DE2922128A1 - Ionenquelle fuer einen massenanalysator - Google Patents

Ionenquelle fuer einen massenanalysator

Info

Publication number
DE2922128A1
DE2922128A1 DE19792922128 DE2922128A DE2922128A1 DE 2922128 A1 DE2922128 A1 DE 2922128A1 DE 19792922128 DE19792922128 DE 19792922128 DE 2922128 A DE2922128 A DE 2922128A DE 2922128 A1 DE2922128 A1 DE 2922128A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
sample
ion source
energy filter
source according
laser beam
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19792922128
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
DE2922128C2 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html
Inventor
Eberhard Dr Unsoeld
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
STRAHLEN UMWELTFORSCH GmbH
Original Assignee
STRAHLEN UMWELTFORSCH GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by STRAHLEN UMWELTFORSCH GmbH filed Critical STRAHLEN UMWELTFORSCH GmbH
Priority to DE19792922128 priority Critical patent/DE2922128A1/de
Priority to CH416780A priority patent/CH647893A5/de
Priority to FR8012134A priority patent/FR2463504A1/fr
Publication of DE2922128A1 publication Critical patent/DE2922128A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2922128C2 publication Critical patent/DE2922128C2/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/02—Details
    • H01J49/10—Ion sources; Ion guns
    • H01J49/16—Ion sources; Ion guns using surface ionisation, e.g. field-, thermionic- or photo-emission

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)
  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
DE19792922128 1979-05-31 1979-05-31 Ionenquelle fuer einen massenanalysator Granted DE2922128A1 (de)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19792922128 DE2922128A1 (de) 1979-05-31 1979-05-31 Ionenquelle fuer einen massenanalysator
CH416780A CH647893A5 (en) 1979-05-31 1980-05-29 Ion source in a mass analyser
FR8012134A FR2463504A1 (fr) 1979-05-31 1980-05-30 Source d'ions pour analyseur de masses

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19792922128 DE2922128A1 (de) 1979-05-31 1979-05-31 Ionenquelle fuer einen massenanalysator

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2922128A1 true DE2922128A1 (de) 1980-12-11
DE2922128C2 DE2922128C2 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html) 1989-05-18

Family

ID=6072129

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19792922128 Granted DE2922128A1 (de) 1979-05-31 1979-05-31 Ionenquelle fuer einen massenanalysator

Country Status (3)

Country Link
CH (1) CH647893A5 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html)
DE (1) DE2922128A1 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html)
FR (1) FR2463504A1 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0088917A1 (de) * 1982-03-10 1983-09-21 Leybold-Heraeus GmbH Lasermikrosonde für Festkörperproben, bei der eine Beobachtungsoptik, eine Laserlichtoptik und eine Ionenoptik auf derselben Seite einer Probenhalterung angeordnet sind
DE3439287A1 (de) * 1983-10-26 1985-05-09 Mitsubishi Denki K.K., Tokio/Tokyo Lasermikrostrahlanalysiergeraet
EP1617440A4 (en) * 2003-04-23 2008-05-21 Japan Science & Tech Agency High-speed particle generator

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB8707516D0 (en) * 1987-03-30 1987-05-07 Vg Instr Group Surface analysis

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2402728A1 (de) * 1973-02-02 1974-08-08 Philips Nv Vorrichtung zum analysieren einer oberflaechenschicht durch ionenzerstreuung
US3935453A (en) * 1973-09-24 1976-01-27 Max-Planck-Gesellschaft Zur Forderung Der Wissenschaften E.V. Quadrupole field mass analyser
GB1533526A (en) * 1976-02-09 1978-11-29 Hitachi Ltd Electro-static charged particle analyzers

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2402728A1 (de) * 1973-02-02 1974-08-08 Philips Nv Vorrichtung zum analysieren einer oberflaechenschicht durch ionenzerstreuung
US3935453A (en) * 1973-09-24 1976-01-27 Max-Planck-Gesellschaft Zur Forderung Der Wissenschaften E.V. Quadrupole field mass analyser
GB1533526A (en) * 1976-02-09 1978-11-29 Hitachi Ltd Electro-static charged particle analyzers

