DE2918948C2

DE2918948C2 - Kontaktvorrichtung

Info

Publication number: DE2918948C2
Application number: DE19792918948
Authority: DE
Inventors: Erich Ing.(Grad.) Luther; Martin Dipl.-Kfm. 3050 Wunstorf Maelzer
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1979-05-10
Filing date: 1979-05-10
Publication date: 1982-09-02
Also published as: DE2918948A1

Description

Die Erfindung betrifft eine Kontaktvorrichtung zum Anschließen einer gedruckten Schaltung an ein Prüfgerät zum elektrischen Prüfen der Schaltung, wie im Oberbegriff des Patentanspruches 1 näher angegeben ist. Bei der Herstellung gedruckter Schaltungen kommt das Bedürfnis auf, die Leiterplatten mit Hilfe eines Automaten auf ihre elektrische Funktionsfähigkeiten zu überprüfen. Hierzu werden Kontaktvorrichtungen eingesetzt, die beweglich gelagerte Kontaktstifte aufweisen, die gleichzeitig auf die gewünschten Stellen der Leiterbahnen der gedruckten Schaltung aufsetzbar sind. Bei bekannten Vorrichtungen dieser Art erfolgt die Prüfung einer gedruckten Leiterplattenschaltung mittels elektrischer Kontaktverbindung dadurch, daß der Prüfling in einen Meßtisch eingelegt und mit vorbestimmten Kontaktstellen an elektrisch leitende Stifte angedrückt wird, um dadurch den Funktionsstromkreis zu schließen. Eine solche Überprüfung kann erfolgen, bevor eine schützende Schicht, beispielsweise eine Lackschicht aufgebracht worden ist, da andernfalls aufgrund der Schutzschicht die Kontaktstifte keinen sicheren Kontakt mit den Leiterbahnen erzielen würden.

Im allgemeinen ist es jedoch wünschenswert, einen solchen Prüfvorgang erst am Ende des gesamten Produktionsprozesses, also erst nach dem Aufbringen einer Schutzscr ^:"ht, auszuführen. Ein hierfür geeignetes Prüfgerät muß daher in der Lage sein, mit dem federnd . gelagerten Kontaktstift die Schutzschicht zu durchdringen und für einen einwandfreien Kontakt zu sorgen. Eine derartige Vorrichtung ist in der deutschen Offenlegungsschrift 23 44 239 angegeben. Bei der dort beschriebenen Vorrichtung wird die Leiterplatte in einen Rahmen eingelegt und mit Hilfe dieses Rahmens an einen Ultraschallgeber angedrückt Der Uitraschallgeber liegt auf der Oberflächenebene der Leiterplatte an und versetzt sie in Schwingungen. Aufgrund dieser Schwingungen der Leiterplatte werden die an die Leiterplatte angedrückten Kontaktstifte in die Lage versetzt, die Schutzschicht zu durchdringen und zu einem elektrischen Kontakt mit den Leiterbahnen zu gelangen. Bei unbestückten Leiterplatten kann diese Vorrichtung mit gutem Erfolg angewendet werden.

Bei bestückten Leiterplatten tritt jedoch das Problem auf, daß es nicht möglich ist, den Ultraschallgeber

flächig auf die Leiterplatte aufzusetzen, weil sich an deren Oberfläche die einzelnen Bauelemente befinden. Bei bestückten Leiterplatten könnte die einzelne Leiterplatte nur in der Weise in Ultraschallschwingungen versetzt werden, daß die Leiterplatte in einem '· passenden Rahmen eingelegt wird und dieser Rahmen Πί.ί dem Ultraschallgeber in mechanischen Kontakt gebracht wird. Die Ultraschallerregung der Leiterplatte könnte also in einem solchen Fall nur über die Ränder der Leiterplatte erfolgen. Bei einer solchen Erregung to treten jedoch entsprechend den Chladnischen Klangfiguren in der Leiterplatte Schwingungsbäuche und Schwingungsknoten auf, so daß also einige Stellen der Leiterplatte unerregt blieben. Dagegen, daß die Ultraschailerreyung an der Leiterplatte angreifen soll, ü spricht bei bestückten Leiterplatten auch, daß die Bauelementeherstt.ller keine Gewähr dafür übernehmen, daß ihre Bauelemente durch Ultraschallschwingungen nicht geschädigt werden.

