DE2919540A1 - Abgedichtetes gehaeuse aus metall und kunststoff fuer halbleiter-vorrichtungen - Google Patents

Abgedichtetes gehaeuse aus metall und kunststoff fuer halbleiter-vorrichtungen

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Description

ELISABETH JUNG dr.phil,DiPi.-u,a·,. JÜRGEN SCHIRDEWAHN del rs."mat . dip -.-phys. GERHARD 3 C H M ITT-NILSO N or,inq. GERHARD B. HAGEN dr.phil. A
PETER HIRSCH dipl-ing. *
PATENTANWÄLTE
PROFESSIONAL REPRESENTATIVES BEFORE THE EUROPEAN PATENT OFFICE 9000 MÖNCHEN 40, P.O. BOX 40 H M CLEMENSSTRASSEM TELEFON: (OSS) 3450 ST TELEGRAMM/CABLE: INVENT MÖNCHEN
u.Z.: M 2023 M (Hi/ez)
/gg
15. Mai 1979
SGrS-AiDES Componenti Elettronicl S.p.A. 20041-Agrate Brianza (MIlano) Via C. Olivetti 2
Abgedichtetes Gehäuse aus Metall und Kunststoff für Halbleiter-Vorrichtungen
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Die Erfindung "betrifft Gehäuse für Halbleitervorrichtungen, insbesondere solche mit einem metallischen Teil und einem Teil aus Kunststoff.
Ein derartiges Gehäuse ist unter der Bezeichnung TO-220 bekannt. Dieses besteht aus einer metallischen Platte, die teilweise in einem Körper aus Kunststoff eingebettet ist, wobei eine Hauptfläche der Platte freigelassen bleibt. An der anderen Hauptfläche der Platte sind in gutem thermischen Kontakt mit dieser eine oder mehrere Plättchen aus Halbleitermaterial befestigt, die den aktiven Teil der Vorrichtung bilden, so daß eine leitung nach außen und damit eine Ableitung der während des Betriebs erzeugten Wärme ermöglicht wird. Steife metallische leiter, die die Anschlüsse der Torrichtung bilden, sind mit Hilfe dünner Drähte mit den metallisierten Bereichen der Halbleiterplättchen verbunden und ebenfalls teilweise in dem Körper aus Kunststoff eingebettet.
Wenn auch derartige Gehäuse bezüglich anderer Konstruktionen, beispielsweise gegenüber den metallischen Gehäusen mit der
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Bezeichnung TO-3» zahlreiche vorteilhafte Eigenschaften aufweisen., gewährleisten sie keine zufriedenstellende Dichtheit und keine in allen Anwendungsfällen ausreichende Widerstandsfähigkeit gegen mechanische Belastungen. Der zuletzt genannte Nachteil ist auf eine ungenügende Verankerung des Kunststoff-Körpers an der metallischen Platte zurückzuführen, während der zuerst genannte Nachteil zu einem großen Teil darauf beruht, daß aufgrund der unterschiedlichen Wärmedehnungskoeffizienten des Metalls und des Kunststoffs die sich einander berührenden Oberflächen der beiden Werkstoffe die Neigung haben, sich bei Temperaturschwankungen relativ zueinander zu verschieben, so daß die Haftung zwischen den beiden Werkstoffen nicht überall ausreichend ist. Dieser Effekt, der durch den asymmetrischen Aufbau des Gehäuses und durch die beträchtliche Wandstärke der Platte noch begünstigt wird, ermöglicht die Bildung von Durchlässen für schädliche äußere Medien, die in den Bereich der aktiven Elemente der Vorrichtung gelangen können.
Zur Lösung dieses Problems sind bereits zahlreiche Versuche unternommen worden. Beispielsweise wurde der Einsatz einer Zwischenschicht aus isolierendem Material vorgeschlagen, der sowohl eine gute Haftung mit dem Kunststoff als auch mit dem Matell und eine?] hohen Elastizitätskoeffizienten hat, so daß die unterschiedlichen Dehnungen der metallischen Platte und des Kunststoff-Körpers ausgeglichen werden. Eine andere Lösung 'sieht vor, die Halbleiter-Plättchen mit einer dünnen Schicht aus Glas zu überziehen. Dieser Werkstoff haftet gut am Metall und schafft dadurch einen wirksamen lokalen Schutz gegen die schädlichen Medien.
Allerdings erfordern alle diese Lösungen zahlreiche und schwierig durchzuführende zusätzliche Bearbeitungen und dadurch verhältnismäßig hohe Kosten für die Herstellung der Vorrichtung.
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.Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Gehäuse der eingangs beschriebenen Art zu schaffen, das einen besseren Widerstand gegen mechanische Belastungen und eine sehr gute Dichtwirkung gegen äußere Medien aufweist, ohne daß bei der Herstellung zusätzliche Bearbeitungen nötig sind.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei einem gattungsgemäßen Gehäuse 'dadurch gelöst, daß die metallische Platte an ihrer anderen Hauptfläche wenigstens eine Nut mit hinterschnittenen Seitenwänden aufweist, in die der Körper aus Kunststoff eingreift.
Die Erfindung wird zum besseren Verständnis nachfolgend an einem Ausführungsbeispiel erläutert, das in der Zeichnung dargestellt ist.
Es zeigen:
Figur 1 die vergrößerte Ansicht eines Gehäuses vom Typ TO-220,
Figur 2 eine vergrößerte Draufsicht auf eine metallische Platte für ein Gehäuse gemäß der Erfindung,
