DE3012178C2 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein optisches
Abbildungssystem zur Abbildung eines Strahlenbündels
eines Halbleiterlasers gemäß dem Oberbegriff von
Patentanspruch 1.
Ein solches Abbildungssystem ist bekannt (JP-OS 52-24 542).
Ein derartiges Abbildungssystem dient zur Abbildung eines
von einem Halbleiterlaser abgegebenen Strahlenbündels als
Abbildungslichtfleck auf einer Abbildungsfläche. Ein
Halbleiterlaser weist für die von ihm ausgehenden
Lichtstrahlen in einer Ebene, die parallel zur P-N-
Übergangsfläche verläuft, und in einer Ebene, die senk
recht zu der P-N-Übergangsfläche verläuft, unterschiedliche
Divergenzursprungspunkte und Divergenzwinkel auf.
Dies ist eine Folge des inneren Aufbaus des
Halbleiterlasers selbst und insbesondere der Tatsache,
daß die Form der Fläche des lichtaussendenden Abschnittes
des Halbleiterlasers nicht wie bei einem Gaslaser kreis
förmig, sondern rechteckig ist.
Der Abstand zwischen den beiden Divergenzursprungspunkten
wird auch als astigmatische Differenz bezeichnet. Es ver
steht sich, daß dann, wenn ein solches Strahlenbündel
mittels eines allein aus sphärischen Linsen bestehenden
Abbildungssystems abgebildet wird, die Bilder der beiden
Divergenzursprungspunkte in Richtung der optischen Achse
ebenfalls einen Abstand voneinander haben, da die
Strahleneinschnürungen in den beiden betrachteten Ebenen
einen Lageunterschied aufweisen. Wenn auf der
Abbildungsfläche ein möglichst kreisförmiger, scharf
fokussierter Abbildungslichtfleck erzeugt werden soll,
ist es deshalb notwendig, für einen Ausgleich der unter
schiedlichen Divergenzursprungspunkte und unterschiedlichen
Divergenzwinkel zu sorgen.
Das optische Abbildungssystem gemäß der gattungsbildenden
JP-OS 52-24 542 erreicht dies, indem das erste Linsen
system das Strahlenbündel mit Hilfe von Zylinderlinsen in
ein Strahlenbündel paralleler Lichtstrahlen umwandelt,
das einen kreisförmigen Querschnitt hat. Ein derartiges
Strahlenbündel kann dann mittels des zweiten Linsen
systems in einfacher Weise auf der Abbildungsfläche
fokussiert werden. Die Kurvenradien der Zylinderlinsen
sind unterschiedlich und ihre Längsachsen stehen senk
recht aufeinander. Um mittels dieses bekannten optischen
Abbildungssystems die Bilder der zwei unterschiedlichen
Divergenzursprungspunkte in einem einzigen Punkt zur
Deckung zu bringen, muß während des Justierens des
optischen Abbildungssystems derselben Einstellvorgang
zweimal in bezug auf die beiden zueinander senkrechten
Richtungen bzw. Ebenen durchgeführt werden. Dies ist ein
mühseliger Vorgang; vor allem aber können die
Einstellungen nicht voneinander unabhängig durchgeführt
werden: Durch die Justierung für die eine Richtung bzw.
Ebene kann das gesamte Abbildungssystem für die andere
Richtung bzw. Ebene wieder dejustiert werden, so daß die
Justierung insgesamt sehr aufwendig ist.
Zudem ist die astigmatische Differenz nicht konstant,
sondern von Halbleiterlaser zu Halbleiterlaser unter
schiedlich. Dabei ist die astigmatische Differenz nicht
nur bei Lasern mit unterschiedlichem Aufbau unterschied
lich, sondern auch bei Lasern desselben Aufbaus hängt sie
von den einzelnen Fertigungschargen ab. Somit setzt der
Ausgleich der astigmatischen Differenz durch ein optisches
Abbildungssystem die Änderung des optischen
Abbildungssystems für die einzelnen Halbleiterlaser oder
eine Einstellmöglichkeit des optischen Abbildungssystems
voraus. Dies erhöht die Anforderungen an das optische
Abbildungssystem, die Kosten und den Platzbedarf. Zudem
kann sogar bei ein und demselben Halbleiterlaser die
astigmatische Differenz durch den Strom geändert werden.
