DE3012178C2 - - Google Patents

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Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein optisches Abbildungssystem zur Abbildung eines Strahlenbündels eines Halbleiterlasers gemäß dem Oberbegriff von Patentanspruch 1.
Ein solches Abbildungssystem ist bekannt (JP-OS 52-24 542).
Ein derartiges Abbildungssystem dient zur Abbildung eines von einem Halbleiterlaser abgegebenen Strahlenbündels als Abbildungslichtfleck auf einer Abbildungsfläche. Ein Halbleiterlaser weist für die von ihm ausgehenden Lichtstrahlen in einer Ebene, die parallel zur P-N- Übergangsfläche verläuft, und in einer Ebene, die senk­ recht zu der P-N-Übergangsfläche verläuft, unterschiedliche Divergenzursprungspunkte und Divergenzwinkel auf. Dies ist eine Folge des inneren Aufbaus des Halbleiterlasers selbst und insbesondere der Tatsache, daß die Form der Fläche des lichtaussendenden Abschnittes des Halbleiterlasers nicht wie bei einem Gaslaser kreis­ förmig, sondern rechteckig ist.
Der Abstand zwischen den beiden Divergenzursprungspunkten wird auch als astigmatische Differenz bezeichnet. Es ver­ steht sich, daß dann, wenn ein solches Strahlenbündel mittels eines allein aus sphärischen Linsen bestehenden Abbildungssystems abgebildet wird, die Bilder der beiden Divergenzursprungspunkte in Richtung der optischen Achse ebenfalls einen Abstand voneinander haben, da die Strahleneinschnürungen in den beiden betrachteten Ebenen einen Lageunterschied aufweisen. Wenn auf der Abbildungsfläche ein möglichst kreisförmiger, scharf fokussierter Abbildungslichtfleck erzeugt werden soll, ist es deshalb notwendig, für einen Ausgleich der unter­ schiedlichen Divergenzursprungspunkte und unterschiedlichen Divergenzwinkel zu sorgen.
Das optische Abbildungssystem gemäß der gattungsbildenden JP-OS 52-24 542 erreicht dies, indem das erste Linsen­ system das Strahlenbündel mit Hilfe von Zylinderlinsen in ein Strahlenbündel paralleler Lichtstrahlen umwandelt, das einen kreisförmigen Querschnitt hat. Ein derartiges Strahlenbündel kann dann mittels des zweiten Linsen­ systems in einfacher Weise auf der Abbildungsfläche fokussiert werden. Die Kurvenradien der Zylinderlinsen sind unterschiedlich und ihre Längsachsen stehen senk­ recht aufeinander. Um mittels dieses bekannten optischen Abbildungssystems die Bilder der zwei unterschiedlichen Divergenzursprungspunkte in einem einzigen Punkt zur Deckung zu bringen, muß während des Justierens des optischen Abbildungssystems derselben Einstellvorgang zweimal in bezug auf die beiden zueinander senkrechten Richtungen bzw. Ebenen durchgeführt werden. Dies ist ein mühseliger Vorgang; vor allem aber können die Einstellungen nicht voneinander unabhängig durchgeführt werden: Durch die Justierung für die eine Richtung bzw. Ebene kann das gesamte Abbildungssystem für die andere Richtung bzw. Ebene wieder dejustiert werden, so daß die Justierung insgesamt sehr aufwendig ist.
Zudem ist die astigmatische Differenz nicht konstant, sondern von Halbleiterlaser zu Halbleiterlaser unter­ schiedlich. Dabei ist die astigmatische Differenz nicht nur bei Lasern mit unterschiedlichem Aufbau unterschied­ lich, sondern auch bei Lasern desselben Aufbaus hängt sie von den einzelnen Fertigungschargen ab. Somit setzt der Ausgleich der astigmatischen Differenz durch ein optisches Abbildungssystem die Änderung des optischen Abbildungssystems für die einzelnen Halbleiterlaser oder eine Einstellmöglichkeit des optischen Abbildungssystems voraus. Dies erhöht die Anforderungen an das optische Abbildungssystem, die Kosten und den Platzbedarf. Zudem kann sogar bei ein und demselben Halbleiterlaser die astigmatische Differenz durch den Strom geändert werden.
