DE29915696U1 - Ätzanlage zum HF-Dampfätzen - Google Patents

Ätzanlage zum HF-Dampfätzen

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Claims (19)

1. Ätzanlage mit mindestens einer Ätzvorrichtung zur Ätzung von Substraten, insbesondere von mit einer SiO2- Opferschicht mikrostrukturierten Siliziumwafern, in einem dampfförmigen Fluorwasserstoffsäure-Wasser-Gemisch, mindestens einer evakuierbaren Transportvorrichtung (9) für die Substrate, die mit mindestens einer der Ätzvorrichtungen (2, 3, 4, 5) über mindestens eine, zumindest weitgehend vakuumdicht verschließbare Schleuse (14, 15, 16, 17) in Verbindung steht, und mit mindestens einer evakuierbaren Lagervorrichtung (1), die mit mindestens einer, zumindest weitgehend vakuumdicht verschließbaren Schleuse (13) mit der Transportvorrichtung (9) in Verbindung steht, wobei ein in der Lagervorrichtung (1) befindliches Substrat über die Transportvorrichtung (9) in eine der Ätzvorrichtungen (2, 3, 4, 5) transferierbar ist.
2. Ätzanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ätzvorrichtung ein HF-Dampfätzmodul (2, 3, 4, 5) ist.
3. Ätzanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Transportvorrichtung eine Greiferstation (9) ist.
4. Ätzanlage nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Greiferstation (9) mindestens einen Greifer (8) aufweist.
5. Ätzanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Lagervorrichtung eine Vakuumkassettenstation (1) ist.
6. Ätzanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ätzanlage (10) mindestens eine Beladevorrichtung, insbesondere eine Ausgangskassettenstation (7), aufweist, die mit der Transportvorrichtung (9) über mindestens eine, zumindest weitgehend vakuumdicht verschließbare Eingangsschleuse (12) verbunden ist.
7. Ätzanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schleusen (12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 19) pneumatisch über eine eine Maschinensteuerung betätigbare Vakuumschieber sind.
8. Ätzanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Vorrichtung zur Evakuierung der Transportvorrichtung (9) oder der Transportvorrichtung (9) und der Lagervorrichtung (1) vorgesehen ist, die insbesondere mindestens eine Turbomolekularpumpe aufweist.
9. Ätzanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Transportvorrichtung (9) oder die Transportvorrichtung (9) und die Lagervorrichtung (1) auf ein Hochvakuum, insbesondere auf einen Druck kleiner als 10- 6 mbar, evakuierbar sind.
10. Ätzanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Belüftungsvorrichtung für die Transportvorrichtung (9) oder die Transportvorrichtung (9) und die Lagervorrichtung (1) vorgesehen ist, über die die Transportvorrichtung (9) und/oder die Lagervorrichtung (1) insbesondere mit hochreinem oder gereinigten Stickstoff belüftbar sind.
11. Ätzanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine Reinigungsvorrichtung, insbesondere eine Reinigungsstation (6) vorgesehen ist, die mit der Transportvorrichtung (9) über mindestens eine, zumindest weitgehend vakuumdicht verschließbare Reinigungsschleuse (18) verbunden ist.
12. Ätzanlage nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Reinigungsstation (6) mindestens eine Vorrichtung zur Reinigung eines Substrates durch Sauerstoffplasmastrippen oder zur Beaufschlagung mit einem ozonhaltigen Gas aufweist.
13. Ätzanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Transportvorrichtung (9) mindestens eine Parkposition (11) zur vorübergehenden Ablage eines Substrates aufweist.
14. Ätzanlage nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Parkposition (11) insbesondere mittels einer Strahlungsheizung oder einer Kontaktheizung beheizbar ist.
15. Ätzanlage nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Reinigungsstation (6) mindestens eine Vorrichtung zur Beheizung eines Substrates aufweist und/oder daß die Ätzvorrichtungen mindestens eine Heizeinrichtung, insbesondere zur Beheizung eines Substrates während der Ätzung, aufweist.
16. Ätzanlage nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Beladevorrichtung (7) mit einer Eingangskassette mit einer Vielzahl von Substraten befüllbar ist.
17. Ätzanlage nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Reinigungsstation (6) mit der Eingangskassette oder mit der Eingangskassette und einer Ausgangskassette beladbar ist, wobei die Eingangskassette und/oder die Ausgangskassette mit einer Vielzahl von Substraten befüllbar sind.
18. Ätzanlage nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Ätzanlage (10) mindestens eine Entladevorrichtung aufweist, die mit der Transportvorrichtung (9) über eine zumindest weitgehend vakuumdicht verschließbare Ausgangsschleuse verbunden ist, über die ein geätztes Substrat oder eine Ausgangskassette mit geätzten Substraten aus der Ätzanlage (10) entnehmbar ist.
19. Ätzanlage nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine zumindest weitgehend automatisierte, insbesondere computergesteuerte Maschinensteuerung zur Betätigung der Schleusen (12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 19) und der Vorrichtung zur Evakuierung der Transportvorrichtung (9) sowie zur Steuerung des Greifers (8) zum Transfer von Substraten zwischen Lagervorrichtung (1), Transportvorrichtung (9), Beladevorrichtung (7), Reinigungsstation (6) und der Entladevorrichtung vorgesehen ist.
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