Andererseits besteht jedoch in den Fällen, in denen der
Halbleiterlaser beispielsweise für die Bildaufzeichnung
oder eine Anzeigeeinheit benutzt wird - anders als in dem
Fall, daß er für einen Interferenzversuch benutzt wird -
keine unbedingte Notwendigkeit, die Bilder der beiden
verschiedenen Divergenzursprungspunkte zur Deckung zu
bringen. Hierbei interessiert im wesentlichen die Form
des Abbildungslichtflecks und die Intensität am Maximum
der Intensitätsverteilung über der Fläche des Abbildungs
lichtflecks. Diese Intensität am Maximum der Intensitäts
verteilung wird im folgenden als Spitzenintensität
bezeichnet. Bei derartigen Anwendungsfällen ist ein
Abbildungssystem, wie es durch die JP-OS 52-24 542 bekannt
ist, wesentlich zu aufwendig und kostenintensiv.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das gattungsge
mäße optische Abbildungssystem derart weiterzubilden, daß
in der Abbildungsfläche in einfacher Weise und ohne
Ausgleich für die Lageunterschiede der beiden Divergenz
ursprungspunkte eine maximale Spitzenintensität erzielbar
ist.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch das optische
Abbildungssystem gemäß Patentanspruch 1 gelöst.
Die beiden Linsensysteme des erfindungsgemäßen
Abbildungssystems weisen sphärische Linsen auf, die ver
glichen mit Zylinderlinsen in wesentlich einfacherer
Weise einbaubar und ausrichtbar sind. Das Abbildungs
system ist derart ausgebildet, daß die Lage der
Strahleinschnürung für diejenigen Lichtstrahlen, die in
einer zur Ebene des P-N-Übergangsbereichs senkrechten
Ebene verlaufen und somit einen großen Divergenzwinkel
haben, im wesentlichen mit dem Ort der Abbildungsfläche
zusammenfällt. Das erste Linsensystem hat eine solche
Brennweite und einen solchen Radius der Austrittspupille,
daß eine maximale Spitzenintensität erreicht wird, obwohl
die Lage der Strahleinschnürung derjenigen Lichtstrahlen,
die in der Ebene des P-N-Übergangsbereichs verlaufen,
mehr oder weniger von der Lage der Abbildungsfläche
abweicht.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den
Zeichnungen dargestellt und werden im folgenden näher
erläutert. Es zeigt
Fig. 1A und 1B schematisch die Lichtemission eines
Halbleiterlasers;
Fig. 2 eine schematische Darstellung eines Abbildungs
systems zur Erläuterung der Grundlagen der Erfindung;
Fig. 3 schematisch die Beziehung zwischen dem Divergenz
winkel eines Strahlenbündels und der Intensitäts
verteilung desselben;
Fig. 4 eine schematische Seitenansicht des erfindungsge
mäßen optischen Abbildungssystems; und
Fig. 5 und 6 ein Ausführungsbeispiel eines Abtast-
Aufzeichnungsgerätes, bei dem das erfindungsgemäße optische
Abbildungssystem angewendet ist.
Fig. 1 zeigt einen Halbleiterlaser 1, der ein
divergierendes Strahlenbündel 3 aussendet. Fig. 1A zeigt den
Halbleiterlaser 1 von oben in einer x-z-Ebene und Fig. 1B den Halbleiter
laser 1 von der Seite in einer x-y-Ebene. Der Halbleiterlaser 1 hat einen
P-N-Übergangsbereich 2. Der Lichtemissionspunkt bzw. Divergenzursprungspunkt des
Strahlenbündels 3 für eine Richtung parallel zu dem Übergangs
bereich (im folgenden Querrichtung genannt) ist mit 4
und der Divergenzursprungspunkt für eine Richtung senk
recht zu dem Übergangsbereich (im folgenden Längsrichtung
genannt) ist mit 5 bezeichnet. Der Divergenzur
sprungspunkt 4 in Querrichtung ist von der Austritts
fläche des Halbleiterlasers entfernt, während der Divergenzursprungs
punkt 5 in Längsrichtung nahe der Austrittsfläche
gelegen ist. Der Abstand zwischen beiden Divergenzursprungs
punkten wird als astigmatische Differenz bezeichnet, wofür hier
das Symbol As benutzt wird.
