DE29521772U1 - Elektrodenlose Entladungslampe - Google Patents
Elektrodenlose EntladungslampeInfo
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Description
Hanau, den 11.05.1998 SSR/Ga/Goi/p0547_1 .sam
Heraeus Noblelight GmbH Elektrodenlose Entladungslampe
Die Erfindung betrifft eine elektrodenlose Niederdruckeintladungslampe, in deren Lampenkolben
ein Plasma durch Einkoppelung eines hochfrequenten elektromagnetischen Feldes gebildet ist
und durch das Plasma erzeugte Strahlung aus dem Kolben entlang einer vorgegebenen Strahlungsachse
austritt, wobei im Bereich des Plasmas ein verengter Teil des Lampenkolbens als durchgehende Bohrung entlang der Austrittsachse vorgesehen ist.
Der Begriff "elektrodenlose Entladungslampe" wird hier als üblicher Fachbegriff für Lampen ohne
Elektroden im Entladungsraum verwendet, auch wenn die Ausführungsform außerhalb des
Entladungsraums angeordnete Elektroden aufweist.
Aus der DE-OS 41 20 730 ist eine elektrodenlose Niederdruckentladungslampe bekannt, in deren
Lampenkolben ein Plasma durch Einkoppelung eines hochfrequenten elektromagnetischen
Feldes gebildet wird und durch das Plasma erzeugte Strahlung aus dem Kolben heraustritt; dabei
ist im Bereich des Plasmas ein Blendenkörper aus hochtemperaturbeständigem Werkstoff
angeordnet, welcher eine Öffnung zur Einschnürung des Plasmabereiches enthält, wobei der
Blendenkörper eine optische Achse durch die Öffnung aufweist, entlang derer die Strahlung
austritt. Um bei der Plasmaeinschnürung im Hochfrequenzfeld genügend hohe Strahlungsflüsse
und Strahldichten zu erzielen, müssen die Werkstoffe hohe Wandbelastungen vertragen, so
daß sie sich bei Temperaturen von mehr als 1500° Kelvin nicht zersetzen, schmelzen, Verunreinigungen
freigeben oder gar in Folge des Thermoschocks beim Ein- und Ausschalten der
Lampen zerspringen.
Nach der DE-OS 41 20 730 wird vorzugsweise Bornitrit als Werkstoff für den Blendenkörper
eingesetzt.
I""
Als problematisch erweist sich die Wärmeabführung aus dem Bereich des Blendenkörpers, in
dem das Plasma eingeschnürt wird, aufgrund des ihn umgebenden Lampenkolbens; im Zuge
zunehmender Miniatisierung von Strahlenquellen erweist sich die bekannte Entladungslampe
hinsichtlich ihres Aufbaus als verhältnismäßig aufwendig.
Weiterhin ist aus der DE 22 02 681 C2 eine Bogen-Entladungslampe mit einer ionisierbaren
Gasfüllung bekannt, wobei die beiden Elektroden, ein Reflektor sowie ein optisches Fenster
von einer elektrisch isolierenden Abstützung gehalten sind; aufgrund eines raumaufwendigen
Aufbaus befindet sich das Austrittsfenster im verhältnismäßig weiten Abstand zum Bogen, so
daß es sich außerhalb hoher thermischer Belastung befindet.
Darüberhinaus ist aus der DE 32 40 164 A1 eine Atomspektrallampe mit seitlicher, elektrischer
Gehäusewand bekannt, die eine im Gehäuseinneren befindliche, elektrisch isolierte Elektrode
aufweist, der ein das Gehäuse abschließendes Lichtaustrittsfenster gegenüberliegt; eine solche
Lampe erfordert einen verhältnismäßig hohen Raumaufwand.
Weiterhin ist aus der DE-PS 633 760 eine Entladungslampe mit Metalldampf- oder Gasfüllung
bekannt, bei der die eine positive Säule bildende Entladung einen verengten Röhrenteil zu passieren
hat, wobei ein spaltförmiger Querschnitt eine Einschnürstelle zur Ausnutzung maximaler
Leuchtstärke bildet; zur Verengung der Entladungsbahn ist vorzugsweise ein Körper in Halbkreisform
oder eine Quetschstelle des Entladungsgefäßes vorgesehen; auch hierbei ist ein verhältnismäßig
hoher Raumbedarf erforderlich.
Aus der DE-PS 911 870 ist eine Blitzröhre für Elektrodenblitzgeräte bekannt, bei der die U-förmige
Entladungsstrecke zweier im Entladungsraum befindlicher Elektroden durch eine nichtmetallische
Gefäßwand verengt wird und die wirksame Lichtausstrahlung in Verlängerung der eingeschnürten
Entladungsstrecke erfolgt; aufgrund von Ablenkmagneten handelt es sich hierbei um eine verhältnismäßig aufwendige Ausführungsform der Ausgestaltung.
Weiterhin ist aus der GB-PS 10 03 873 eine elektrodenlose Hochfrequenz-Entladungsspektrallampe
bekannt, welche einen hohlförmig abgeschlossenen Lampenkolben aus lichtdurchlässigem
Werkstoff enthält, wobei der Lampenkolben in zwei Teile aufgeteilt ist, die mittels einer kapillaren
Durchführung miteinander verbunden sind und wobei elektromagnetische Anordnungen
zur Erregung einer Entladung innerhalb des im Kolben befindlichen Metalldampfes vorgesehen
sind. Die Einkoppelung der elektromagnetischen Energie zur Entladung wird über eine den
• · &iacgr;&idigr;
Lampenkolben umgebende Spulenanordnung aufrechterhalten, wobei die eigentliche Zündung
über äußere Elektroden erfolgt.
Als problematisch erweisen sich nach der GB-PS die erheblichen Zündprobleme, so daß zusätzliche
Elektroden im Außenbereich des Lampenkolbens vorgesehen werden müssen, die die Zündung einleiten; eine gerichtete Abstrahlung entlang einer bevorzugten Strahlenachse ist dabei
nicht vorgesehen.
Auch hierbei handelt es sich um einen verhältnismäßig aufwendigen Aufbau, welcher insbesondere
bei kleinen Bauausführungen, wie sie bei zunehmender Miniaturisierung gewünscht werden,
im Wege steht.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Niederdruck-Entladungslampe, insbesondere eine Niederdruck-Gasentladungslampe
mit kontinuierlichem Spektrum mit möglichst hoher Strahldichte bei hoher Strahlungsstabilität zu realisieren; weiterhin soll ein einfacher mechanischer Aufbau auch
bei kleinen geometrischen Abmessungen erzielt werden, um sie ggf. als Lichtquelle bei Spektralphotometern
und HPLC-Detektoren einzusetzen, insbesondere soll ein Spektralbereich der
Wellenlänge &lgr; von 200 - 350 nm mit hoher Strahlungsstabilität erzielt werden.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der Lampenkolben einen Blendenkörper
aufweist, der entlang der Strahlen-Achse durch wenigstens ein als separates Bauteil aufgebrachtes,
strahlungsdurchlässiges Austrittsfenster gasdicht abgeschlossen ist, wobei zur kapazitiven
Einkoppelung des elektromagnetischen Feldes der Blendenkörper entlang der Strahlen-Achse
jeweils an seinen Enden mit einer flächenhaften Elektrode versehen ist, wobei wenigstens
eine der Elektroden eine Öffnung in der Achse des Strahlenaustritts enthält, die dem Austrittsfenster
benachbart angeordnet ist.
Als vorteilhaft erweist sich insbesondere bei Gasentladungslampen die große spektrale Bandbreite
im Kontinuum der abgegebenen Strahlung sowie die fehlende Beeinträchtigung der Lampenatmosphäre
durch eingebrachtes Elektrodenmaterial; weiterhin ermöglicht der einfache geometrische Aufbau eine sehr geringe Baugröße, so daß ggf. eine Aufbringung der Strahlenquelle
auf eine Leiterplatte ermöglicht wird.
