DE3039529A1 - Fluessigkristall-anzeigevorrichtung - Google Patents

Fluessigkristall-anzeigevorrichtung

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Shigehiro Ikoma Nara Minezaki
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Description

SHARP K.K. - 1529-GER-A TER MEER · MÜLLER · STEINMEISTER
- 7 BESCHREIBUNG
Die Erfindung bezieht sich auf eine Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung mit zwei paarweise angeordneten Substraten und auf ein Verfahren zur Herstellung einer derartigen Flüssigkristallanzeige .
5
Bei Flüssigkristall-Anzeigevorrichtungen ist es bekannt, zur Ausrichtung der Flüssigkristallmoleküle in einer zu der Ebene der durch Glasplatten gebildeten Substrate parallelen Ebene ein dielektrisches Dünnschichtmaterial durch Schrägaufdampfung aufzutragen. Da bei der Schrägaufdampfung auf eine der Glasplatten der Randbereich einer gemusterten transparenten leitfähigen Schicht immer im Strahlschatten liegt, konnte an dieser Stelle auch keine Ausrichtung der Flüssigkristallmoleküle erzielt werden. ..
Ferner besteht bei herkömmlichen Flüssigkristallanzeigen mit verwundenem, nematischem Flüssigkristallmaterial und Ausnutzung des Gast-Wirt-Effekts das Problem, daß der transparente, leitfähige gemusterte Film einen anderen Brechungsindex hat als ein transparenter Isolierfilm. Dies kann zu Störungen führen, da der leitfähige Film im Anzeigemusterbereich aufgetragen ist und den transparenten Isolierfilm direkt kontaktiert. Der Brechungsindex-Unterschied führt zu einer so starken Lichtreflexion, daß das Anzeigemuster zu schwimmen scheint. Beim Anlegen einer bestimmten Spannung zwischen zwei dieser transparenten leitfähigen Filme wird außerdem das Anzeigemuster undeutlich und erscheint instabil.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine von den genannten Mängeln befreite bessere Flüssigkristallanzeige sowie ein Verfahren zu deren Herstellung aufzuzeigen.
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TERMEER-MQLLER-STEINMEISTER SHARP K.K. - 1529-GER-A
-8- 303952^
Die erfindungsgemäße Lösung der gestellten Aufgabe ist vorrichtungsseitig im Patentanspruch 1 und Verfahrensseitig im Patentanspruch 15 angegeben.
Vorteilhafte Weiterbildungen des Erfindungsgedankens sind in jeweils nachgeorndeten Unteransprüchen gekennzeichnet.
Ein besonderes Merkmal der herkömmlichen Flüssigkristallanzeige besteht darin, daß auf einem der beiden Substrate mindestens zwei diskrete Schichten, die im wesentlichen den gleichen Brechungsindex haben, eine gleichförmig dicke Beschichtung gebildet ist, welche sich durch herkömmliche Schrägbedampfung einwandfrei weiterbehandeln läßt. Dadurch werden störende Lichtreflexe vermieden und besonders bei einer reflektierenden Flüssigkristallanzeige eine gute Darstellungsqualität erzielt.
Nachstehend werden einige die Merkmale der Erfindung aufweisende Ausführungsbeispiele unter Bezugnahme auf eine Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 (a) bis
1 (d) Seitenansichten einer für eine erfindungsgemäße Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung hergerichteten Platte, Fig. 2 (a) bis
2 (h) Seitenansichten ähnlicher für eine er
findungsgemäße Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung hergerichteter Platten, und
Fig. 3, 4 und
5 Querschnittsdarstellungen erfindungsgemäßer Flüssigkristall-Anzeigevorrichtungen.
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Nachstehend wird zunächst die Anwendbarkeit der verschiedenen Ausführungsbeispiele der Erfindung kurz erläutert. Die in Verbindung mit Fig. 1 (a) bis 1 (d) sowie Fig. 2 (a) bis 2 (h) erläuterten erfindungsgemäßen Plattenausführungen eignen sich für jede Art von Flüssigkristallanzeigen, ganz gleich ob reflektierend oder transmissiv. Die in Fig. 3 bis 5 dargestellten Ausführungsbeispiele der Erfindung beschränken sich dagegen auf reflektierende Flüssigkristallanzeigen mit verwundenem, nematischem Flüssigkristallmaterial und Ausnutzung des Gast-Wirt-Effekts. Daneben besteht jedoch durchaus die Möglichkeit, die Ausführung gem. Fig. 3 bis 5 auch für eine Lichtdurchlaß-Flüssigkristallanzeige zu verwenden.
