^:nwandfreien Oberflächenbearbeitung, beispielsweise zum Entölen eines Feindrahtes, zwingend die Ausnutzung eines Vakuums im Bearbeitungsbereich. Ohne diese Maßnahme führt die hohe Energiedichte der Lichtbogenentladung auf deren Elektrodenflecken ohne Anwendung anderer spezieller Mittel zu einem lokalen Abschmelzen der Oberfläche des Werkstücks, zu einem Anhängen des Lichtbogens an dan aufgeschmolzenen Abschnitten, d. h. zu einer Störung des Normalbetriebs. Deshalb ist bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung die Kammer ί als Vakuumkammer ausgebildet, die zudem mit bekannten Mittein evakuiert wird.

Ist eine Reinigung des Werkstücks, beispielsweise eines Drahtes, auf dem gesamten Umfang nötig, sind zwei auf beiden Sei en der Achse des Werkstücks 2 angeordnete Elektroden einzusetzen.

Die Elektroden 3 sind auf Wellen 4 befestigt, die dreh- und längsbewegbar in bezug auf ihre Längsachsen 5 angeordnet sind.

Die Speisequellen 6 für Lichtbogenentladungen 7 sind mit den Elektroden 3 über Bürsten 8 und mit dem Werkstück 2 über eine an einer Abschirmwand 10 befestigte Stromzuführung 9 verbunden. Zum Durchlassen des Werkstücks 2 durch die Kammer 1 sind in den Siirnwäiiden öffnungen U und 12 vorgesehen.

Die Vorrichtung enthält Einrichtungen zur Oberflächenreinigung der Elektroden, wobei jede zur Kontaktierung mit der Elektrode 3 am Gehäuse der Vakuumkammer 1 außerhalb der Lichtbogenstrecke angeordnet und in Form einer Stange 13 mit einem Endstück i4 aasgeführt ist. Das Endstück 14 kann mit der Elektrode 3 sowohl permanent als auch periodisch,

beispielsweise in dem Maße, wie sich der Zustand ihrer Arbeitsfläche verschlechtert, kontaktieren.

Die Achsen 5 der Wellen 4 liegen parallel zueinander und unter gleichen Winkeln γ zur Längsachse des Werkstücks 2. Die Wellen 4 sind an denselben Wänden der Kammer 1, wie auch die Öffnungen 11 und 12 zum Durchlassen des Werkstücks 2, befestigt

In F i fj. 2 ist ein Schnitt entsprechend der Linie IHI in Fi g. 1 dargestellt. Bei Verwendung von zwei Abschirmwänden 10 (Fig.3) kann zwischen diesen mindestens eine Rolle 15 angeordnet werden. Diese Rolle 15 kann mit den Speisequellen 6 für Lichtbogenentladungen 7 gekoppelt werden. Hierbei liegen die Achsen 5 der Wellen 4 unter Winkeln α und β zur Längsachse des Werkstücks 2.

Zur Vereinfachung der Konstruktion der Vorrichtung ist es zweckmäßig, an der Stange 13 (Fig.4) auch ein Element 16 zur Zündung einer Lichtbogenentladung 7 zu befestigen. Hierbei ist die Stange Ij beweglich in angeordnet und durch eine in einem Becher 18 angeordnete Feder 17 federnd gelagert. Die Stange 13 steht dcbei senkrecht zur Achse des Werka*" :ks 2.

Es ist auch möglich, die Stange 13 (Fig.5) mit dem daran angeordneten Endstück 14 und Element 16 in Achsrichtung des Werkstücks 2 zu montieren.

Die Elektrode 3 {Fig.6) kann aus zwei Teilen hergestellt vwden, die im Bereich der Lichtbogenstrekke aneinander anliegen und wobei jeder Teil mit in einem auf der Welle 4 angeordneten Bflge! 20 jo befestigten Arbeitsstäben 19 (F ι g. 7) versehen ist Die Notwendigkeit der Anwendung derartiger Dnppelelektroden 3 (Fig.6) ist dadurch hervorgerufen, daß es, ohne die Lichtbogenentladung 7 zu löschen, d. h. ohne die Anlage stillzusetzen, möglich ist einen der Bügel 20 mit den Stäben 19 zwecks ihrer Reinigung in Rotation zu versetzen. Es rotiert also abwechselnd um die Achse 5 mal der eine, mal der andere Teil der Elektrode 3, während die Lichtbogenentladung bei der Rotation eines jeden dieser Teile nicht erlischt Im Bügei 20 kann eine beliebige Anzahl der Stäbe 19 sein.

Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung kann die Lichtbogenentladung 7 durch eine am Gehäuse der Kammer 1 (F i g. 8) befestigte und in unmittelbarer Nähe der Elektroden befindliche Stange 21 gezündet werden. An der Stange 21 sind Klemmen 22 für eine Verbindung mit den Speisequellen 6 angeordnet. Das Ende der Stange 21 weist einen Ausschnitt .23 auf, der das Werkstück 2 umfaßt. Gestrichelt sind die Stellungen des Werkstücks 2 bei der Zündung der Lichtbogenentladung 7 zu den Zeitpunkten einer Schließung des Werkstücks 2 mit den Elektroden 3 eingezeichnet. Hierbei sind die Elektroden 3 in Form von Stäben ausgeführt und verschiebbar bezüglich des Werkstücks 2pngeor.Inet

F i g. 9 zeig· die Ansicht der in F i g. 8 dargestellten Stange 21 in Pfeilrichtu.iE A.

Die Elektrode 3 (Fig. 10) kann die Form eines in bezug auf das Werkstück 2 verschiebbar angeordneten Bolzens aufweisen. Hierbei kann die Längsachse der Elektrode 3 senkrecht oder unter einem Winkel zur Längsachse des Werkstücks 2 hegen.

In F i g. 11 ist schematisch eine Elektrode 3 angedeutet, die in Form einer auf der Welle 4 beweglich angeordneten Schnecke ausgeführt ist.

Es sie auf eine Ausführungsform eingegangen, bei welcher die Einrichtung zur Oberflächenreinigung der Elektrode 3 (Fig. 12) eine Aufhängung 24 darstellt, an der das Endstück 14 befestigt ist. Zur Verringerung der

Reibung zwischen der Aufhängung 24 und der Welle 4 kann ein Lager 25 angeordnet werden. Zur Erhöhung der Standfestigkeit der Aufhängung 24 kann darin eine Last 26 befestigt werden.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung arbeitet wie folgt. Es werden die Lichtbogenentladungen 7 zwischen den Elektroden 3 und dem Werkstück 2 (Fig. 1) gezündet. Bei der Bewegung des Werkstücks 2 erfolgt eine gleichzeitige Bearbeitung seiner Oberfläche von zwei Seiten. Indem die Elektroden 3 periodisch oder kontinuierlich verschoben werden, werden deren Oberflächen durch die an den Stangen 13 angeordneten Endstücke 14 gereinigt Hierbei geschieht eine Erneuerung der Arbeitsfläche der Elektroden 3. die es gestattet, deren Betriebsdauer zu verlängern.

Bei der Notwendigkeit, die Oberfläche der Elektrode 3 im Falle der Ausführung der Einrichtung zur Oberflächenreinigung der Elektrode gemäß r ig. 12 zu reinigen, wird diese in Drehung versetzt Hierbei bleibt die Aufhängung 24 unbeweglich, und das Endstück 14 reinigt die Oberfläche der Elektrode 3. Die Aufhängung 24 kann auch nicht nur mit Hilfe der Last 26, sondern auch mit Hilfe eines Magneten oder Elektromagneten festgehalten werden (die bei der Rotation der Wel'/e 4 unbeweglich bleiben). Die Magneten können innerhalb oder außerhalb der Kammer 1 angeordnet werden.

Die Anwendung der Einrichtung zur Oberflächenreinigung der Elektrode 3 in Form der Aufhängung 24 vereinfacht die Konstruktion der Anlage besonders in dem Fall, bei dem mehrere Elektroden 3 vorhanden und diese in der Vakuumkammer 1 untergebracht sind.

Die Anordnung der Abschirmwand 10 (Fig. 1) zwischen den E5ektroden 3 schließt die Möglichkeit einer gegenseitigen Bestrahlung der Elektroden 3 durch die Lichtbogenentladungen 7 aus und vereinfacht die Bedienung der Anlage. Die Anordnung der Stromzuführung 9 an der Abschirmwand 10 erfordert keine zusätzlichen Konstruktionselemente. Die Einstellung der Achsen 5 der Wellen 4 unter gleichen Winkeln zur Achse des V erkstücks 2 gib«, die Möglichkeit, den Abstand zwischen den Elektroden 3 und dem Werkstück 2 durch Verschiebung der Wellen 4 längs der Achsen 5 zu variieren. Die Anordnung der Wellen 4 an den gleichen Seiten der Kammer 1 wie auch der Öffnungen 11 und 12 vereinfacht bei Verwendung der Abschirmwand 10 die Konstruktion der Anlage. Die Anordnung der Wellen 4 parallel zueinander und unter gleichen Winkeln γ zum Werkstück 2 gibt die Möglichkeit den Zwischenele.ktrodenraum durch Verstellung der Wellen 4 entlang d<?r Achsen 5 synchron zu ändern und schafft die gleichen Bedingungen zur Oberflächenbearbeitung des Werkstücks 2 von dessen beiden Seiten, was die Oberflächengüte erhöht.

fm Gehäuse der Kammer 1 kann im Bereich der Lichtbogenentladung 7 ein beliebiger Druck, beispielsweise έ'.ι Vakuum, erzeugt werden.