Andererseits besteht jedoch in den Fällen, in denen der Halbleiterlaser beispielsweise für die Bildaufzeichnung oder eine Anzeigeeinheit benutzt wird - anders als in dem Fall, daß er für einen Interferenzversuch benutzt wird - keine unbedingte Notwendigkeit, die Bilder der beiden verschiedenen Divergenzursprungspunkte zur Deckung zu bringen. Hierbei interessiert im wesentlichen die Form des Abbildungslichtflecks und die Intensität am Maximum der Intensitätsverteilung über der Fläche des Abbildungs­ lichtflecks. Diese Intensität am Maximum der Intensitäts­ verteilung wird im folgenden als Spitzenintensität bezeichnet. Bei derartigen Anwendungsfällen ist ein Abbildungssystem, wie es durch die JP-OS 52-24 542 bekannt ist, wesentlich zu aufwendig und kostenintensiv.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das gattungsge­ mäße optische Abbildungssystem derart weiterzubilden, daß in der Abbildungsfläche in einfacher Weise und ohne Ausgleich für die Lageunterschiede der beiden Divergenz­ ursprungspunkte eine maximale Spitzenintensität erzielbar ist.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch das optische Abbildungssystem gemäß Patentanspruch 1 gelöst.
Die beiden Linsensysteme des erfindungsgemäßen Abbildungssystems weisen sphärische Linsen auf, die ver­ glichen mit Zylinderlinsen in wesentlich einfacherer Weise einbaubar und ausrichtbar sind. Das Abbildungs­ system ist derart ausgebildet, daß die Lage der Strahleinschnürung für diejenigen Lichtstrahlen, die in einer zur Ebene des P-N-Übergangsbereichs senkrechten Ebene verlaufen und somit einen großen Divergenzwinkel haben, im wesentlichen mit dem Ort der Abbildungsfläche zusammenfällt. Das erste Linsensystem hat eine solche Brennweite und einen solchen Radius der Austrittspupille, daß eine maximale Spitzenintensität erreicht wird, obwohl die Lage der Strahleinschnürung derjenigen Lichtstrahlen, die in der Ebene des P-N-Übergangsbereichs verlaufen, mehr oder weniger von der Lage der Abbildungsfläche abweicht.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und werden im folgenden näher erläutert. Es zeigt
Fig. 1A und 1B schematisch die Lichtemission eines Halbleiterlasers;
Fig. 2 eine schematische Darstellung eines Abbildungs­ systems zur Erläuterung der Grundlagen der Erfindung;
Fig. 3 schematisch die Beziehung zwischen dem Divergenz­ winkel eines Strahlenbündels und der Intensitäts­ verteilung desselben;
Fig. 4 eine schematische Seitenansicht des erfindungsge­ mäßen optischen Abbildungssystems; und
Fig. 5 und 6 ein Ausführungsbeispiel eines Abtast- Aufzeichnungsgerätes, bei dem das erfindungsgemäße optische Abbildungssystem angewendet ist.
Fig. 1 zeigt einen Halbleiterlaser 1, der ein divergierendes Strahlenbündel 3 aussendet. Fig. 1A zeigt den Halbleiterlaser 1 von oben in einer x-z-Ebene und Fig. 1B den Halbleiter­ laser 1 von der Seite in einer x-y-Ebene. Der Halbleiterlaser 1 hat einen P-N-Übergangsbereich 2. Der Lichtemissionspunkt bzw. Divergenzursprungspunkt des Strahlenbündels 3 für eine Richtung parallel zu dem Übergangs­ bereich (im folgenden Querrichtung genannt) ist mit 4 und der Divergenzursprungspunkt für eine Richtung senk­ recht zu dem Übergangsbereich (im folgenden Längsrichtung genannt) ist mit 5 bezeichnet. Der Divergenzur­ sprungspunkt 4 in Querrichtung ist von der Austritts­ fläche des Halbleiterlasers entfernt, während der Divergenzursprungs­ punkt 5 in Längsrichtung nahe der Austrittsfläche gelegen ist. Der Abstand zwischen beiden Divergenzursprungs­ punkten wird als astigmatische Differenz bezeichnet, wofür hier das Symbol As benutzt wird.