Bei dem in Fig. 2 gezeigten optischen Abbildungssystem ist
der Abstand zwischen dem Lichtemissionspunkt eines
Halbleiterlasers und dem vorderen Hauptpunkt H einer
Linse 6Z₀₁ und der Abstand zwischen dem hinteren Haupt
punkt der Linse und der bildseitigen Strahleinschnürung Z₁₂.
Ist U₀ (x₀, y₀) die Amplitudenverteilung des Laser
lichts im Lichtemissionspunkt (da dies ein Strahlein
schnürungspunkt ist, tritt keine Phasendifferenz auf),
so ist die Amplitudenverteilung in der Ebene der Ein
trittpupille der Linse gegeben durch
Hierbei ist , x₁ und y₁ sind die Koordinaten in
der Ebene der Eintrittspupille. Die Integration wird
über die gesamte Lichtemissionsebene ausgeführt. Zur
Vereinfachung der Diskussion soll die obige Formel auf
eine Dimension reduziert werden. Sie schreibt sich dann
als
Diese Reduzierung ist möglich, da der lichtemmittierende
Abschnitt des Halbleiterlasers ein Rechteck bildet.
Sind die beiden zueinander orthogonalen Richtungen die x- und die
y-Richtung und wird eine Variablentrennung durchge
führt, so können die beiden Variablen unabhängig in
bezug auf diese beiden Richtungen behandelt werden.
Nimmt man an, daß unter Verwendung der so erhaltenen
Amplitudenverteilung U₁ (x₁) durch die Linse 6 ein
Lichtfleck auf der Abbildungsfläche (diese Fläche hat
einen Abstand Z₁₂) entworfen wird, so ist die Ampli
tudenverteilung U₂ (x₂) auf dieser Fläche gegeben durch
Hierbei ist f die Brennweite der Linsen 6 und R (x₁)
die Pupillenfunktion der Linse 6.
Mit dem Radius a der Eintrittspupille gilt für
die Pupillenfunktion
Definiert ist
Daraus läßt sich die folgende Beziehung zwischen ξ und dem Abstand As erhalten:
Unter Verwendung der Gleichungen (2) und (3)
erhält man mit einer numerischen Rechnung ein optisches
Abbildungssystem, durch das die Mittelpunkts- oder Spitzenintensität im Abbil
dungslichtfleck auf der Abbildungsfläche maximal wird. Im folgenden soll ange
nommen werden, daß das optische Abbildungssystem aus zwei optischen
Teilsystemen, nämlich einem vom Halbleiterlaser her gesehen
ersten, sphärischen Linsensystem und
einem zweiten, sphärischen Linsensystem, besteht,
und daß das erste Linsensystem
eine kollimierende Funktion
hat, durch die der divergierende Lichtstrahl
aus der Lichtquelle in einem im wesentlichen parallelen
Lichtstrahl umgewandelt wird.
Als optimales optisches Abbildungssystem wird ein solches bezeichnet, bei
dem die Spitzenintensität im Abbildungslichtfleck
maximal ist.
Um ein solches optimales optisches System zu erhalten,
können bei einer numerischen Berechnung der Gleichung (2)
die das optische Abbildungssystem bestimmenden Größen
(Brennweite, Blendenzahl, usw.) als Parameter variiert
und die jeweiligen Änderungen in der Spitzenintensität ermittelt
werden. Es ist jedoch gefunden worden, daß die
Gleichung (2) durch eine angenäherte Gleichung ersetzt werden
kann, bei deren Lösung in der Praxis keine Probleme auf
treten, so daß ein optimales optisches Abbildungssystem analy
tisch errechnet werden kann.
Zu diesem Zweck wird die zunächst mit der Amplituden
verteilung U₀ (x₀) im Lichtemissionspunkt vorgenommene
Beschreibung in eine Fernfeldverteilung umgewandelt.