Zur Herstellung der in Fig. 1 ^a) bis 1(d) dargestellten, für eine erfindungsgemäße Flüssigkristallanzeige geeigneten Platte wird zunächst gem. Fig. 1 (a) auf einem vorzugsweise aus Glas bestehenden Substrat ein transparenter, leitfähiger gemusterter Film 2 ausgebildet und dieser mit einer Schicht 4 bedeckt, die einer gezielten Ätzbearbeitung unterworfen wird, um ein gewünschtes Anzeigemuster herzustellen. In Fig. 1 (b) ist die gesamte Oberfläche des Substrats 1 und der Schicht 4 mit einer transparenten Isolierschicht 5 überdeckt, die im wesentlichen genau so dick wie der transparente leitfähige Film 2 ist.
In Fig. 1 (c) ist die Schicht 4 mit der darüberliegenden Isolierschicht 5 durch Anwendung einer gezielten Ätztechnik (Abhebeverfahren) so entfernt, daß die gesamte Oberfläche des Substrats 1 eine gleichmäßig dicke Beschichtung trägt, welche aus der leitfähigen Schicht 2 und der Isolierschicht 5 besteht.
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In Fig. 1 (d) ist durch Schrägaufdampfung eines Materials wie SiO oder dergleichen eine andere transparente Isolierschicht 6 über die Gesamtoberfläche der gleichmäßig dicken Beschichtung gelegt; sie dient der Ausrichtung der MoIeküle einer Flüssigkristallmischung.
Auf diese Art werden zwei Trägerplatten vorbereitet und so miteinander vereinigt, daß die Flüssigkristallmoleküle auf einer einen Oberfläche jeweils rechtwinklig zu denen der anderen Oberfläche verlaufen und eine verwundene, nematische Flüssigkristall-Anzeigeschicht gebildet ist.
Bei dem in Fig. 2 (a) bis 2 (h) dargestellten Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in Fig. 2 (a) ein aus Natron- glas bestehendes Substrat 1 mit einem transparenten leitfähigen Film 2 und einer Schicht 4 bedeckt. Der aufgedampfte leitfähige Film 2 besteht aus In„0-, mit einem Anteil von etwa 5,0 Gew.-% S 0» und einer Dicke von etwa 0,05μπι. Die aufgedampfte Schicht 4 besteht aus Gold in einer Dicke von etwa 0,05μια.
In Fig. 2 (b) ist die Gesamtoberfläche der Schicht 4 mit einer lichtunempfindlichen Deckschicht wie AZ-1350 von Shipley Company Ine. beschichtet und unter Anwendung herkömmlicher Belichtungs- und Entwicklungstechniken eine lichtempfindliche Kunstharzschicht 7 mit gewünschtem Muster hergestellt.
In Fig. 2 (c) ist der nicht durch die Kunstharzschicht 7 bedeckte Bereich der Ätzschicht 4 durch ein Ätzmittel entfernt worden, welches in der Weise hergestellt wurde, daß etwa 8,0g Ammon-Jodid und etwa 2,0g Jodid in einer aus etwa
3 3
20cm Äthanol und etwa 30cm Wasser bestehenden Mischung
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gelöst wurden. Dieses Ätzmittel kann Au, jedoch nicht In-O-. lösen.
In Fig. 2 (d) wird die Kunstharzschicht 7 wieder als Ätzmaske benutzt, um den nicht durch die Kunstharzschicht 7 bedeckten Bereich des aus In-O., bestehenden transparenten leitfähigen Films 2 durch ein anderes Ätzmittel zu entfernen, welches Eisen (III)-Chlorid und Salzsäure zu gleichen Teilen enthält.
10
In Fig. 2 (e) ist die Kunstharzschicht 7 durch eine geeignete Lösung entfernt worden.