Bei dem in Fig. 2 gezeigten optischen Abbildungssystem ist der Abstand zwischen dem Lichtemissionspunkt eines Halbleiterlasers und dem vorderen Hauptpunkt H einer Linse 6Z₀₁ und der Abstand zwischen dem hinteren Haupt­ punkt der Linse und der bildseitigen Strahleinschnürung Z₁₂.
Ist U₀ (x₀, y₀) die Amplitudenverteilung des Laser­ lichts im Lichtemissionspunkt (da dies ein Strahlein­ schnürungspunkt ist, tritt keine Phasendifferenz auf), so ist die Amplitudenverteilung in der Ebene der Ein­ trittpupille der Linse gegeben durch
Hierbei ist , x₁ und y₁ sind die Koordinaten in der Ebene der Eintrittspupille. Die Integration wird über die gesamte Lichtemissionsebene ausgeführt. Zur Vereinfachung der Diskussion soll die obige Formel auf eine Dimension reduziert werden. Sie schreibt sich dann als
Diese Reduzierung ist möglich, da der lichtemmittierende Abschnitt des Halbleiterlasers ein Rechteck bildet. Sind die beiden zueinander orthogonalen Richtungen die x- und die y-Richtung und wird eine Variablentrennung durchge­ führt, so können die beiden Variablen unabhängig in bezug auf diese beiden Richtungen behandelt werden.
Nimmt man an, daß unter Verwendung der so erhaltenen Amplitudenverteilung U₁ (x₁) durch die Linse 6 ein Lichtfleck auf der Abbildungsfläche (diese Fläche hat einen Abstand Z₁₂) entworfen wird, so ist die Ampli­ tudenverteilung U₂ (x₂) auf dieser Fläche gegeben durch
Hierbei ist f die Brennweite der Linsen 6 und R (x₁) die Pupillenfunktion der Linse 6. Mit dem Radius a der Eintrittspupille gilt für die Pupillenfunktion
Definiert ist
Daraus läßt sich die folgende Beziehung zwischen ξ und dem Abstand As erhalten:
Unter Verwendung der Gleichungen (2) und (3) erhält man mit einer numerischen Rechnung ein optisches Abbildungssystem, durch das die Mittelpunkts- oder Spitzenintensität im Abbil­ dungslichtfleck auf der Abbildungsfläche maximal wird. Im folgenden soll ange­ nommen werden, daß das optische Abbildungssystem aus zwei optischen Teilsystemen, nämlich einem vom Halbleiterlaser her gesehen ersten, sphärischen Linsensystem und einem zweiten, sphärischen Linsensystem, besteht, und daß das erste Linsensystem eine kollimierende Funktion hat, durch die der divergierende Lichtstrahl aus der Lichtquelle in einem im wesentlichen parallelen Lichtstrahl umgewandelt wird. Als optimales optisches Abbildungssystem wird ein solches bezeichnet, bei dem die Spitzenintensität im Abbildungslichtfleck maximal ist.
Um ein solches optimales optisches System zu erhalten, können bei einer numerischen Berechnung der Gleichung (2) die das optische Abbildungssystem bestimmenden Größen (Brennweite, Blendenzahl, usw.) als Parameter variiert und die jeweiligen Änderungen in der Spitzenintensität ermittelt werden. Es ist jedoch gefunden worden, daß die Gleichung (2) durch eine angenäherte Gleichung ersetzt werden kann, bei deren Lösung in der Praxis keine Probleme auf­ treten, so daß ein optimales optisches Abbildungssystem analy­ tisch errechnet werden kann.