Dementsprechend ist es Aufgabe der vorliegenden :< > Erfindung, eine Kontaktvorrichtung zum Anschließen einer gedruckten Schaltung an ein Prüfgerät zum elektrischen Prüfen der Schaltung anzugeben, die auch bei bestückten Leiterplatten, welche mit einer Schutzschicht überzogen sind, anwendbar ist und für eine 'sichere Kontaktierung der Kontaktstifte mit den -', Leiterbahnen sorgt.

Diese Aufgabe wird durch eine im Oberbegriff des ■ Patentanspruches 1 näher angegebene Kontaktvorrichtung gelöst, die erfindungsgemäß nach der im 3u kennzeichnenden Teil des Patentanspruches 1 angegebenen Weise ausgestaltet ist.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.

Der Erfindung liegt der Gedanke zugrunde, die rUItraschallerregung nicht an der Leiterplatte angreifen =zu lassen, sondern an den einzelnen Kontaktstiften. Aufgrund einer mit Ultraschallrrequenz stattfindenden Schwingbewegung durchdringen die Kontaktstifte dann 'die Schutzschicht, mit der die Leiterbahn überzogen ist und kommen mit der Leiterbahn bzw. der auf den einzelnen Leiterbahnen befindlichen Verzinnung in Kontakt. Da die bestückte Leiterplatte für Ultraschallschwingungen eine starke Dämpfung aufweist und somit die Ultraschallschwingung der Kontaktstifte nicht die Leiterplatte zu starken Schwingungen anregt, ist bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung auch nicht zu befürchten, daß die Bauelemente von Ultraschallschwingungen ^geschädigt werden.

Gemäß dem der Erfindung zugrunde liegenden so Prinzip sind nun mehrere verschiedene Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Anordnung denkbar.

Bei einer ersten Ausführungsform sind auf einem großflächigen Ultraschallgeber die Kontaktstifte mittels einer Feder aufgesetzt. Diese Feder erlaubt beim Andrücken des einzelnen Kontaktstifts eine individuelle Anpassung an die jeweilige Stärke der Leiterbahn bzw. an die darauf befindliche Verzinnung. Die Ultraschallerregung läuft vom UUraschallgeber über die Feder auf den Kontaktstift. Damit aufgrund der Eigendämpfung .des aus Feder und Kontaktstift gebildeten schwingungsfähigen Systems die vom Ultraschallgeber abgegebene Schwingungsenergie nicht vollständig absorbiert wird, beträgt die Schwingungsfrequenz des Ultraschallgebers ein ganzzahliges Vielfaches der Resonanzfrequenz des Systems Feder-Kontaktstift Diese Ausführungsform hat insbesondere den Vorteil, daß nur ein Ultraschallgeber benötigt wird.

Bei einer anderen Ausführungsform ist jeder Kontaktstift an einem eigenen Ultraschallgeber befestigt und zusammen mit diesem an einer Grundplatte beweglich gehaltert. Diese Ausführungsform hat den Vorteil, daß die Schwingungsenergie des jeweiligen Ultraschallgebers direkt auf die Spitze des Kontaktstiftes übertragen wird, so daß dadurch relativ hohe Kräfte auf die Kontaktspitze übertragbar sind. Die aus Kontaktstift und jeweilig zugeordnetem Ultraschallgebcr gebildeten Einheiten sind vorzugsweise wiederum in einer Halterung gegenüber der Grundplatte beweglich angeordnet und an der Grundplatte abgefedert, damit Dickenunterschiede zwischen den zu komaklierenden Stellen der Leiterplatte ausgeglichen werden können.