Hierzu wird eingeführt
BS (x₁) stellt die Amplitudenverteilung in
der Eintrittspupillenebene des Abbildungssystems dar.
Diese Umwandlung beruht auf der Tatsache, daß die
Messung der Amplitudenverteilung U₀ (x₀) am Licht
emissionspunkt im allgemeinen sehr schwierig und
ungenau ist, da dieser gewöhnlich Abmessungen in der Größenordnung
von wenigen µm hat. Weiter ist es sehr schwierig, einen
zutreffenden Wert zu erhalten, da das Meßergebnis durch die
Beugung im Meßsystem beeinflußt wird. Wird deshalb
statt der Amplitudenverteilung am Lichtemissionspunkt die
Fernfeldverteilung genommen, so kann die Messung leicht
und genau ohne ein zwischengeschaltetes optisches
System und mit einem verringerten Fehler durchgeführt
werden.
Aus diesem Grund wird die Gleichung (2) umge
schrieben in
Ist die Mode der Lichtquelle die Grundmode TEM₀₀, so
ergibt die Gleichung (4) eine Gaussverteilung:
In dieser Gleichung ist BS die Abkürzung für Strahl-
Verbreiterung und W1x der Abstand von der Bündel- bzw. Strahlachse, bei dem die Inten
sität auf 1/e² abgefallen ist (siehe Fig. 3).
Setzt man die Gleichung (4′) in die Gleichung (5)
ein, so kann man die Gleichung (2) wie folgt durch
Größen ausdrücken, die leicht zu messen sind.
R (x₁) kann man nach einer hermiteschen Funktion ent
wickeln:
Hierbei ist
Mit wa ist die Breite der Basis der hermiteschen
Gauß-Funktion bezeichnet.
Das hermitesche Polynom n′ter Ordnung Hn (ζ) ist bei
spielsweise gegeben durch:
H₀ (ζ) = 1
H₁ (ζ) = 2ζ
H₂ (ζ) = 4ζ²-2
H₃ (ζ) = 8ζ³-12ζ
H₁ (ζ) = 2ζ
H₂ (ζ) = 4ζ²-2
H₃ (ζ) = 8ζ³-12ζ
Führt man die Entwicklung nach orthogonalen Funktionen
Rn(x₁) durch, so kann der Entwicklungskoeffizient Bn
folgendermaßen berechnet werden:
Aufgrund von Rechnungen im Rahmen der Erfindung ist Bn gegeben durch
B₀ = 0.9428
B₁ = 0
B₂ = 2.51×10-4
B₃ = 0
B₁ = 0
B₂ = 2.51×10-4
B₃ = 0
Es hat sich gezeigt, daß Bn so gewählt werden kann,
daß praktisch nur B₀ relevant ist.
Damit ist gemeint, daß, wenn R(x₁) nach orthogonalen
Funktionen Rn(x₁) entsprechend Gleichung (7) entwickelt
wird, eine ausreichende Genauigkeit erhalten wird, wenn
nur das Entwicklungsglied mit n=0 berücksichtigt wird.
Damit erhält man aus Gleichung (6)
Diese Gleichung kann analytisch integriert werden und
man erhält:
Hierbei ist
R₀ ist der Winkel von der Strahl- bzw. Bündelachse (z-Richtung)
aus gemessene Winkel (Fig. 3), bei dem die Intensität
des Laserlichts auf den Bruchteil 1/e² der Spitzenintensität abge
fallen ist, wenn das Laserlicht auf eine Ebene projiziert
wird:
Die Spitzenintensität I(x₂=0)≡I₀ ist gegeben durch
Geht man wieder zu einer zweidimensionalen
Beschreibung über, so erhält man für die Spitzenintensität
I₀
Hierbei ist
w1x = fcsin R0x
w1y = fcsin R0y
w1y = fcsin R0y
αx, αy: Vignettierungskoeffizient in x- bzw. y-Richtung
fc: Brennweite des ersten, kollimierend wirkenden Linsensystems
fc: Brennweite des ersten, kollimierend wirkenden Linsensystems
Sy = 0
a: Radius der Austrittspupille des ersten Linsensystems
a: Radius der Austrittspupille des ersten Linsensystems
Damit kann die Spitzenintensität I₀ folgendermaßen
allein mit fc als Variablen geschrieben werden:
Die Brennweite fc, für die I₀ maximal wird, erhält man aus
woraus sich ergibt
(αxt+1) (1-αx · αy · t²) + Sx² = 0
Hierbei ist
t = fc²
Bei Verwendung der Lösung
erhält man, wenn S=0 oder S klein ist:
γ ist eine dimensionslose Konstante, die den Wert
γ≈1 hat. Wenn der Einfluß der höheren Ordnungen
der Entwicklung in Rechnung gestellt, so kann man für γ einen
Wert zwischen 0,8 und 1,2 annehmen. In der Praxis ist
es sinnvoll γ im Bereich von 0,7 bis 1,4 zu wählen.