Zu diesem Zweck wird die zunächst mit der Amplituden­ verteilung U₀ (x₀) im Lichtemissionspunkt vorgenommene Beschreibung in eine Fernfeldverteilung umgewandelt.
Hierzu wird eingeführt
BS (x₁) stellt die Amplitudenverteilung in der Eintrittspupillenebene des Abbildungssystems dar.
Diese Umwandlung beruht auf der Tatsache, daß die Messung der Amplitudenverteilung U₀ (x₀) am Licht­ emissionspunkt im allgemeinen sehr schwierig und ungenau ist, da dieser gewöhnlich Abmessungen in der Größenordnung von wenigen µm hat. Weiter ist es sehr schwierig, einen zutreffenden Wert zu erhalten, da das Meßergebnis durch die Beugung im Meßsystem beeinflußt wird. Wird deshalb statt der Amplitudenverteilung am Lichtemissionspunkt die Fernfeldverteilung genommen, so kann die Messung leicht und genau ohne ein zwischengeschaltetes optisches System und mit einem verringerten Fehler durchgeführt werden.
Aus diesem Grund wird die Gleichung (2) umge­ schrieben in
Ist die Mode der Lichtquelle die Grundmode TEM₀₀, so ergibt die Gleichung (4) eine Gaussverteilung:
In dieser Gleichung ist BS die Abkürzung für Strahl- Verbreiterung und W1x der Abstand von der Bündel- bzw. Strahlachse, bei dem die Inten­ sität auf 1/e² abgefallen ist (siehe Fig. 3).
Setzt man die Gleichung (4′) in die Gleichung (5) ein, so kann man die Gleichung (2) wie folgt durch Größen ausdrücken, die leicht zu messen sind.
R (x₁) kann man nach einer hermiteschen Funktion ent­ wickeln:
Hierbei ist
Mit wa ist die Breite der Basis der hermiteschen Gauß-Funktion bezeichnet.
Das hermitesche Polynom n′ter Ordnung Hn (ζ) ist bei­ spielsweise gegeben durch:
H₀ (ζ) = 1
H₁ (ζ) = 2ζ
H₂ (ζ) = 4ζ²-2
H₃ (ζ) = 8ζ³-12ζ
Führt man die Entwicklung nach orthogonalen Funktionen Rn(x₁) durch, so kann der Entwicklungskoeffizient Bn folgendermaßen berechnet werden:
Aufgrund von Rechnungen im Rahmen der Erfindung ist Bn gegeben durch
B₀ = 0.9428
B₁ = 0
B₂ = 2.51×10-4
B₃ = 0
Es hat sich gezeigt, daß Bn so gewählt werden kann, daß praktisch nur B₀ relevant ist.
Damit ist gemeint, daß, wenn R(x₁) nach orthogonalen Funktionen Rn(x₁) entsprechend Gleichung (7) entwickelt wird, eine ausreichende Genauigkeit erhalten wird, wenn nur das Entwicklungsglied mit n=0 berücksichtigt wird.
Damit erhält man aus Gleichung (6)
Diese Gleichung kann analytisch integriert werden und man erhält:
Hierbei ist
R₀ ist der Winkel von der Strahl- bzw. Bündelachse (z-Richtung) aus gemessene Winkel (Fig. 3), bei dem die Intensität des Laserlichts auf den Bruchteil 1/e² der Spitzenintensität abge­ fallen ist, wenn das Laserlicht auf eine Ebene projiziert wird:
Die Spitzenintensität I(x₂=0)≡I₀ ist gegeben durch
Geht man wieder zu einer zweidimensionalen Beschreibung über, so erhält man für die Spitzenintensität I₀
Hierbei ist
w1x = fcsin R0x
w1y = fcsin R0y
αx, αy: Vignettierungskoeffizient in x- bzw. y-Richtung
fc: Brennweite des ersten, kollimierend wirkenden Linsensystems
Sy = 0
a: Radius der Austrittspupille des ersten Linsensystems
Damit kann die Spitzenintensität I₀ folgendermaßen allein mit fc als Variablen geschrieben werden:
Die Brennweite fc, für die I₀ maximal wird, erhält man aus
woraus sich ergibt
xt+1) (1-αx · αy · t²) + Sx² = 0
Hierbei ist
t = fc²
Bei Verwendung der Lösung
erhält man, wenn S=0 oder S klein ist:
γ ist eine dimensionslose Konstante, die den Wert γ≈1 hat. Wenn der Einfluß der höheren Ordnungen der Entwicklung in Rechnung gestellt, so kann man für γ einen Wert zwischen 0,8 und 1,2 annehmen. In der Praxis ist es sinnvoll γ im Bereich von 0,7 bis 1,4 zu wählen.