Vorteilhafterweise weist der Lampenkolben einen zylindersymmetrischen Blendenkörper auf,
dessen Innenraum durch eine Blende in zwei Teilräume aufgeteilt ist, die über eine entlang der
Zylinderachse verlaufende Blendenöffnung miteinander verbunden sind.
• 4 J
In einer vorteilhaften Ausgestaltung weist der Blendenkörper eine Stirnseite mit Austrittsöffnung
auf, wobei die der Austrittsöffnung abgewandte Stirnseite wenigstens auf ihrer Innenseite eine
die erzeugte Strahlung reflektierende Oberfläche enthält.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung weist der Blendenkörper eine durchgehende Bohrung
durch beide Stirnseiten entlang der optischen Achse mit einer jeweils durch eine der Elektroden
geführten Öffnung auf, wobei jede der Öffnungen jeweils einem Strahlenaustrittsfenster
benachbart angeordnet ist; die Strahlenachse ist in einer weiteren Ausgestaltung entlang der
Strahlenachse einer zusätzlichen Strahlungsquelle angeordnet, wobei durch die Blendenöffnung
auch Strahlung der zustäzlichen Strahlungsquelle zugeführt wird.
Die Blendenöffnung ist kreisförmig ausgebildet, wobei ihr Durchmesser im Bereich von 0,1 bis 6
mm liegt; der Blendenkörper besteht vorzugsweise aus Aluminiumoxid, Bornitrid; es ist jedoch
auch möglich einen Blendenkörper aus Thoriumoxid, Berylliumoxid oder polykristallinem Diamant
einzusetzen; das Strahlen-Austrittsfenster besteht aus Quarzglas, UV-durchlässigem
Glas oder Saphir; der Blendenkörper besteht aus hochtemperaturbeständigem Metall, wobei
zwischen den Elektroden und dem Blendenkörper jeweils en elektrisch isolierendes Bauelement
als Austrittsfenster oder als Isolierkörper angeordnet ist; als Füllung ist Deuterium mit einem
Kaltfülldruck von 1 bis 100 mbar vorgesehen.
Die Elektroden sind an einem Hochfrequenz-Generator angeschlossen, der eine Anregungsfrequenz
im Bereich von 0,01 bis 2450 MHz erzeugt.
Als besonders vorteilhaft ist die Möglichkeit anzusehen, die Entladungslampe mit zwei sich gegenüberliegenden
Strahlenaustrittsfenstern entlang der optischen Achse einzusetzen, da mit Hilfe einer zusätzlichen Strahlenquelle die entlang der optischen Achse geführte Strahlung in
ihrem Spektrum ergänzt werden kann; auf diese Weise ist es beispielsweise möglich, zusätzliche
Anteile des sichtbaren und/oder infraroten Spektrums der mit der erfindungsgemäßen Entladungslampe
erzeugten UV-Strahlung zu überlagern.
Im folgenden ist der Gegenstand der Erfindung anhand der Figuren 1 bis 5 näher erläutert.
Figur 1 zeigt schematisch einen Längsschnitt durch eine erfindungsgemäße Gas-Entladungslampe
mit einem elektrisch isolierenden Blendenkörper mit einseitigem Strahlenaustritt, wobei
eine kapazitive Einkoppelung der Energie vorgesehen ist.
Figur 2 zeigt eine modifizierte Ausführungsform der in Figur 1 dargestellten Lampe mit zweiseitigem
Strahlenaustritt.
Figur 3 zeigt schematisch die Anordnung einer kapazitiv angeregte Gas-Entladungslampe zusammen
mit der elektrischen Schaltungsanordnung im Blockschaltbild.
Figur 4 zeigt das Spektrum einer erfindungsgemäßen Entladungslampe mit Deuteriumfüllung.
Figur 5 zeigt eine weitere Ausführungsform der Entladungslampe mit einem metallischen Entladungskörper
im Längsschnitt.
