DE3019683A1 - Zwischenabbildungssystem zur durchfuehrung von kontrastverfahren bei mikroskopen - Google Patents
Zwischenabbildungssystem zur durchfuehrung von kontrastverfahren bei mikroskopenInfo
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Description
Zwischenabbildungssystem zur Durchführung von Kontrastverfahren bei Mikroskopen
Das Zwischenabbildungs syst ein wird zur Kontrastierung·
im Phasenkontrast oder mit polarisiertem Licht arbeitenden Interferenzkontrast von im durchfallenden Licht
nicht absorbierender und im auffallenden Licht gleiches Reflexionsvermögen wie die Umgebung aufweisender organischer
oder anorganischer Objekte verwendet. Es dient vorwiegend als Ergänzungseinheit in Verbindung
mit dazu angepaßten Phasenkontrast- oder Interferenzkontrasteinrichtungen
für Durch- und Auflichtmikroskope, kann aber auch integrierender Bestandteil des Mikroskops
sein. Dabei sind z.B. für Phasenkontrast keine speziellen
Phasenkontrastobjektive erforderlich, sondern die erforderlichen
Phasenringe können in einem von einem Teil des Zwischenabbildungssystem erzeugten Bild der Ob1^ktivp^^pille
angeordnet werden. An gleicher Stelle lassen sich die zur Durchführung des polarisationsoptischen Xnterferenzkontrasts
erforderlichen Wollastonprismen einschieben.
Auf diese ¥eise ist ein schneller Wechsel
zwischen beiden Kontrastarten möglich. Der Erfindungsgegenstand wird vor allem in der Biologie und Medizien,
aber auch in technischen Arbeitsgebieten, wie Chemie und Metallographie, zur Kontrastierung von Phasenobjek-
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ten eingesetzt. Das sind solche mikroskopische Objekte,
die bei normaler Hellfeldbeobachtung nicht oder nur schwach kontrastiert sind.
Die bisher bekanntgewordenen Zwischenabbildungssystene
zur Durchführung von Kontrastverfahren, wie sie z.B. von Gabler /1/, Beyer und Schöppe /2/, Reichert /?/,
Konzian u.a. /k/ angegeben worden sind, bilden bekannterweise
zwar die Objektivpupille in eine zugängliche Ebene ab und sind damit für die Durchführung des Phasenkontrastverfahrens
und anderer mit natürlichem Licht wie z,B, nach /2/ arbeitender Interferenzkontrastverfahren
geeignet, berücksichtigen aber nicht die für den polarisationsoptischen Interferenzkontrast zu erfüllende
Bedingung, daß bei der Pupillenabbildung aus linear polarisiertem Licht wieder angenähert linear
polarisiertes Licht entsteht. Das wird durch beliebige Reflexion an den Umlenkelementen verhindert. In /1/
wird bei einem Auflichtmikroskop für Phasenkontrast mit
Hilfe einer Beleuchtungslinse und nach Reflexion am Illuininatorspiegel zunächst in der Objektivpupille ein
1. Bild der Ringblende und nach Reflexion am Objekt an der gleichen Stelle ein 2, Bild der Ringblende und
schließlich durch den 1. Teil des Zwischenabbildungssystems ein 3» Bild der Ringblende erzeugt, wo das
Phasenplättchen angeordnet wird. Schließlich bilden
Objektiv und Zwisehenabbildungssysteni das Objekt in der
Feldblende des Okulars ab. Mit der in /2/ beschriebenen Anordnung für Durch- und Auflichtmikroskope erfolgt durch
das Zwischenabbildungssystem die Abbildung der Objektivpupille
in eine Ebene, in der, entweder gekoppelt nit einem Interferometer oder einem Phasenkontrasteinsatz,
interferenzoptische oder phasenoptische Modulatoren,
wie Glaskeile, Blenden oder Phasenplättchen, angeordnet werden können. Ein zugängliches Zwisehenbild der
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Objektebene erlaubt die Einführung weiterer Meßeleuente, wie
Halbschattenplatten, Meßskalen usw..Durch den 2, Teil des
Zwischenabbildungssystei is wird dieses Zwischenbild in die
Feldebene des Okuars abgebildet.