Bei einer anderen vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung wird die Schwingbewegung der IContaktstiftspitze dadurch erzielt, daß an dem Kontaktstift ein permanentmagnetischer oder auch magnetostriktiver Körper befestigt ist und daß dieser Körper mittels eines magnetischen Wechselfeldes von Ultraschallfrequenz zu Schwingbewegungen angeregt wird. Statt gesonderte Körper an den Kontaktstift anzubringen, kann auch der Kontaktstift selbst einen Ansatz oder einen Mantel Jaus solchem Material aufweisen. Diese Anordnung ermöglicht es, die Kontaktstifte in Bohrungen einer Platte aus magnetisierbarem Material zu Führen. Die Erregung des Magnetfeldes, das die Schwingbewegung hervorruft, erfolgt mit Hilfe einer außen um diese Platte herumgelegien Feldwicklung.

Bei Verwendung von permanentmagnetischem Material ist es zudem möglich, die Abfederung der .Kontaktstifte nicht mit mechanischen Mitteln, wie zum Beispiel einer Feder, sondern dadurch zu erzielen, daß die an der Grundplatte befindliche Feldwicklung zugleich mit einem Gleichstrom beaufschlagt wird, so daß das von dem Gleichstrom herrührende Magnetfeld auf die an den Kontaktstiften befindlichen Permanentmagnete wirkt und diese gegen die zu prüfende Leitplatte andrückt.

Eine andere Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung sieht vor, daß die einzelnen Kontaktstifte in Bohrungen der Grundplatte verschiebbar gehaltert sind, und daß sie mit Hilfe statischen Drucks gegen die zu prüfende Leiterplatte angepreßt werden. Zu diesem Zweck ist die genannte Grundplatte die Deckplatte eines Druckbehälters, der mit Flüssigkeit oder Gas gefüllt ist. Durch Verschiebung der Bodenplatte dieses Behälters oder mit Hilfe einer Druckleitung können dann die einzelnen Kontaktstifte aus den Bohrungen wie Kolben herausgedrückt werden, so daß die Spitzen dieser Kontaktstifte den nötigen Anpreßdmck haben. Diese Anordnung ermöglicht ebenso wie die zuvor beschriebenen Anordnungen eine Anpassung an die unterschiedliche Höhe und Dicke der zu kontaktierenden Leiterbahnen bzw. deren Verzinnungen. Die Ultraschallerregung der Kontaktstifte kann bei dieser Ausführungsform einmal dadurch erfolgen, daß an dem in den Druckbehälter hineinragenden Ende des Kontaktstiftes ein Ultraschallgeber, beispielsweise ein piezoelektrischer Körper angebracht ist, sie kann aber auch gemäß der bereits beschriebenen Ausführungsform mit Hilfe eines an dem Kontaktstift angebrachten permanentmagnetischen oder magnetostriktiven Ansatzes erfolgen, wobei die Ultraschallschwingung nach der bereits beschriebenen Weise mit Hilfe einer durch Ultraschallfrequenz erregten Feldwicklung erzielt wird.

Bei einer weiteren Ausführungsform ist der Druckbehälter mit einer Flüssigkeit gefüllt, und die Bodenplatte

dieses Behälters ist mit einem Ultraschallgeber versehen. Das Anpressen der Kontaktstifte an die zu kontaktierenden Stellen der Leiterplatte erfolgt, wie bereits beschrieben, mit statischem Druck. Durch den Ultraschallgeber wird die Bodenplatte zu Ultraschallschwingungen angeregt, und diese Ultraschallschwingungen pflanzen sich durch die Flüssigkeit fort und erregen auf diese Weise die Kontaktstifte. Diese Ausführungsform hat ebenfalls den Vorteil, daß insgesamt nur ein Ultraschallgeber verwendet wird.

