DE2910747A1

DE2910747A1 - Optisches kondensorsystem fuer ein mikroskop

Info

Publication number: DE2910747A1
Application number: DE19792910747
Authority: DE
Inventors: Yoshiyuki Shimizu
Original assignee: Nippon Kogaku KK
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1978-03-20
Filing date: 1979-03-19
Publication date: 1979-09-27
Also published as: DE2910747C2; US4316653A; JPS6110054B2; JPS54124750A

Description

Beschreibung

Die Erfindung bezieht sich auf ein optisches Beleuchtungssystem für ein Mikroskop, insbesondere auf ein optisches Kondensorsystem zu Beleuchtungszwecken.

Ein optisches Beleuchtungssystem für ein Mikroskop ist für zahlreiche mikroskopische Untersuchungen bei Verwendung eines Phasenmikroskops oder eines Interferenzmikroskops usw. unabdingbar; Vor allem übernimmt die Kondensorlinse dabei nicht nur die Punktion einer Konzentration der Beleuchtungslichtstrahlen auf die Probenoberfläche sondern spielt auch eine wichtige Rolle bei der Kompensation verschiedener physi ko-optischer Wirkungen. Zum Erhalt einer wirksamen Beleuchtung für ein stark vergrößerndes Objektiv ist ein optisches System, bei dem die Vergrößerung der Kondensorlinse selber hoch ist, also deren Brennweite kurz ist, vorteilhaft.

Vom Standpunkt der Lichtquellenkorapensation gilt aber insbesondere bei einem Differenzinterferenzmikroskop vom Polarisationstyp, daß je kürzer die Brennweite der Kondensorlinse ist, es umso schwieriger wird, die Lichtquelle zu kompensieren. D. h., für eine Kompensation der Lichtquelle eines

Polarisationstyp-Differenzinterferenz-Mikroskops ist ein Glied, das mit einem hinter dem Objektiv angeordneten sogenannten Wollastonprisma identisch ist, an der Pupillenlage der Kondensorlinse angeordnet. Jedoch dient dieses Wollastonprisma zum Aufteilen polarisierter Lichtstrahlen und ist - strukturell gesehen - nicht im wesentlichen koaxial symmetrisch bezüglich der optischen Achse und unterscheidet sich auch in der Wirkungsweise je nach Richtung des einfallenden Lichtes. Darüberhinaus wird mit kürzer werdender Brennweite der Kondensorlinse der Einfallswinkel des Lichtstrahls größer, der auf das Wollastonprisma, das am Ort des vorderen Brennpunktes der Kondensorlinse angeordnet ist. Deshalb wird die Anisotropie die Wirkungsweise stärker, so daß die ■Lichtquellenkompensation unvollständig wird.

Sonach führt die Verwendung einer üblichen Kondensorlinse, die eine Beleuchtung für hohe Vergrößerung zu bewirken vermag, in Verbindung mit einem Polarisationstyp-Differenzinterferenzmikroskop zu unvollständiger Lichtquellenkompensation. Dieses führte.zu der Unmöglichkeit, feiner Strukturen einer Probe in einem gleichförmigen Gesichtsfeld beobachten zu können.

Aufgabe der Erfindung ist es deshalb, ein optisches Kondensorsystem bereitzustellen, das hohe Vergrößerung besitzt gleich-

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- 8 wohl" aber gute Kompensation der Lichtquelle liefert.

Die erfindungsgemäße Lösung dieser Aufgabe ist im Anspruch 1 gekennzeichnet.

Das erfindungsgemäße optische Kondensorsystem hat zahlreiche Vorteile, wie aus der nachstehenden Beschreibung anhand der Zeichnung im einzelnen ersichtlich wird; es zeigen:

Fig. 1 den schematischen Strahlengang des vorliegenden Kondensorsystems,

Fig. 2 und 4 die Linsenanordnung eines ersten bzw. zweiten Ausführungsbeispiels und

Fig. 3 und 5 den Korrektionszustand der Ausführungsbeispiele nach Fig. 2 bzw. 4 hinsichtlich der sphärischen und chromatischen Aberration.

