DE29721983U1 - Meßvorrichtung zur Erfassung der Bewegung und/oder Position eines Meßobjekts - Google Patents

Meßvorrichtung zur Erfassung der Bewegung und/oder Position eines Meßobjekts

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Description

G 18 199 - rets 04.12.1997
FESTO AG & Co, 73734 Esslingen
Meßvorrichtung zur Erfassung der Bewegung und/oder Position
eines Meßobjekts
Die Erfindung betrifft eine Meßvorrichtung zur Erfassung der Bewegung und/oder Position eines Meßobjekts, das in einer optischen Meßstrecke oder durch eine optische Meßstrecke hindurch bewegbar ist, wobei die Meßstrecke zwischen einer Lichtabstrahlungsstelle und einer Lichterfassungsstelle gebildet wird, mit einer Lichtquelle und einem Lichtempfänger für die Meßstrecke, wobei der Lichtempfänger mit einer Auswerteeinrichtung verbunden ist.
Zur berührungslosen Erfassung von Meßobjekten sind Lichtschranken, insbesondere Reflexionslichtschranken, bekannt, bei denen die Lichtquelle und der Lichtempfänger nebeneinander angeordnet sind. Hierbei können sowohl quer zur Meßstrecke sich bewegende Meßobjekte als auch in Richtung der Meßstrecke sich bewegende Meßobjekte erfaßt werden, wobei im zweiten Fall der Abstand zum Meßobjekt erfaßt wird.
Der von der Lichtquelle zur Bildung der Meßstrecke erzeugte Lichtstrahl oder Lichtkegel muß direkt auf das
Meßobjekt auftreffen, wobei der daneben angeordnete Lichtempfänger die vom Meßobjekt in Richtung der Meßstrecke reflektierten Lichtstrahlen erfaßt. Eine solche Anordnung von Lichtquelle und Lichtempfänger stellt jedoch häufig aus Platzgründen oder wegen mechanischer, chemischer oder temperaturbedingter Einflüsse am Meßort ein großes Problem dar, da beispielsweise bestimmte Flüssigkeiten, Chemikalien, aggressive Gase, hohe Temperaturen oder starke mechanische Erschütterungen oder Vibrationen eine solche Anordnung am Meßort verbieten. Selbst wenn solche Einflüsse nicht vorliegen, ist oft eine Montage und Justierung von Lichtquelle und Lichtempfänger bei beengten Raumverhältnissen am Meßort schwierig oder nicht realisierbar.
Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Meßvorrichtung der eingangs genannten Gattung zu schaffen, die auch bei beengten Raumverhältnissen eine schnelle und einfache Montage ermöglicht und auch bei ungünstigen Umweltbedingungen ihre Funktion erfüllen kann.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Lichtquelle und der Lichtempfänger an einer von der Meßstrecke räumlich entfernten Stelle angeordnet sind und die Lichtquelle mit der Lichtabstrahlungsstelle über eine erste Lichtleiteranordnung sowie der Lichtempfänger mit der Lichterfassungstelle über eine zweite Lichtleiter-
anordnung verbünden sind.
Die Vorteile der erfindungsgemäßen Meßvorrichtung bestehen insbesondere darin, daß die empfindlichere Lichtquelle und der Lichtempfänger an einer räumlich entfernten, sicheren Stelle angeordnet werden können, während lediglich die Lichtleiteranordnungen zum Meßort führen. Lichtleiteranordnungen bestehen jedoch üblicherweise aus Glasfasermaterial und sind daher gegenüber mechanischen und chemischen Einflüssen weitestgehend unempfindlich. Darüber hinaus können auch Messungen an Meßorten durchgeführt werden, bei denen relativ hohe Temperaturen herrschen. Da Lichtleiteranordnungen üblicherweise nur sehr geringe Durchmesser aufweisen, ist eine Anordnung auch an sehr kleinen Meßorten oder schwer zugänglichen Meßorten möglich, zumal auch eine Justierung der Lichtleiteranordnungen relativ einfach durchführbar ist.
Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen der im Anspruch 1 angegebenen Meßvorrichtung möglich.
In vorteilhafter Weise sind die Lichtquelle, der Lichtempfänger und die Auswerteeinrichtung auf einer gemeinsamen Platine angeordnet, so daß die gesamte Meßvorrichtung lediglich aus dieser Platine und den davon ausgehenden
Lichtleiteranordnungen besteht. Diese Platine oder ein entsprechendes Gehäuse zur Aufnahme der Platine kann an einer nahezu beliebigen, vom Meßort entfernten Stelle angeordnet werden.
Die Lichtquelle ist zweckmäßigerweise als Leuchtdiode oder Laser-Diode ausgebildet, und entsprechend ist der Lichtempfänger zweckmäßigerweise als Fotodiode oder Fototransistor ausgebildet.
Zur Vermeidung äußerer Einflüsse weisen die Lichtquelle und/oder der Lichtempfänger eine Abschirmung auf.
Die Auswerteeinrichtung besteht vorzucfsweise aus wenigstens einem Operationsverstärker, insbesondere aus einem zweifachen Operationsverstärker.
Zur Verbindung der Lichtleiteranordnungen mit der Lichtquelle und dem Lichtempfänger sind Koppelelemente vorgesehen.
In vorteilhafter Weise werden die Lichtleiteranordnungen meßstreckenseitig in einem Endstück gehalten, das vorzugsweise eine Meßstreckenoptik zur Bündelung bzw. Fokussierung des Meßstrahls aufweist. In diesem Endstück sind die Lichtleiteranordnungen bereits betriebsfertig positioniert,
• &phgr;