In /3/ und /h/ wird ein Zwischenabbildungssysten für
Durch- und Auf licht! lütroskope beschrieben, j:.!it den es möglich
ist, in einen Zwischenbild der Pupille zur Kontrastierung optische Blenente, wie Phasenplättchen, Tfollastonprisnen
und in einer:: Zwischenbild der Objektebene in wesentlichen für ließswecke verschiedene Strichfiguren anzuordnen
oder nach dort einziispiegeln. Da jedoch keine
liaßnahnen vorgesehen sind, uv., die lineare Polarisation
des Lichts von der Objektivpupille bis -zv. ihren Zwischenbild
zu erhalten, raiß eine ernste Störung der mit Hilfe
der VollastonprisLien durchzuführenden polarisationsoptischen
Kontrastierung in Kauf genommen werden. Merstallinger gibt in /5/ ein Zwischenabbildungssystem
an, daß die genannte Polarisationsbedingung durch die Forderung erfüllt, daß das Zwischenbild der Objektivpupille
noch vor dem ersten reflektierenden Element entsteht. Dieser Vorschlag ist aber konstruktiv sehr
ungünstig, da bei einem dafür aufzuwendenden erträglichen Korekktionsaufwand eine gewisse liindestlänge erforderlich
ist, die entweder zu einer nicht vertretbaren Einblickhöhe führt oder, wie am Beispiel dargestellt,
ein aufwendiges und konstruktiv ungünstiges ürilenksystem
erforderlich macht, das den Beobachtungsstrahlengang wieder einem in normaler Einblickhöhe liegenden
Beobachtungstubus zuführt.
Es soll eine Einrichtung geschaffen werden, die es ermöglicht mit Hellfeldobjektiven für normale oder große
Felder und hoher Bildqualität sowohl Phasenkontrast als auch polarisationsoptischen Interferenzkontrast
durchzuführen und von einer zur anderen BeobaehtungSi-
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art schnell umzuschalten, wie es für viele mikroskopische
Untersuchungen, insbesonder von lebenden Objekten wünschenswert ist und außerdem den Nachteil, der
von Merstallinger angegebenen Lösung aufhebt. Es werden mit Hilfe eines Zwischenabbildungssystems
optimale Bedingungen für die Kontrastierung mikroskopischer Phasenobjekte in Phasenkontrast und polarisationsoptischen
Interferenzkontrast tinter Verwendung von Hellfeldobjektiven für normale und große Felder geschaffen,
wobei die für eine gute Interferenzkontrastabbildung
einzuhaltende Polarisationsbedingung erfüllt, wird, daß das in der Objektivpupille linear polarisierte
Licht in den vom Zwischenabbildungssystem erzeugten Zxvischenbild der Objektivpupille als nahezu linear polarisiertes
Licht ankommt. So ist z.B. bei der polarisationsoptischen Interferenzkontrastabbildung die Zerlegung
des auf das aus doppelbrechendem Material bestehende beleuchtungsseitige liollastonprisma fallende linear
polarisierte Licht in seine senkrecht zueinander schwingende, jede für sich linear polarisierte ordentliche
und außerordentliche Komponente wesentlich. Beide verlassen das Wollastonprisma um einen geringen
Betrag lateral versetzt. Im abbildungsseitigen Wollastonprisma,
das beim Erfindungsgegenstand im Bild oder in
der Nähe des Bildes der Objektivpupille und damit innerhalb des Zwischenabbildungssystems liegt, werden die
beiden Komponenten xirieder zu einem Strahl vereinigt,
exakt aber nur dann, wenn sie als linear polarisiertes Licht beim abbildungsseitigen tfollastonprisma ankommen.