Im folgenden wird nun die Erfindung anhand der in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispiele beschrieben und näher erläutert. Es zeigt

F i g. 1 eine erste Ausführungsform der Erfindung, bei der mit einem einzelnen Ultraschallgeber mehrere Kontaktstifte zu Schwingungen angeregt werden können,

F i g. 2 eine weitere Ausführungsform, bei der jeder Kontaktstift mit einem eigenen Ultraschallgeber versehen ist,

F i g. 3 zeigt eine Ausführungsform, bei der jeder Kontaktstift mit einer eigenen Feldwicklung zu Schwingungen angeregt wird,

Fig.4 und 5 zeigen Ausführungsformen, bei denen die Schwingung der Kontaktstifte mit Hilfe einer Grundplatte aus magentisierbarem Materia! und einer daran angebrachten Feldwicklung erzielt werden,

F i g. 6 zeigt eine weitere Ausführungsform, bei denen die Kontaktstifte einen Mittelteil aus magnetostriktivem Material aufweisen,

F i g. 7 zeigt eine Ausführungsform, bei der die Kontaktstifte durch statischen Druck an die Leiterplatte angedrückt werden,

Fig.8 zeigt eine Ausführungsform, bei der die Ultraschallschwingungen auf die Kontaktstifte mittels einer Flüssigkeit übertragen werden.

Bei der in Fig. 1 dargestellten ersten A'isführungsform befindet sich der Kontaktstift 1 mit seinem unteren Ende im Inneren einer Hülse 21. Diese Hülse 21 ist auf den Ultraschallgeber 3 aufgesetzt. Von einer Feder 4 wird der Kontaktstift nach oben gegen die Leiterplatte gedruckt. Um zu verhindern, daß der Kontaktstift aus der Hülse herausgleitet, besitzt letztere Vorsprünge 22. Am unteren Ende des Kontaktstiftes ist ferner die Meßleitung 13 angebracht. Die Leiterplatte 16 weistauf ihrer Unterseite Leiterbahnen 17 auf. Bauelemente 30 sind auf der Oberseite der Leiterplatte aufgesetzt und ihre Anschlußstifte 31 sind durch Löcher 20 der Leiterplatte 16 nach unten durchgeführt. Mit einer Verzinnungsschicht 18 sind die Anschlußstifte 31 mit den Leiterbahnen 17 elektrisch kontaktiert. Über der Verzinnungsschicht 18 ist eine Schicht 19 aufgebracht, die die Verzinnungsschicht 18 vor Korrosion und ähnlichen äußeren Einwirkungen bewahren soll. Die Spitze JOl des Kontaktstiftes 1 stößt zunächst gegen die Schutzschicht 19, so daß kein elektrischer Kontakt zwischen dem Kontaktstift und der Verzinnungsschicht 18 besteht. Aufgrund der Ultraschallbewegungen des Ultraschallgebers 3 werden Ultraschallschwingungen über die Feder 4 auf den Kontaktstift 1 übertragen, so daß dessen Spitze 101 allmählich die Schutzschicht 19 durchdringt und eine Kontaktierung der Verzinnungsschichi 18 bewirkt.

Die F i g. 2 zeigt eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung. Im Unterschied zu der in F i g. 1 dargestellten Ausführungsform erfolgt die Ultraschallerregung jedoch nicht durch die Feder 4 hindurch, sondern von einem piezoelektrischen Körper 14, der an dem unteren Ende des Kontakistiftes 1 sitzt. Der piezoelektrische Körper 14 wird von einem Wechselspannungsgenerator 40 zu Ultraschallschwingungen erregt, die sich direkt auf den Kontaktstift 1 ί übertragen. Die Feder dient in diesem Fall nur dazu, die jeweilige Höhe der Kontaktstifte an die Unebenheiten der Leiterplattenunterseite anzupassen.