so daß es ledlich am Meßort fixiert zu werden braucht. Hierzu wird dieses Endstück zweckmäßicrerweise in eine Gehäusewandung eines Gehäuses eingesetzt, insbesondere eingeschraubt, in dem das Meßobjekt bewegbar angeordnet ist,
Die Lichtleiteranordnungen sind vorzugsweise als Lichtleiterkabel ausgebildet und weisen insbesondere Glasfaserleitungen auf.
Die Meßstrecke ist bei einer bevorzugten Ausführung als Reflexionsmeßstrecke ausgebildet.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Die einzige Figur zeigt schematisch ein Ausführungsbeispiel einer Meßvorrichtung zur Erfassung der Bewegung und/oder Position eines Meßobjekts.
Bei dem in der einzigen Figur dargestellten Ausführungsbeispiel sind auf einer Platine 10 eine als Leuchtdiode oder Laser-Diode ausgebildete Lichtquelle 11 und ein als Fotodiode oder Fototransistor ausgebildeter Lichtempfänger 12 angeordnet. Eine ebenfalls auf der Platine 10 angeordnete Auswerteeinrichtung 13 für die vom Lichtempfänger empfangenen Signale ist als Operationsverstärker oder zweifacher Operationsverstärker ausgebildet. Das Ausgangs-
signal der Auswerteeinrichtung 13 steht über ein Ausgangskabel 14 zur weiteren Verwendung oder Verarbeitung zur Verfugung.
Prinzipiell können selbstverständlich auch andere bekannte Lichtquellen oder Lichtempfänger verwendet werden, wobei auch in Abhängigkeit des gewünschten Ausgangssignals unterschiedliche Auswerteeinrichtungen 13 eingesetzt werden können. Die Platine 10 kann in nicht dargestellter Weise in einem Gehäuse untergebracht sein.
Die Lichtquelle 11 und der Lichtempfänger 12 sind jeweils über Koppelelemente 15, 16 mit Lichtleitern 17,,18 verbunden, die an ihrem gegenüberliegenden Ende in einem Endstück 19 münden. Hierzu sind sie beispielsweise in entsprechende Bohrungen des Endstücks 19 eingesteckt und darin fixiert. Das Endstück 19 kann in an sich bekannter Weise eine optische Anordnung zur Bündelung bzw. Fokussierung des über den Lichtleiter 17 von der Lichtquelle übertragenen Lichts aufweisen. Dieses Licht wird von einer Lichtabstrahlungsstelle 20 an der freien Stirnseite des Endstücks 19 aus auf ein Meßobjekt 21 gerichtet abgestrahlt. Ein Teil des am Meßobjekt reflektierten Lichtstrahls bzw. Lichts gelangt wieder zum Endstück 19 zurück und wird dort an einer Lichterfassungsstelle 22 erfaßt. Diese Lichterfassungsstelle 22 kann die freie Stirnseite
des Lichtleiters 18 sein, oder es ist dieser Stirnseite eine Lichterfassungsoptik vorgeschaltet. Das erfaßte Licht gelangt dann über den Lichtleiter 18 zum Lichtempfänger 12, wobei das entsprechend erzeugte elektrische Signal in der Auswerteeinrichtung 13 ausgewertet und zu einem gewünschten Meßsignal verarbeitet wird.
Das Endstück 19 ist in einer Wandung 23 eines Gehäuses fixiert, beispielsweise eingeschraubt. In diesem Gehäuse 24 ist das Meßobjekt 21 in einer Bewegungsrichtung A bewegbar, wobei diese Bewegungsrichtung A der Richtung der durch den Lichtstrahl gebildeten Meßstrecke entspricht. Das Meßobjekt 21 kann sich somit zum Endstück 19 hin und von diesem weg bewegen.
Der von der Lichtabstrahlungsstelle 20 abgestrahlte Lichtstrahl oder Lichtkegel besitzt eine konstante Lichtstärke. Das reflektierte und von der Lichterfassungsstelle 20 erfaßte Lichte steht in Abhängigkeit vom Abstand zwischen dem Meßobjekt 21 und dem Endstück 19. Das auf den Lichtempfänger 12 mittels des Lichtleiters 18 übertragene Licht wird dort in einen proportionalen Strom umgewandelt, der in der Auswerteeinrichtung 13 in eine entsprechende, für die Meßtechnik verwertbare Analogspannung umgesetzt wird. Mit Hilfe dieser Analogspannung kann somit der Abstand bzw. die Position des Meßobjekts 21 erfaßt werden.
Zur Abschirmung gegen äußere Einflüsse sind die Lichtquelle 11 und der Lichtempfänger 12 in nicht näher dargestellter Weise abgeschirmt.
Die Lichtleiter 17, 18 enthalten beispeilsweise jeweils einen oder mehrere Glasfaserleiter. Sie können auch zusammen als ein Lichtleiterkabel ausgebildet sein.
Durch das Endstück 19 sind die Lichtabstrahlungsstelle und die Lichtabstrahlungsstelle 22 bereits vor der Montage fertigjustiert, beziehungsweise es liegt eine bereits justierte Meßstreckenoptik vor. Das Endstück 19 kann daher zur Erfassung der Bewegung von schwer zugänglichen Teilen, z.B. Ventilschieber, Kolben, unter Druck stehende Aktoren od.dgl., verwendet werden und muß lediglich so positioniert werden, daß der Meßstrahl bzw. die Meßstrecke auf das sich bewegende Objekt fällt. Hierbei eignet sich gewöhnlich eine Befestigung des Endstücks 19 in der entsprechenden Gehäusewandung des Gehäuses, das das zu messende Teil enthält.
In,Abwandlung des dargestellten Ausführungsbeispiels kann sich das Meßobjekt 21 auch quer zur Richtung der Meßstrecke bewegen, wobei dann nicht der Abstand, sondern das Passieren des Meßobjekts erfaßt wird. Ein solches Meßobjekt kann beispielsweise auch als Strichmarkierung auf
• 1·
einem rotierenden Teil ausgebildet sein, um so die Drehzahl oder den Drehwinkel des rotierenden Objekts zu erfassen. Entsprechend können Strichmarkierungen auch auf einem sich linear bewegenden Meßobjekt angeordnet sein.