Aus der theoretischen Optik ist bekannt, daß bei der Totalreflexion an einer Glasoberfläche zwischen parallel
und senkrecht zur Einfallsebene schwingenden Strahlenkomponenten
eine vom Einfallwinkel P^ und der Brechzahl
des Glases η abhängige Phasendifferenz cf auf-
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tritt.
Es gilt: „/ = oos
n2
. 2
sxn
ist für den Achsenstrahl bei 90° Ablenkung
9 g 5.
Damit wird bei η = J 3 q/■=. 60°, so daß nach dreimaliger
Reflexion die Phasendifferenz 18O° beträgt und die
Resultierende aus beiden Strahl enlcompon en ten wieder in der gleichen Ebene wie vorher schwingt, also linear
polarisiert ist. Dieser Effekt wird schon seit ffahrzehnten
in einem Prisma mit dreifacher Reflexion, dem sog. Berek-Prisnxa /6/, zur Beleuchtung bei Auflicht-Polarisationsinikroskopen
ausgemitzt. Er wird durch zweckmäßigen Aufbau eines Zwischenabbildungssystems zur Erfüllung
der Polarisationsbedingungen verwandt, indem die dreimalige Reflexion auf drei zwischen Objektivpupille
und Pupillenbild gelegene einzelne totalreflefctierende
Prismen verteilt wird. Eine ähnliche Wirkung wird mit vier Prismen
erreicht, wenn η (u.U. auch V*) so verändert wird, daß^= k-5
ist. In manchen Fällen kann es zweckmäßig sein, die Schwingungsrichtung der Strahlkomponenten drireh Einschalten einer polarisationspptischen
A/2- Platte um 90° zu drehen, wenn z.B. wegen Drehung der Einfallsebene von einem zum folgenden Prisma
der an einer reflektierenden Fläche ordentliche Strahl an der folgenden Fläche zum außerordentlichen und der außerordentliche
zttm ordentlichen und somit die aus diesen beiden Reflexionen
resultierende Phasendifferenz null wicd. Durch die λ/2- Plafcte
wird erreicht, daß auch in diesem Teil der ordentliche Strahl ordentlicher und der außerordentliche Strahl
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außerordentlicher bleiben.
Da die auf die Prismenflachen einfallenden abbildenden
Strahlen etwas ΐΐηΐβΓβοηχβαΙίοΙη.ε Neigung haben und deshalb
die reflektierenden Flächen mit unterschiedlichen Einfallswinkeln erreichen, ist die Phasendifferenz
nicht für alle Strahlen gleich, und es ist für die außeraxialen Strahlen mit einer geringen Elliptizität
des polarisierten Lichts zu rechnen, die aber im Extremfall nicht mehr als 1"j beträgt und in der Praxis
kaum stört. Da die Öffnungswinkel der abbildenden Lichtbündel an den verschiedenen Flächen im allgemeinen
unterschiedlich sind, ist außerdem eine Optimierung durch Prismen unterschiedlicher Brechzahl möglich.
Anhand, der Abbildung soll an zwei Ausführungsbeispielen
für Durchlichtbeobachtung die Erfindung erläutert werden. Das von der nicht gezeichnenten Lichtquelle kommende
ι Ο
Lichtbündel 1 wird durch den unter 45 zum belexicn.-tungsseitigen
¥ollastonprii:'sa orientierten Polarisator
2 linear polarisiert und im beleuchtringsseitigen WollastonprisKia 3 in die ordentliche und außerordentliche
Komponente zerlegt, die senkrecht zueinander schwingen.
