DE2929911C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung für die Augerelektronenspektroskopie, mit entlang einer gemeinsamen Achse angeordneten Komponenten, wobei die Komponenten eine Einrichtung für die Erzeugung eines unmittelbar entlang der Achse verlaufenden Primärelektronenstrahls und elektronen-optische Einrichtungen für die Ausrichtung des Primärelektronenstrahls auf die Probe, einen koaxialen, zylindrischen Analysator mit einem inneren und einem äußeren Zylinder und mit Fenstern für die Auswahl von Augerelektronen, und eine Empfangseinrichtung mit einem Empfängergehäuse, die konzentrisch zu der Achse angeordnet und mit einer Blendenöffnung für den Durchgang von Elektronen versehen ist, die durch den Analysator hindurchtreten, wobei die Weite der Blendenöffnung mit Hilfe einer Antriebseinrichtung veränderbar ist, und die einen Detektor für die Erfassung von Elektronen aufweist, die durch die Blendenöffnung hindurchtreten.

Die Instrumente zur Verwendung bei der Elektronenspektrosko­ pie machen Gebrauch von Elektronen, die von einer Substanz emittiert werden, nachdem sie von einer Quelle, wie beispiels­ weise einer Elektronenschleuder mit Elektronen bombardiert oder bestrahlt wurde. Die Technik, auf die sich die Erfin­ dung insbesondere richtet, ist als Augerelektronenspektrosko­ pie bekannt. Bei dieser Art Technik wird ein Targetprobenma­ terial in ein Vakuum gelegt, allgemein unterhalb 10^-7 Torr, und diese Probe sendet bei Beschuß mit Elektronen von irgend­ einer Quelle, beispielsweise einer Elektronenschleuder, Emissionen verschiedener Art aus. Hierzu gehören Röntgen­ strahlen, sekundäre Elektronen und von der Quelle reflektier­ te primäre Elektronen. Die Probe gibt Augerelektronen ab (eine besondere Art sekundärer Elektronen) in der in der Li­ teratur hinreichend bekannten Weise.

In der Technik der Elektroskopie geladener Teilchen sind In­ strumente bekannt, die zylindrischen Spiegelanalysatoren ver­ wenden, welche die Energie und das Energiespektrum von Augerelektronen oder anderen geladenen Teilchen, die von dem Probenmaterial ausgesondert werden, durch Ein­ leiten der geladenen Teilchen in ein radiales elek­ trisches Feld analysieren, welches zwischen einem Paar koaxial gelagerter Elektroden erzeugt wird, die bei ver­ schiedenen elektrischen Potentialen gehalten werden. Die in das radiale elektrische Feld zwischen den zylindrischen Elektroden eingeleiteten geladenen Teilchen werden durch das Feld in Richtung auf die gemeinsame Achse der Elektroden abgelenkt. Partikel einer vorgegebenen Energie werden dadurch fokussiert. Durch Anordnung einer Detektorvorrichtung in diesem Fokus werden Partikel einer vorgegebenen Energie ausgewählt und erfaßt. Durch Verändern der an die zylindrischen Elektro­ den gelegten Spannung über einen Wertbereich und Erfassung der Partikel als eine Funktion dieser angelegten Spannungen kann das Energiespektrum der injizierten Partikel grafisch dargestellt und bestimmt werden.

Es sind Einrichtungen bekannt, die mit einem Detektor arbeiten, der nur die­ jenigen Elektronen erfaßt, welche in der Nähe der Analysator­ achse passieren. Demzufolge reduziert jegliches magnetische Feld oder dergleichen, welches die Bahnen derartiger Elektronen ablenkt, die Wahrscheinlichkeit ihrer Erfassung. Dies hat die Verwendung koaxialer Magnetlinien und dergleichen bei derar­ tigen Instrumenten behindert, da derartige Linsen die Bahn der Partikel beeinträchtigen.

Aus der DE-OS 27 05 430 ist ein elektrostatischer Analysator für geladene Teilchen mit einem koaxialen, zylindrischen Analysator bekannt, der eine Empfangseinrichtung mit einem ringförmigen Detektor aufweist, durch den ein auf eine Probe gerichteter Strahl, gegen den die Empfängerflächen des Detektors nicht abgeschirmt sind, hindurchtritt. Der ringförmige Detektor empfängt zu analysierende geladene Teilchen, die achsenentfernt durch eine ringförmige Blendenöffnung hindurchtreten.