Non-Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
"Anal. Chem." 50(1978), S. 985-991 *
"Int. J. of Mass Spectr. and Ion Physics" 27(1978), S. 110 *
"Jap. J. of Appl. Phys." 15(1976) S. 1359-1366 *
"Z. Anal. Chem." 253(1971), S. 7-12 *

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0088917A1 (de) * 1982-03-10 1983-09-21 Leybold-Heraeus GmbH Lasermikrosonde für Festkörperproben, bei der eine Beobachtungsoptik, eine Laserlichtoptik und eine Ionenoptik auf derselben Seite einer Probenhalterung angeordnet sind
DE3208618A1 (de) * 1982-03-10 1983-09-22 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Lasermikrosonde fuer festkoerperproben, bei der eine beobachtungsoptik, eine laserlichtoptk und iene ionenoptik auf derselben seite einer probenhalterung angeordnet sind
DE3439287A1 (de) * 1983-10-26 1985-05-09 Mitsubishi Denki K.K., Tokio/Tokyo Lasermikrostrahlanalysiergeraet
EP1617440A4 (en) * 2003-04-23 2008-05-21 Japan Science & Tech Agency High-speed particle generator
US7460228B2 (en) 2003-04-23 2008-12-02 Japan Science And Technology Agency Fast particle generating apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
DE2922128C2 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html) 1989-05-18
FR2463504A1 (fr) 1981-02-20
CH647893A5 (en) 1985-02-15
FR2463504B1 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html) 1984-12-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102006050600B4 (de) Spektrometer zur Oberflächenanalyse und Verfahren dafür
DE102016121522B4 (de) Verfahren zum Durchlassen von Ionen durch eine Apertur
DE3619886C2 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html)
DE1798021B2 (de) Einrichtung zur buendelung eines primaer-ionenstrahls eines mikroanalysators
DE4243144B4 (de) Objektiv für ein FT-Raman-Mikroskop
DE69936800T2 (de) Massenspektrometer
DE3854283T2 (de) Direkt-abbildendes monochromatisches Elektronenmikroskop.
EP0840940A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur ionendünnung in einem hochauflösenden transmissionselektronenmikroskop
DE2819711C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Analyse einer Probe mit Hilfe gepulster Laserstrahlung
DE1489658A1 (de) Vorrichtung zur Beschiessung eines Gegenstandes mit einem Elektronenstrahlenbuendel und Verfahren fuer diese Beschiessung zum Zwecke der Emission von Roentgenstrahlen durch diesen Gegenstand
DE4036115C2 (de) Verfahren und Einrichtung zur quantitativen nichtresonanten Photoionisation von Neutralteilchen und Verwendung einer solchen Einrichtung
WO1998007059A1 (de) Strahlumlenkeinheit zur mehrachsigen untersuchung in einem mikroskop
DE19635645C2 (de) Verfahren für die hochauflösende Spektrenaufnahme von Analytionen in einem linearen Flugzeitmassenspektrometer
EP0829901A1 (de) Massesspektrometrische Analyse von Oberflächen
DE4041297A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum waehlen der aufloesung eines ladungsteilchenstrahl-analysators
DE2727664A1 (de) Kuevettenpositioniereinrichtung
DE2922128A1 (de) Ionenquelle fuer einen massenanalysator
DE102008048085B4 (de) Unterscheidung von Enantiomeren mit Hilfe der breitbandigen Femtosekunden-Circulardichroismus-Massenspektrometrie
EP0013003A1 (de) Verfahren zur Elektronenstrahl-Untersuchung und Elektronenstossspektrometer zur Durchführung des Verfahrens
DE3490595C2 (de) Verfahren und Einrichtung zur Oberflächenanalyse
DE2105805A1 (de) Gerat zur Elektronenspektroskopie
EP0088917B1 (de) Lasermikrosonde für Festkörperproben, bei der eine Beobachtungsoptik, eine Laserlichtoptik und eine Ionenoptik auf derselben Seite einer Probenhalterung angeordnet sind
DE2711889C3 (de) Verfahren zum Ausheben von Kanälen in Werkstücken mit Hilfe von Laserpulsen und Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens
DE3137568A1 (de) Verfahren zur analyse von festkoerpern, vorzugsweise metallen
DE1204350B (de) Elektronenmikroskop

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee