DE3031980A1 - Verfahren und einrichtung zur bestimmung eines relativabstands bei einer zylinder-kolben-einheit - Google Patents

Verfahren und einrichtung zur bestimmung eines relativabstands bei einer zylinder-kolben-einheit

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Description

  • Martin Reuter
  • Am Vogelherd 13 8000 München 71 und Johannes König Am Vogelherd 13 8000 München 71 Verfahren und Einrichtung zur Bestimmung eines Relativabstands bei einer Zylinder-Kolben-Einheit Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Bestimmung eines Relativabstands zwischen Zylinder und Kolben oder Kolbenstange einer Zylinder-Kolben-Einheit nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 sowie auf eine Einrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens.
  • Verfahren der genannten Art sind bekannt. Es wird hierbei beispielsweise vom Kolben eine durch die Zylinderstirnwand hindurchgeführte Meßstange mitbewegt, deren Stellung kapazitiv oder resistiv erfaßt wird, was jedoch einen hohen Bauaufwand und insbesondere eine Vergrößerung der Einbaulänge um annähernd die Länge der Kolbenstange bewirkt. Auch ist es möglich, die Kolbenstange über ein Getriebe eine optisch-elektrische Abtastvorrichtung antreiben zu lassen, jedoch ergeben sich auch hierbei aufgrund des Raumbedarfs und der vergrößerten Baulänge bauliche Nachteile. In allen Fällen ist zudem die Genauigkeit des erzeugten Meßsignals relativ gering. Andere physikalische Entfernungsmeßmethoden scheiden wiederum bei der Bestimmung des Relativabstands zwischen Zylinder und Kolben oder Kolbenstange einer Zylinder-Kolben-Einheit deshalb aus, weil die erforderlichen Meßgeräte in den meisten Einsatzfällen zu empfindlich sind. So stehen beispielsweise bei Gabelstaplern mit hydraulisch betätigter Gabel, bei Erdbewegungsmaschinen mit hydraulisch verstellter Schaufel oder sonstigem Arbeitsgerät und bei vielen weiteren Anwendungsfällen von Hydrauliksystemen keine befriedigenden Einrichtungen zur genauen Erfassung von Relativstellungen zur Verfügung.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der eingangs genannten Art dahingehend weiterzubilden, daß es mit geringem Aufwand durchführbar ist und sehr genaue Meßergebnisse liefert.
  • Die Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß eine Einrichtung der im Oberbegriff des Anspruchs 1 angegebenen Art mit den in dessen Kennzeichenteil angegebenen Merkmalen durchgeführt wird.
  • Eine Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens gemäß der Erfindung ist im Anspruch 11 angegeben.
  • Ausgestaltungen des Verfahrens bzw. der Einrichtung gemäß der Erfindung sind in den übrigen Unteransprüchen angegeben.
  • Bei dem Verfahren und der Einrichtung gemäß der Erfindung wird auf einer Stirnseite des Zylinderraums ein Ultraschallimpuls ausgesandt, auf der gegenüberliegenden Stirnseite reflektiert und wieder aufgefangen. Die Laufzeit ist ein relativ genaues Maß für den Abstand der einander gegenüberstehenden Stirnseiten und damit für den Abstand zwischen Kolben und/oder Kolbenstange und Zylinder. Zur Aussendung und zum Empfangen des Impulses ist lediglich ein einfacher Wandler erforderlich, der die Baugröße der Zylinder-Kolben-Einheit nicht vergrößert, und die zum Anregen des Wandlers und zur Auswertung von dessen Ausgangssignalen erforderlichen elektrischen Schaltungsteile sind relativ unaufwendig und können leicht an einer geeigneten Stelle untergebracht werden, an der sie nicht zu einer baulichen Vergrößerung der Maschine oder des Hydrauliksystems führen, in dem die Zylinder-Kolben-Einheit liegt.
  • Die Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnungen näher erläutert, in denen Ausführungsbeispiele dargestellt sind. Es zeigt: Fig. 1 bis 3 Hydrauliksysteme mit verschiedenen Ausführungsformen von Einrichtungen gemäß der Erfindung; Fig. 4 ein für alle Ausführungsformen gemäß Fig.
  • 1 bis 3 geltendes elektrisches Blockschaltbild einer Einrichtung gemäß der Erfindung; Fig. 5 eine Einzelheit der Einrichtung gemäß Fig. 4; Fig. 6 ein Zeitdiagramm zur Erläuterung der Wirkungsweise der Einrichtung gemäß Fig. 4; Fig. 7 die konstruktive Ausbildung des Wandlers bei den Einrichtungen gemäß Fig. 1 bis 4.
  • In den Figuren sind gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet. Teile, die funktionsmäßig vergleichbar sind, weisen Bezugszahlen auf, deren erste beiden Ziffern übereinstimmen,während sie sich für die verschiedenen Ausführungsbeispiele hinsichtlich der dritten Ziffer unterscheiden.
  • In Fig. 1 ist ein Hydrauliksystem teilweise dargestellt.
  • Es umfaßt eine Zylinder-Kolben-Einheit 10 mit einem Zylinder 12, einem darin längsverschiebbar geführten, doppeltwirkenden olben 14 und einer durch eine Stirnwand 16 des Zylinders 12 hindurchgeführten Kolbenstange 18, die an ihrem dem Kolben 14 abgewandten Ende eine Öse 20 bildet. Eine weitere Stirnwand 22 des Zylinders 12 bildet innenseitig eine erste Stirnseite 24 eines kolbenstangenfernen Zylinderraums 26, dessen zweite Stirnseite 28 am Kolben 14 liegt. Der kolbenstangenferne Zylinderraum 26 ist ebenso wie der kolbenstangenseitige Zylinderraum 30 über jeweils eine Leitung 32, 34 mit einem elektromechanisch betätigbaren Ventilblock 36 verbunden. An diesen ist über eine Leitung 38 die Druckseite einer Pumpe 40 angeschlossen, und eine Leitung 42 führt vom Ventilblock 36 zu einem Sumpf 44. An den Ventilblock 36 sind weitere Leitungspaare 321, 341 bzw. 322, 342 angeschlossen, die zu weiteren, nicht dargestellten Zylinder-Kolben-Einheiten in gleicher Weise führen, wie dies hinsichtlich der Leitungen 32, 34 und der Zylinder-Kolben- Einheit 10 beschrieben wurde. Mittels des Ventilblocks 36 ist es möglich, den Zylinderraum 36 über die Leitung 32 wahlweise mit der Leitung 38 und damit mit der Druckseite der Pumpe 40 oder aber mit der Leitung 42 und damit mit dem Sumpf 44 zu verbinden, während dabei im ersten Fall der Zylinderraum 30 über die Leitung 34 mit der Leitung 42 und dem Sumpf 44 und im zweiten Fall mit der Leitung 38 und der Druckseite der Pumpe 40 verbunden ist, so daß jeweils einer der Zylinderräume 26, 30 mit Druck beauf schlagt und der andere mit einer Druck senke verbunden ist, um den Kolben 14 und die Kolbenstange 18 in einer der beiden möglichen Verstellrichtungen zu verstellen. Entsprechendes gilt für die nicht dargestellten weiteren an den Ventilblock 36 angeschlossenen Zylinder-Kolben-Einheiten.
  • Die Steuerung des Ventilblocks 36 erfolgt mittels eines Prozessors 46, der die Funktion eines Reglers und eines Rechners hat. Eine Regelung erfolgt beispielsweise hinsichtlich der Lage eines von der Zylinder-Kolben-Einheit 10 angetriebenen Werkzeugs oder Maschinenteils in Abhängigkeit von einem dem Prozessor 46 vorgegebenen Fuhrungswert in der Weise, daß der Relativabstand zwischen Zylinder 12 und Kolben 14 als Istwert bestimmt, hieraus erforderlichenfalls unter Einbeziehung des Relativabstands von Zylinder und Kolben weiterer Zylinder-Kolben-Einheiten, die auf dasselbe Werkzeug oder denselben Maschinenteil einwirken, eine Istlage bestimmt, diese mit der Sollage verglichen und in ggf.
  • im Prozessor 46 programmierter Abhängigkeit vom Vergleichsergebnis eine oder mehrere Zylinder-Kolben-Einheiten durch Betätigung des Ventilblocks 36 verstellt werden, um das Werkzeug oder den Maschinenteil in seine vom Lage-Sollwert bestimmte Sollage zu bringen.
  • Zur Bestimmung des Relativabstands zwischen Zylinder 12 und Kolben 14 oder Kolbenstange 18 ist in der Stirnwand 22 des Zylinders 12 an der ersten Stirnseite 24 ein elektrischer Ultraschallwandler 48 gehalten, der bei Beaufschlagung mit einem elektrischen Impuls einen Ultraschallimpuls abgibt.
  • Dieser ausgesandte Impuls wird im Bereich der zweiten Stirnseite 28 reflektiert, läuft zum Wandler 48 zurück und beauf schlagt diesen, worauf der Wandler 48 ein elektrisches Ausgangssignal abgibt. Zur Reflektion des Ultraschallimpulses genügt es grundsätzlich, wenn die Kolbenseite, die die zweite Stirnseite des Zylinderraums 26 bildet, zumindest annähernd eben ist. Besser auswertbare Ausgangssignale des Wandlers 48 werden jedoch erhalten, wenn die zweite Stirnseite 28 genau plan ist oder wenn wie beim Ausführungsbeispiel an der zweiten Stirnseite 28 ein Tripelspiegel 50 vorgesehen ist. Ein Tripelspiegel 50 besteht aus drei rechtwinklig zueinander und unter 450 zur Längsachse angeordneten Spiegeln oder reflektierend glatten Flächen, die dafür sorgen, daß auch bei ausermittigem Auftreffen einer Ultraschallwelle der Gesamtweg der hin- und herlaufenden Welle denjenigen Wert hat, den dieser Weg bei genau mittiger Ausrichtung von Wandler 48 und Tripelspiegel 50 hat. Die Laufzeit vom Aussenden eines Ultraschallimpulses bis zum Empfang des reflektierten Impulses ist dem Abstand zwischen Wandler 48 und Tripelspiegel 50 direkt und linear proportional. Daher kann aufgrund einer Messung der Laufzeit der Abstand zwischen dem Wandler 48 und dem Tripelspiegel 50 genau bestimmt werden, und wegen der gegebenen geometrischen Verhältnisse kann hieraus durch einfache Addition einer Konstanten auch der sonstige Relativabstand zwischen einem beliebigen Punkt des Zylinders 12,beispielsweise der Achse einer Anlenkstelle an einer Maschine, und einem beliebigem Punkt des Kolbens 14 oder der Kolbenstange 18, beispielsweise der Achse von deren öse 20, rechnerisch bestimmt werden. Durch wiederholte Aussendung von Impulsen durch den Wandler 48 kann eine so schnelle Folge von Meßergebnissen erhalten werden, daß auch bei einer Verschiebung des Kolbens 14 dessen jeweilige Lage genau angegeben werden kann. Die Erzeugung von elektrischen Impulsen zur Anregung des Wandlers 48 und die Auswertung von dessen Ausgangssignalen erfolgt mittels des Prozessors 46, der mit dem Wandler 48 über eine Leitung 52 verbunden ist; die Ausbildung der entsprechenden Teile des Prozessors 46 wird noch anhand von Fig. 4 zu beschreiben sein.
  • Die Laufzeit eines Ultraschallimpulses im Zylinderraum 26 hängt von der Ausbreitungsgeschwindigkeit des Ultraschalls in der den Zylinderraum 26 ausfüllenden Hydraulikflüssigkeit ab. Diese Ausbreitungsgeschwindigkeit ändert sich mit der Temperatur der Hydraulikflüssigkeit und im geringerem Maße auch mit deren Druck. Um hierdurch bedingte Meßfehler zu kompensieren, ist bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 1 in die Leitung 38 zwischen Druckseite der Pumpe 40 und Ventilblock 36 ein in einem Referenzzylinder 54 gebildeter Referenzraum 56 eingeschaltet, der von der bei geöffnetem Ventil des Ventilblocks 36 zum Zylinderraum 26 geförderten Hydraulikflüssigkeit durchströmt wird. Diese hat beim Hindurchströmen durch den Referenzraum 56 zumindest annähernd dieselbe Temperatur und denselben Druck wie in dem Zylinderraum 26. In einer ersten Stirnseite 58 des Referenzraumes 56 ist ein elektrischer Ultraschall-Referenzwandler 60 gehalten, der in gleicher Weise wie der Wandler 48 konstruktiv ausgebildet und zur Laufzeitmessung betrieben ist, also bei Beaufschlagung mit einem elektrsichen Impuls einen Ultraschallimpuls abgibt und bei Beaufschlagung mit dem an der gegenüberliegenden zweiten Stirnseite 62 des Referenzraumes reflektierten Impuls ein elektrisches Ausgangssignal abgibt. Dieses wird über eine Leitung 64 dem Prozessor 46 zugeführt, um ein Referenzsignal zu erhalten.
  • Der Referenzraum 56 hat eine vorgegebene, zwischen dem Wandler 60 und der zweiten Stirnseite 62 gemessene Länge. Bei einer bestimmten Temperatur der Hydraulikflüssigkeit, zweckmäßig bei der oberhalb der Raumtemperatur liegenden Betriebstemperatur des Hydrauliksystems und bei einem mittleren, sich bei Belastung der Pumpe 40 einstellenden Druck an deren Druckseite, stimmt das aufgrund der Laufzeitmessung im Referenzraum 56 erhaltene Referenzsignal mit einer vorgegebenen Laufzeit überein, die im Prozessor 46 beispielsweise durch Zählung einer vorgegebenen Anzahl von Schwingungen eines temperaturstabilisierten Quarzes bestimmt wird. Bei Abweichungen von Temperatur und Druck der Hydraulikflüssigkeit gegenüber den vorausgesetzten Bedingungen ergibt sich ein abweichendes Referenzsignal, das durch Differenzbildung mit der vorgegebenen Laufzeit verglichen und durch Quotientenbildung mit der vorgegebenen Laufzeit zu dieser in Beziehung gesetzt wird. Hierdurch wird im Prozessor 46 ein Korrektursignal gewonnen. Wenn das Korrektursignal beispielsweise einer Verlängerung der durch das Referenzsignal dargestellten Laufzeit im Referenzraum 56 von 1% gegenüber der vorgegebenen Laufzeit entspricht, so bedeutet dies, daß aufgrund der nunmehr gegebenen Druck- und Temperaturverhältnisse auch das aufgrund der Laufzeitmessung im Zylinderraum 26 ermittelte Meßsignal um 18 erhöht werden muß. Auch dieser Vorgang erfolgt als Rechenoperation im Prozessor 46, so daß das aufgrund der Laufzeitmessung im Zylinderraum 26 der Zylinder-Kolben-Einheit 10 erhaltene Meßsignal im Sinne einer Kompensation des Einflusses von Dichteänderungen und auch Temperaturschwankungen der Hydraulikflüssigkeit in Abhängigkeit von dem Referenzsignal verändert wird, um ein Signal zu erhalten, das den Istwert des Relativabstands zwischen Zylinder 12 und Kolben 14 oder Kolbenstange 18 darstellt. Im übrigen gehen in den Istwert, der aufgrund des Meßsignals ermittelt wird, ggf. noch weitere Parameter ein, auf die teilweise noch einzugehen sein wird; auf eine ggf. zu berücksichtigende Konstante, um die sich der interessierende Relativabstand von dem tatsächlich gemessenen Abstand zwischen Wandler 48 und Tripelspiegel 50 unterscheidet, wurde bereits oben hingewiesen.
  • Bei dem in Fig. 2 dargestellten Ausführungsbeispiel ist ein Ventilblock 66 vorgesehen, der wahlweise die Leitung 32 oder eine der Leitungen 321, 322 mit einer Leitung 68 oder 70 verbinden kann, während gleichzeitig die andere Leitung 34, 341, 342 desselben Leitungspaares mit der jeweils anderen Leitung 70 bzw. 68 verbunden wird. Die Leitungen 68, 70 führen zu einem Umschaltventil 72, das einerseits über eine Leitung 381 mit der Druckseite der Pumpe 40 und andererseits über die Leitung 42 mit dem Sumpf 44 verbunden ist. Der Prozessor 461 koordiniert die Steuerung des Ventilblocks 66 und des Umschaltventils 72 derart, daß bei einer erforderlichen Druckbeaufschlagung des Zylinderraums 26, also bei einer Verstellung der Kolbenstange 18 von der Stirnwand 22 des Zylinders 12 fort, die Leitung 381 an der Druckseite der Pumpe 40 über das Umschaltventil 72 mit der Leitung 68 verbunden wird und daß letztere mit der Leitung 32 verbunden wird, während gleichzeitig die Leitung 34 im Ventilblock 66 mit der Leitung 70 verbunden wird und letztere vom Umschaltventil 72 mit der Leitung 42 verbunden wird, während bei einer umgekehrten Verstellung und einer Druckbeaufschlagung des Zyinderraumes 30 die Leitung 34 weiterhin mit der Leitung 70 und die Leitung 32 mit der Leitung 68 verbunden bleibt, dagegen nunmehr das Umschaltventil 72 die Leitung 70 mit der Leitung 381 und damit mit der Druckseite der Pumpe 40 sowie die Leitung 68 mit der Leitung 42 verbindet. Hierdurch wird sichergestellt, daß abweichend von dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 1 der in einem Referenzzylinder 541 gebildete Referenzraum 561 nicht nur in eine von der Pumpe 40 dem Zylinderraum 26 zugeführte Strömung von Hydraulikflüssigkeit eingeschaltet ist, wenn Kolben 14 und Kolbenstange 18 in Fig. 1 und 2 nach rechts verstellt werden, sondern auch wenn bei der umgekehrten Verstellrichtung Hydraulikflüssigkeit aus dem Zylinderraum 26 über die Leitung 32, den Ventilblock 66, die Leitung 68 mit dem darin eingeschalteten Referenzraum 561, das Umschaltventil 72 und die Leitung 42 zum Sumpf 44 abgeführt wird. Hierdurch folgtdie Hydraulikflüssigkeit im Referenzraum 561 den Temperatur- und Druckverhältnissen im interessierenden Zylinderraum, beispielsweise dem Zylinderraum 26, noch wesentlich besser als bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 1, so daß eine noch bessere Kompensation der störenden Parameter erfolgt.
  • Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 3 erfolgt eine Kompensation der vorstehend genannten Art noch weitgehender.