In Fig. 2 (f) ist die gesamte Oberfläche des leitfähigen Films 2 und der Schicht 4 mit einer transparenten Isolierschicht 5 bedeckt, die aus SiO„ oder Nb„O,- oder dergleichen bestehen kann und etwa 0,05μΐη dick ist. Gleichzeitig wird das Substrat 1 zur Kontaktverbesserung mit der Isolierschicht 5 auf etwa 35O°C aufgeheizt. 20
In Fig. 2 (g) ist die Schicht 4 mit der darüberliegenden Isolierschicht 5 durch Eintauchen des in Fig. 2 (f) dargestellten Gebildes in ein geeignetes Ätzmittel entfernt worden. Es ist das gleiche Ätzmittel wie in Verbindung mit Fig. 2 (c) beschrieben; es löst Au. Jetzt befindet sich auf dem Substrat 1 eine aus dem leitfähigen gemusterten Film 2 und der Isolierschicht 5 bestehende gleichförmig dicke Beschichtung.
Gemäß Fig. 2 (h) wird die gesamte Oberfläche dieser gleichmäßig dicken Beschichtung mit einem Material schrägbedampft, • dessen Partikel vorzugsweise unter einem Einfallswinkel von
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6O°C schräg aufgedampft werden. Dann wird eine andere transparente Isolierschicht 6 aus SiO und in einer Dicke von etwa 0,005μΐη auf die gesamte Oberfläche der gleichförmig dicken Beschichtung aufgetragen.
Das in Fig. 3 geschnitten dargestellte Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Flüssigkristallanzeige besteht aus einem Paar transparenter Substrate 1-1 und 1-2, der durch die transparente leitfähige gemusterte Schicht 2-1 und die transparente Isolierschicht 13 gebildeten gleichförmig dicken Beschichtung, dem transparenten leitfähigen Film 2-2, einer Flüssigkristallschicht 15, zwei AbstandnaItern 14 und einem Paar Polarisatoren 7-1 und 7-2.
Die beiden Substrate 1-1 und 1-2 sind aus Natronglas hergestellt. Das Substrat 1-1 ist unter Anwendung der in Verbindung mit Fig. 2 (a) bis 2 (h) Produktionsschritte mit der aus dem transpareten leitfähigen gemusterten Film 2-1 und der Isolierschicht 13 bestehenden gleichförmig dicken Beschichtung versehen worden. Beide Schichtabschnitte 2-1 und 13 sind etwa 0,03μΐη dick und haben einen ähnlichen Brechungsindex η . Vorzugsweise besteht der leitfähige gemusterte Film 2-1 aus In_0_ mit 5,0 Gew.-% SnO2 und einem Brechungsindex von etwa 1,9, während die Isolierschicht aus Nb3O5 bestehen kann und ebenfalls einen Brechungsindex von etwa 1,9 hat.
Das gegenüberliegende transparente Substrat 1-2 trägt einen durchgehenden leitfähigen gemusterten Film 2-1, der ebenfalls etwa 0,03μπι dick ist.
In herkömmlicher Reib- oder Läpptechnik oder durch Schrägaufdampfung sind der durchgehende leitfähige Film 2-2 und
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die aus den Schichtabschnitten 2-1 und 13 bestehende gleichförmig dicke Beschichtung mit einem dünnen dielektrischen Materialfilm belegt.
Zwischen den durch die Abstandhalter 14 im richtigen Abstand miteinander verbundenen und einerseits die gleichförmig dicke Beschichtung und andererseits den leitfähigen Film 2-2 tragenden transparenten Substraten 1-1 und 1-2 befindet sich die Flüssigkristallschicht 15, die entweder aus einem nematischen oder aus einem Gast-Wirt-Flüssigkristallmaterial besteht.
Bei einer verwundenen, nematischen Flüssigkristallanzeige sind die Moleküle der Flüssigkristallschicht 15 zwischen den jeweils auf dem leitfähigen Film 2-2 und der gleichförmig dicken Beschichtung befindlichen Orientierungsfilmen senkrecht verwunden. Auf der äußeren Oberfläche jedes Substrats 1-2 und 1-2 ist ein Polarisator 7-1 bzw. 7-2 befestigt. Dabei ist die Polarisationsebene des Polarisators 7-1 am Substrat 1-1 senkrecht zur Molekularorientierungsrichtung der aus 2-1 und 13 bestehenden gleichförmig dicken Beschichtung auf dem Substrat 1-1, und die Polarisationsebene des anderen Polarisators 7-2 am Substrat 1-2 senkrecht zur Molekularorientierungsrichtung des auf diesem Substrat angeordneten transparenten leitfähigen Films 2-2 gerichtet.