Figuren 3 und 4 nochmals vergrößerte Schnittdarstellungen eines Teils der in Fig. 2 gezeigten Platte in. zwei aufeinander folgenden Bearbeitungsphasen.
In Fig, 1 ist ein Gehäuse vom Typ TO-220 dargestellt, das eine metallische Platte 2 aufweist, von der ein Teil in einem Körper 4 aus Kunststoff eingebettet ist, der beispielsweise durch Spritzgießen von Epoxydharz in eine geeignete Form hergestellt wurde. Ein vorher bearbeitetes Plättchen 6 aus Halbleitermaterial, das den aktiven Teil der Vorrichtung bildet, ist beispielsweise durch Löten an der metallischen Platte 2 befestigt. Metallische Anschlüsse 8 (im dar-
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gestellten Ausfuhrungsbeispiel 3 Anschlüsse) sind teilweise in den Körper 4 aus Kunststoff eingebettet und über Kontaktdrähte 10 mit dem Plättchen 6 elektrisch verbunden. Eine in die metallische Platte 2 eingearbeitete, durchgehende Bohrung 12 erlaubt die Befestigung der Vorrichtung an einem äußeren Eräger. Eine beispielsweise durch Prägen hergestellte Rippe 14, die sich entlang einem Teil der Ränder der Platte 2 erstreckt, begünstigt die Verankerung des Körpers 4 aus Kunststoff an der metallischen Platte 2. Diese Maßnahme verleiht dem Gehäuse eine recht gute Abdichtung entlang der Längsseiten, verhindert jedoch nicht die Bildung von Durchgängen für schädliche Medien von der Seite der.Bohrung 12 und entlang der Oberfläche der Anschlüsse 8.
Gemäß der Erfindung ist in der Platte 2 eine Nut 16 vorgesehen,, deren Seitenwände Hinterschneidungen haben. Bei dem in Pig. 2 dargestellten Ausführungsbeispiel hat die Nut 16 den· Verlauf eines Rechtecks um das Plättchen 6 aus Halbleitermaterial herum, sie kann jedoch auch einen anderen Verlauf aufweisen oder auf einen geradlinigen Kanal in der Nä-'he des zur Bohrung gerichteten Randes des Körpers 4 aus Kunststoff begrenzt sein.
Nach einem wesentlichen Merkmal der Erfindung wird die Nut 16 in zwei aufeinander folgenden Prägeschritten gebildet. Im ersten Prägeschritt wird dabei mit Hilfe eines Prägestempels ein Kanal 16· mit zueinander parallelen und zur Oberfläche der metallischen Platte 2 rechtwinkligen Wänden gebildet, wie in Pig. 3 dargestellt ist. Dabei erkennt man, daß durch den Prägedruck entlang der Ränder des Kanals 161 Grate 18 gebildet werden, die über die Oberfläche der metallischen Platte 2 hervorstehen. Der zweite Prägeschritt wird mit einem ähnlichen Prägestempel ausgeführt, dessen Querschnitt jedoch größer ist als derjenige des ersten Prägestempels, wobei ein solcher Druck ausgeübt wird, der ausreicht, um ein Fließen von Material in das Innere des Kanals
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16' hervorzurufen. Wie in Pig. 4 dargestellt ist, ergibt sich dadurch die Nut 16, deren Mündung 20 breiter ist als der Boden 22 mit sich daran anschließender Verengung 24, die durch das während des zweiten Prägeschrittes nach innen gedrückte Material gebildet wurde.
Anschließend wird mit Hilfe bekannter Techniken des Lötens, des Verbindens und des Stanzens auf der Platte 2 ein Plättchen 6 aus Halbleitermaterial befestigt, worauf an vorherbestimmten Bereichen des Plättchens 6 und der Anschlüsse 8 dünne Eontaktdrähte 10 angelötet werden. Schließlich wird das Ganze durch Druckguß in einer geeigneten Form in Epoxydharz eingebettet, so daß sich eine Vorrichtung ergibt, die äußerlich mit der in Fig. 1 gezeigten übereinstimmt.
Es.ist von wesentlicher Bedeutung, daß die Bildung der Nut 16 keine Bearbeitungsgänge zusätzlich zu den für die Herstellung der metallischen Platte 2 herkömmlicher Bauart erforderlichen Arbeitsgänge benötigt, denn die beiden Prägeschritte können gleichzeitig mit dem Stanzen der Platte 2 und dem Prägen der Rippen 14 unter Verwendung von i. w. denselben Werkzeugen gebilet werden.
Untersuchungsergebnisse haben erwiesen, daß aufgrund des Eindringens des Kunststoffes während der Herstellung in die Nut 16 das erfindungsgemäße Gehäuse im Vergleich mit bekannten Gehäusen sowohl eine bessere Verankerung des Körpers 4 aus Kunststoff an der metallischen Platte 2 als auch eine wesentlich'verbesserte Abdichtung gegen äußere, schädliche Medien, insbesondere gegen Wasserdampf aufweist.
Obwohl im Vorstehenden nur ein Ausführungsbeispiel erläutert worden ist, können zahlreiche Varianten ausgeführt werden, die im Rahmen des Erfindungsgedankens liegen. So können beispielsweise mehrere, konzentrische Nuten um das Plättchen 6 aus Halbleitermaterial vorgesehen sein; außer-
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dem sind andere Bearbeitungsarten, beispielsweise mechanische. und/oder chemische, zur Einarbeitung der Muten in die Platte 2 möglich.
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Claims (1)