Aus der Druckschrift "Meßtechnik 7/70, 78 Jg. Seiten 133 bis 137" ist ein Photoelektronenspektrometer bekannt, welches einen Analysator mit einer zu der gemeinsamen Achse rotationssymmetrischen Elektronenanordnung verwendet. Eine Empfangseinrichtung für zu analysierende Photoelektronen umfaßt eine ringförmige Blendenöffnung für den Durchtritt zu analysierender Elektronen, eine Zylinderelektrode zum Umlenken der durch die ringförmige Blendenöffnung getretenen Elektronen, sowie einen die umgelenkten Elektronen empfangenen Photovervielfacher.

Aus der US 39 20 990 ist eine einen koaxialen zylindrischen Analysator verwendende Vorrichtung bekannt, in welcher gestreute Ionen analysiert werden, die dadurch entstehen, daß ein aus einer Ionenquelle ausgesendeter primärer Ionenstrahl auf eine Probe gerichtet wird. Zur Energieanalyse der Ionen ist ein ringförmiger Detektor vorgesehen, durch den der Primärionenstrahl hindurchtritt und der durch eine ringförmige Blendenöffnung hindurchtretende, zu analysierende Ionen empfängt.

Eine Vorrichtung der eingangs erwähnten Art mit einer in ihrer Weite verstellbaren Blendenöffnung ist aus der US 40 48 498 bekannt. Die Vorrichtung weist einen Schwenkmechanismus auf, durch den kreisförmige Lochblenden mit verschiedenen Duchmessern in eine zu der gemeinsamen Achse konzentrische Position schwenkbar sind. Bei einer weiteren aus dieser Druckschrift bekannten Vorrichtung sind zwei gegeneinander verschiebbare Blendenöffnungsträger mit quadratischen, sich überlappenden Öffnungen vorgesehen, wobei sich die Öffnungen so überlappen, daß sich ein quadratischer Blendenquerschnitt, dessen Größe sich durch Verschiebung der Blendenöffnungsträger gegeneinander verändern läßt, ergibt. Durch die Einstellmöglichkeit der Blendenweite ergibt sich der Vorteil, daß ein Benutzer der Vorrichtung die Relation zwischen der Energieauflösung und dem Signal-Rauschverhältnis entsprechend seinen Meßaufgaben verändern kann.

Gegenüber dieser bekannten Vorrichtung löst die vorliegende Erfindung die Aufgabe, eine in ihrer Leistungsfähigkeit noch weiter verbesserte Vorrichtung mit einstellbarer Blende für die Augerelektronenspektroskopie zu schaffen.

Die Vorrichtung zur Elektronenspektroskopie nach der vorliegenden Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß die ringspaltförmige Blendenöffnung aus dem in Form eines Rohres mit einem offenen Ende ausgebildeten Empfängergehäuse und einer normal zur gemeinsamen Achse angeordneten Endkappe gebildet ist, und daß die Antriebseinrichtung zur Bewegung der Endabdeckung und des Empfängergehäuses relativ zueinander zwecks Veränderung der Blendenöffnung einen hohlen, die Abschirmwirkung erhöhenden Stößel enthält, der an der Endabdeckung axial befestigt und in der Abschirmung axial verschiebbar gelagert ist.

Durch diese erfindungsgemäße Lösung steht eine Vorrichtung zur Verfügung, die gegenüber dem Stand der Technik in bezug auf die Einstellbarkeit und Meßgenauigkeit verbessert ist, indem bei kontinuierlicher Einstellbarkeit der Blendenweite die Blende eine an die Geometrie des zylindrischen Analysators angepaßte Kreissymmetrie aufweist. Dadurch ist eine Einstellung der Relation zwischen der Auflösung und dem Signal-Rauschverhältnis bei erhöhter Meßgenauigkeit möglich. Durch die Verwendung einer einstellbaren Ringblende, durch die achsenferne geladene Teilchen zur Analyse ausgewählt werden, ergibt sich der weitere Vorteil, daß der nachteilige Einfluß von Streumagnetfeldern auf die Meßgenauigkeit weitgehend eliminiert ist.