Ist R0x = 8.5°, R0y = 22.5° und As 0, a = 2.2 mm
Wird das Strahlenbündel eines Halbleiterlasers mit den
vorstehend beschriebenen Eigenschaften mit einem Abbil
dungssystem abgebildet, dessen erstes kollimierendes Linsensystem
einem Austrittspupillenradius von 2,2 mm hat,
so wird die Spitzenintensität des Abbildungslichtflecks
maximiert.
R0x = 8.5° R0y = 22.5° As = 10 µm λ = 0.8 µm a = 2.2 mm
αx = 4.38×10-3
αy = 0.037
Sx = 0.858
αy = 0.037
Sx = 0.858
⇒ fc² = 99.9 ⇒ fc = 10 mm
R0x = 8.5° R0y = 22.5° As = 0 λ = 0.8 µm a = 3 mm
αx = 2.35×10-3
αy = 0.0158
Sx = 0
⇒ fc² = 164.11 fc = 12.8 mm
αy = 0.0158
Sx = 0
⇒ fc² = 164.11 fc = 12.8 mm
R0x = 8.5° R0y = 22.5° As = 10 µm λ = 0.8 µm a = 3 mm
αx = 2.35×10-3
αy = 0.0158
Sx = 0.858
fc² = 164.11 (1+0.266) = 207.7
⇒ fc = 14.4 mm
αy = 0.0158
Sx = 0.858
fc² = 164.11 (1+0.266) = 207.7
⇒ fc = 14.4 mm
Fig. 4 zeigt den Aufbau eines optischen Abbildungssystems
gemäß den Beispielen 1 bis 4. Mit 1 ist ein Halbleiter
laser, mit 7 ein erstes optisches Linsensystem, das
eine kollimierende Wirkung hat, mit 8 ein zweites optisches
Linsensystem, mit 9 eine Abbildungsfläche
(beispielsweise eine Aufzeichnungsoberfläche oder eine
Abtastfläche) und mit 10 ein Abbildungslichtfleck
bezeichnet.
Durch die Verwendung eines ersten optischen Linsen
systems mit einer Brennweite, wie sie in den
Beispielen erhalten wurde, ist es möglich, ein sogenanntes
optimales optisches Abbildungssystem zu schaffen, das die Spitzenintensität
in dem Abbildungslichtfleck maximiert.