  • Dies wird dadurch erreicht, daß eine der Anzahl der Zylinder-Kolben-Einheiten gleiche Anzahl von jeweils einer Zylinder-Kolben-Einheit, beispielsweise der dargestellten Zylinder-Kolben-Einheit 10 zugeordneten und in ihrer räumlichen Nähe angeordneten Referenzräumen - im Beispiel der Referenzraum 562 - vorgesehen ist. Zweckmäßig besteht über eine räumliche Nähe hinaus auch eine thermische Kopplung zwischen Zylinderraum 26 und Referenzraum 562, beispielsweise indem der Referenzzylinder 542 mit dem Zylinder 12 der Zylinder-Kolben-Einheit 10 zusammengebaut ist. Dieser Zusammenbau kann zumindest durch Anflanschen des Referenzzylinders 542 am Zylinder 12 erfolgen, jedoch sind auch weitere, eine noch stärkere thermische Kopplung bewirkende Baumaßnahmen in dieser Richtung denkbar. Tn jedem Fall bewirkt die Bauart gemäß Fig. 3 eine individuelle Kompensation von Druck und Temperatur im Zylinderraum 26 bei verschiedenen Betriebszuständen unabhängig davon, wie Druck und Temperatur in den weiteren an einen Ventilblock 361 angeschlossenen Zylinder-Kolben-Einheiten sind. Daher wird mittels dieser individuellen Referenzsignalbildung gegenüber Fig. 1 und 2 eine höchstmögliche Störfreiheit und Genauigkeit erzielt. Die dann als Prozessor 462 vorgesehene Datenverarbeitungseinrichtung korrigiert dabei das aufgrund der Laufzeitmessung in jeder Zylinder-Kolben-Einheit erhaltene, für diese Zylinder-Kolben-Einheit ermittelte Meßergebnis.aufgrund des Referenzsignals, das anhand der Laufzeitmessung in dem zugeordneten Referenzraum erhalten wird.
  • Bei dem Ventilblock 361 in Fig. 3, der vom Prozessor 462 gesteuert ist, handelt es sich um die übliche Ausführung solcher Ventilblöcke; bei erforderlicher Verstellung eines Kolbens und seiner Kolbenstange, beispielsweise des Kolbens 14 mit der Kolbenstange 18,wird ein Zylinderraum, beispielsweise der Zylinderraum 26, mit der Leitung 38 und der Druckseite der Pumpe 40 verbunden, während der jeweils andere Zylinderraum, im Beispiel der Zylinderraum 30, mit der Leitung 42 und dem Sumpf 44 verbunden wird. Da in gleicher Weise wie der Referenzraum 562 in die Leitung 32 weitere Referenzräume in entsprechende Leitungen, beispielsweise in die Leitung 321, eingeschaltet sind, werden die Referenzräume jeweils von der zuströmenden und abströmenden Hydraulikflüssigkeit des kolbenstangenfernen Zylinderraums, beispielsweise des Zylinderraums 26, durchflossen.
  • Die Ermittlung der Laufzeit im Zylinderraum, beispielsweise dem Zylinderraum 26, und in dem zugeordneten Referenzraum, im Beispiel im Referenzraum 562, bzw. in dem allen Zylinderräumen gemeinsamen Referenzraum 56 bzw. 561 in Fig. 1 und 2, muß nicht notwendig gleichzeitig erfolgen, vielmehr kann eines der entsprechenden Signale zeitlich versetzt gegenüber dem anderen erzeugt und bis zur Weiterverarbeitung zwischengespeichert werden. So können in allen Ausführungsbeispielen gemäß Fig. 1 bis 3 die Laufzeitmessungen in allen Zylinder-Kolben-Einheiten, beispielsweise der Zylinder-Kolben-Einheit 10, und in dem Referenzraum 56 bzw. 561 bzw. in allen zugeordneten Referenzräumen, beispielsweise dem Referenzraum 562, in einer Folge und vorzugsweise in einer zyklischen Folge durchgeführt werden. Dabei wird diese Folge zweckmäßig nach einmaligem Durchlauf stetig wiederholt, um für jede Zylinder-Kolben-Einheit und den oder jeden Referenzraum eine Folge von Signalen zur erhalten, aus der ein quasi-kontinuierliches Meßsignal abgeleitet werden kann.
  • Fig. 4 zeigt eine in dieser Weise wirksame Einrichtung.
  • In Fig. 4 ist der Wandler 48 der Zylinder-Kolben-Einheit 10 über die Leitung 52 mit einem Anschluß eines Multiplexers 74 verbunden. An dessen weiterer Anschlüsse sind über Leitungen 521, 522, 523 usw. die Wandler der übrigen Zylinder-Kolben-Einheiten sowie über eine Leitung 64 der Referenzwandler 60 und ggf. über weitere derartige Leitungen die übrigen Referenzwandler angeschlossen. Der Multiplexer 74 wirkt, wie symbolisch angedeutet, als Umschalter, mittels dessen nacheinander in zyklischer Folge die Leitungen 52, 521, 522, 523, 64 und ggf. weitere Leitungen mit einer Eingangs-und Ausgangs-Leitung 76 verbunden werden, um die Wandler, beispielsweise den Wandler 48, und den oder die Referenzwandler 60 durch Beaufschlagung mit elektrischen Impulsen zur Aussendung von Ultraschallimpulsen anzuregen und nach Empfang der reflektierten Impulse die entsprechenden elektrischen Ausgangssignale auswerten zu können.
  • Die Beaufschlagung mit elektrischen Impulsen und die Auswertung des Ausgangssignals sei im folgenden für den Wandler 48 der Zylinder-Kolben-Einheit 0 und für den Wandler 60 im Referenzraum 563 eines beliebigen Referenzzylinders 543 beschrieben, bei dem es sich um jeden der in den Fig. 1 bis 3 angesprochenen Referenzylinder handeln kann.
  • Die Einrichtung umfaßt einen elektrischen Impulserzeuger 78, mit dessen Ausgang der Wandler 48 gekoppelt ist, einen Zeitmesser 80 und eine Steuerschaltung 82, die in Abhängigkeit vom Vorliegen eines Impulses im Ausgangssignal des Impulserzeugers 78 den Zeitmesser 80 in Gang setzt und in Abhängigkeit vom Vorliegen eines nach dem Impuls im Ausgangssignal des Impulserzeugers 78 auftretenden Impulses im Ausgangssignal des Wandler 48 den Zeitmesser 80 anhält. Impulserzeuger 78, Zeitmesser 80 und Multiplexer 74 werden über Sammelleitungen (Address- und Datenbus) 84, 86, 88, eine Schnittstelle 90 und eine weitere Sammelleitung 92 von einer Steuer- und Datenverarbeitungseinrichtung 94 gesteuert, in der auch die Auswertung der mittels des Zeitmessers 80 ermittelten Laufzeiten erfolgt. Die von der Steuer-und Datenverarbeitungseinrichtung 94 aus gesehen jenseits der Schnittstelle 90 liegenden elektrischen Teile der Einrichtung können gemeinsam von einem Mikroprozessor 96 gebildet sein, der zusammen mit der Steuer- und Datenverarbietungseinrichtung 94 den Prozessor 46 bzw. 461, 462 in Fig. 1 bis 3 bildet. Die Steuer- und Datenverarbeitungsvorrichtung 94 kann dabei im zentralen Steuer-und Rechenwerk der das Hydrauliksystem mit der Zylinder-Kolben-Einheit 10 umfassenden Maschine enthalten sein, während der Mikroprozessor 96 dezentral oder ebenfalls zentral untergebracht sein kann.
  • Zu Beginn der Laufzeitmessung im Zylinderraum 26 der Zylinder-Kolben-Einheit 10 oder zu einem anderen Zeitpunkt zu Beginn der Laufzeitmessung im Referenzraum 563 gibt die Steuer- und Datenverarbeitungsvorrichtung 94 über die Sammelleitung 92, die Schnittstelle 90 und die Sammelleitung 84 ein in Fig. 6, oberste Teilfigur, dargestelltes Freigabesignal A an den Impulserzeuger 78 ab, nachdem über die Sammelleitung 88 der Multiplexer 74 mit der Leitung 52 bzw. der Leitung 64 verbunden wurde; das Freigabesingal hat die Form eines Wechsels von logischem L-Pegel auf H-Pegel und tritt in Fig.
  • 6 zum Zeitpunkt t auf.
  • Der Impulserzeuger 78 besteht aus einem Signalgeber 98 und einer von diesem gesteuertem Ausgangsstufe 11. Der Signalgeber 98, dessen Ausgangssignal B in Fig. 6 in der zweiten Teilfigur dargestellt ist, ist zur Erzeugung eines ersten Rechteckimpulses i1 und eines unmittelbar darauf folgenden Rechteckimpulses i2 von gegenüber dem ersten Impuls entgegengesetztem Vorzeichen ausgebildet, wobei diese Rechteckimpulse i1 i2 eine Rechteckschwingung mit einer Periodendauer T bilden, d.h. untereinander gleiche Längen und auch vorzugsweise betragsmäßig gleiche Amplituden aufweisen. Der erste Rechteckimpuls i1 beginnt mit dem Wechsel des Freigabesignals A auf H-Pegel zum Zeitpunkt to.
  • Wie aus Fig. 5 hervorgeht, weist die Ausgangsstufe 11 zwei mit ihren Hauptstromstrecken in Reihe zwischen ein positives und ein negatives Potential geschaltete, an ihren miteinander verbundenen Basen vom Signalgeber 98 gesteuerte Transistoren 15, 19 auf, und der als Ausgangsanschluß des Impulsgebers 78 dienende Verbindungspunkt der Hauptstromstrecken dieser Transistoren 15, 19 liegt über einen gegenüber der Eingangsimpedanz des Wandlers 48 niederomigen Widerstand 23 von beispielsweise 200 Ohm an Masse. Wie weiter aus Fig. 4 ersichtlich ist, ist zwischen den Ausgang des Impulserzeugers 78 und den Multiplexer 74 und damit die Anschlüsse des Wandlers 48 ein beim Ausführungsbeispiel als Spartransformator ausgebildeter Transformator 27 eingeschaltet, dessen Seite höherer Spannung mit dem Wandler 48 verbunden ist.