Gemäß Figur 1 weist die Lampe 1 einen zylindersymmetrischen Blendenkörper 2 auf, dessen
Innenraum durch eine Blende 3 in zwei Teilräume 4 und 5 aufgeteilt ist. Beide Teilräume sind
über eine entlang der Zylinderachse 6 verlaufenden Blendenöffnung 7 miteinander verbunden.
Die beiden Teilräume 4 und 5 sind jeweils an den Stirnseiten 8 und 9 des Blendenkörpers 2 abgeschlossen,
wobei Stirnseite 8 mittels einer Abdeckung 10 aus dem Werkstoff des Blendenkörpers
verschlossen ist, Stirnseite 9 jedoch ein Austrittsfenster 11 aus einem für die erzeugte
Strahlung strahlungsdurchlässigem Werkstoff aufweist, durch das die Strahlung entlang der
Achse 6 austritt. Beide Stirnseiten 8 und 9 sind jeweils mit außen aufgebrachten Elektroden 13,
14 versehen, über die die Anregung durch kapazitive Einkoppelung der Energie in das Innere
der Lampe 1 so erfolgt, daß in den Teilräumen 4, 5 sowie im Bereich der Blendenöffnung 7 ein
Plasma erzeugt wird, das zur Intensitätserhöhung in Blendenöffnung 7 eingeschnürt wird. Die
flächenhaft ausgebildete kreisringförmige Elektrode 14 ist entlang der Achse 6 mit einer dem
Austrittsfenster 11 benachbart angeordneten Strahlenaustrittsöffnung 15 versehen.
In einer bevorzugten Ausführungsform wird als Werkstoff für den Blendenkörper Aluminiumoxid
eingesetzt, während das Strahlenaustrittsfenster 11 aus Quarzglas besteht; die Verbindung
zwischen Fenster 11 und Blendenkörper 2 wird mit Hilfe von Glaslot erstellt, wobei ein hermetisch
dichter Abschluß durch Wärmebehandlung vorliegt; es ist jedoch auch möglich, eine dicht
abgeschlossene Verbindung zwischen Austrittsfenster 11 und Blendenkörper durch Aufschmelzen
von Übergangsgläsern, vorzusehen. Die Blende weist eine Bohrung bzw. Blendenöffnung
mit einem Durchmesser von 0,1 bis 6 mm auf und hat eine Länge von 0,01 bis 90 mm. Das
Entladungsgefäß der Lampe 1 ist mit Deuterium bei einem Kaltfülldruck von 1 bis 100 mbar gefüllt.
Der Außendurchmesser des Gesamtsystems aus Elektrode, Entladungsgefäß und Blende
liegt im Bereich von 5 bis 80 mm.
In einer weiteren Ausführungsform wird als Werkstoff für den Blendenkörper Aluminiumnitrit
eingesetzt; neben Quarzglas ist es auch möglich, Glas oder Saphir als Werkstoff des Austrittsfensters
einzusetzen. Innerhalb der Lampe füllt Blende 3 ein möglichst großes Volumen des
aus Teilräumen 4 und 5 bestehenden Innenraumes aus. Innerhalb der Lampe 1 können sowohl
der rückwärtige Teil des Blendenkörpers 2 als auch die Blende 3 verspiegelt werden und als
Reflektor dienen, wobei dies beispielsweise durch Auskleidung der Oberflächen mit einer reflektierenden
Keramik oder durch eine metallische Beschichtung bzw. Metallisierung der Oberfläche
möglich ist.
Weiterhin ist es möglich, den Blendenkörper so auszugestalten, daß er in Austrittsrichtung entlang
der Strahlenachse 6 mit einer reflektierenden Oberfläche in axialsymmetrischer Reflektorgeometrie,
wie z.B. in Form eines Hohlkegels bzw. Hohlkegelstumpfes oder in Form von Paraboloiden,
bzw. Hyperboloiden, ausgebildet ist.