Das vorliegende optische Kondensorsystem ist schematisch in Fig. 1 dargestellt. Hiernach ist das Kondensorsystem - gesehen von der Lichteintrittsseite her - aus einer Vordergruppe G1, die aus einer Zerstreuungslinse L1 und einer Sammellinse L2 besteht, und einer Hintergruppe G2 positiver Brechkraft aufgebaut. Das Kondensorsystem ist des weiteren so

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bemessen, daß der vordere Brennpunkt F der Hintergruppe im Luftabstandsraum zwischen Vorder- und Hintergruppe gelegen ist. Wenn das Kondensorsystem für ein Polarisationstyp-Differenzinterferenzmikroskop benutzt wird, wird ein Wollastonprisma P bei der Aperturblende S angeordnet, der Lage des vorderen Brennpunktes der Hintergruppe. In Fig. 1 sind die Beleuchtungslichtstrahlen, die den Mittelpunkt des Gesichtsfeldes einer Probenoberfläche 0 erreichen, durch ausgezogene Linien dargestellt, während die Lichtstrahlen, die die Randzonen des Gesichtsfeldes erreichen, gestrichelt gezeichnet sind.

Der Luftabstand zwischen Vorder- und Hintergruppe G1 und G2 wird ausreichend sein, wenn er das Einfügen eines ¥ollastonprismas gestattet. Jedoch sollte der Luftabstand wünschenswerterweise kleiner als die axiale Dicke der Hintergruppe sein, und zwar im Hinblick auf Aberrationen und die mechanischen Grenzen der Kondensorlinsenfassung. Die Zerstreuungslinse L1 und die Sammellinse L2 der Vordergruppe G1 können im Luftabstand voneinander liegen oder können verkittet sein. Die Zerstreuungslinse L1 hat eine stärker gekrümmte konkave Vorderfläche, und die Sammellinse L2 hat eine stärker gekrümmte konvexe Hinterfläche. Die Gesamtbrennweite der Vordergruppe G1 ist um mehr als das Zehnfache der Gesamtbrennweite größer. Die Vordergruppe kann des weiteren als im wesentlichen

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afokales System betrachtet werden und hat die Punktion, die Gesamtbrennweite kleiner als die der Hintergruppe G2 zu halten. Die Vergrößerung der Vordergruppe, d. h. das Verhältnis von Gesamtbrennweite zur Brennweite der Hintergruppe sollte v/iinschensv/ert erweise zwischen 0,6 und 0,95 liegen.

Bei konstant gehaltener Brennweite des kombinierten Systems aus Vordergruppe G1 und Hintergruppe G2 wird die Vergrößerung der Vordergruppe umso kleiner, desto größer die Brennweite der Hintergruppe wird und desto kleiner der Einfallswinkel der die vordere Brennebene der Hintergruppe passierenden schiefen Strahlen werden. Deshalb sollte im Hinblick auf die Lichtquellenkompensation die Vergrößerung der Vordergruppe vorteilhaft kleiner sein. Jedoch ist dieses nicht generell erwünscht, weil verschiedene Aberrationen entsprechend der Brennweite zunehmen. Darüberhinaus wird mit kleinerer Vergrößerung der Vordergruppe die Breite des Lichtstrahlenbündels größer, das die Vordergruppe verläßt, so daß es dann notwendig wird, den effektiven Durchmesser der Hintergruppe und die Größe des Wollastonprismas selber zu erhöhen, das beim vorderen Brennpunkt der Hintergruppe angeordnet ist. Wenn man diese Überlegungen sämtlich berücksichtigt, ist es wünschenswert, die Vergrößerung der Vordergruppe im oben angegebenen Bereich zu halten.

Der Aufbau des Kondensorsystems im einzelnen sei nun anhand

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des in Pig. 2 dargestellten ersten Ausführungsbeispiels beschrieben.

Die Vordergruppe G1 hat den beschriebenen Aufbmaf■ und die Dispersion der Zerstreuungslinsenkoinponente L2 ist größer als die der Sammellinsenkomponente L2. Die Vordergruppe hat insbesondere achromat is ier ende Wirkung und kann deshalb die Achromatisierungsaufgabe der Hintergruppe G2 in einem gewissen Ausmaß mit übernehmen.