Beispiel 1
Ist R0x = 8.5°, R0y = 22.5° und As 0, a = 2.2 mm
Wird das Strahlenbündel eines Halbleiterlasers mit den vorstehend beschriebenen Eigenschaften mit einem Abbil­ dungssystem abgebildet, dessen erstes kollimierendes Linsensystem einem Austrittspupillenradius von 2,2 mm hat, so wird die Spitzenintensität des Abbildungslichtflecks maximiert.
Beispiel 2
R0x = 8.5° R0y = 22.5° As = 10 µm λ = 0.8 µm a = 2.2 mm
αx = 4.38×10-3
αy = 0.037
Sx = 0.858
⇒ fc² = 99.9  ⇒ fc = 10 mm
Beispiel 3
R0x = 8.5° R0y = 22.5° As = 0 λ = 0.8 µm a = 3 mm
αx = 2.35×10-3
αy = 0.0158
Sx = 0
⇒ fc² = 164.11  fc = 12.8 mm
Beispiel 4
R0x = 8.5° R0y = 22.5° As = 10 µm λ = 0.8 µm a = 3 mm
αx = 2.35×10-3
αy = 0.0158
Sx = 0.858
fc² = 164.11 (1+0.266) = 207.7
⇒ fc = 14.4 mm
Fig. 4 zeigt den Aufbau eines optischen Abbildungssystems gemäß den Beispielen 1 bis 4. Mit 1 ist ein Halbleiter­ laser, mit 7 ein erstes optisches Linsensystem, das eine kollimierende Wirkung hat, mit 8 ein zweites optisches Linsensystem, mit 9 eine Abbildungsfläche (beispielsweise eine Aufzeichnungsoberfläche oder eine Abtastfläche) und mit 10 ein Abbildungslichtfleck bezeichnet.
Durch die Verwendung eines ersten optischen Linsen­ systems mit einer Brennweite, wie sie in den Beispielen erhalten wurde, ist es möglich, ein sogenanntes optimales optisches Abbildungssystem zu schaffen, das die Spitzenintensität in dem Abbildungslichtfleck maximiert.
Fig. 5 und 6 zeigen ein Anwendungsbeispiel, bei dem das optische Abbildungssystem bei einem Laserstrahl-Drucker angewendet wird. Das von einem Halbleiterlaser 1 ausge­ sandte Strahlenbündel wird durch das Linsensystem 7 kolli­ miert, von einem Polygonspiegel 12 abgelenkt und durch das zweite Linsensystem 8 mit einer f-R-Abbildungscharak­ teristik auf einer photoempfindlichen Trommel 11 abge­ bildet. Der Teil des vom Polygonspiegel 12 abgelenkten Strahles, der eine andere Fläche der photoempfindlichen Trommel als die eigentliche Abtastfläche abtastet, wird über einen Spiegel 13 mit einem Photodetektor 14 gemessen. Das von dem Detektor 14 gemessene Signal wird dazu benutzt, die Modulationssignale für den Halbleiter­ laser 1 zu überprüfen und die Intensität des Abtast­ strahles zu messen. Die photoempfindliche Trommel weist prinzipiell einen elektrisch leitfähigen Träger, eine photoleitfähige Schicht und eine Isolier­ schicht auf. In Fig. 6 ist mit 21 eine ein elektrophoto­ graphisches Verfahren verwendete Aufzeichnungseinheit und mit 22 eine optische Vorrichtung bezeichnet, die den prinzipiellen Aufbau gemäß Fig. 5 hat und den mit den aufzuzeichnenden Informationen modulierten Laserstrahl für die Aufzeich­ nungseinheit 21 liefert. Die Isolier­ schicht der photoempfindlichen Trommel 11 wird gleich­ förmig mit positiver oder negativer Polarität durch eine erste Sprühentladungsvorrichtung 23 aufgeladen, um