  • Die Ausgangsstufe 11 des Impulserzeugers 78, der Transformator 27 und die Eingangsimpedanz des Wandlers 48 bilden zusammen einen gedämpften Schwingkreis, der von den vom Signalerzeuger 98 erzeugten Rechteckimpulsen il, i2 angeregt wird. Daher erscheinen im Ausgangssignal des Impulserzeugers 78, das in Fig. 6 in der dritten Teilfigur als Kurve C dargestellt ist, nicht Rechteckimpulse, sondern mehr einem sinusförmigen Verlauf angenäherte, unmittelbar aufeinanderfolgende Impulse 111 12 entgegengesetzten Vorzeichens, die dem Wandler 48 zugeführt werden. Der erste Impuls I1 beginnt mit dem Beginn des Rechteckimpulses i1 und erreicht seine Amplitude beim Übergang vom ersten Rechteckimpuls i zum zweiten Rechteckimpuls i2. Es folgt eine abfallende Rückflanke, die in die Vorderflanke des zweiten Impulses 12 übergeht, der seine Amplitude am Ende des zweiten Rechteckimpulses i2 erreicht.
  • Der zweite Impuls 12 hat wegen der Schwingungsfähigkeit des den Wandler 48 umfassenden Schwingkreises eine betragsmäßig höhere Amplitude als der erste Impuls I1. Dies ist der Grund, warum der Impulserzeuger 78 ausgebildet sein sollte, zwei (oder in noch zu erläuterender Weise mehr) Impulse abzugeben, die unmittelbar aufeinanderfolgen, obwohl grundsätzlich auch die Anregung des WandLers mit nur einem einzigen Impuls möglich wäre.
  • Wie noch zu beschreiben sein wird, umfaßt der Wandler 48 ebenso wie alle übrigen, gleich ausgebildeten Wandler und insbesondere auch der oder die Referenzwandler 60 einen plättchenförmigen, piezoelektrischen Schwinger. Dessen Eigenfrequenz, die die Eigenfrequenz des den Wandler 48 umfassenden Schwingkreises mitbestimmt, ist zweckmäßig zumindest annähernd 1,4-fach größer als die Frequenz der vom ersten und zweiten Rechteck impuls i1r i2 gebildeten Rechteckschwingung und damit auch annähernd 1,4-fach größer als die aus dem folgenden Grund nur annähernd bestimmte Frequenz des ersten und zweiten Impulses I1, I2.
  • Der zweite Impuls 12 fällt von seiner Amplitude an bis zum Erreichen der Spannung Null in einem Schnittpunkt b wegen der nunmehr fehlenden Anregung durch die Rechteckimpulse i1 i2 nicht mit deren Frequenz, sondern mit einer durch die Eigenfrequenz des den Wandler 48 umfassenden Schwingkreises ab und hat dabei eine geringfügig längere Dauer als der erste Impuls 12 Danach klingt die Kurve C aufgrund der Dämpfung des den Wandler 48 umfassenden Schwingkreises aus.
  • Dabei tritt, wie aus dem Verlauf der Kurve C zwischen Schnittpunkten b, d erkennbar, ein 1800-Phasensprung auf, der ein schnelles Abklingen begünstigt. Ein solches schnelles Abklingen ist wünschenswert, um das vom Wandler 48 aufgrund des reflektierten und wieder aufgenommenen Impulses erzeugte Ausgangssignal leicht von dem vom Impulserzeuger 78 erzeugten Ausgangssignal selbst dann noch unterscheiden zu können, wenn sich aufgrund eines geringen Abstands zwischen Wandler 48 und Kolben 14 eine nur geringe Laufzeit ergibt.
  • Der Impulserzeuger 78, und zwar im Ausführungsbeispiel dessen Signalgeber 98, setzt jeweils bei Abgabe eines Impulses oder im Ausführungsbeispiel mehrer unmittelbar aufeinanderfolgender Impulse I1,I2 über eine auch in Fig. 5 dargestellte Leitung 27 einen in der Steuerschaltung 82 vorgesehenen Zeitgeber 31 in Gang. Es handelt sich beim Ausführungsbeispiel um ein Kippglied, das beim Beginn des ersten Rechteckimpulses i gekippt wird und nach Ablauf seiner Verzögerungszeit T2 zurückkippt. Das Ausgangssignal Edeszeitgebers 31, das in der fünften Teilfigur der Figur 6 dargestellt ist, im Ruhezustand L-Pegel hat und bei gesetztem Zustand des Zeitgebers 31 H-Pegel annimmt, ist hinsichtlich seiner Zeitdauer T2 so bemessen, daß ab dem Beginn t des ersten Impulses I1 und damit des Aus sendens eines Ultraschallimpulses oder spätestens beginnend mit der Erfassung des Beginns der Laufzeit, worauf noch einzugehen sein wird, die Auswertung von aufgenommenen Impulsen während der Kippdauer T2 verhindert wird, die größer. ist als die Abklingdauer des zum Aussenden des Impulses verwendeten Wandlers 48 und die geringer ist als die geringste, bei der geringsten einstellbaren Länge des Zylinderraums 26 zwischen dessen Stirnseiten 22, 28 auftretende Laufzeit. Das Ausgangssignal E des Zeitgebers 31 bildet ein Bedingungssignal, in Abhängigkeit von dessen Vorliegen der Zeitmesser 80 zur Ingangsetzung freigegeben wird und in Abhängigkeit von dessen Nichtvorliegen der Zeitmesser 80 zum Anhalten freigegeben wird.
  • Der Impulserzeuger 78 setzt auch über die Leitung 27 für jeden Meßvorgang den Zeitmesser 80 auf Null zurück, indem dem Rucksetzeingang (Reset)der erste Rechteckimpuls i1 zugeführt wird.
  • Mit den Ausgangssignalen des Impulserzeugers 78 und des Wandlers 48 ist über einen Amplitudenbegrenzer ein hysterescbehafteter Verstärker 39 beaufschlagt. Der Amplitudenbegrenzer 35 weist einen gegenüber der Ausgangsimpedanz des Impulserzeugers 78 hohen Eingangswiderstand 43 auf, dessen Widerstandswert beispielsweise 2 kOhm beträgt, sowie antiparallel geschaltete Dioden 47. Der Eingang des Amplitudenbegrenzers 35 könnte abweichend vom Ausführungsbeispiel, wo er an den Ausgang des Impulserzeugers 78 unmittelbar angeschlossen ist, auch an die Sekundärseite des Transformators 27 und damit unmittelbar an den Wandler 48 angeschlossen sein. Der hysteresebehafteter Verstärker 39 ist beim Ausführungsbeispiel als Komparator ausgebildet, nämlich als mit Widerständen in geeigneter Weise beschalteter Operationsverstärker. Der Verstärker erzeugt bei einer vorgegebenen ersten Polarität seiner Eingangsspannung, nämlich der Polarität des zweiten Impulses 121 beim betragsmäßigen Überschreiten einer oberen Schwelle dieser Eingangsspannung ein Ausgangssignal mit einem ersten logischen Wert, beim Ausführungsbeispiel mit H-Pegel, und beim betragsmäßigen Unterschreiten des Wertes Null dieser Eingangsspannung als untere Schwelle ein Ausgangssignal mit einem zweiten logischen Wert, im Ausführungsbeispiel L-Pegel. Das Ausgangssignal ist als Kurve F in der zweitletzten Teilfigur der Figur 6 dargestellt.
  • In der dritten Teilfigur von Fig. 6 ist der jeweilige Schwellenwert des hysteresebehafteten Verstärkers 39 als Kurve D schematisch angedeutet, wobei jedoch der Maßstab dieses Schwellenwertes zur Verdeutlichung annähernd tausendfach größer als der Maßstab der Kurve C gewählt ist. Im Ruhezustand und während der Erzeugung des ersten Impulses I1 bis zum Beginn des zweiten Impulses I2 wird die einem endlichen Spannungswert entsprechende obere Schwelle des Verstärkers 39 nicht erreicht, so daß dessen Ausgangssignal L-Pegel (Kurve F) hat. Sobald der zweite Impuls I2 die obere Schwelle bei einem Schnittpunkt a erreicht und überschreitet, nimmt das Ausgangssignal F nunmehr H-PegeL an. Dabei ändert sich der für eine Änderung des Ausgangssignals erforderliche Schwellènwert der Eingangsspannung nunmehr auf die Spannung Null als untere Schwelle, was sich durch Beschaltung eines Operationsverstärkers als Komparator sehr genau erzielen läßt. Eine Änderung des Ausgangssignals des Verstärkers 39 auf L-Pegel tritt daher genau dann auf, wenn am Ende des zweiten Impulses I2 dessen Rückflanke im Schnittpunkt b durch Null geht. Dieser Schnittpunkt wird zu einem Zeitpunkt t1 erreicht; die dann im Ausgangs signal (Kurve F) des Verstärkers 39 auftretende Rückflanke wird benutzt, den Zeitmesser 80 in Gang zu setzten, indem dessen Starteingang 43 über ein vorgeschaltetes UND-Glied 47 das Ausgangssignal des Verstärkers 39 zugeführt wird. Der zweite Eingang des UND-Gliedes 47 ist vom Ausgangssignal E des Zeitgebers 31 beaufschlagt, das zu diesem Zeitpunkt H-Pegel hat. Das Ausgangssignal des Verstärkers 39 kann auch über ein weiteres UND-Glied 51 einen Stop-Eingang 55 des Zeitmessers 80 beaufschlagen, jedoch weist das UND-Glied 51 einen invertierenden Eingang auf, der vom Ausgangssignal E des Zeitgebers 31 beauf schlagt ist, und ist daher zum betrachteten Zeitpunkt für Ausgangssignale des Verstärkers 39 nicht durchlässig.