F i g. 3 zeigt eine Ausführungsform, bei der fü.· jeden einzelnen Kontaktstift 1 auf einer Grundplatte 5 eine

ίο Feldwicklung 6 aufgesetzt ist. Im Inneren dieser Feldwicklung befindet sich der untere Teil des Kontaktstiftes 1, der aus magnetischem Material besteht. In dem in F i g. 3 dargestellten Beispiel weist der untere Teil einen Mantel aus permanentmagnetischem Material auf. Der obere Teil des Kontaktstiftes 1 ist durch den Kern dieses Mantels hindurch nach unten fortgesetzt, so daß die Anschlußleitung 13 am unteren Ende des Kontaktstiftes 1 angebracht und durch die Grundplatte 5 hindurchgeführt werden kann. Die Feldwicklung 6 wird einmal von einem Gleichstrom durchflossen, der ein Magnetfeld erzeugt, das den Kontaktstift nach oben an die Leiterplatte andrückt. Diesem Gleichstrom ist ein hochfrequenter Wechselstrom überlagert, der dazu führt, daß der Kontaktstift mit Ultraschallfrequenz schwingt.

Die Fig.4 zeigt eine weitere Ausführungsform, bei der für die einzelnen Kontaktstifte nicht jeweils eine eigene Feldwicklung 6 vorgesehen ist, sondern bei der eine gemeinsame Feldwicklung 7 vorhanden ist, mit der für sämtliche Kontaktstifte 1 die aufwärts gerichtete Andruckkraft und die Ultraschallschwingung erzielt v/ird. Die Grundplatt«, 5 ist dazu von der Feldwicklung 7 umgeben. Die Kontaktstifte 1 besitzen an ihrem unteren Ende einen Teil 12 aus permanentmagnetischem Material. Die Feldwicklung 7 v/ird von einem Gleichstromgenerator 42 und einem Wechselstromgenerator 41 beaufschlagt Der Gleichstrom bewirkt den Andruck der Kontaktstifte gegen die zu prüfende Leiterplatte, der Wechselstromgenerator 41 sorgt für die Ultraschallschwingung der Kontaktstifte 1.

Die F i g. 5 zeigt eine weitere Ausführungsform, bei der die Ultraschallschwingung der Kontaktstifte 1 ebenfalls mit Hilfe einer aus magnetisierbarem Material bestehenden Grundplatte 5 und einer zugehörigen Feldwicklung 7 erzielt wird, wobei diese Feldwicklung 7 von einem wechselstromgenerator 41 mti Uiiraschaüfrequenz erregt wird. Im Unterschied zu der Ausführungsform nach Fig.4 wird jedoch bei dieser Auiführungsform der Andruck der Kontaktstifte 1 gegen die Leiterplatte nicht mit Hilfe eines Magnetfeldes, sondern mit Hilfe eine·- Feder 4 bewirkt. Diese Feder 4 befindet sich in einer Hülse 21, die ihrerseits an der Unterseite der Grundplatte 5 angebracht ist. Das durch die Feldwicklung 7 erzeugte magnetische Wechselfeld greift an den Teilen 12 der Kontaktstifte 1 an, die die unteren Enden dieser Kontaktstifte bilden und aus permanentmagnetischem Material bestehen. Die Kontaktstifte 1 sind in Führungen 51 der Grundplatte 5 geführt.

Fig.6 zeigt eine alternative Ausführungsform der F i g. 5. Im Unterschied zur F i g. 5 weisen die Kontaktstifte 1 einen Teil 11 aus magnetostriktivem Material auf. Die Grundplatte 5 ist ebenfalls aus magnetisch leitendem Material, so daß das von der Feldwicklung 7 erzeugte hochfrequente magnetische Wechselfeld dazu führt, daß der in den Führungen 51 der Trägerplatte befindliche Teil 11 aus magnetostriktivem Material zu Ultraschallschwingungen angeregt wird. Diese Ultra-

schailschwingungen wirken sich direkt auf die Spitze 101 des Kontaktstiftes 1 aus, so daß die Spitzen die Schutzschicht 19 durchdringen und mit der Verzinnungsschicht 18 bzw. mit einer Leiterbahn 17 in Kontakt kommen kann.