Weiterhin ist es möglich, als Werkstoff für den Blendenkörper Bornitrit, Thoriumoxid, Berylliumoxid
oder polykristalline Diamanten einzusetzen, wobei diese Werkstoffe hohe thermische
Wandbelastungen überstehen und bei Temperaturen von mehr als 1500° Kelvin ohne Beeinträchtigung
bzw. Deformation überstehen.
Figur 2 zeigt eine Lampe 1 mit einem zylindersymmetrischen Blendenkörper 2', der im Gegensatz
zu dem Blendenkörper der Figur 1 an seinen beiden Stirnseiten 8 und 9 entlang seiner optischen
Achse 6 jeweils eine Öffnung aufweist, wobei entlang der durch die Blendenöffnung 7
führenden Zylinderachse 6 die beiden Stirnseiten 8 und 9 jeweils durch ein Strahlenaustrittsfenster
11 und 12 hermetisch dicht abgeschlossen sind; auf den Strahlenaustrittsfenstern befinden
sich jeweils die Elektroden 13, 14, welche entlang der Strahlerachse 6 mit Öffnungen 15, 16
zum Strahlenaustritt versehen sind. Auch hier können, wie bereits anhand Figur 1 beschrieben,
die Teilräume 4 und 5 mit einer reflektierenden Innenoberfläche versehen sein, darüberhinaus
ist es auch möglich, den beiden Teilräumen 4 und 5 eine Reflektorgeometrie z.B. in Form eines
Hohlkegels, bzw. Hohlkegelstumpfes oder der Innenfläche eines Paraboloiden zuzuordnen.
Als besonders vorteilhaft erweist sich, daß mittels der in Figur 2 dargestellten Anordnung entlang
einer Strahlenachse 6 mehrere Lampen angeordnet werden können, wobei sich durch Überlagerung der aus den einzelnen Lampen austretenden Strahlung eine Erhöhung der Strahlungsintensität
erzielen läßt.
Gemäß Figur 3 ist zur elektrischen Ansteuerung die in dem Blockschaltbild dargestellte Schaltungsanordnung
vorgesehen; die unter Ziffer 1 symbolisch dargestellte Lampe weist an ihren Stirnseiten 8, 9 jeweils eine Elektrode 13, 14 auf, die über ein elektrisches Ansteuernetzwerk
und einen Richtkoppler 18 von einem Generator 19 - d.h. mittels der Elektroden 13, 14 - kapazitiv
angeregt wird. Der Generator 19 steht für die Abgabe von Leistungen im Bereich von 10
bis 100 Watt zur Verfügung, wobei die obere Frequenzgrenze bei ca. 2,45 Gigahertz, die untere
bei 0,01 MHz liegt. Der Richtkoppler 18 dient lediglich zur Auskopplung eines Meßsignals zur
Optimierung des Ansteuernetzwerkes 17.
In der Praxis wird der Generator 19 im Frequenzbereich von 0,01 bis 2450 Megahertz betrieben,
wobei zur Durchführung von Messungen der zwischen Ansteuernetzwerk 17 und Generator
19 liegende Richtkoppler 18 mit einem Vektor-Voltmeter 20 verbunden ist.
Als vorteilhaft erweist sich in der Praxis der Betrieb der Lampe im Frequenzbereich 500 bis
2450 MHz, wobei sich die Reaktanz der Lampe der Impedanz der Zuleitung mit üblichem Wellenwiderstand
von z.B. 50 &OHgr; annähert, so daß nur geringe Verluste auftreten. Prinzipiell können
jedoch zur Ansteuerung der Lampe beliebige Frequenzen eingesetzt werden, wobei bei niedrigeren
Frequenzen, z.B. im Bereich von 100 KHz bis 500 MHz eine direkte Anpassung der Generatorausgangsimpedanz
möglich ist, so daß auch hier geringe Verluste auftreten.