  • Von dem Ingangsetzen des Zeitgebers 80 an zum Zeitpunkt t1 wird die LaufzeitT des in dem Zylinderraum 26 vom Wandler 48 ausgesandten, an der zweiten Stirnseite 28 reflektierten und dann wieder vom Wandler 48 aufgefangenen Ultraschallimpulses erfaßt.
  • Wenn zum Zeitpunkt t1 aufgrund des Nulldurchgangs im Schnittpunkt b am Ende des zweiten Impulses die Erfassung der Laufzeit begonnen hat, so verschiebt sich der Schwellenwert des Verstärkers 39, wie aus dem Verlauf der Kurve D in der dritten Teilfigur der Figur 6 erkennbar ist, wieder auf die obere Schwelle. Je nach dem Verlauf der Schwingungen des nunmehr ausschwingenden, den Wandler 48 umfassenden Schwingkreises kann dabei noch mehrmals die obere Schwelle überschritten bzw. die untere Schwelle unterschritten werden, wie dies durch die Schnittpunkte c, d angedeutet ist. Hierdurch können in dem von der Kurve F dargestellten Ausgangssignal des Verstärkers 39 weitere Impulse auftreten, die in der zweitletzten Teilfigur der Figur 6 ineinerschraffierten Zone z liegen.
  • Diese weiteren Impulse beeinflussen die Laufzeitmessung jedoch wegen des Vorhandenseins des Ausgangssignals E des Zeitgebers 31 nicht im Sinne eines Anhaltens, während ein erneutes Ingangsetzen nach einem ersten erfolgten Ingangsetzen nur nach einem Zurücksetzen über die Leitung 27 möglich ist. Am Ende der Kippzeit T2 des Zeitgebers 31 sind in jedem Fall die Schwingungen des Ausgangssignals des Impulserzeugers 78 vollständig auf Null abgeklungen, so daß der Verstärker 39 seinen Ruhezustand aufweist, bei dem sein Ausgangssignal L-Pegel hat und ein Wechsel des Ausgangssignals auf H-Pegel nur beim betragsmäßigen Überschreiten seiner oberen Schwelle auftritt.
  • Obwohl der Eingang des Amplitudenbegrenzers 35 mit dem Ausgang des Impulserzeugers 78 verbunden ist und daher gleichermaßen von den Spannungen beaufschlagt wird, die das Ausgangssignal des Impulserzeugers 78 bilden, wie von denjenigen, die das Ausgangssignal des Wandlers 48 beim Aufnehmen eines reflektierten Impulses bilden, ist in der dritten Teilfigur der Figur 6 lediglich das Ausgangssignal des Impulserzeugers 78 dargestellt, während das Ausgangssignal des Wandlers 48 in der vierten Teilfigur als Kurve C' dargestellt ist. Das Ausgangssignal des Wandlers 48 hat wesentlich geringere Amplituden als dasjenige des Ausgangssignals des Impulserzeugers 78, weshalb die Kurve C' in annähernd tausendfach größerem Maßstab als die Kurve C wiedergegeben ist. In der vierten Teilfigur der Figur 6 sind die Relativverhältnisse zwischen der Kurve C' und der den Eingangsschwellenwert des hysteresebehafteten Verstärkers 39 darstellenden Kurve D annähernd zutreffend wiedergegeben.
  • Der aufgrund des ersten Impulses I1 im Ausgangssignal des Impulserzeugers 78 vom Wandler 48 ausgesandte und reflektierte Ultraschallimpuls führt zu einem Impuls I1 im Ausgangssignal des Wandlers 48. Dieser erste Impuls i; hat dieselbe Polarität wie der Impuls I1. In entsprechender Weise führt der zweite Impuls I2 im Ausgangssignal des Wandlers 78 zu einem zweiten Impuls I2 gleichen Vorzeichens im Ausgangssignal des Wandlers 48. Der erste Impuls Ij im Ausgangssignal des Wandlers 48 hat eine relativ geringe Amplitude, da der den Wandler §8 umfassende elektrische Schwingkreis sowie der Zylinderraum 26 mit der darin enthaltenen Hydraulikflüssigkeit mit dem Wandler 48 ein Schwingungssystem bilden, das vom zurückkehrenden Ultraschall impuls zunächst erneut angestoßen werden muß. Der zweite Impuls I2 im Ausgangssignal des Wandlers 48 hat gegenüber dem ersten Impuls I1 eine höhere Amplitude, und hierauf folgen noch weitere Impulse, deren Amplituden zunächst zunehmen und sich dann wieder verringern, bis das angeregte System abgeklungen ist. Der erste Impuls I; im Ausgangssignal des Wandlers 48 vermag das Ausgangssignal des hysteresebehafteten Verstärkers 39 nicht zu ändern, da er nicht die erforderliche Polarität aufweist.
  • Der zweite Impuls I' bewirkt beim betragsmäßigen Über-2 schreiten der oberen Schwelle beim Schnittpunkt a', daß das von der Kurve F dargestellte Ausgangssignal des Verstärkers 39 vom L-Pegel auf den H-Pegel wechselt. Danach nimmt der Verstärker 39 als Eingangs-Schwellenwert die Spannung Null als untere Schwelle an. Diese wird vom zweiten Impuls I2 bei dem Nulldurchgang an dessen Ende im Schnittpunkt b' erreicht. Hierbei nimmt das Ausgangssignal des Verstärkers 39 wieder L-Pegel an. Die Rückflanke des damit beendeten Impulses bewirkt über den Stop-Eingang 55 des Zeitmessers 80 dessen Anhalten zu einem Zeitpunkt t2 Zu diesem Zeitpunkt hat nämlich das Ausgangssignal E des Zeitgebers 31 L-Pegel, so daß das Ausgangssignal des Verstärkers 39 vom UND-Glied 21 durchgelassen wird. Die vom Zeitpunkt t1 bis zum Zeitpunkt t2 verflossene und vom Zeitmesser 80 erfaßte Dauer T stellt mit sehr großer Genauigkeit die Laufdauer der Ultraschallimpulse im Zylinderraum 26 dar. Diese Laufdauer T wird von der Steuer- und Datenverarbeitungseinrichtung 94 ausgelesen und mit dem entsprechenden Wert des in gleicher Weise im Referenzraum 563 ermittelten Referenzsignals rechnerisch zu einem Meßsignal verarbeitet, das angezeigt oder zu Regelzwecken weiterverwendet wird.
  • Die vorstehende Beschreibung der Erfassung des Endes der Laufzeit Tmachtdeutlich, daß die Verwendung von zwei aufeinanderfolgenden Ausgangsimpulsen entgegengesetzter Polarität des Impulserzeugers 78 für die Auswertbarkeit des Ausgangssignals des Wandlers 48 von Vorteil ist, da dessen zweiter Impuls I2 eine höhere Amplitude als der erste Impuls I1 aufweist und daher leichter mit einem endlichen Eingangs-Schwellenwert des Verstärkers 39 verglichen werden kann.
  • Grundsätzlich wäre es möglich, der oberen Schwelle des Eingangs-Schwellenwertes des Verstärkers 39 auch die Polarität des ersten Impulses Ii des Impulserzeugers 78 und damit des ersten Impulses I; des Ausgangssignals des Wandlers 48 zu geben, jedoch würde dann der genannte Vorteil nicht ereicht.
  • Selbst in diesem Fall wäre es allerdings zweckmäßig, den Impulserzeuger 78 zur Aussendung zweier aufeinanderfolgender Impulse entgegengesetzten Vorzeichens auszubilden, da dann immer noch der Vorteil erreicht würde, daß am Ende des ersten Impulses I1 ein genauer erfassbarer Nulldurchgang beim Obergang zum zweiten Impuls I2 erhalten wird, als wenn der zweite Impuls I2 nicht folgt.
  • Ein weiterer Vorteil der Anregung durch zwei aufeinanderfolgende Impulse I1 12 entgegengesetzter Polarität liegt darin, daß auf die hierdurch bewirkten beiden Impulse I; 121 im Ausgangssignal des Wandlers 48 weitere Impulse, beispielsweise I3 , Ii von gegenüber den ersten beiden Impulsen I1 , I2 höherer Amplitude folgen. Wenn einmal der zweite Impuls I2 (bzw. bei der oben erwähnten Auswertung des ersten Impul8es I1 dieser) aufgrund ungenügender Amplitudenhöhe oder einer sonstigen Störung nicht zur Erfassung des Endes der Laufzeit T ausgewertet wurde, so wird jedenfalls der übernächste Impuls I4 bzw. I3 eine genügende Amplitudenhöhe aufweisen, um in der beschriebenen Weise einen Impuls im Ausgangssignal des Verstärkers 39 (Kurve F) zu erzeugen, der zur Erfassung des Endes der Laufzeit T ausreicht. Beim Ausführungsbeispiel wird beispielsweise vom Impuls I4 im Schnittpunkt c' die obere Schwelle und beim Schnittpunkt d' die untere Schwelle des Verstärkers 39 überschritten bzw. unterschritten, wodurch dieser einen Ausgangsimpuls erzeugt, und durch den zum Zeitpunkt t3 erfolgenden Nulldurchgang der Rückflanke des Impulses I4 wird wiederum ein den Zeitmesser 80 anhaltendes Stop-Signal erzeugt, das bei nicht vorausgehendem Stop-Signal spätestens zum Anhalten des Zeitmessers 80 führt. In diesem Fall wird zwar die erfaBte Laufdauer T um den zeitlichen Abstand zwischen den Zeitpunkten t2, t3 verfälscht, die der Periodendauer bei der Eigenfrequenz des den Wandler 48 umfassenden schwingungsfähigen Systems entspricht, jedoch ist diese Dauer bei den verwendeten Ultraschallfrequenzen im allgemeinen sehr gering gegenüber der Dauer der Laufzeit T.