In den Fällen, in denen es notwendig ist, die Achsen 5 (Fig.3) der Wellen 4 unter verschiedenen Winkeln ex. und β zur Achse des Werkstücks 2 anzuordnen oder die Bewegungsrichtung des Werkstücks 2 in der Kammer 1 zu ändern, ist es zweckmäßig, im Gehäuse der Kammer 1 zwei Abschirmwände 10 (Fig.3) anzuordnen und zwischen ihnen die Rolle 15 zu befestigen. Hierbei kann die Rolle 15 als Stromzuführung zum Werkstück 2 verwendet werden. Dies erhöht die Zuverlässigkeit der Verbindung des Werkstücks 2 mit der Speisequelle 6.

Da ein Element zur Zündung einer Lichtbogenentladung ein unabdingbares Bauteil einer beliebigen elektrischen Lichtbogenanlage ist, ist es zur Vereinfachung der Konstruktion der erfindungsgemäßen Anlage zweckmäßig, dieses mit der Baugruppe zur Oberflächenreinigung der Elektrode zu vereinigen. Zu diesem Zweck werden an der Stange 13 (Fig.4) das Endstück 14 und das Element 16 zur Zündung einer Lichtbogenentladung befestigt Zur Zündung einer Lichtbogenentladung 7 wird die Stange 13 gesenkt« wobei das Element 1« das Werkstück 2 gegen die Elektrode 3 andrückt.

Dann kehrt die Stange i3 unter der Wirkung der Feder 17 in die Ausgangsstellung zurück, und zwischen dem Werkstück 2 und der Elektrode 3 wird eine Lichtbogenentladung 7 gezündet Zugleich wird das Endstück 14 an die Elektrode 3 angedrückt. Die Stange 13 kann unter einem beliebigen Winkel zur Längsachse des Werkstücks 2, beispielsweise so. wie dies in F i g. 5 gezeigt, angeordnet werden. Beim Schwenken der Stange 13 (angedeutet ist ihr Querschnitt) entgegen dem Uhrzeigersinn drückt das Element 16 das Werkstück 2 an die Elektrode 3 an, dann wird bei der Rückkehr der Stange 13 in die Ausgangslage eine Lichtbogenentladung 7 gezündet, während das Endstück 14 an die Elektrode 3 angedrückt wird.

Die Elektrode 3 (Fig.6 und 7) kann in Form von Stäben ausgeführt werden, an deren Stirnseiten eine Lichtbogenentladung 7 brennt Wenn einer der Stäbe arbeitet, wird der andere gereinigt Die Ausführung einer derartigen Elektrode aus zwei oder mehr Teilen gestattet e.». die Elektrode 3 zu reinigen, ohne die Lichtbogenentladung 7 zu löschen, d. h. ohne die Anlage stillzusetzen, in diesem Fall erfolgt zu jedem Zeitpunkt die Schwenkung nur eines (in Fig.6 linken oder rechten) Teiles um die Achsen 5. Zu dieser Zeit brennt die Lichtbogenentladung 7 zwischen dem unbewegten Teil der Elektrode 3 und dem Werkstück 2.

In der Anlage ist die Zündung der Lichtbogenentladung 7 (F i g. 8) auch durch eine getrennt angeordnete Stange 21 möglich, die einen Ausschnitt 23 aufweist Die Quellen 6 sind mit dem Werkstück 2 über die Klemmen

22 und die Stange 21 verbunden. Zur Zündung der Lichtbogenentladung 7 wird die Stange 21 gesenkt und gehoben. Das im Ausschnitt 23 befindliche Werkstück 2 biegt sich durch und kontaktiert abwechselnd mit jeder der Stabelektroden 3. Hierbei zünden zwischen den Stirnseiten der Elektroden 3 und dem Werkstück 2 Lichtbogenentladungen 7. Die Anordnung der Elektroden 3 in einer zur Längsachse des Werkstücks 2 senkrechten Ebene vereinfacht den Zündprozeß der Lichtbogenentladungen 7.

