DE2926580C2 - Vorrichtung zur Dickenmessung dünner Schichten - Google Patents

Vorrichtung zur Dickenmessung dünner Schichten

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US2858450A (en) * 1956-12-20 1958-10-28 Industrial Nucleonics Corp Shutter system
US3223840A (en) * 1961-04-27 1965-12-14 Industrial Nucleonics Corp Method and apparatus for measuring the property of a magnetizable workpiece using nuclear radiation
US3499152A (en) * 1966-03-18 1970-03-03 Industrial Nucleonics Corp Method and apparatus for improving backscatter gauge response

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