Somit verlaufen die Polarisationsebenen der beiden Polarisatoren 7-1 und 7-2 jeweils senkrecht zu den Längsachsen der Flüssigkristallmoleküle, die sich auf der ihnen jeweils zugekehrten Seite der gleichförmig dicken Beschichtung auf dem Substrat 1-1 bzw. des transparenten Films 2 auf dem Substrat 1-2 befinden.
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Die in Fig. 3 dargestellte und vorstehend beschriebene verwunden-nematische Flüssigkristallanzeige 8 hat die Eigenschaft, daß der leitfähige Film 2-1 nicht verschwommen, sondern klar erscheint.
Die in Fig. 10 dargestellte Flüssigkristallanzeige ist der Flüssigkristallanzeige 8 weitgehend ähnlich, jedoch mit dem Unterschied, daß hier zusätzlich je eine transparente Isolierschicht 11-1 bzw. 11-2 über die gleichförmig dicke Beschichtung auf dem Substrat 1-1 bzw. über den leitfähigen Film 2-2 auf dem Substrat 1-2 gelegt ist. Diese beiden Isolierschichten 11-1 und 11-2 haben eine gleiche Dicke D2 und einen gleichen Brechungsindex n2. Ihre Oberfläche ist durch Reiben, Läppen oder Schrägbedampfung mit einem dünnen dielektrischen Materialfilm belegt.
Zwischen den Lagen oder Schichten 1-1, 1-2, 2-1, 2-2, 13, 15, 11-1 und 11-2 der Flüssigkristallanzeige 10 besteht folgende Relation (I):
Vd1 * n2'd2 " V4
2 (I)
ni ·η4 * Vn22
darin bedeuten λ/4 die Wellenlänge eines der Anzeigezelle 10 zur Sichtbarmachung zugeführten Lichtes, und n4 der Brechungsindex der Flüssigkristallschicht 15.
Die vorstehende Gleichung (I) ist das Ergebnis theoretischer Berechnungen und gibt eine Grenzbedingung für ein Minimum anteflektiertem Licht wider, welches an einer ersten Grenze
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zwischen dem transparenten Substrat 1-1 und der aus 2-1 und 13 bestehenden gleichförmig dicken Beschichtung, einer zweiten Grenze zwischen dem transparenten Substrat 1-2 und dem leitfähigen Film 2-2, und einer dritten Grenze zwischen der Flüssigkristallschicht 15 und der Isolierschicht 11-1 einerseits und der Isolierschicht 11-2 andererseits reflektiert wird.
Zur Erfüllung der Gleichung (I) bedarf es folgender Voraussetzungen:
10
X : 0,55Um für beste Lesbarkeit durch Experiment ermittelt;
n1: 1,9, wenn beide leitfähige Filme 2-1 und 2-2 1c aus In0O- mit Zusatz von 0,5 Gew.-% S 0o, und
die Isolierschicht 13 aus Nb0O-. bestehen;
d1: 0,07μπι für die Schichten 2-1, 13 und 2-2;
nQ: 1,55, wenn beide transparente Substrate 1-1
und 1-2 aus Natronglas bestehen; 20
die Flüssigkristallschicht 15 besteht aus der Flüssigkristallmischung ROTN 403 von der Firma Hoffmann La Roche Inc.;
n„: 1,9, wenn beide Isolierschichten 11-1 und 11-2 aus Nb2O1- bestehen;
dp: 0,07μΐη; und
n4: 1,52.
Jede der beiden Isolierschichten 11-1 und 11-2 ist zur Erzeugung einer verwundenen nematischen Flüssigkristallschicht durch Reib- oder ""· 'Läpp technik oder Schrägbedampfung mit einem dünnen dielektrischen Film belegt.
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Die Polarisationsebenen der Polarisatoren 7-1 und 7-2 verlaufen senkrecht zu den Molekularorientierungsrichtungen der Isolierschichten 11-1 bzw. 11-2.