Bei der erfindungsgemäßer Vorrichtung können auch die Form eines Bolzens aufweisende Elektroden 3 (Fig. 10) oder die Form einer Schnecke aufweisende Elektroden3 (Fig. 11) eingesetzt werden. Die Verwfci:- dung der Elektrode 3 in Form einer Schnecke gestattet

es, ihre Betriebsdauer wesentlich zu erhöhen. Im Vergleich zu der die Form einer Scheibe aufweisenden Elektrode erhöht sich die Betriebsdauer ungefähr um die Anzahl der Windungen der Schneckei Die Elektrode 3 in Form einer Schnecke ist dreh- und hin- und herbewegbar angeordnet, damit die Lichtbogenentladung 7 an ein und derselben Stelle brennt und die Arbeitsfläche der Schnecke gereinigt werden kann. Es können auch Elektroden 3, deren Arbeitsflächen die Form von unter verschiedenen Winkeln zur Achse des Werkstücks 2 verlaufenden Ellipsen, Parabeln usw. aufweisen, oder zwei verschiedene Elektroden benutzt werden, von denen die eine z. B. scheibenförmig (F i g. 1) und die andere stabförmig (Fig.8) ausgebildet ist.

wobei die Einrichtung zur Oberflächenreinigung nur auf der scheibenförmigen Elektrode angeordnet sein kann. Im Bereich einer jeden Lichtbogenentladung können gleichzeitig ein oder mehrere sowohl dicht aneinander als auch in einigem Abstand angeordnete Werkstücke bearbeitet werden. Vorzugsweise ist an die Elektroden 3 ein Pluspotential der Quelle 6, aber auch ein

Minuspotential anzulegen; ebenso kann den Elektroden 3 ein Wechselstrom zugeführt werden.

Die Erfindung ermöglicht es, bei der Oberflächenbearbeitung der Werkstücke eine Verunreinigung der Umwelt auszuschließen, die Arbeitsbedingungen zu verbessern und die Oberflächenqualität der Werkstücke zu erhöhen.

Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Vorrichtung zur Bearbeitung von langen Werkstücken mittels Lichtbogenentladung mit Elektroden, die im Abstand zur Werkstückoberfläche angeordnet sind und Speisequellen, die jeweils mit einem Anschluß über eine Stromzuführung mit dem Werkstück und mit dem anderen Anschluß mit der Elektrode verbunden sind, dadurch gekennzeichnet, daß in einer Vakuumkammer (1) mindestens zwei Elektroden (3; 3) von den entgegengesetzten Seiten des Werkstücks (2) her und bezüglich des Werkstücks (2) verschiebbar angeordnet sind.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine der Elektroden (3; 3) eine Oberflächenreinigungseinrichtung aufweist, die zur Kontaktierung mit der Elektrode (3) an dem Gehäuse der Vakuumkammer (1) befestigt, außerhalb der Lichtbogenstrecke (7) angeordnet und in Form einer Stange (13) mit einem Endstück (14) ausgeführt ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß jede mit dem Endstück (14) versehene Stange (13) in bezug auf die Elektrode beweglich ausgeführt ist

4. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden (3; 3) in Achsrichtung des Werkstücks (2) verschiebbar sind.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß /wischen den Elektroden (3; 3) eine Abschirmwand (10) angeordnet ist.

6. Vorrichtung nach Anspruch 4 dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den Elektroden (3; 3) zwei Abschirmwände (10; 10) angeordnet and.

7. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß an mindestens einer Abschirmwand (10) die Stromzuführung (9) befestigt ist.

8. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den Abschirmwänden (10; 10) mindestens eine mit dem Werkstück (2) in Berührung stehende Rolle (15) angeordnet ist.

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Rolle (15) mit den Speisequellen (6) verbunden ist.

10. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß an der Stange (13) der Oberflächen-einigungseinrichtung für die Elektrode ein Element (16) zur Zündung einer Lichtbogenentladung angeordnet ist.

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Element (16) zur Zündung einer Lichtbogenentladung in Form einer Konsole ausgeführt ist.

12. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine der Elektroden (3; 3) in Form einer auf einer beweglichen Welle (4) angeordneten Scheibe ausgeführt ist.

13. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine der Elektroden (3; 3) aus mindestens zwei Teilen ausgeführt ist, die aneinander anliegen und auf den beweglichen Wellen (4) bezüglich des Werkstücks (2) verschiebbar angeordnet sind.

14. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Achsen der Wellen (4, 4), auf denen die Elektroden (3; 3) angeordnet sind, parallel zueinander und unter einem gleichen Winkel zur Längsachse der Werkstücke (2) angeordnet sind.

15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Wellen (4,4) der Elektroden (3; 3) an den gleichen Seiten der Vakuumkammer (1) befestigt sind, an denen eine Eintrittsöffnung (11) und eine Austrittsöffnung (12) zum Durchtritt des Werkstücks (2) liegen.