Fig. 5 und 6 zeigen ein Anwendungsbeispiel, bei
dem das optische Abbildungssystem bei einem Laserstrahl-Drucker
angewendet wird. Das von einem Halbleiterlaser 1 ausge
sandte Strahlenbündel wird durch das Linsensystem 7 kolli
miert, von einem Polygonspiegel 12 abgelenkt und durch das
zweite Linsensystem 8 mit einer f-R-Abbildungscharak
teristik auf einer photoempfindlichen Trommel 11 abge
bildet. Der Teil des vom Polygonspiegel 12 abgelenkten
Strahles, der eine andere Fläche der photoempfindlichen
Trommel als die eigentliche Abtastfläche abtastet,
wird über einen Spiegel 13 mit einem Photodetektor 14
gemessen. Das von dem Detektor 14 gemessene Signal wird
dazu benutzt, die Modulationssignale für den Halbleiter
laser 1 zu überprüfen und die Intensität des Abtast
strahles zu messen. Die photoempfindliche Trommel weist
prinzipiell einen elektrisch leitfähigen Träger,
eine photoleitfähige Schicht und eine Isolier
schicht auf. In Fig. 6 ist mit 21 eine ein elektrophoto
graphisches Verfahren verwendete Aufzeichnungseinheit
und mit 22 eine optische Vorrichtung bezeichnet, die
den prinzipiellen Aufbau gemäß Fig. 5 hat und
den mit den aufzuzeichnenden
Informationen modulierten Laserstrahl für die Aufzeich
nungseinheit 21 liefert. Die Isolier
schicht der photoempfindlichen Trommel 11 wird gleich
förmig mit positiver oder negativer Polarität durch
eine erste Sprühentladungsvorrichtung 23 aufgeladen, um
hierdurch Ladungen der zu der Aufladungspolarität entge
gengesetzten Polarität an der Grenzfläche zwischen der
photoleitenden Schicht und der Isolierschicht oder im
Inneren der photoleitenden Schicht zu binden. Anschließend
trifft ein Laserstrahl 24 auf die aufgeladene Isolier
schicht auf; gleichzeitig wird eine Wechselstrom
sprühentladung mittels einer Wechselstromsprühent
ladungsvorrichtung an die Isolierschicht angelegt, so daß
hierdurch auf der Isolierschicht ein Muster entsprechend
der Oberflächenpotentialdifferenz gebildet wird,
die sich entsprechend dem hell/dunkel-Muster des Laser
strahls 24 bildet. Anschließend wird die Isolierschicht
gleichförmig mit Licht aus einer Lampe 26 beleuchtet,
um ein elektrostatisches Bild hohen Kontrastes auf der
Isolierschicht zu bilden. Das elektrostatische Bild
wird in ein sichtbares Bild durch eine Entwicklungsvor
richtung 27 mittels eines Entwicklers umgewandelt, der
hauptsächlich aus aufgeladenen Tonerteilchen besteht.
Anschließend passiert das sichtbare Bild eine Vorent
ladung 28 und wird auf ein Übertragungsmedium 29, bei
spielsweise Papier, mittels einer Übertragungseinrichtung
30 übertragen. Das Papier 29 wird von
der photoempfindlichen Trommel 11 durch eine Trennvor
richtung 36 abgelöst und wird das übertragene Bild durch
eine Fixiervorrichtung 31 fixiert, die eine Infrarot
lampe oder eine Wärmeplatte verwendet, so daß ein elek
trophotographisch gedrucktes Bild entsteht. Nach der
Bildübertragung wird die Isolierschicht mit einer Reini
gungsvorrichtung 32 gereinigt, um noch auf ihr verblie
bene geladene Teilchen zu entfernen. Damit kann die
photoempfindliche Trommel 11 erneut verwendet werden.
Mit 33 ist eine Papierführungsrolle bezeichnet.
Das durch die Papierführungsrolle 33 geführte Papier 29
wird zwischen Rollen 34 und 35 geklemmt und zu der Bild
übertragungsstation durch die Rollen 34 und 35 aufgrund
einer Führungsanweisung transportiert.
Das vorstehend beschriebene optische Gerät ist
besonders vorteilhaft in Geräten mit einer hohen
Tönungssteilheit.
Wie vorstehend beschriebenen, weist das
optische Abbildungssystem
mit einem Halbleiterlaser zwei Linsensysteme auf. Das näher bei der Licht
quelle gelegene Linsensystem mit einer Brennweite fc
kollimiert das aus dem Halbleiterlaser austretende Strahlen
bündel. Die Spitzenintensität im Abbildungslichtfleck
wird durch Optimierung des Wertes von fc erreicht.
Dadurch, daß das optische Abbildungssystem in zwei Teilsysteme
geteilt wird und der Lichtstrahl zwischen den beiden
Teilsystemen im wesentlichen afokal ist, ist man bei
der Wahl des Abstandes zwischen dem Halbleiterlaser und der
Abbildungsfläche frei. Diese Freiheit bei der
Abstandswahl ermöglicht es, das optische Abbildungssystem
ohne Schwierigkeiten in optischen Vorrichtungen zu den ver
schiedensten Zwecken einzusetzen.