Nach Passieren des Kondensors '+ gehen beide Teilbündel
um einen geringen Betrag lateral versetzt durch die Objektebene 5>
passieren dasObjektiv 6, die durch ein Strichkreuz angedeutete Objektivpupille 7 und
werden an der voll verspiegelten Fläche 9 des aus zwei verkitteten rechtwinkligen Prismen bestehenden Glaswürfels
3 reflektiert. Da die Komponenten mit ihrer Schwingungsriehtung senkrecht bzw. parallel zur Einfallsebene
auf die Fläche 9 treffen, bleibt die lineare Polarisation für beide erhalten. An den Prismen 10, 13 und
14, die aus Glas mit der angenäherten Brechzahl η ^ ^3 ΐ)β-stehen,
werden beide Teilbündel totalreflektiert. Zwischen den
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parallel und senkrecht zur Einfallsebene schwingenden Komponenten jedes Teilbündels tritt dabei eine Phasendifferenz
von U Ss 6O° auf, so daß am Prisma 10 aus dem
linear polarisierten Licht elliptisch polarisiertes wird. Da der gleiche Vorgang an den Prismen I3 und 1k stattfindet,
summiert sich die genannte Phasendifferenz und
beträgt an dem durch Strichkreur^ angedeuteten, vom Linsensystem
11 erzeugten Pupillenbild 16 180 , so daß dort wieder linear polarsiertes Licht entsteht. Es treten
also zwei um einen geringen Betrag lateral versetzte, senkrecht zueinander schwingende und im allgemeinen
einen geringen Gan^nterschied aufweisende Teilbündel
in das abbildungsseitige TiTollastonprisma I5 ein und
treten räumlich vereinigt wieder saxs. Der senkrecht oder parallel zum Polarisator 2 orientierte Analysator
17 läßt nur die in seiner Durchlaßrichtung schwingenden
Koirponenten der beiden senkrecht zueinander schwingende Teilbündel passieren, die miteinander interferieren. Das
vom Objektiv 6 und Linsensystem 11 erzeugte Zwischenbild
12 des in der Objektivebene 5 gelegenen Objektes, in den für Meßzwecke Strichplatten oder andere
MaiJderungen eingeführt werden können, wird vom Linsensystem
18 über das Prisma 19 und die voll verspiegelte Fläche 9 in die in Richtung 20 gelegene, nicht gezeichnete
Feldblende des Olculars kontrastiert abgebildet. Die Brechzahl des Glases von Prisma 19 ist dabei unwesentlich.
Prisma I9 kann auch durch eine andere verspiegelte Fläche
ersetzt werden.
Ein weiteres Ausführungsbeispiel betrifft die Möglichkeit mit h Totalreflexionen mit Glasprismen niedrigerer
Brechzahl auszukommen. Die Anordnung entspricht der in der Abbildung dargestellten, es werden jedoch die voll
verspiegelte Fläche 9 durch eine dünne Luftschicht
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"S 0,01 mm und die totalreflektierenden Prismen S,
10, 13 und Ik durch Prismen aus Glas mit einer
Brechzahl η £=1,554 ersetzt. Dann entsteht an jeder
C . 0
Fläche bei ^ = 45 Einfallswinkel eine Phasendifferenz von i/W 45°. Da jedoch die Einfalls eben en der reflektierenden Flächen der Prismen 9 und 10 gedreht sind, wird die nach 9 ordentliche bei 10 außerordentliche Komponente und umgekehrt, so daß sich die Phasendifferenzen gegenseitig aufheben. Diese Schwierigkeit läßt sich durch Einfügen einer polarisationsoptischen X/2- Platte beheben, da diese die Schwingungsrichtung um 90 dreht, so daß sich die bei Reflexion an den vier genannten Prismen entstehenden Phasendifferenzen addieren und im Pupillenbild wieder linear polarisiertes Licht entsteht.
Fläche bei ^ = 45 Einfallswinkel eine Phasendifferenz von i/W 45°. Da jedoch die Einfalls eben en der reflektierenden Flächen der Prismen 9 und 10 gedreht sind, wird die nach 9 ordentliche bei 10 außerordentliche Komponente und umgekehrt, so daß sich die Phasendifferenzen gegenseitig aufheben. Diese Schwierigkeit läßt sich durch Einfügen einer polarisationsoptischen X/2- Platte beheben, da diese die Schwingungsrichtung um 90 dreht, so daß sich die bei Reflexion an den vier genannten Prismen entstehenden Phasendifferenzen addieren und im Pupillenbild wieder linear polarisiertes Licht entsteht.