Auch die so ausgebildete erfindungsgemäße Flüssigkristallanzeige 10 zeigt ein durch den leitfähigen Film 2-1 wiedergegebenes klares und nicht verschwommenes Anzeigemuster. Dieser Vorteil scheint darauf zu beruhen, daß eine merkliche Lichtreflexion an den Grenzen zwischen dem Substrat 1-1 und der aus 2-1 und 13 bestehenden gleichförmig dicken Beschichtung, zwischen dem Substrat 1-2 und dem leitfähigen Film 2-2, und an der dritten Grenze zwischen dem Flüssigkristallmaterial 15 und der Isolierschicht 11-1 einerseits und der Isolierschicht 11-2 andererseits unterbunden ist.
Die in Fig. 5 dargestellte Flüssigkristallanzeige 20 ist weitgehend identisch mit der Anzeige 10 von Fig. 4, jedoch mit der Ausnahme, daß jeweils zwischen dem transparenten Substrat 1-1 und der aus 2-1 und 13 bestehenden gleichförmig dicken Beschichtung und zwischen dem transparenten Substrat 1-2 und dem leitfähigen Film 2-2 eine Isolierschicht 21-1 bzw. 21-2 mit einer Dicke von jeweils d~ und einem Brechungsindex n_ zwischengelegt ist.
Beide Isolierschichten 11-1 und 11-2 sind zur Erzielung einer verwundenen nematischen Flüssigkristallschicht in Reib- oder Läpptechnik oder durch Schrägaufdampfung mit einem dünnen dielektrischen Materialfilm belegt. Die Polarisationsebenen der Polarisatoren 7-1 und 7-1 verlaufen jeweils senkrecht zu den Molekularorientierungsrichtungen der Isolierschichten 11-1 bzw. 11-2, so daß die Polarisationsrichtungen des durch jeden Polarisator 7-1 und 7-2 hindurchtretenden Lichtes jeweils senkrecht zu den Längsachsen der Flüssigkristallmoleküle verläuft, die sich im
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Kontakt mit der betreffenden Isolierschicht 11-1 oder 11-2 befinden.
Die Lagen oder Schichten 1-1, 1-2, 2-1, 2-2, 13, 15, 11-1, 11-2, 21-1 und 21-2 in der Flüssigkristallanzeige 20 unterliegen den Bedingungen folgender Gleichung (II):
Π H —· Tl /^ -"^ Tl r\ ~* Sf Δ.
2 2 2 ill)
Vn1 ·η4 - n2 ·η3
Die Gleichung (II) gibt wiederum eine Grenzbedingung für ein Minimum an reflektiertem Licht an für eine erste Grenze zwischen dem transparenten Substrat 1-1 und der Isolierschicht 21-1, eine zweite Grenze zwischen der Isolierschicht
21-1 und der aus 2-1 und 13 bestehenden gleichförmig dicken Beschichtung, eine dritte Grenze zwischen dem transparenten Substrat 1-2 und der Isolierschicht 21-2, eine vierte Grenze zwischen der Isolierschicht 21-2 und dieser Isolierschicht 21-2 und dem leitfähigen Film 2-2 und eine fünfte Grenze zwischen dem Flüssigkristallmaterial 15 und jeder angrenzenden Isolierschicht 11-1 bzw. 11-2.
Diese Gleichung (II) wurde theoretisch aufgestellt und ist gültig unter Erfüllung folgender Voraussetzungen:
X : Ο,55μΐη;
die Flüssigkristallschicht 15 besteht aus der Flüssigkristallmischung ROTN 403;
n4 : 1'52
nQ : 1,55, wenn beide Substrate 1-1 und 1-2 aus Natronglas bestehen;
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TER MEER . MÜLLER . STEIMMFISTEP SHARP K.K. - 1529-GER-A
n_: 1,97, wenn die Isolierschichten 21-1 und
21-2 aus Bi3O3 bestehen; d3: Ο,Ο7μπι;
η : 1,9, wenn beide leitfähigen Filme 2-1 und 2-2
aus In3O3 unter Zusatz von 5,0 Gew.-% SnO3, und die Isolierschicht 13 aus Nb3O5 bestehen;
d1: 0,07μΐη;
n„: 1,47, wenn beide Isolierschichten 11-11 und
11-2 aus SiO3 bestehen; und d3: 0,09μπι.
10
Zur Fertigstellung der verwunden nematitschen Flüssigkristallschicht 20 können beide Isolierschichten 11-1 und 11-2 durch Reiben oder Schleifen oder Schrägaufdampfung mit einer dünnen dielektrischen Materialschicht versehen sein. Die so hergestellte verwunden-nematische Flüssigkristallschicht 20 zeigt ein nicht-verschowmmenes klares Anzeigemuster im Bereich des leitenden Films 2-1. Auch hier wird vermutet, daß an den oben angegebenen Grenzen eine stärkere Reflexion unterbleibt.
Die Anordnung der Isolierschichten 21-1 und 21-2 mit erwünschtem Brechungsindex n~ und einer Dicke d_ erlaubt einen weiten Spielraum für die Materialwahl beider Isolierschichten 11-1 und 11-2, die sich im Kontakt mit der Flüssigkristall-, schicht 15 befinden und zwecks Ausrichtung der Längsachsen der Flüssigkristallmoleküle einer Berhandlung durch Reiben, Läppen oder Schrägbedampfung unterzogen worden sind.
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Claims (16)

PATENTANWÄLTE TER MEER-MÜLLER-STElNMElSTf R Beim Europäischen Patentamt zugelassene Vertreter — Professional Representatives before the European Patent Office Mandatalres agrees pres !'Office europeen des brevets Dipl.-Chem. Dr. N. tor Meer Dipl.-lng. H. Steinmeister Dipl.-ing. F. E. Müller o. , „ _ Triftstrasse 4, S.ekerwail 7, D-8OOO MÖNCHEN 22 D-48OO BIELEFELD 1 1529-GER-A 20. Oktober 1980. Mü/Gdt/kü SHARP KABUSHIKI KAISHA 22-22, Nagaike-cho, Abeno-ku, Osaka, Japan Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung Prioritäten: 18. Oktober 1979, Japan, Ser.Nr. 54-134806 27. Februar 1980, Japan, Ser.Nr. 55- 24403 28. Februar 1980, Japan, Ser.Nr. 55- 24842 PATENTANSPRÜCHE
1.J Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung mit zwei paarweise ^"einander gegenüberstehend angeordneten Substraten, dadurch gekennzeichnet, daß
- auf einem Bereich des einen Substrats (1-1) eine erste gemusterte Schicht (2) ausgebildet ist,
- auf dem Restbereich desselben Substrats eine zweite Schicht ( 5) vorhanden ist, deren Dicke mit der ersten gemusterten Schicht übereinstimmt, so daß eine Beschichtung gleichmäßiger Dicke besteht, und
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TER MEER · MÜLLER ■ STEINMEISTER / SHARP K.Kl - 1 529-GER-A
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- auf der gleichförmig dicken Beschichtung (2, 5} eine der Orientierung der Moleküle einer zwischen den beiden Substraten (1-1, 1-2} befindlichen Flüssigkristallmaterialschicht (15) dienende dritte Schicht (6) ausgebildet ist.
2. Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch g e k e η η ζ e i c h η e t , daß die beiden Substrate (1-1, 1-2} transparent sind.
3. Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung nach Anspruch ,1 , dadurch gekennzeichnet, daß die erste gemusterte Schicht (2) IrLpO.,. enthält.
4. Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet r daß die zweite Schicht (2) eine Isolierschicht ist.
5. Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht durch Ätzen entfernbares Au enthält.
6. Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Schicht (5) aus SiO „ besteht,
7. Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß dieselbe nach dem Verfahren von Anspruch 15 oder T 6 hergestellt ist.
8. Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1,
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dadurch gekennzeichnet, daß die erste gemusterte S hicht (2) und die zweite Schicht (5) im wesentlichen den gleichen Brechungsindex haben.
9. Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der gleichförmig dicken Beschichtung (2, 5) und dem Flüssigkristallmaterial (15) eine vierte Schicht (11-T) angeordnet ist.
10. Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der gleichförmig dicken Beschichtung und dem einen Substrat (1) eine fünfte Schicht (21-1) angeordnet ist.
11. Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die nachstehende Gleichung erfüllt ist ι
n1 ·η4 " ηη22 '
in der n1: dem Brechungsindex der ersten gemusterten
Schicht (2-1) und der zweiten Schicht (13), d : der gemeinsamen Dicke beider Schichten
(2-1 und 13),
n„: dem Brechungsindex der vierten Schicht (11-1), d„: der Dicke der vierten Schicht, /\ : der für die Anzeige benutzten Lichtwellenlänge
und
n.: dem Brechungsindex der Flüssigkristallschicht (15) entsprechen.
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12. Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß folgende Gleichung erfüllt ist:
nTd1 "
ηη12-η4
in der τι. : dem Brechungsindex der ersten gemusterten Schicht (2-1) und der zweiten Schicht (13) d1: der gemeinsamen Dicke beider Schichten
(2-1 und 13),
n„: dem Brechnungsindex der vierten Schicht
(11-1),
d„: der Dicke der vierten Schicht, X: der für die Anzeige benutzten Lichtwellen-
länge,
n.: dem Brechungsindex der Flüssigkristallschicht (15)
n-: dem Brechungsindex der fünften Schicht (21-1), d3: der Dicke der fünften Schicht, und n_: dem Brechungsindex beider Substrate
(1-1, 1-2)
entsprechen.
13. Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 11 oder 12,
dadurch gekennzeichnet, daß die erste gemusterte Schicht (2-1) aus In-O,. mit Zusatz von SnO„ und die zweite Schicht (13) aus Nb2O1. bestehen und beide eine Dicke von etwa 0,07μπι -haben, beide Substrate (1-1, 1-2) aus Natronglas hergestellt sind, die
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vierte Schicht (11-1) aus etwa 0,07μπι dickem Nb^O1. oder etwa Ο,Ο9μπι dickem SiCL· hergestellt ist, der Brechungsindex der Flüssigkristallschicht (15) 1,52 beträgt, die fünfte Schicht (21-1) etwa Ο,Ο7μπι dick aus Bi3O3 hergestellt ist und die verwendete Lichtquellenlänge etwa Ο,55μπι beträgt.
14. Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennz eichnet, daß an beiden Substraten je ein Polarisator (7-1 , 7-2) befestigt ist, dessen Polarisationsebene jeweils senkrecht zur Orientierungsrichtung der Längsachsen der im Kontakt mit der dritten Schicht befindlichen Flüssigkristallmoleküle gelegt ist.
15. Verfahren zur Herstellung einer Flüssigkristall-Änzeigevorrichtung mit zwei paarweise angeordneten Substraten nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß
- in einem Bereich des einen Substrats eine erste gemusterte Schicht ausgebildet,
- auf dem Restbereich dieses einen Substrates eine zweite Schicht, deren Dicke im wesentlichen der ersten Schicht entspricht, geformt und dadurch eine gleichförmig dicke Beschichtung gebildet,
- auf der gleichmäßig dicken Beschichtung eine zusätzliche Schicht ausgebildet, und
- zwischen die beiden Substrate eine Flüssigkristall-Materialschicht eingebracht
werden.
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16. Verfahren nach Anspruch 15,
dadurch gekennzeichnet, daß ferner
- entsprechend der ersten gemusterten Schicht auf der Gesamtoberfläche dieses einen Substrats eine dritte Schicht ausgebildet,
- die dritte Schicht mit einer ätzbaren Beschichtung bedeckt,
- auf einen gewählten Bereich der ätzbaren Schicht eine lichtresistente Schicht gebildet,
- die ätzbare Schicht in dem Restabschnitt weggeätzt,
- die dritte Schicht in dem Restabschnitt mit Ausnahme des gewünschten Bereichs zur Ausbildung der ersten gemusterten Schicht weggeätzt,
- die lichtresistente Beschichtung entfernt,
- alle Bereiche der übriggebliebenen Ätzschicht und die von der ersten Schicht befreiten Abschnitte des Substrats mit einer in der Dicke der ersten gemusterten Schicht gleichen vierten Schicht bedeckt ,
- durch Wegätzen der restlichen Ätzschicht und der vierten Schicht darauf eine aus der ersten gemusterten Schicht und der vierten Schicht bestehende gleichförmig dicke Beschichtung gebildet, und
- eine der Molekularausrichtung einer zwischen beiden Substraten eingebrachten Plüssigkristallschicht dienende fünfte Schicht über die gesamte Oberfläche der gleichförmig dicken Beschichtung aufgetragen
werden.
13QÖ1B/O8!
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