Bei dem vorliegenden optischen Abbildungssystem wird die
Optimierung der Spitzenintensität durch Anpassen der
Brennweite des ersten optischen Linsensystems
erreicht. Theoretisch kann die Optimierung der Spitzen
intensität natürlich auch durch Anpassen der optischen
Konstanten des zweiten optischen Linsensystems
erzielt werden. Wird jedoch das optische Abbildungssystem in
optischen Vorrichtungen mit anderen Aufgaben eingesetzt -
beispielsweise, wenn es mit einem Ablenksystem kombiniert
wird, wie es in optischen Abtastsystemen benutzt
wird -, so sind die Wahlmöglichkeiten für den optischen
Konstanten des zweiten optischen Linsensystems oft
beschränkt. Dementsprechend ist es oft der Fall, daß
die optischen Konstanten, die die Spitzenintensität
optimieren, nicht für das zweite optische Linsensystem
geeignet sind. Deshalb ist es zweckmäßig, daß zum
Erzielen der Spitzenintensität das erste optische Linsen
system benutzt wird.
Claims (3)
1. Optisches Abbildungssystem zur Abbildung eines
Strahlenbündels eines Halbleiterlasers auf einer
Abbildungsfläche, wobei das vom Halbleiterlaser in
z-Richtung angegebene Strahlenbündel für Lichtstrahlen, die
in einer vom P-N-Übergangsbereich des Halbleiterlasers
definierten, sich in x- und z-Richtung erstreckenden
Ebene verlaufen, und für Lichtstrahlen, die in einer
senkrechten dazu, sich in y- und z-Richtung erstreckenden
Ebene verlaufen, unterschiedliche Divergenzursprungs
punkte und Divergenzwinkel aufweist und wobei das
zwischen dem Halbleiterlaser und Abtastfläche angeordnete
optische Abbildungssystem ein erstes, näherungsweise
kollimierendes Linsensystem und ein zweites Linsensystem
für die Abbildung umfaßt,
dadurch gekennzeichnet,
daß das erste (7) und das zweite Linsensystem (8) sphärische Oberflächen aufweisen und daß die Brennweite fc des ersten Linsensystems (7) folgender Bedingung genügt: wobei γ eine dimensionslose Konstante, αx ein Vignettierungskoeffizient in x-Richtung, αy ein Vignettierungskoeffizient in y-Richtung, λ die Wellen länge des vom Halbleiterlaser abgegebenen Lichtes, As der Abstand zwischen den Divergenzursprungspunkten des Halbleiterlasers, Rox der Winkel zwischen x- und z-Richtung, bei dem die Intensität des Strahlenbündels in der Austrittspupillenebene des ersten Linsensystems auf den Bruchteil 1/e² abgefallen ist, Rox der entsprechende Winkel zwischen y- und z-Richtung und a der Radius der Austrittspupille des ersten Linsensystems ist.
daß das erste (7) und das zweite Linsensystem (8) sphärische Oberflächen aufweisen und daß die Brennweite fc des ersten Linsensystems (7) folgender Bedingung genügt: wobei γ eine dimensionslose Konstante, αx ein Vignettierungskoeffizient in x-Richtung, αy ein Vignettierungskoeffizient in y-Richtung, λ die Wellen länge des vom Halbleiterlaser abgegebenen Lichtes, As der Abstand zwischen den Divergenzursprungspunkten des Halbleiterlasers, Rox der Winkel zwischen x- und z-Richtung, bei dem die Intensität des Strahlenbündels in der Austrittspupillenebene des ersten Linsensystems auf den Bruchteil 1/e² abgefallen ist, Rox der entsprechende Winkel zwischen y- und z-Richtung und a der Radius der Austrittspupille des ersten Linsensystems ist.
2. Optisches Abbildungssystem nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß zwischen dem ersten und dem zweiten
Linsensystem (7 bzw. 8) eine Ablenkvorrichtung (12)
angeordnet ist.
3. Optisches Abbildungssystem nach Anspruch 2, dadurch
gekennzeichnet, daß die Ablenkvorrichtung (12) ein
Polygonspiegel ist und daß das zweite Linsensystem (8)
eine f-R-Abbildungscharakteristik hat.
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