Patentansprüche
1.)Gehäuse fur Halbleitervorrichtungen mit einer metallischen Platte und einem Körper aus Kunststoff, in den ein Teil der metallischen Platte unter Freilassung einer Hauptfläche der Platte eingebettet ist, dadurch gekennzeichnet, daß die metallische Platte (2) an ihrer anderen Hauptfläche wenigstens eine Nut (16) mit hinterschnittenen Seitenwänden aufweist, in die der Körper (4) aus Kunststoff eingreift.
Verfahren zur Herstellung eines Gehäuses nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Nut (16) in zwei aufeinander folgenden Prägeschritten gebildet wird, wobei im ersten Prägeschritt ein erster Prägestempel einer Kanal (161) bildet, während im zweiten Prägeschritt ein Prägestempel, dessen Querschnitt größer ist als der des ersten Prägestempels, einen Teil des metallischen Randes des Kanals (16f) in diesen hinein drückt.
Gehäuse nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Nut (16) durch zwei aufeinander folgende Prägeschnitte gebildet ist, und zwar der erste Prägeschnitt mit einem ersten Prägestempel, der zur Bildunq eines Kanals geeignet ist, und der zweite Prägeschnitt mit einem Prägestempel, dessen Querschnitt größer ist als der des ersten Prägestempels und der dazu geeignet ist, einen Teil des Metalls des Randes des Kanals (16') in das Innere dieses Kanals (161J zu drücken.
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DE19792919540 1978-05-16 1979-05-15 Abgedichtetes gehaeuse aus metall und kunststoff fuer halbleiter-vorrichtungen Withdrawn DE2919540A1 (de)

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