Durch Variation der Anordnung der reflektierenden Elemente
und der abbildenden Systeme sind weitere Varianten möglich. Insbesondere kann durch unterschiedliche
Brechzahlen der totalreflektierenden Prismen eine Optimierung hinsichtlich der von Prisma zu Prisma sich ändernden
Offnungswinkel der abbildenden Strahlenbündel erfolgen.
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BAD ORIGINAL
/1/ Gabler, F. u.R.Hitsche
/Ζ/ Beyer, H. u. Schöppe G.
/3/ Reichert C.
/4/ Kenzian A. ,
K.-P. Schindl, Oboughton
/5/ Merstallinger K. ■a. K.-P. Schindl
/6/ Berek II. Zeitschrift "Arch. f. Eisenhütterrw.
" 23 (1952) 145-150
Das Auflicht-Phasenkontrastmikroskop
und seine Anwendung in der Metallographie" DDR-Pat. 53 890, Kl. 42ΓΙ, 38
Int.Kl.G 02b Anm. h. 8, 6h
"Einrichtung für Phasenr-iessungen an mikroskopische Objekten"
DB-GM 7 Ihh 093, Kl. ^2Ii 1^-01
Int.Cl. G 02b 21-00, Anm.
23. 11. 71
"Mikroskop mit einerc für Durchlicht- und Aufliehtuntersuchungen
eingerichteten Grundkörper" Oe-Pat. 314 222, Kl. 42h, 14-01,
Int. Cl. G 02b 21/24 "Mikroskop mit einem für Durch— licht- und Auflichtuntersuchungen
eingerichteten Grundkörper" Oe-Pat. 333 052, Kl. 42h, 012/02
Int. Cl. G 02b 021/13 Anm. 4. 4. 73
Optische Anordnung für Mikroskope"
Zeitschrift "Instrumentenkunde" 55 (1930) 11. 1, s. 1 "Ein Prisma für 90°-Ablenkung"
Zeitschrift "Instrumentenkunde" 55 (1930) 11. 1, s. 1 "Ein Prisma für 90°-Ablenkung"
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030049/0869
BAD ORIGINAL
Claims (5)
1. ZWischenabbi^^ingssysten zur Durchführung von Kontarast
verfahr en bei MikxOskopen, das in den Strahlengang
gebracht wird lind nit Hilfe reflektierender
Elemente und der Abbildungsoptik zugängliche Zwischenbilder der Objektebene und der Objektivpupille
erzeugt in denen für Heßzwecke verschiedene Strichfiguren
angeordnet oder eingespiegelt werden können bzw, arts tauschbare Kontrastierungseleriente, wie
Ph.asenplättchen und Ivollastonprisnen, vorgesehen
sind, dadurch gekennzeichnet, daß die reflektierenden
Elemente und die Abbildungsoptik, die zur Durchführung des polarisationsoptischen J'ontrastverfahrens
notwendige Bedingung erfüllt wird, daß das in der Objektivpupille linear polarisierte Licht
wieder als angenähert linear polarisiertes Licht ir!
Zwischenbild der Objektivpupille ankonn.it.
2. Zwischenabbildungssystem nach Punkt 1, dadttrch gekennzeichnet,
daß zwischen Objektivpupille und dem
Zwischenbild der Objektivpupille das Licht dreimal
an Glasprismen der Brechzahl vn n-OiJj'totalreflektiert
wird.
3. Zwischenabbildunssystem nach Anspruch? ,dadurch gekennzeichnet,
daß zwischen Objektivpupille und Zwischen
bild der Objektivpupille das Licht viermal an Glasprismen der Brechzahl von n?=- 1,55^· totalreflektiert
wird.
' Zwischenabbildungssysteiu nach Anspruch 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß zur Drehung der Polarisationsebene eine polarisationsoptische p. /2- Platte
vorgesehen ist.
5. Zwischenabbildungssystem nach Anspruch 1 bis k, dadtirch
gekennzeichnet, daß die Brechzahlen der totalreflektierenden
Prismen unterschiedlich sind.
030049/0869 ORIGINAL INSPECTED
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---|---|
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DE19803019683 Withdrawn DE3019683A1 (de) | 1979-05-28 | 1980-05-23 | Zwischenabbildungssystem zur durchfuehrung von kontrastverfahren bei mikroskopen |
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---|---|
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Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09152555A (ja) * | 1995-11-29 | 1997-06-10 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡光学系 |
WO2008047893A1 (fr) | 2006-10-19 | 2008-04-24 | Olympus Corporation | Microscope |
DE102007004333A1 (de) | 2007-01-29 | 2008-07-31 | Carl Zeiss Microimaging Gmbh | Optische Anordnung zur Phasenkontrast-Beobachtung |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AT314222B (de) * | 1970-11-27 | 1974-03-25 | Reichert Optische Werke Ag | Mikroskop mit einem für Durchlicht- und Auflichtuntersuchungen eingerichteten Grundkörper |
AT333052B (de) * | 1973-04-04 | 1976-11-10 | Reichert Optische Werke Ag | Optische anordnung fur mikroskope |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AT277610B (de) * | 1966-04-27 | 1969-12-29 | Leitz Ernst Gmbh | Mikroskop mit auswechselbaren Zusatz-Einrichtungen |
DE2062469A1 (de) * | 1970-12-18 | 1972-06-29 | Zimmer AG Planung und Bau v. Industrieanlagen, 6000 Frankfurt | Vorrichtung zum Fördern, Mischen und Homogenisieren eines hochviskosen Materials |
GB1392446A (en) * | 1971-06-07 | 1975-04-30 | Vickers Ltd | Microscopes |
-
1979
- 1979-05-28 DD DD21316479A patent/DD143183B1/de not_active IP Right Cessation
-
1980
- 1980-05-23 FR FR8011528A patent/FR2458088A1/fr not_active Withdrawn
- 1980-05-23 SU SU807771193A patent/SU1125592A1/ru active
- 1980-05-23 GB GB8017044A patent/GB2055223B/en not_active Expired
- 1980-05-23 DE DE19803019683 patent/DE3019683A1/de not_active Withdrawn
- 1980-05-27 AT AT281780A patent/AT386082B/de not_active IP Right Cessation
- 1980-05-28 JP JP7023380A patent/JPS55157712A/ja active Pending
- 1980-05-28 PL PL22456180A patent/PL224561A1/xx unknown
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AT314222B (de) * | 1970-11-27 | 1974-03-25 | Reichert Optische Werke Ag | Mikroskop mit einem für Durchlicht- und Auflichtuntersuchungen eingerichteten Grundkörper |
AT333052B (de) * | 1973-04-04 | 1976-11-10 | Reichert Optische Werke Ag | Optische anordnung fur mikroskope |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
DE-B.: Hell. d. Mikroskopie von H. Beyer, VEB-Verlag Technik Berlin, 1973, S. 303,304,313 u. 314 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
PL224561A1 (de) | 1981-02-13 |
AT386082B (de) | 1988-06-27 |
GB2055223B (en) | 1984-02-08 |
FR2458088A1 (fr) | 1980-12-26 |
GB2055223A (en) | 1981-02-25 |
DD143183A1 (de) | 1980-08-06 |
JPS55157712A (en) | 1980-12-08 |
SU1125592A1 (ru) | 1984-11-23 |
DD143183B1 (de) | 1983-03-30 |
ATA281780A (de) | 1987-11-15 |
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