Die F i g. 7 zeigt eine weitere Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Anordnung, bei der im Unterschied zu den voranbeschriebenen Anordnungen der Andruck der Kontaktstifte 1 an die Leiterplatte bzw. deren Metallisierungsschichten nicht durch Feder- oder magnetische Kräfte erzielt wird, sondern aufgrund statischen Drucks. Dazu ist ein Druckbehälter 8 vorgesehen, dessen Deckplatte von der Grundplatte 5 gebildet wird. In dieser Grundplatte 5 sind wie zuvor in Führungen 51 Kontaktstifte 1 geführt. In Fig. 7 ist der Fall dargestellt, daß der Druckbehälter mit Flüssigkeit 10 gefüllt ist. Die Schwingungserregung der Kontaktstifte 1 kann dadurch erfolgen, daß an dem unteren Ende eines Kontaktstiftes 1, das in das Innere des Druckbehälters hineinreicht, ein piezoelektrischer Körper 14 angebracht ist, der von einem Wechselspannungsgenerator 40 zu Ultraschallschwingungen erregt wird. Diese Ausführungsform ist auf der linken Seite der Fig.7 dargestellt. Statt dessen kann aber auch die Ultraschallerregung mit Hilfe einer Feldwicklung 7 über den aus magnetisierbarem Material bestehenden Teil 12 eines Kontaktstiftes 1 erfolgen. Zur Einstellung des statischen Druckes im Inneren des Druckbehälters 8 ist eine Einstellvorrichtung 80 vorhanden, die in dem in Fig.7 dargestellten Beispiel einen Hohlzylinder 85 aufweist, in dem ein Kolben 81 läuft. Dieser Kolben 81 steht unter der Spannung einer Feder 82. Die Federspannung der Feder 82 kann mit Hilfe einer Rändelschraube 83, die in einem an dem Zylinder 85 angebrachten Gewinde 84 läuft, verändert v/erden. Damit ändert sich zugleich der durch die Flüssigkeit 10 auf die Unterseiten der Kontaktstifte i ausgeübte statische Druck.

Die Fig.8 zeigt eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Anordnung, bei der ebenfalls die Kontaktstifte 1 mit Hilfe statischen Drucks an die /m prüfende Leiterplatte angedrückt werden. Wie zuvor beschrieben, ist die Grundplatte 5 zugleich die Deckplatte eines Druckbehälters 8, in deren Führungen 51 die Kontaktstifte 1 geführt sind. Der Druckbehälter ist in dem in F i g. 8 dargestellten Beispiel mit Flüssigkeit 10 gefüllt. An der Bodenplatte 9 des Druckbehälters ist ein Ultraschallgeber 3 angebracht. Dieser Ultraschallgeber erzeugt in der Flüssigkeit Ultraschallschwingungen, die sich auf das untere Ende der Kontaktstifte 1 übertragen und dadurch diese Kontaktstifte 1 zu Ultraschallschwingungen anregen. Der statische Druck im Inneren des Druckbehälters 8 kann entweder mit einer Druckleitung 86 eingestellt werden, oder auch dadurch, daß die Bodenplatte 9 verschiebbar angeordnet ist und auf sie ein Druckstempel 87 wirkt. Diese Ausführungsform hat insbesondere den Vorteil, daß für die Erregung der Kontaktstifte 1 insgesamt nur ein Ultraschallgeber eingesetzt werden muß. Für die am unteren Ende der Kontaktstifte 1 angebrachten Anschlußleitungen 13 ist in der Wandung des Druckbehälters 8 jeweils eine Durchführung 88 vorgesehen.

Bei dem in Fig.8 dargestellten Beispiel können in dem Druckbehälter stehende Wellen auftreten. Es muß daher dafür gesorgt werden, daß jeweils in der Ebene der Unterseite 102 eines Kontaktstiftes 1 die Druckamplitude maximal ist, damit die Kontaktstifte zu maximaler Schwingung angeregt werden. Dies erfordert eine Anpassung der Lage der Druckbäuche an die Lage der Kontaktstifte. Die Lage der Druckbäuche hängt aber direkt von der Weilenlänge der Ultraschallschwingung und damit von deren Frequenz ab. Die notwendige Anpassung kann somit durch Änderung der Schwingfrequenz des Ultraschall»;ebers 3 bewirkt werden. Bei der Ausführungsform nach F i g. 8 wird daher vorzugsweise ein in der Frequenz durchstimmbarer Ultraschallgeber verwendet. Beim Betrieb wird die Schwingfrequenz durchgefahren (gewobbelt), so daß sich die Unterseite 102 eines jeden Kontaktstiftes oftmals in einem Bereich maximaler Druckamplitude befindet. Dadurch ist sichergestellt, daß jeder Kontaktsiift Ultraschallschwingung^ ausführt.