Claims (13)

G 18 199 - rets 04.12.1997 FESTO AG & Co, 73734 Esslingen Meßvorrichtung zur Erfassung der Bewegung und/oder Position eines Meßobjekts Ansprüche
1. Meßvorrichtung zur Erfassung der Bewegung und/oder Position eines Meßobjekts, das in einer optischen Meßstrecke oder durch eine optische Meßstrecke hindurch bewegbar ist, wobei die Meßstrecke zwischen einer Lichtabstrahltngsstelle und einer Lichterfassungsstelle gebildet wird, mit einer Lichtquelle und einem Lichtempfänger für die Meßstrecke, wobei der Lichtempfänger mit einer Auswerteeinrichtung verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle (11) und der Lichtempfänger (12) an einer von der Meßstrecke räumlich entfernten Stelle angeordnet sind und die Lichtquelle (11) mit der Lichtabstrahlungsstelle (20) über eine erste Lichtleiteranordnung (17) sowie der Lichtempfänger (12) mit der Lichterfassungstelle (22) über eine zweite Lichtleiteranordnung (18) verbunden sind.
Tv.
2. Meßvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle (11), der Lichtempfänger (12) und die Auswerteeinrichtung (13) auf einer gemeinsamen Platine (10) angeordnet sind.
3. Meßvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle (11) als Leuchtdiode oder Laser-Diode ausgebildet ist.
4. Meßvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Lichtempfänger (12) als Fotodiode oder Fototransistor ausgebildet ist.
5. Meßvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle (11) und/oder der Lichtempfänger (12) eine Abschirmung aufweisen.
6. Meßvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteeinrichtung (13) aus wenigstens einem Operationsverstärker besteht.
7. Meßvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtleiteranordnungen (17, 18) über Koppelelemente (15, 16) mit der Lichtquelle (11) und dem Lichtempfänger (12) verbunden sind.
8. Meßvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtleiteranordnungen (17, 18) meßstreckenseitig in einem Endstück (19) gehalten werden.
9. Meßvorrichturjg nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Endstück (19) eine Meßstreckenoptik aufweist.
10. Meßvorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Endstück (19) in einer Gehäusewandung (23) eines Gehäuses (24) eingesetzt, insbesondere eingeschraubt ist, in dem das Meßobjekt (21) bewegbar angeordnet ist.
11. Meßvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtleiteranordnungen (17, 18) als Lichtleiterkabel ausgebildet sind.
12. Meßvorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die als Lichtleiterkabel ausgebildeten Lichtleiteranordnungen (17, 18) Glasfciserleitungen aufweisen.
13. Meßvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßstrecke als Reflexionsmeßstrecke ausgebildet ist.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008059594A1 (de) 2008-11-28 2010-06-02 Festo Ag & Co. Kg Sensormodul, Ventilanordnung und Verfahren zur Bestimmung einer Ventilstellung