In der der Erfindung wird eine neuartige Detektorvorrichtung für die achsenferne Erfassung geladener Teilchen in Verbindung mit einer elektronen-optischen Einrichtung benutzt. Es wird bevorzugt, daß diese Einrichtung eine magnetische Objektivlinse ist. Beide Be­ standteile, der Detektor und die Objektivlinse, sind wenig­ stens teilweise in dem zylindrischen Spiegelanalysatorab­ schnitt der Vorrichtung und in der Nähe seiner gegenüberlie­ genden Enden angeordnet.

Die neuartige Detektoreinrichtung enthält eine einstellbare ringförmige Blendenöffnung. Die Detektoranordnung gemäß der Er­ findung ist u. a. so ausgelegt, daß sie die Schwie­ rigkeit vermindert, die durch den Einfluß äußerer Wirkungen zylindersymmetrischer Magnetfelder und dergleichen auf die Bahnen der geladenen Teilchen verursacht wird. Magnetische Linsen beispielsweise sind Quellen derartiger Wirkungen. Der Detektor stellt die achsenferne Erfassung geladener Teilchen sicher, welche durch derartige Wirkungen aus der Achse verdrängt worden sind.

Wie bereits im vorhergehenden erwähnt, ist die ringförmige Öffnung der Detektoreinrichtung so ausgelegt, daß sie in der Spaltbreite kontinuierlich eingestellt werden kann. Ein Vorteil der achsenentfernten ringförmigen Öffnung besteht darin, daß sie gegenüber Magnetfelder, insbesondere jenen von einer magnetischen Objektivlinse gebildeten, rela­ tiv unempfindlich ist. Für in erster Näherung wird bei die­ ser geometrischen Anordnung der gleiche Gesamtstrom in einer Linie übertragen, trotz der Gegenwart eines Magnetfeldes. Außerdem wird die Analysatorauflösung in erster Näherung durch zylindrisch sym­ metrische Magnetfelder nicht verschlechtert. Ferner besitzt die ringförmige Öffnung einen größeren Nutzungsbereich vor dem zylindrischen Analy­ sator, d. h. die Augerlinien insbesondere ge­ ringer Energie fallen bei einer Strahlenablen­ kung nicht so schnell ab.

Die Anordnung der Bestandteile wie hier vorgesehen, weist eine Anzahl von Vorteilen auf. Beispielsweise brauchen nur die Objektivlinse und das Ablenksystem des Instruments inner­ halb des Analysators zu sein. Die verbleibenden Bestandteile der Vorrichtung, wie beispielsweise die Kondensoren und die Einrichtung zur Elektronenstrahlerzeugung können hinter den zylindrischen Spiegel­ analysatorabschnitt der Vorrichtung angeordnet werden. Durch Anordnung der Kondensatoren den zylindrischen Analysator wird das Magnetfeld innerhalb des zylindrischen Analysators reduziert. Sie gewährt auch zusätzlichen Raum und ermöglicht größere Brennweiten in der Vorrichtung. Die Anordnung der Elektronenquelle oder der Einrichtung zur Elektronenstrahlerzeugung in Richtung auf das hintere Ende des Instruments macht dessen Glühfaden zum Austausch leicht zugänglich. Dies gestattet es dem Bedien­ nungsmann, die Leuchtfäden nach seiner Wahl bei höheren Tem­ peraturen brennen zu lassen, um eine verstärkte Helligkeit zu erzielen. Ein solcher Betrieb verlangt einen häufigen Austausch des Glühfadens, jedoch wird durch die vorliegende Formgebung der Glühfadenaustausch vereinfacht.

Verschiedene weitere Vorzüge der Erfindung gehen aus einer Betrachtung der beigefügten Beschreibung und der Zeichnungen hervor. Es zeigt

Fig. 1 (in zwei Abschnitten 1a und 1b) einen Längsschnitt durch eine Vorrichtung eines zylindrischen Auger­ spiegels mit einer magnetisch abgeschirmten magne­ tischen Objektivlinse, einer ver­ änderlichen Öffnung außerhalb der Achse, einer Detektoreinrichtung für ge­ ladene Teilchen gemäß der Erfindung,

Fig. 2 einen Schnitt nach der Linie 2-2 der Fig. 1, die auf der Mittelachse der Vorrichtung liegt; die Ansicht der Fig. 2 zeigt nur einen mittleren Abschnitt der Vorrichtung und enthält keinen ihrer Endabschnitte,

Fig. 3 einen Schnitt nach der Linie 3-3 der Fig. 1,

Fig. 4 einen Schnitt nach der Linie 4-4 der Fig. 1 und

Fig. 5 einen Schnitt nach der Linie 5-5 der Fig. 1.

Es folgt nunmehr eine Beschreibung der bevorzugten Ausführungs­ form. Zunächst wird auf Fig. 1 Bezug genommen, welche die be­ vorzugte Ausführungsform in Gestalt eines Auger-Spektrometers zeigt. Die gezeigte Vorrichtung enthält ein Paar koaxialer zylindrischer Metallelektroden 11 und 12. Die Elektroden 11 und 12 sind gegenseitig elektrisch isoliert, so daß im Betrieb die äußere Elektrode 12 auf einem anderen Potential gehalten werden kann als die innere Elektrode 11, so daß ein radial gerichtetes elektrisches Feld in dem Raum zwischen den Elek­ troden 11 und 12 gebildet wird und dadurch die Bahnen der geladenen der geladenen Teilchen zwischen den Zylindern begrenzt werden. Die Elektrode 11 vorzugsweise ge­ erdet. Auf der gemeinsamen Achse 2-2, welche die Mittelachse der Vorrichtung ist, auf welcher weitere Bestandteile der Vorrichtung im Abstand angeordnet sind, ist wie gezeigt eine Targetprobe 13 gelagert, das schematisch angedeutet ist.

Im Betrieb der koaxialen Analysatoreinrichtung der Vorrichtung wird die Probe 13 mit einem Elektronenstrahl von ei­ ner Elektronenquelle, die allgemein bei 14 angedeutet ist, bestrahlt, um das Prüfmuster 13 zum Aussen­ den von Augerelektronen zu veranlassen. Die Energien der von der Probe 13 ausgesendeten Elektronen sind abhängig von der chemischen Struktur der Probe und der Beschaffenheit der Be­ schußelektronen. Der Elektronenstrahl , der von der Quelle 14 ausgeht, schreitet axial durch das Instru­ ment fort auf der Achse 2-2 entlang zur Probe 13. Während sich die Elektronen von der Quelle 14 durch das Instrument hindurch zur Probe 13 bewegen, gehen sie durch die magnetischen Kondensoren, die allgemein bei 16 und 18 angedeutet sind, und durch eine allgemein bei 20 gezeigte magnetische Objektivlinse hindurch . Die bestrahlenden Elektro­ nen gehen auch durch den Mittelpunkt einer Detektoreinrichtung hindurch, die allgemein bei 22 gezeigt und um die Achse 2-2 herum angeordnet ist, um den Durchgang des Elektronenstro­ mes dort hindurch zu gestatten. Verschiedene andere Bestand­ teile der Einrichtung, die um die Achse 2-2 herum ange­ ordnet sind, sind ebenfalls so ausgelegt, daß sie den Durchgang des Stromes der bestrahlenden Elektronen zulassen, wie aus den Zeichnungen ersichtlich ist.