Hierzu 6 Blatt Zeichnungen 230 235/376

Claims

Patentansprüche:

1. Kontaktvorrichtung zum Anschließen einer gedruckten Schaltung an ein Prüfgerät zum elektrischen Prüfen der Schaltung, mit Kontaktstiften (I), die in einer Führung (2, 51) in Längsrichtung beweglich gehaltert sind und die auf die gewünschten Stellen der Leiterbahnen einer gedruckten Schaltung aufgesetzt sind, und mit einem Ultraschallgeber (3), dadurch gekennzeichnet, daß der Ultraschallgeber (3) mit einem oder mit mehreren Kontaktstiften (1) in Verbindung steht und Ultraschallschwingungen auf die Kontaktstifte (1) überträgt.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jeweils ein Kontaktstift über eine Feder (4) mit dem Ultraschallgeber (3) in Verbindung steht und daß die Schwingungsfrequenz des Ultraschallgebers (3) ein ganzzahliges Vielfaches der Resonanzfrequenz des aus der Feder (4) und dem Kontaktstift (I) gebildeten Schwingungssystem ist.

3. V3rrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Kontaktstift (1) jeweils an einem

^'gesonderten Ultraschallgeber (3) befestigt und zusammen mit diesem in einer Führung (2, 51) an ' einer Grundplatte (5) gehaltert ist.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Ultraschallgeber (3) piezokerami-

. sehe Körper sind.

5. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Ultraschallgeber (3) magnetostrik- ^!'tive Körper sind.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Grundplatte (5) aus magnetisch leitendem Material besteht und mit einer Feldwicklung (7) zur Erzeugung eines Magnetfeldes versehen ist und daß die Kontaktstifte (i) einen aus magnetostriktivem Material bestehenden Teil (11) aufweisen und in Führungen (51) der Grundplatte (5) geführt sind.

7. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktstift^ (1) einen aus permanentmagnetischem Material bestehenden Teil (12) aufweisen.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7. dadurch gekennzeichnet, daß jeder Kontaktstift (1) in einer Bohrung (51) einer aus magnetisierbarem Material bestehenden Grundplatte (5) geführt ist und daß die Grundplatte (5) mit einer Feldwicklung (7) versehen

, ist.

9. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Kontaktstift (1) in eine jeweils eigene Feldwicklung (6) eintaucht, wobei diese Feldwicklungen (6) an der Grundplatte (5) befestigt sind.

10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 oder 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktstifte* (1) in einer an der Grundplatte (5) angebrachten Hülse (21) geführt und gegen die Grundplatte durch eine Feder (4) abgefedert sind.

11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3 oder 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktstifte (1) in Führungen (51) der Grundplatte (5) geführt sind und daß die Grundplatte (5) die Deckplatte eines Druckbehälters (8) ist

12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Druckbehälter mit Flüssigkeit (10) gefüllt ist.

13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 oder 12. dadurch gekennzeichnet, daß eine Einstellvorrichtung (80) zur Einstellung des in dem Druckbehälter (8) herrschenden statischen Druckes vorhanden ist.

14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6, 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Feldwicklungen (6, 7) an einen Wechselstromgenerator angeschlossen sind, dessen Frequenz im Ultraschallbereich liegt.

15. Vorrichtung nach Anspruch '4, dadurch gekennzeichnet, daß an die Feldwicklungen (6, 7) zugleich ein Gleichstromgenerator angeschlossen ist.

16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß an der Bodenplatte (9) des Druckbehälters (8) der Ultraschallgeber (3) angebracht ist, dessen Schwingfrequenz durchstimmbar ist.