hierdurch Ladungen der zu der Aufladungspolarität entge­ gengesetzten Polarität an der Grenzfläche zwischen der photoleitenden Schicht und der Isolierschicht oder im Inneren der photoleitenden Schicht zu binden. Anschließend trifft ein Laserstrahl 24 auf die aufgeladene Isolier­ schicht auf; gleichzeitig wird eine Wechselstrom­ sprühentladung mittels einer Wechselstromsprühent­ ladungsvorrichtung an die Isolierschicht angelegt, so daß hierdurch auf der Isolierschicht ein Muster entsprechend der Oberflächenpotentialdifferenz gebildet wird, die sich entsprechend dem hell/dunkel-Muster des Laser­ strahls 24 bildet. Anschließend wird die Isolierschicht gleichförmig mit Licht aus einer Lampe 26 beleuchtet, um ein elektrostatisches Bild hohen Kontrastes auf der Isolierschicht zu bilden. Das elektrostatische Bild wird in ein sichtbares Bild durch eine Entwicklungsvor­ richtung 27 mittels eines Entwicklers umgewandelt, der hauptsächlich aus aufgeladenen Tonerteilchen besteht. Anschließend passiert das sichtbare Bild eine Vorent­ ladung 28 und wird auf ein Übertragungsmedium 29, bei­ spielsweise Papier, mittels einer Übertragungseinrichtung 30 übertragen. Das Papier 29 wird von der photoempfindlichen Trommel 11 durch eine Trennvor­ richtung 36 abgelöst und wird das übertragene Bild durch eine Fixiervorrichtung 31 fixiert, die eine Infrarot­ lampe oder eine Wärmeplatte verwendet, so daß ein elek­ trophotographisch gedrucktes Bild entsteht. Nach der Bildübertragung wird die Isolierschicht mit einer Reini­ gungsvorrichtung 32 gereinigt, um noch auf ihr verblie­ bene geladene Teilchen zu entfernen. Damit kann die photoempfindliche Trommel 11 erneut verwendet werden.
Mit 33 ist eine Papierführungsrolle bezeichnet. Das durch die Papierführungsrolle 33 geführte Papier 29 wird zwischen Rollen 34 und 35 geklemmt und zu der Bild­ übertragungsstation durch die Rollen 34 und 35 aufgrund einer Führungsanweisung transportiert.
Das vorstehend beschriebene optische Gerät ist besonders vorteilhaft in Geräten mit einer hohen Tönungssteilheit.
Wie vorstehend beschriebenen, weist das optische Abbildungssystem mit einem Halbleiterlaser zwei Linsensysteme auf. Das näher bei der Licht­ quelle gelegene Linsensystem mit einer Brennweite fc kollimiert das aus dem Halbleiterlaser austretende Strahlen­ bündel. Die Spitzenintensität im Abbildungslichtfleck wird durch Optimierung des Wertes von fc erreicht. Dadurch, daß das optische Abbildungssystem in zwei Teilsysteme geteilt wird und der Lichtstrahl zwischen den beiden Teilsystemen im wesentlichen afokal ist, ist man bei der Wahl des Abstandes zwischen dem Halbleiterlaser und der Abbildungsfläche frei. Diese Freiheit bei der Abstandswahl ermöglicht es, das optische Abbildungssystem ohne Schwierigkeiten in optischen Vorrichtungen zu den ver­ schiedensten Zwecken einzusetzen.