Figur 4 zeigt als Kurve A die spektrale Energieverteilung über der Wellenlänge &lgr; beim Einsatz
der erfindungsgemäßen Strahlungsanordnung als Deuteriumlampe. Mit einer Halbwertsbreite
von ca. 5 bis 8° entlang der Strahlenachse 6 ist die räumliche Abstrahlcharakteristik nach der
Erfindung wesentlich stärker gerichtet, als dies bei herkömmlichen Deuteriumlampen mit einer
Halbwertsbreite von über 36° der Fall ist. Der Bereich des Kontinuums weist bei ca. 220 nm ein
Maximum auf, wobei die Emission im Bereich von ca. 180 nm bis ca. 360 nm linienfrei ist.
Gemäß Figur 5 ist es auch möglich, eine Entladungslampe mit einem Blendenkörper 2' aus einem
hochtemperaturbeständigem Metall, wie bespielsweise Molybdän oder Wolfram einzusetzen;
in diesem Fall ist der elektrisch leitende Blendenkörper zur Vermeidung eines Kurzschlusses
gegenüber den Elektroden 13, 14 elektrisch isoliert, wobei die elektrische Isolation einer ersten
Elektrode 13 durch einen ringförmigen Isolierkörper 22 beispielsweise aus hochtemperaturbeständigem
Keramikmaterial, wie Aluminiumoxid oder Aluminiumnitrid erfolgt, während die zweite Elektrode 14 durch den elektrisch isolierenden Werkstoff des Austrittsfensters 11 gegenüber
dem Blendenkörper isoliert ist. Die Befestigung und Abdichtung des Austrittsfensters und
des Isolierkörpers erfolgen beispielsweise durch Gaslote. Auch diese Lampe kann entsprechend
der DE-OS 41 20 730 mit Deuterium mit einem Kaltfülldruck von 1 bis 100 mbar, vorzugsweise
bei 9 mbar betrieben werden. Die im Blendenkörper 2 befindliche Öffnung weist eine
Länge im Bereich von 0,01 bis 90 mm auf, wobei die als Bohrung ausgeführte Blendenöffnung
7 einen Durchmesser im Bereich von 0,1 bis 6 mm enthält. In der Praxis ist trotz Erwartung von
Wirbelstromfeldern im Blendenkörper 2 keine übermässige Erwärmung festzustellen.
Claims (12)
1. Elektrodenlose Niederdruckentladungslampe, in deren Lampenkolben ein Plasma durch
Einkoppelung eines hochfrequenten elektromagnetischen Feldes gebildet ist und durch
das Plasma erzeugte Strahlung aus dem Kolben entlang einer vorgegebenen Strahlungsachse
austritt, wobei im Bereich des Plasmas ein verengter Teil des Lampenkolbens als durchgehende Bohrung entlang der Austrittsachse vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet,
daß der Lampenkolben einen Blendenkörper (2, 2') aufweist, der entlang der Strahlen-Achse
(6) durch wenigstens ein als separates Bauteil aufgebrachtes, strahlungsdurchlässiges
Austrittsfenster (11, 12) gasdicht abgeschlossen ist, wobei zur kapazitiven Einkoppelung
des elektromagnetischen Feldes der Blendenkörper (2, 2') entlang der Strahlen-Achse
(6) jeweils an seinen Enden mit einer flächenhaften Elektrode (13, 14) versehen
ist, wobei wenigstens eine der Elektroden (14) eine Öffnung in der Achse (6) des
Strahlenaustritts enthält, die dem Austrittsfenster (11) benachbart angeordnet ist.
2. Entladungslampe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Lampenkolben einen
zylindersymmetrischen Blendenkörper (2) aufweist, dessen Innenraum durch eine
Blende (3) in zwei Teilräume (4) und (5) aufgeteilt ist, die über eine entlang der Zylinderachse
(6) verlaufende Blendenöffnung (7) miteinander verbunden sind.
3. Entladungslampe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Blendenkörper
(2, 2') eine Stirnseite mit Austrittsöffnung aufweist, wobei die der Austrittsöffnung abgewandte
Stirnseite wenigstens auf ihrer Innenseite eine die erzeugte Strahlung reflektierende
Oberfläche aufweist.