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2205996A1 (de) * 1972-02-09 1973-08-16 Rank Precision Ind Gmbh Faseroptische lichtleiteranordnung, insbesondere reflexionsschranke
DE7706759U1 (de) * 1978-10-19 Erwin Sick Gmbh Optik-Elektronik, 7808 Waldkirch Optische Überwachungsvorrichtung für in einer durchsichtigen Verpackung angeordnete Gegenstände
DE3803529A1 (de) * 1987-02-06 1988-08-18 Matsushita Electric Works Ltd Optischer sensor
DE4019794A1 (de) * 1989-06-22 1991-01-10 Optec D D Melco Lab Co Optischer winkelgeber
US4999488A (en) * 1990-01-29 1991-03-12 Milliken Research Corporation Method to continuously count the courses or picks of a moving fabric
DE4131819A1 (de) * 1991-09-20 1993-03-25 Siemens Ag Messeinrichtung zur bestimmung des weges an elektrischen schaltgeraeten
DE4335037A1 (de) * 1992-10-19 1994-04-21 Tabarelli Werner Einrichtung zur Erfassung der Lage eines Objektes
DE4240769A1 (de) * 1992-12-03 1994-06-09 Invent Entwicklung Neuer Techn Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung von Geschwindigkeiten, insbesondere von Teilchen-Geschwindigkeiten in Fluiden
DE4344650C1 (de) * 1993-12-24 1995-01-26 Mtu Muenchen Gmbh Signaleinrichtung für Turbomaschinen
DE4241049C2 (de) * 1992-12-05 1996-04-11 Leuze Electronic Gmbh & Co Einrichtung zum berührungslosen Steuern der Wasser- bzw. Flüssigkeitszufuhr in Wasch-, Dusch- und Spülanlagen
DE19537458C2 (de) * 1995-10-07 1997-07-31 Hiss Eckart Optisches Meßgerät
DE19621709A1 (de) * 1996-05-30 1997-12-04 Daimler Benz Ag Meßeinrichtung für lineare oder Drehbewegungen

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE7706759U1 (de) * 1978-10-19 Erwin Sick Gmbh Optik-Elektronik, 7808 Waldkirch Optische Überwachungsvorrichtung für in einer durchsichtigen Verpackung angeordnete Gegenstände
DE2205996A1 (de) * 1972-02-09 1973-08-16 Rank Precision Ind Gmbh Faseroptische lichtleiteranordnung, insbesondere reflexionsschranke
DE3803529A1 (de) * 1987-02-06 1988-08-18 Matsushita Electric Works Ltd Optischer sensor
DE4019794A1 (de) * 1989-06-22 1991-01-10 Optec D D Melco Lab Co Optischer winkelgeber
US4999488A (en) * 1990-01-29 1991-03-12 Milliken Research Corporation Method to continuously count the courses or picks of a moving fabric
DE4131819A1 (de) * 1991-09-20 1993-03-25 Siemens Ag Messeinrichtung zur bestimmung des weges an elektrischen schaltgeraeten
DE4335037A1 (de) * 1992-10-19 1994-04-21 Tabarelli Werner Einrichtung zur Erfassung der Lage eines Objektes
DE4240769A1 (de) * 1992-12-03 1994-06-09 Invent Entwicklung Neuer Techn Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung von Geschwindigkeiten, insbesondere von Teilchen-Geschwindigkeiten in Fluiden
DE4241049C2 (de) * 1992-12-05 1996-04-11 Leuze Electronic Gmbh & Co Einrichtung zum berührungslosen Steuern der Wasser- bzw. Flüssigkeitszufuhr in Wasch-, Dusch- und Spülanlagen
DE4344650C1 (de) * 1993-12-24 1995-01-26 Mtu Muenchen Gmbh Signaleinrichtung für Turbomaschinen
DE19537458C2 (de) * 1995-10-07 1997-07-31 Hiss Eckart Optisches Meßgerät
DE19621709A1 (de) * 1996-05-30 1997-12-04 Daimler Benz Ag Meßeinrichtung für lineare oder Drehbewegungen

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008059594A1 (de) 2008-11-28 2010-06-02 Festo Ag & Co. Kg Sensormodul, Ventilanordnung und Verfahren zur Bestimmung einer Ventilstellung

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