Bei dem vorliegenden optischen Abbildungssystem wird die Optimierung der Spitzenintensität durch Anpassen der Brennweite des ersten optischen Linsensystems erreicht. Theoretisch kann die Optimierung der Spitzen­ intensität natürlich auch durch Anpassen der optischen Konstanten des zweiten optischen Linsensystems erzielt werden. Wird jedoch das optische Abbildungssystem in optischen Vorrichtungen mit anderen Aufgaben eingesetzt - beispielsweise, wenn es mit einem Ablenksystem kombiniert wird, wie es in optischen Abtastsystemen benutzt wird -, so sind die Wahlmöglichkeiten für den optischen Konstanten des zweiten optischen Linsensystems oft beschränkt. Dementsprechend ist es oft der Fall, daß die optischen Konstanten, die die Spitzenintensität optimieren, nicht für das zweite optische Linsensystem geeignet sind. Deshalb ist es zweckmäßig, daß zum Erzielen der Spitzenintensität das erste optische Linsen­ system benutzt wird.

Claims (3)

1. Optisches Abbildungssystem zur Abbildung eines Strahlenbündels eines Halbleiterlasers auf einer Abbildungsfläche, wobei das vom Halbleiterlaser in z-Richtung angegebene Strahlenbündel für Lichtstrahlen, die in einer vom P-N-Übergangsbereich des Halbleiterlasers definierten, sich in x- und z-Richtung erstreckenden Ebene verlaufen, und für Lichtstrahlen, die in einer senkrechten dazu, sich in y- und z-Richtung erstreckenden Ebene verlaufen, unterschiedliche Divergenzursprungs­ punkte und Divergenzwinkel aufweist und wobei das zwischen dem Halbleiterlaser und Abtastfläche angeordnete optische Abbildungssystem ein erstes, näherungsweise kollimierendes Linsensystem und ein zweites Linsensystem für die Abbildung umfaßt, dadurch gekennzeichnet,
daß das erste (7) und das zweite Linsensystem (8) sphärische Oberflächen aufweisen und daß die Brennweite fc des ersten Linsensystems (7) folgender Bedingung genügt: wobei γ eine dimensionslose Konstante, αx ein Vignettierungskoeffizient in x-Richtung, αy ein Vignettierungskoeffizient in y-Richtung, λ die Wellen­ länge des vom Halbleiterlaser abgegebenen Lichtes, As der Abstand zwischen den Divergenzursprungspunkten des Halbleiterlasers, Rox der Winkel zwischen x- und z-Richtung, bei dem die Intensität des Strahlenbündels in der Austrittspupillenebene des ersten Linsensystems auf den Bruchteil 1/e² abgefallen ist, Rox der entsprechende Winkel zwischen y- und z-Richtung und a der Radius der Austrittspupille des ersten Linsensystems ist.
2. Optisches Abbildungssystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem ersten und dem zweiten Linsensystem (7 bzw. 8) eine Ablenkvorrichtung (12) angeordnet ist.
3. Optisches Abbildungssystem nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Ablenkvorrichtung (12) ein Polygonspiegel ist und daß das zweite Linsensystem (8) eine f-R-Abbildungscharakteristik hat.