-2-
4. Entladungslampe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Blendenkörper
(2, 2') eine durchgehende Bohrung durch beide Stirnseiten (8, 9) entlang der optischen
Achse (6) mit einer jeweils durch eine der Elektroden (13, 14) geführten Öffnung
(15, 16) aufweist, wobei jede der Öffnungen (15, 16) jeweils einem Strahlenaustrittsfenster
(11, 12) benachbart angeordnet ist.
5. Entladungslampe nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlenachse (6)
entlang der Strahlenachse einer zusätzlichen Strahlungsquelle angeordnet ist, wobei
durch Blendenöffnung (7) auch Strahlung der zusätzlichen Strahlungsquelle geführt wird.
6. Entladungslampe nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die
Blendenöffnung (7) kreisförmig ausgebildet ist, wobei ihr Durchmesser im Bereich von 0,1
bis 6 mm liegt.
7. Entladungslampe nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der
Blendenkörper (7) aus Aluminiumoxid, Aluminiumnitrid, Bornitrid besteht.
8. Entladungslampe nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der
Blendenkörper (7) aus Thoriumoxid, Berylliumoxid oder polykristallinem Diamant besteht.
9. Entladungslampe nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß das
Strahlen-Austrittsfenster (11, 12) aus Quarzglas, UV-durchlässigem Glas oder Saphir
besteht.
10. Entladungslampe nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der
Blendenkörper (2') aus hochtemperaturbeständigem Metall besteht, wobei zwischen den
Elektroden (13, 14) und dem Blendenkörper (21) jeweils ein elektrisch isolierendes Bauelement
als Austrittsfenster (11; 12) oder als Isolierkörper (22) angeordnet ist.
11. Entladungslampe nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß als
Füllung Deuterium mit einem Kaltfülldruck von 1 bis 100 mbar vorgesehen ist.
12. Entladungslampe nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die
Elektroden (13, 14) an einem Hochfrequenz-Generator (19) angeschlossen sind, der eine
Anregungsfrequenz im Bereich von 0,01 bis 2450 MHz erzeugt.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE29521772U DE29521772U1 (de) | 1995-12-20 | 1995-12-20 | Elektrodenlose Entladungslampe |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE29521772U DE29521772U1 (de) | 1995-12-20 | 1995-12-20 | Elektrodenlose Entladungslampe |
| DE19547519A DE19547519C2 (de) | 1995-12-20 | 1995-12-20 | Elektrodenlose Entladungslampe |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE29521772U1 true DE29521772U1 (de) | 1998-08-13 |
Family
ID=26021432
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE29521772U Expired - Lifetime DE29521772U1 (de) | 1995-12-20 | 1995-12-20 | Elektrodenlose Entladungslampe |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE29521772U1 (de) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001094898A1 (fr) * | 2000-06-09 | 2001-12-13 | France Telecom | Ellipsometre spectroscopique a faible bruit |
-
1995
- 1995-12-20 DE DE29521772U patent/DE29521772U1/de not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001094898A1 (fr) * | 2000-06-09 | 2001-12-13 | France Telecom | Ellipsometre spectroscopique a faible bruit |
| FR2810108A1 (fr) * | 2000-06-09 | 2001-12-14 | France Telecom | Ellipsometre spectroscopique a faible bruit |
| US6791684B2 (en) | 2000-06-09 | 2004-09-14 | France Telecom | Low-noise spectroscopic ellipsometer |
| USRE44007E1 (en) | 2000-06-09 | 2013-02-19 | Fahrenheit Thermoscope Llc | Low-noise spectroscopic ellipsometer |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R207 | Utility model specification |
Effective date: 19980924 |
|
| R150 | Utility model maintained after payment of first maintenance fee after three years |
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|
| R151 | Utility model maintained after payment of second maintenance fee after six years |
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|
| R152 | Utility model maintained after payment of third maintenance fee after eight years |
Effective date: 20040113 |
|
| R071 | Expiry of right |