Die von der Probe 13 emittierten Augerelektronen folgen dem Weg zwischen den Zylindern 11 und 12, der durch die punk­ tierten Linien in dem Analysatorabschnitt der Einrichtung an­ gegeben ist. Die Elektronen gehen durch die ringförmige Öff­ nung 23 hindurch, die in diesem Fall in der inneren Elektrode 11 ausgebildet ist, jedoch in einem gesonderten Körper ausge­ bildet sein könnte; die Öffnung 23 dient dazu, den Eintritt emittierte Augerelektronen in den Bereich zwischen dem Innen­ zylinder 11 und dem Außenzylinder 12 des koaxialen Analysator­ abschnitts der Einrichtung zu gestatten. Die durch die Öffnung 23 hindurchgehende Augerelektronen treten in das radiale elektrische Feld zwischen den Elektroden 11 und 12 ein und werden durch das Feld in Richtung auf die Achse 2-2 des Ana­ lysators und der Einrichtung abgelenkt. Die abgelenkten Elek­ tronen gehen durch eine ringförmige Ausgangsöffnung 24 der inneren Elektrode 11 hindurch. Vorzugsweise sind die Öffnun­ gen mit einer metallischen Gaze oder einem Maschenmaterial abgedeckt, wie in der Technik bekannt. Die Elektronenoptik eines koaxialen Analysators, der auch als zylindrischer Spie­ gelanalysator bezeichnet wird, ist derart, daß die Elektronen einer vorgegebenen Energie je nach Stärke des radialen elek­ trischen Feldes, die mit Bezug auf den Analysator in radialen Ebenen wandern und bei der achsenentfernten ringförmigen Eintritts­ öffnung 26, die durch die Detektoreinrichtung 22 begrenzt wird, in einem Brennpunkt gesammelt werden. Die Elektronen, die durch diese Öffnung hindurchgehen, treten in die Detektoreinrichtung 22 ein, und die Einrichtung erzeugt ein Ausgangssignal proportio­ nal zur Rate mit welcher sie die Elektronen empfängt. Die Einrichtung 22 enthält eine erste Dynode bei 28 und einen Elektronenmultiplier, der in Fig. 2 mit 30 bezeichnet wird und wirksam in der üblichen Weise mit der Vorrichtung 22 ver­ bunden ist, wie in der Technik allgemein üblich. In dieser Anordnung ist die erste Dynode 28, beispielsweise ein Beryliumkupfermaterial, welches auf die geladenen Teilchen anspricht, in dem Gehäuse 32 einer Detektor­ einrichtung 22 so angeordnet, daß sie in der Lage ist, durch Aufprall jegliche der durch die Öffnung 26 eintretenden Elektronen zu empfangen. Das Material emittiert zusätzliche geladene Teilchen in Abhängigkeit von einem solchen Aufprall und ver­ stärkt somit den Fluß geladener Teilchen. Es können anstelle der Banddynode 28 andere Formen, wie z. B. eine Kanalplattenmulti­ plier Verwendung finden.

Die magnetischen Linsen 16, 18 und 20 sind von bekannter Art. Die Objektivlinse 20 enthält eine Elektronenmagnetspule 21 und eine magnetische Abschirmung 25, 27 und 29. Der von der Spule 21 erzeugte magnetische Fluß grenzt an den Ma­ gnetluftspalt 31, um den Primärstrahl von durch die Linse tretenden aufgeladenen Teilchen auf das Target 13 zu fokussieren. Der Magnetluftspalt 31 besteht aus einem Körper nichtmagnetischen Materials, wie beispielsweise Molybdän. Die Linse enthält einen Satz elektrostatischer Ablenkplatten 33, die den Primärstrahl zur Abtastung der Probe 13 lenken.

Die Kondensoren 16 und 18 sind von einer Konstruktion allge­ mein ähnlich der Objektivlinse 20 und enthalten eine Spule 35, eine Abschirmung 37, 39 und 41, sowie einen Magnetluft­ spaltkörper 43. Die Linsen bewirken eine Parallelisierung des Primärstrahls. Linsen dieser allgemeinen Art 16, 18 und 20 sind in Electron Optics, by P. Grivet, Pergamon Press, New York, 1965 auf den Seiten 231 und 475 gezeigt.

Wie bereits angedeutet, ist die Detektoreinrich­ tung 22 für die geladenen Teilchen ein achsenentfernter Kollek­ tor, d. h. die Dynode 28 ist um die Achse 2-2 der Vorrichtung herum innerhalb des Detektorgehäuses 32 für die geladenen Teilchen angeordnet. Ferner ist das Gehäuse 32 wie bereits erwähnt mit einer ringförmigen Öffnung 26 für den Einlaß emittierter Elektronen dort hinein versehen. Die Breite oder Größe des ringförmigen Spalts 26 ist veränderlich und kann auf verschiedene Größe durch eine Endabdeckung oder eine End­ kappe 36 eingestellt, geöffnet oder geschlossen werden, wobei die Endabdeckung von dem hohlen Stößel 38 getragen wird, der hin- und herbewegbar in der koaxialen Bohrung einer axial angeordneten Lagerung 40 in dem Gehäuse 32 aufgenommen ist. Eine Feder 42 in dem Gehäuse 32 drückt gegen das Ende des Stößels 38 und drückt ihn dadurch von dem offenen Ende 44 des Gehäuses 32 nach außen, um einen normalerweise offenen ringförmigen Spalt 26 vorzusehen. Der Stößel 38 wird an seinem anderen Ende auch hin- und herbeweg­ bar in einer zylindrischen , axial angeordneten Lagerung 46 für Lagerungszwecke aufgenommen, um ein Übertreten von Elek­ tronen aus dem Primärstrahl in die Detektoreinrichtung hinein zu verhindern und eine Einstellung der Schlitzbreite zu ermögli­ chen. Der Stößel 38 und die Lagerungen 40 und 46 sind natür­ lich rohrförmig ausgebildet um die Achse 2-2, um den Durchgang der von der Quelle 14 zur Probe 13 gehenden Elektronen dort hindurch zu gestatten.

Eine ringförmige Nockenfläche 48 auf dem Stößel 38 liegt ge­ gen Mitnehmerstifte oder Kugellager 50a und 50b an, die von dem Joch 52 getragen werden. Das Joch 52 ist schwenkbar an der Innenseite der Vorrichtung befestigt, wie in der Fig. 2 und Fig. 3 allgemein bei 54 gezeigt. Das gegenüberliegende Ende des Joches 52, das allgemein bei 56 angedeutet ist, wird von einer Antriebseinrichtung zum Drehen des Joches 52 um den Drehpunkt 54 und somit zur Bewegung der Mitnehmer­ stifte oder Lager 50a und 50b in axialer Richtung , um den Stößel 38 und die Endkappe 36 in Richtung auf das Gehäuse 32 zu drücken, berührt in Fig. 2 gezeigt, enthält das bei 56 mit der Antriebseinrichtung verbundene Joch 52 einen Hebelarm oder eine Schubstange 55, die an einem bei 62 schwenkbar an der Vorrichtung gelagerten Kniehebel 60 befestigt ist. Gemäß der Darstellung ist ein weiterer Hebelarm oder eine weitere Schubstange 64 an dem Kniehebel 60 befestigt. Der Hebelarm oder die Schubstange 64 wird durch eine allgemein bei 66 ge­ zeigte Schraubvorrichtung betätigt, durch welche die Stange oder der Arm 64 veranlaßt werden kann, den Kniehebel 60 zu drehen, um dem Hebel 55 eine Axialbewegung zu erteilen und so das Joch 52 aus einem Schwenkpunkt 54 zur Einstellung der Lage der Endkappe 36 zu betätigen.

Eine derartige Anordnung sieht einen Ringspalt 26 vor, der von einer geschlossenen Stellung aus in offene Stellungen ver­ schiedener Größen eingestellt werden kann. Allgemein wäre es auch möglich, gegebenenfalls die Stellung der Endabdeckung 36 zu fixieren und das Gehäuse 32 zu bewegen, um dieselbe Wirkung zu erreichen. Eine derartige Anordnung würde als im Bereich der Erfindung liegend angesehen werden.

Die Elektronenquelle 14 enthält eine Glühfadenanordnung 70 aus einem geeigneten Material wie beispielsweise Wolfram- oder Lanthanhexaborid, sowie eine Anodenanordnung 72. Die Stifte 74 (in Fig. 1a gezeigt) sind mit dem Glühfaden verbunden und können in einem Sockel aufgenommen werden, an den Energie zur Erwärmung des Glühfadens herangeführt wird, wie in der Technik bekannt. Die Anodenanordnung 72 beschleunigt den Elektro­ nenstrahl von der Glühfadenanordnung 70 auf der Achse 2-2 der Vorrichtung entlang in der bekannten Weise. Eine Mikrometer­ einrichtung 76 zur Einstellung der Fluchtlage der Elektronen­ quelle 14 kann ebenso vorgesehen sein.