DE19803012178 1979-03-30 1980-03-28 Optisches abbildungssystem mit einem halbleiterlaser Granted DE3012178A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3907579A JPS55130512A (en) 1979-03-30 1979-03-30 Semiconductor laser optical system

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3012178A1 DE3012178A1 (de) 1980-10-09
DE3012178C2 true DE3012178C2 (de) 1992-02-06

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Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19803012178 Granted DE3012178A1 (de) 1979-03-30 1980-03-28 Optisches abbildungssystem mit einem halbleiterlaser

Country Status (4)

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US (1) US4323297A (de)
JP (1) JPS55130512A (de)
DE (1) DE3012178A1 (de)
GB (1) GB2049980B (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4318896A1 (de) * 1993-06-07 1994-12-08 Dieter Prof Dr Roes Einrichtung zur Ausleuchtung einer Fläche

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4753503A (en) * 1981-02-25 1988-06-28 Benson, Incorporated Laser scanning system
JPS57196212A (en) * 1981-05-29 1982-12-02 Hitachi Ltd Optical system for semiconductor laser
DE3379916D1 (en) * 1982-07-22 1989-06-29 Minnesota Mining & Mfg Laser diode printer
US4530574A (en) * 1982-07-28 1985-07-23 Xerox Corporation Beam collimation and focusing of multi-emitter or broad emitter lasers
JPS61109015A (ja) * 1984-10-31 1986-05-27 Asahi Optical Co Ltd レ−ザ−光用結像光学系
US4656641A (en) * 1985-02-04 1987-04-07 Xerox Corporation Laser cavity optical system for stabilizing the beam from a phase locked multi-emitter broad emitter laser
EP0310711B1 (de) * 1987-10-05 1993-09-01 Hitachi, Ltd. Optischer Aufbau mit einer phasenstarr gekoppelten Laserdiodenzeile
JPH01292310A (ja) * 1988-05-19 1989-11-24 Canon Inc 走査光学装置
US5130839A (en) * 1989-03-10 1992-07-14 Ricoh Company Ltd. Scanning optical apparatus
JP2840356B2 (ja) * 1989-04-17 1998-12-24 株式会社リコー 光走査装置
US5099355A (en) * 1989-10-02 1992-03-24 Ricoh Company, Ltd. Optical element having heat control means
US6269826B1 (en) * 1991-09-24 2001-08-07 Patent Category Corp. Collapsible play structures
US6092728A (en) * 1992-03-30 2000-07-25 Symbol Technologies, Inc. Miniature laser diode focusing module using micro-optics
US20030043463A1 (en) * 1992-03-30 2003-03-06 Yajun Li Athermalized plastic lens
JPH09323257A (ja) * 1996-05-31 1997-12-16 Toshiba Mach Co Ltd ロール研削盤におけるロール径計測方法およびロール径計測装置
JP2011065979A (ja) * 2009-08-18 2011-03-31 Sharp Corp 光源装置
EP3435141B1 (de) * 2016-04-28 2020-12-23 Mitsubishi Electric Corporation Parallele lichterzeugungsvorrichtung

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3549800A (en) * 1965-03-15 1970-12-22 Texas Instruments Inc Laser display
JPS50158288A (de) * 1974-06-10 1975-12-22
JPS51134515A (en) * 1975-05-19 1976-11-22 Hitachi Ltd Photo-video disc
US3974507A (en) * 1975-09-29 1976-08-10 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Conversion of stripe-geometry junction laser emission to a spherical wavefront
US4176325A (en) * 1976-10-22 1979-11-27 Hitachi, Ltd. Semiconductor laser device
JPS5391759A (en) * 1976-12-27 1978-08-11 Mansei Kogyo Kk Optics to obtain equal direction spot from various direction light beam
US4203652A (en) * 1977-02-15 1980-05-20 Canon Kabushiki Kaisha Beam shaping optical system
JPS5456313A (en) * 1977-10-14 1979-05-07 Fuji Xerox Co Ltd Copying machine having facsimile function
JPS54143661A (en) * 1978-04-28 1979-11-09 Canon Inc Recording optical system
JPH05224542A (ja) * 1992-02-12 1993-09-03 Fuji Xerox Co Ltd 転写ベルトのクリーニング装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4318896A1 (de) * 1993-06-07 1994-12-08 Dieter Prof Dr Roes Einrichtung zur Ausleuchtung einer Fläche
DE4318896C2 (de) * 1993-06-07 1998-10-15 Dieter Prof Dr Roes Einrichtung zur Ausleuchtung einer Fläche

Also Published As

Publication number Publication date
US4323297A (en) 1982-04-06
DE3012178A1 (de) 1980-10-09
JPS6361646B2 (de) 1988-11-29
GB2049980A (en) 1980-12-31
JPS55130512A (en) 1980-10-09
GB2049980B (en) 1983-05-25

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