  • Die Frequenz der vom ersten Impuls I1 und vom zweiten Impuls I2 im Ausgangssignal des Impulserzeugers 78 gebildeten Schwingung liegt zweckmäßig zwischen 300 kHz und 900 kHz, und insbesondere haben sich Frequenzen um 600 kHz besonders geeignet erwiesen. Hierbei kann einerseits mit relativ unaufwendigen Mitteln eine starke Anregung des Wandlers 48 erfolgen, während andererseits die Frequenz genügend hoch ist, um im Zylinderraum 26 eine einer nur wenig divergierenden Keule entsprechende Strahlungscharakteristik zu erhalten, bei der im aufgenommenen Ultraschallsignal neben den von der Reflektion an der gegenüberliegenden Stirnseite 28 herrührenden Signalanteilen praktisch keine Störsignalanteile enthalten sind, wie sie durch Reflektion an den Zylinderinnenseiten und ggf. außerhalb des Tripelspiegels 50 (Fig. 1 bis3) hervorgerufen werden können. Die Periodendauer der von den Impulsen I1, 12 gebildeten Schwingung, die annähernd der Periodendauer T1 der Rechteck schwingung im Ausgangssignal B des Signalerzeugers 98 entspricht, liegt also in der Größenordnung von 2 gsec.In derselben Größenordnung liegt der zeitliche Abstand der Zeitpunkte t2, t3 in der letzten Teilfigur der Figur 6. Geht man davon aus, daß die Fortpflanzungsgeschwindigkeit von Ultraschall in der verwendeten Hydraulikflüssigkeit bei 1500 m/sec beträgt und der zu messende Abstand 1 m beträgt, so beträgt die zu messende Laufdauer auf dem Hin- und Rückweg von insgesamt 2 m mehr als 1000 Asffic. Demgegenüber bedeutet daher die Erfassung des Endes der Laufzeit T erst zum Zeitpunkt t3 einen Fehler von weniger als 2k , und selbst bei einem zu messenden Abstand von 10 cm liegt der Fehler noch unter 2%.
  • Das Freigabesignal A, das in der obersten Teilfigur der Figur 6 dargestellt ist, hat H-Pegel während einer Dauer, die ausreicht, bei der größten betriebsmäßig einstellbaren Länge des Zylinderraumes 26 und der sich dabei ergebenden Laufzeit vor dem Ende des Freigabesignals A den zurückkehrenden Impuls zu empfangen und auszawerten, ist also zweckmäßig um die beim Aufnehmen des reflektierten Ultraschallimpulses sich erneut ergebende Abklingzeit größer als die maximale Laufzeit'T. Danach wird ein erneutes Freigabesignal A erzeugt, und es wird ein erneuter Meßvorgang in der für den Wandler 48 beschriebenen Weise durchgeführt, nunmehr jedoch für einen anderen Zylinderraum und mittels des dort vorgesehenen Wandlers oder für den Referenzraum 563 mittels des Peferenzwandlers 60. Die dabei ablaufenden Vorgänge spielen sich in analoger Weise ab, wie dies vorstehend für die Laufzeitmessung mittels des Wandlers 48 beschrieben wurde.
  • Eine Ausgestaltung des insbesondere anhand von Fig. 4 bis 6 beschriebenen Verfahrens und der Einrichtung ist dahingehend möglich, daß unmittelbar nach dem zweiten ausgesandten Impuls, der vom zweiten Impuls I2 im Ausgangssignal des Impulserzeugers 78 bewirkt wird, ein dritter Impuls von gleichem Vorzeichen wie der erste Impuls, der dem Impuls I1 entspricht, ausgesandt wird. Hierzu kann beispielsweise der Signalgeber 98 zur Erzeugung eines unmittelbar auf den zweiten Rechteckimpuls i2 (Kurve B in der zweiten Teilfigur der Figur 6) folgenden dritten Rechteckimpulses i3 von gleichem Vorzeichen wie der erste Rechteckimpuls i1 ausgebildet sein; der dritte Rechteckimpuls i3 ist in der zweiten Teilfigur der Figur 6 gestrichelt angedeutet. Durch den ausgesandten dritten Impuls wird vorteilhafterweise eine noch stärkere Anregung des Wandlers 48 und bei entsprechender Bemessung der zeitlichen Länge des dritten Impulses darüberhinaus auch anschließend eine sehr schnelle Dämpfung erzielt. Zum letztgenannten Zweck kann beispielsweise die Länge T1 des dritten Rechteckimpulses i3 annähernd der PeriodendauerT1 der Rechteckschwingung aus den beiden ersten Rechteckimpulsen ii, i2 gleichen. Eine kürzere oder auch längere Dauer des ausgesandten dritten Impulses, der dem dritten Rechteckimpuls 13 entspricht, kann in Anpassung an die jeweiligen Parameter des den Wandler 48 bzw. die übrigen Wandler und Referenzwandler 60 umfassenden schwingungsfähigen Systems zweckmäßig sein. Sofern abweichend vom Ausführungsbeispiel zur Erfassung des Beginns und des Endes der Laufzeit T nicht der zweite ausgesandte Impuls, sondern der erste ausgesandte Impuls verwendet wird, so kann zur stärkeren Anregung und zur anschließenden Dämpfung ein dem ausgesandten Impuls ausschließlich folgender zweiter Impuls von entgegengesetztem Vorzeichen verwendet werden, der gegenüber dem ersten Impuls eine annähernd doppelte Länge hat.
  • Wie bereits erwähnt, wird spätestens beginnend mit der Erfassung des Beginns der Laufzeit T mittels des Ausgangssignals E des Zeitgebers 31 die Auswertung von aufgenommenen Impulsen während der Zeitdauer T2 verhindert, die größer als die Abklingdauer des Wandlers 48 ist. Bei der vorerwähnten Aussendung eines dritten bzw. zweiten Impulses kann die Zeitdauer T2 kürzer gewählt werden, da die beim Aussenden auftretenden Nachschwingungen schneller verschwinden. Es können daher kürzere Abstände zwischen Wandler 48 und gegenüberliegender Stirnseite 28 bzw. Tripelspiegel 50 und entsprechende kürzere Laufzeiten gemessen werden. In diesem Zusammenhang sei erwähnt, daß der Zeitgeber 31 nicht notwendig bereits mit der Vorderflanke des ersten Rechteckimpulses il in Gang gesetzt werden muß, sondern daß es zur Erfüllung seiner Aufgabe genügt, wenn das Ingangsetzen oder Kippen beginnend mit der Erfassung des Beginns der Laufzeit T erfolgt, also wie in der Kurve E in der fünften Teilfigur der Figur 6 gestrichelt angedeutet, zum Zeitpunkt t1. Es würde also beispielsweise genügen, zum Ingangsetzen die Vorder-oder Rückflanke des zweiten Rechteckimpulses 12 oder die Amplitude des vom Impulserzeuger 78 erzeugten ersten Impulses I1 zu verwenden. Die beschriebene Lösung hat jedoch demgegenüber den Vorzug größtmöglicher Sicherheit gegen Störeinflüsse.
  • Fig. 7 zeigt die konstruktive Ausbildung des Wandlers 48; die übrigen vorgesehenen Wandler ebenso wie der oder die vorgesehenen Referenzwandler 60 sind in gleicher Weise ausgebildet. Der Wandler 48 umfaßt einen als Schraubstopfen ausgebildeten Grundkörper 59,der in eine mit Innengewinde versehen Bohrung 63 der Stirnwand 22 eingeschraubt ist. An seinem dem Zylinderraum 26 zugekehrten Ende trägt der Grundkörper 59 in einer Ausnehmung 67 einen plättchenförmigen, aus Keramikmaterial bestehenden, piezoelektrischen Schwinger 71, der in der Ausneig. 67 mittels einer elastischen und elektrisch leitfähigen Kunststofflage 75 gehalten ist.
  • An seinem dem Schwinger 71 abgewandten, sauberen Ende weist der Grundkörper 59 einen umlaufenden Flansch 79 auf, der axial mittels ein{esDichtringes 83 gegenüber der Außenseite der ZylinderWaiid -22, abgedichtet ist.
  • In einer zentralén, mit Innengewinde versehenen Bohrung 87, die sich vom äußeren Ende des Grundkörpers 59 in diesen hineinerstreckt, ist mittels einer Stopfbuchse 91 das Ende der als Koaxialkabel ausgebildeten Leitung 52 gehalten. Deren Innenleiter 95 ist durch einen vom inneren Ende der Bohrung 87 zum äußeren Rand des Schwingers 71 verlaufenden Kanal 99 im Grundkörper 59 isoliert zur freiliegenden Außenseite des Schwingers 71 geführt und mit der dortigen,nicht sichtbaren Elektrode des Schwingers 71 kontaktiert. Die Schrägstellung des Kanals 99 gegenüber der Achse des Grundkörpers 59 bewirkt, daß vom Schwinger 71 über die Kunststofflage 75 in den Grundkörper 59 abgestrahlte Ultraschallschwingungen am Kanal 99 prakt)Ls4ch;nicht zurück zum Schwinger 71 reflektiert werden können und daher keine Störungen in dessen Ausgangssignal erzeugen Die Bohrung 87 endet in für Sacklöcher üblicher Weise stumpfkegelförmig. Hierdurch können auch auf die Grenzfläche zwischen Bohrungsende und Vollmaterial des Grundkörpers 59 fallende, vom Schwinger 71 ausgehenden Ultraschallwellen nicht oder jedenfalls nicht unmittelbar zum Schwinger 71 zurückreflektiert werden, so daß auch insofern eine Störung des Ausgangssignals vermieden wird. Schließlich weist der Grundkörper eine die äußere Mündung der Bohrung 87 konzentrisch umgebende, konische Vertiefung V auf, deren Außehdurchmesser dem Innendurchmesser der Bohrung 63 zumindest annähernd entspricht und deren Kegelwinkel zweckmäßig wie beim Ausführungsbeispiel stumpf ist. An der Grenzfläche zwischen dem Vollmaterial des Grundkörpers 59 und der Vertiefung V reflektierte, vom Schwinger 71 stammende Ultraschallwellen werden hierdurch nach außen in den Flansch 79 derart hineinreflektiert, daß sie vor einer möglichen Rückkehr zum Schwinger 71 vollständig vernichtet werden. Auch hierdurch ist wiederum eine störende Beeinflussung des Ausgangssignals des Wandlers 48 vermieden.

Claims (37)

  1. Patentansprüche Verfahren zur Bestimmung eines Relativabstands zwischen Zylinder und Kolben oder Kolbenstange einer Zylinder-Kolben-Einheit, die einen mit Hydraulikflüssigkeit gefüllten Zylinderraum aufweist, dessen Stirnseiten vom Zylinder und vom Kolben gebildet sind, dadurch gekennzeichnet, daß an einer ersten Stirnseite (24) des Zylinderraumes (26) ein Ultraschallimpuls ausgesandt und nach Reflektion im Bereich der gegenüberliegenden zweiten Stirnseite (28) wieder aufgenommen wird und daß die Laufzeit (T) des Impulses auf dem Hin- und Rückweg gemessen wird.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Aussenden und Aufnehmen auf der vom Zylinder (12) gebildeten Stirnseite (24) erfolgt.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Aussenden und Aufnehmen an derselben Stelle der ersten Stirnseite (24) erfolgt.
  4. 4. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß unmittelbar nacheinander ein erster Impuls und ein zweiter Impuls von gegenüber dem ersten Impuls entgegengesetztem Vorzeichen ausgesandt werden.
  5. 5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß unmittelbar nach dem zweiten Impuls ein dritter Impuls von gleichem Vorzeichen wie der erste Impuls ausgesandt wird.
  6. 6. Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß der letzte mehrerer unmittelbar aufeinanderfolgend ausgesandter Impulse eine größere zeitliche Länge als die übrigen, vorangehenden Impulse und vorzugsweise bei insgesamt drei ausgesandten Impulsen eine der Summe der Längen des ersten und des zweiten Impulses annähernd gleiche Länge hat.
  7. 7. Verfahren nach Anspruch 4 oder nach Anspruch 4 und einem der Ansprüche 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß als Laufzeit (T) die Zeit zwischen dem Nulldurchgang der Rückflanke des ausgesandten zweiten Impulses und dem Nulldurchgang der Rückflanke des aufgenommenen zweiten Impulses gemessen wird.
  8. 8. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ab dem Beginn(tO)des Aussendens des Impulses oder spätestens beginnend mit der Erfassung des Beginns (tal) der Laufzeit (T) die Auswertung von aufgenommenen Impulsen während einer Zeitdauer (T2) verhindert wird, die größer ist als die Abklingdauer des zum Aussenden des Impulses verwendeten Wandlers (48) und die geringer ist als die geringste, bei der geringsten einstellbaren Länge des Zylinderraumes (26) zwischen dessen Stirnseiten (24, 28) auftretende Laufzeit (T).
  9. 9. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die dem Zylinderraum (26) zugeführte Hydraulikflüssigkeit durch einen Referenzraum (56; 561; 562; 563) vorgegebener Länge hindurchgeführt wird, daß an dessen einer Strinseite (58) ein Ultraschallimpuls ausgesandt wird und nach Reflektion im Bereich der gegenüberliegende Stirnseite (62) wieder aufgenommen wird, daß durch Messung der Laufzeit dieses Impulses ein Referenzsignal erzeugt wird und daß das aufgrund der Laufzeit messung im Zylinderraum (26) der Zylinder-Kolben-Einheit (10) erhaltene Meßsignal im Sinne einer Kompensation des Einflusses von Dichteänderungen der Hydraulikflüssigkeit in Abhängigkeit von dem Referenzsignal verändert wird.
  10. 10. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Impulse in vorzugsweise regelmäßigen gegenseitigen Zeitabständen ausgesandt werden, die größer sind als die bei der größten einstellbaren Länge des Zylinderraumes (26) auftretende Laufzeit (T) dieser Impulse, und daß jeweils die Laufzeit (T) gemessen wird, so daß eine Folge von Meßergebnissen erhalten wird.
  11. 11. Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1 bei einer Zylinder-Kolben-Einheit mit einem mit Hydraulikflüssigkeit gefüllten Zylinderraum, dessen Stirnseiten vom Zylinder und Kolben gebildet sind, gekennzeichnet durch einen an einer ersten Stirnseite (24) des Zylinderraumes (26) gehaltenen, elektrischen Ultraschallwandler (48), der bei Beaufschlagung mit einem elektrischen Impuls (I1, 12) einen Ultraschallimpuls abgibt und bei Beaufschlagung mit einem Ultraschallimpuls ein impulsförmiges elektrisches Ausgangssignal (1; , 121 ) abgibt1 einen elektrischen Impulserzeuger (78), mit dessen Ausgang der Ultraschallwandler (48) gekoppelt ist, einen Zeitmesser (80) und eine Steuerschaltung (82), die in Abhängigkeit vom Auftreten eines vorgegebenen Nulldurchgangs (b) eines Impulses (I2) im Ausgangssignal des Impulserzeugers (78) den Zeitmesser (80) in Gang setzt und in Abhängigkeit vom Vorliegen eines vorgegebenen Nulldurchgangs des entsprechenden Impulses (I2 ) im Ausgangssignal des Wandlers (48), der nach dem Impuls (I2) des Ausgangssignals des Impulserzeugers (78) auftritt, den Zeitmesser (80) anhält.
  12. 12. Einrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Impulserzeuger (78) zur Abgabe eines ersten Impulses (I1) und eines unmittelbar darauffolgenden zweiten Impulses (I2) von gegenüber dem ersten Impuls (11) entgegengesetzter Polarität ausgebildet ist.
  13. 13. Einrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Impulserzeuger (78) einen Signalgeber (98) und eine von diesem gesteuerte Ausgangsstufe (11) umfaßt und daß der Signalgeber (98) zur Erzeugung eines ersten Rechteckimpulses (i1) und eines unmittelbar darauffolgenden zweiten Rechteckimpulses (I2) von gegenüber dem ersten Rechteckimpuls (i1) entgegengesetzter Polarität ausgebildet ist.
  14. 14. Einrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß der Signalgeber (98) zur Erzeugung des ersten und zweiten Rechteckimpulses (i1 i2) als Rechteckschwingung ausgebildet ist.
  15. 15. Einrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Frequenz der vom ersten und zweiten Impuls gebildeten Schwingung 300 kHz bis 900 kHz,vorzugsweise annähernd 600 kHz, beträgt.
  16. 16. Einrichtung nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, daß der Wandler (48) einen plättchenförmigen piezoelektrischen Schwinger (71) aufweist, dessen Eigenfrequenz zumindest annähernd 1,4-fach größer als die Frequenz der vom ersten und zweiten Impuls (I1, 12) gebildeten Schwingung ist.
  17. 17. Einrichtung nach Anspruch 13 oder nach Anspruch 13 und einem der Ansprüche 14 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß der Signalgeber (98) zur Erzeugung eines unmittelbar auf den zweiten Rechteckimpuls (i2) folgenden dritten Rechteckimpulses (i3) von gleicher Polarität wie der erste Rechteckimpuls (i1) ausgebildet ist.
  18. 18. Einrichtung nach Anspruch 13 oder nach Anspruch 13 und einem der Ansprüche 14 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß der letzte Rechteckimpuls (i3) mit einer zeitlichen Länge (T1,) erzeugt wird, die größer als die jeweilige zeitliche Länge aller unmittelbar vorangehender Rechteckimpulse (i1, i2) ist und die vorzugsweise bei insgesamt drei erzeugten Rechteckimpulsen (i1 i2, i3) der Summe (T1) der zeitlichen Längen des ersten und zweiten Rechteckimpulses (i1 i2) annähernd gleicht.
  19. 19. Einrichtung nach Anspruch 13 oder nach Anspruch 13 und einem der Ansprüche 14 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgangsstufe (11) zwei mit ihren Hauptstromstrecken in Reihe zwischen ein positives und ein negatives Potential geschaltete, an ihren miteinander verbundenen Basen vom Signalgeber (98) gesteuerte Transistoren (15, 19) aufweist und daß der als Ausgangsanschluß des Impulserzeugers (78) dienende Verbindungspunkt der Hauptstromstrecken dieser Transistoren (15,19) über einen gegenüber der Eingangsimpedanz des Wandlers (48) niederomigen Widerstand (23) an Masse liegt.