Die Vorrichtung enthält ferner vorzugsweise eine Einrichtung zur Bildung einer veränderlichen axialen Öffnung, wie allge­ mein bei 74 (Fig. 1b) in der Objektivlinse 20 angedeutet. Die veränderliche axiale Öffnung ist allgemein von der Art, wie in dem US-Patent 40 45 489 "Abtastaugermikrosonde mit veränderlicher axialer Öffnung" von Gerlach et al vom 13. September 1977 gezeigt. Die Einrichtung zur Bildung der ver­ änderlichen axialen Öffnung enthält insbesondere einen umlau­ fenden Steuermechanismus 76, wie in der Technik bekannt, wel­ cher zum Drehen eines Zahnrads 78 durch Drehung des Zahnrades 80 benutzt wird, wodurch der drehbare Arm 82 benutzt werden kann, um eine Drehbewegung auf das Zahnradsegment 84 zu über­ tragen (am besten aus Fig. 4 ersichtlich) sowie auf ein er­ faßtes Zahnrad 86, das wiederum die Drehbewegung auf den drehbaren Arm 88 überträgt. Der drehbare Arm 88 erstreckt sich in die Objektivlinse 20 hinein, wie in Fig. 1b gezeigt, um sich mit der Platte 90 der veränderlichen Öffnungen zu ver­ binden. Die Platte 90 enthält drei Öffnungen von verschiede­ nen Größen 92, 94 und 96 (am besten aus Fig. 5 ersichtlich) von denen jede wahlweise axial auf der Achse 2-2 in Stel­ lung gebracht werden kann. Eine solche Steuerung ist er­ hältlich beispielsweise als Modell Nr. A-77036 von der Firma Ultek Inc., eine Abteilung der Perkin-Elmer, Mountain View, Californien.

Claims (3)

1. Vorrichtung für die Augerelektronenspektroskopie, mit entlang einer gemeinsamen Achse angeordneten Komponenten, wobei die Komponenten
eine Einrichtung (14) für die Erzeugung eines unmittelbaren entlang der Achse verlaufenden Primärelektronenstrahls und elektronen-optischen Einrichtungen (16, 18, 20) für die Ausrichtung des Primärelektronenstrahls auf die Probe (13),
einen koaxialen, zylindrischen Analysator mit einem inneren (11) und einem äußeren (12) Zylinder und mit Fenstern (23, 24) für die Auswahl von Augerelektronen, und eine Empfangseinrichtung mit einem Empfängergehäuse, die konzentrisch zu der Achse angeordnet und mit einer Blendenöffnung (26) für den Durchgang von Elektronen versehen ist, die durch den Analysator hindurchtreten, wobei die Weite der Blendenöffnung (26) mit Hilfe einer Antriebseinrichtung (76) veränderbar ist, und die einen Detektor (22) für die Erfassung von Elektronen aufweist, die durch die Blendenöffnung (26) hindurchtreten,
umfassen,
dadurch gekennzeichnet, daß die ringspaltförmige Blendenöffnung (26) aus dem in Form eines Rohres mit einem offenen Ende ausgebildeten Empfängergehäuse (32) und einer normal zur gemeinsamen Achse angeordneten Endkappe (36) gebildet ist, und
daß die Antriebseinrichtung (76) zur Bewegung der Endabdeckung (36) und des Empfängergehäuses (32) relativ zueinander zwecks Veränderung der Blendenöffnung einen hohlen, die Abschirmwirkung erhöhenden Stößel (38) enthält, der an der Endabdeckung (36) axial befestigt und in der Abschirmung (40) axial verschiebbar gelagert ist.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Stößel (38) über die Endabdeckung (36) des Empfängergehäuses (32) hinaus vorsteht und das vorstehende Ende von einer etwa in der Mitte des Analysators axial angeordneten Lagerung aufgenommen ist.

3. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, gekennzeichnet durch Federeinrichtungen (42), die die Endkappe (36) von dem offenen Ende des Empfängergehäuses (32) fortdrücken.