  20. 20. Einrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den Ausgang des Impulserzeugers (78) und den Wandler (48) ein vorzugsweise als Spartransformator ausgebildeter Transformator (27) eingeschaltet ist, dessen Seite höherer Spannung mit dem Wandler (48) verbunden ist.
  21. 21. Einrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 20 zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Impulserzeuger (78) jeweils bei Abgabe eines Impulses oder mehrerer unmittelbar aufeinanderfolgender Impulse (111 12). einen vorzugsweise von einem monostabilen Kippglied gebildeten Zeitgeber (31) in Gang setzt, der dann ein Bedingungssignal (E) erzeugt, in Abhängigkeit von dessen Vorliegen der Zeitmesser (80) zur Ingangsetzung freigegeben wird und in Abhängigkeit von dessen Nichtvorliegen der Zeitmesser (80) zum Anhalten freigegeben wird.
  22. 22. Einrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß mit den Ausgangssignalen des Impulserzeugers (78) und des Wandlers (48) vorzugsweise über einen vorgeschalteten Amplitudenbegrenzer (35) ein hysteresebehafteter Verstärker (39) beaufschlagt wird, der bei einer vorgegebenen ersten Polarität seiner Eingangsspannung beim betragsmäßigen Überschreiten einer oberen Schwelle dieser Eingangs spannung ein Ausgangssignal (F) mit einem ersten logischen Wert (H) und beim betragsmäßigen Unterschreiten des Wertes Null dieser Eingangsspannung als untere Schwelle ein Ausgangssignal (F) mit einem zweiten logischen Wert (L) erzeugt und daß das Ingangsetzen und Anhalten des Zeitmessers (80) in Abhängiykeit davon erfolgt, daß im Ausgangssignal (F) des hysteresebehafteten Verstärkers (39) ein Wechsel von dem ersten logischen Wert (H) auf den zweiten logischen Wert (L) auftritt.
  23. 23. Einrichtung nach Anspruch 21 und 22, gekennzeichnet durch eine logische Schaltung (47, 51), mittels derer einem zum Ingangsetzen des Zeitmessers (80) dienenden Starteingang (43) ein Eingangssignal in logischer Abhängigkeit vom Vorliegen des Bedingungssignals (E) und vom logischen Wert des Ausgangssignals (F) des hysteresebehafteten Verstärkers sowie einem zum Anhalten des Zeitmessers (80) dienenden Stoppeingang (55) ein Eingangssignal in logischer Abhängigkeit vom Nichtvorliegen des Bedingungssignals (E) und vom logischem Wert des Ausgangssignals (F) des hysteresebehafteten Verstärkers (39) zuführbar ist.
  24. 24. Einrichtung nach Anspruch 22 oder 23, dadurch gekennzeichnet, daß die vorgeg-bene Polarität der Eingangs spannung des hysteresebehafteten Verstärkers (39) diejenige ist, die diese Eingangsspannung beim zweiten vom Impulserzeuger (78) abgegebenen Impuls (I2) annimmt.
  25. 25. Einrichtung nach einem der Ansprüche 22 bis 24, dadurch gekennzeichnet, daß der hysteresebehaftete Vertärker (39) von einem Komparator gebildet ist.
  26. 26. Einrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 25, dadurch gekennzeichnet, daß in einen mit dem Zylinderraum (26) verbindbaren Strömungsweg der Hydraulikflüssigkeit ein von dieser durchströmter Referenzraum (56; 551; 562; 563) eingeschaltet ist, daß an einer ersten Stirnseite (58) des Referenzraumes (56; 561; 562; 563) ein elektrischer Ultraschall-Referenzwandler (60) gehalten ist, der bei Beaufschlagung mit einem elektrischen Impuls (I1, I2) einen Ultraschallimpuls abgibt und bei Beaufschlagung mit dem an der gegenüberliegenden zweiten Stirnseite (62) des Referenzraumes (56; 561; 562; 563) reflektierten Ultraschallimpuls ein impulsförmiges elektrisches Ausgangssignal (11., I2 ) abgibt, daß mittels eines Umschalters (74) abwechselnd der Wandler (48) und der Referenzwandler (60) mit dem Ausgang des Impulsgebers (78) und dem Eingang der Steuerschaltung (82) gekoppelt werden, daß mittels eines Rechners (46; 461; 462; 94) das.in Abhängigkeit von der Laufzeitmessung im Referenzratum (56; 561; 562; 563) erhaltene Referenzsignal zu einer vorgegebenen Laufdauer in Bezug setzt wird und daß in Abhängigkeit von dem Rechenergebnis ebenfalls mittels des Rechners (46; 461; 462; 94) das Meßsignal im Sinne einer Kompensation des Einflusses von Dichteänderungen der Hydraulikflüssigkeit verändert wird.
  27. 27. Einrichtung nach Anspruch 26, wobei die Zylinder-Kolben-Einheit Teil eines mehrere Zylinder-Kolben-Einheiten umfassenden Hydrauliksystems ist, dadurch gekennzeichnet, daß mittels des Umschalters (74) die in den Zylinder-Kolben-Einheiten (10) vorgesehenen Wandler (48) und mindestens ein Referenzwandler (60) zyklisch mit dem Impulserzeuger (78) und der Steuerschaltung (82) verbunden werden.
  28. 28. Einrichtung nach Anspruch 26 und 27, dadurch gekennzeichnet, daß der Rechner Teil einer Datenverarbeitungseinrichtung (46; 461; 462; 94) ist, die die zyklische Weiterschaltung des Umschalters (14) und nach jeder Weiterschaltung die Auslösung des Impulserzeugers (78) zur Abgabe eines oder mehrer aufeinanderfolgender Impulse (I1, 12) bewirkt und die in Abhängigkeit von den ggf. anhand von Referenzsignalen geänderten Meßsignalen und von ihr vorgegebenen Soll-Relativabständen über Ventile (36; 66, 72; 361) die Verstellung der Zylinder-Kolben-Einheiten (10) steuert.
  29. 29. Einrichtung nach Anspruch 27 oder 28, dadurch gekennzeichnet, daß ein den Zylinder-Kolben-Einheiten (10) gemeinsamer Referenzraum (56; 561) mit einer Ventilanordnung (36; 66) verbunden ist, mittels derer die Zylinderräume (26) wahlweise mit der Druckseite der Pumpe (40) und einer Drucksenke (44) verbindbar sind.
  30. 30. Einrichtung nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, daß die der Ventilanordnung (66) abgewandte Seite des Referenzraumes (561) an ein Umschaltventil (72) angeschlossen ist, mittels dessen es wahlweise mit der Druckseite einer Pumpe (40) und einer Drucksenke (44) verbindbar ist, so daß sowohl bei Druckbeaufschlagung des Zylinderraums (26) als auch bei dessen Entleerung die Hydraulikflüssigkeit den Referenzraum (561) durchströmt.
  31. 31. Einrichtung nach Anspruch 27 oder 28, dadurch gekennzeichnet, daß eine der Anzahl von Zylinder-Kolben-Einheiten (10) gleiche Anzahl von jeweils einer Zylinder-Kolben-Einheit (10)zugeordneten und in ihrer räumlichen Nähe angeordneten Referenzräumen (562) vorgesehen ist.
  32. 32. Einrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 31, dadurch gekennzeichnet, daß im Bereich der zweiten Stirnseite (28) ein Tripelspiegel (50) zum Reflektieren der Ultraschallimpulse vorgesehen ist.
  33. 33. Einrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 32, dadurch gekennzeichnet, daß der Wandler (48) einen als Schraubstopfen ausgebildeten Grundkörper (59) aufweist, an dessen dem Zylinderraum (26) zugewandtem innerem Ende ein plättchenförmiger Schwinger (71) vorzugsweise über eine elastische Zwischenlage (75) getragen ist und an dessen dem.Schwinger (71) gegenüberliegendem äußerem Ende eine Bohrung (87) zur Aufnahme des Endes einer Anschlußleitung (52) vorgesehen ist.
  34. 34. Einrichtung nach Anspruch 33, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Grundkörper (59) ein vom inneren Ende der Bohrung (87) zum Außenrand des Schwingers (71) schräg verlaufender Kanal (99) gebildet ist, durch den hindurch ein Leiter der Anschlußleitung (52) isoliert zur Außenseite des Schwingers (71) geführt ist.
  35. 35. Einrichrung nach Anspruch 33 oder 34, dadurch gekennzeichnet, daß die Bohrung (87) nach Art eines Sackloches kegelförmig endet.
  36. 36. Einrichtung nach einem der Ansprüche 33 bis 35, dadurch gekennzeichnet, daß der Grundkörper (39) an seinem äußeren Ende eine seine Bohrung (87) konzentrisch umgebende, kegelförmige Vertiefung (V) aufweist, deren Mantellinien vorzugsweise einen stumpfen Kegelwinkel einschließen und deren Außendurchmesser vorzugsweise annähernd dem Innendurchmesser der den Grundkörper aufnehmenden Bohrung (63) der Stirnwand (22) des Zylinders (12) gleicht.
  37. 37. Einrichtung nach Anspruch 36, dadurch gekennzeichnet, daß der Grundkörper (59) an seinem äußeren Ende einen auf der AuBenseite der Stirnwand (22) des Zylinders (12) anliegenden, umlaufenden Flansch (83) aufweist und daß die Vertiefung (V) eine derartige Stellung hat, daß von dem Schwinger (61) ausgehende Ultraschallwellen an ihr in den Flansch (83) hineinreflektiertwerden.
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