Die Hintergruppe G2 weist, von der Lichteintrittsseite her gesehen, folgende Linsenglieder auf: eine bikonvexe erste Sammellinse L3, eine erste Zerstreuungslinse L4, die mit der Linsen L3 verkittet ist (die Linsen L3 und ΊΛ haben insgesamte positive Brechkraft),

eine zur Lichteintrittsseite durchgebogene Sammellinse L5, eine dritte Sammellinse L6 mit stärker gekrümmter Vorderfläche (wünschenswerterweise eine bezüglich des einfallenden Lichtes im wesentlichen aplanatische Oberfläche), und eine zweite Zerstreuungslinse L7, die mit der dritten Sammellinse L6 verkittet ist.

Bei der vorstehend beschriebenen Bauart ist die Hintergruppe im wesentlichen bekannt, es wurde jedoch dichtes Flintmaterial

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größerer Dispersion und Brechkraft als die dritte Sammellinse L6 für das Linsenmaterial entsprechend der zweiten Zerstreuungslinse L7 benutzt, um sphärische und chromatische Aberration zu korrigieren. Deshalb wird die sphärische Aberration für kurzwelliges Licht überkorrigiert. Wenn Mikroskop-Photometrie durchzuführen ist, oder wenn die Be- · leuchtungsfeldblende extrem abgeblendet werden muß, wie dieses im Kondensor für ein stark vergrößerndes Mikroskopobjektiv der Fall ist, verursacht dieses eine sehr unbequeme Situation, weil kurzwellige Lichtstrahlen außerhalb des abgeblendeten Beleuchtungsfeldes herauskommen.

Eine Kondensorlinse hat eine sehr hohe numerische Apertur wegen ihrer'charakteristischen Eigenschaften. Deshalb erfüllt die Linse entsprechend der dritten Sammellinse L6 im wesentlichen aplanare Bedingungen für das einfallende Licht und erhält dadurch eine große numerische Apertur. Da die Vergrößerung der dritten Sammellinse L6 sehr klein ist, haben die von dieser Linse L6 erzeugten Aberrationen einen entscheidenden Einfluß auf die Korrektur der Aberrationen des gesamten Systems« Des weiteren resultiert, wie bereits angegeben, die Verwendung von dichtem Flintmaterial für die der zweiten Zerstreuungslinse L? entsprechende Linse zu einer Überkorrektion der sphärischen Aberration für kurzwelliges Licht. Dieses ist hinsichtlich der Aberrationen nicht

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empfehlenswert und des Einfluß hierdurch ist so groß, daß
er im anderen Teil nicht vernachlässigt werden kann. Es ist deshalb wünschenswert, daß die Werte der Abbezahlen vdg und vd₇ der Linsenkomponenten L6 und L7 so groß wie möglich gemacht werden. Entsprechend der Erfindung ist es deshalb
erwünscht, daß die folgenden beiden Bedingungen erfüllt
sind:

Vd₆ > 50 (1)

0 < Vd₆ - Vd₇ < 15 (2)

Die Bedingung (1) dient dazu, das Auftreten der chromatischen Aberration bei der Vorderfläche FUq der dritten Sammellinse Lo zu reduzieren. Wird dieser Bereich überschritten, dann
wird nicht nur die longitudinale chromatische Aberration
unterkorrigiert, sondern auch die chromatische sphärische
Aberration wird stark gestört, so daß selbst bei Korrektur
durch die zweite Zerstreuungslinse L7 die sphärische Aberration für kurzwelliges Licht überkorrigiert wird. Die Bedingung {£)dient zur Verhinderung einer Überkorrektion der sphärischen Aberration für kurzwelliges Licht in Verbindung mit Bedingung (1) und zur Reduzierung des Unterschiedes der
Brechkraft zwischen den Abbezahlen vd₆ und vd₇ an der Kittfläche von L6 und L7, die eine starke Rolle für die Korrektur der sphärischen Aberration haben und daher eine Störung

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der sphärischen Aberration bei jeder Wellenlänge verhindern. Wenn die obere Grenze der Bedingimg (2) überschritten wird, wird eine Stoning der chromatischen sphärischen Aberration erzeugt und wenn die untere Grenze von Bedingung (2) überschritten wird, wird eine longitudinale chromatische Aberration erzeugt, um die achromatisierende Aufgabe der anderen Linsen zu erhöhen. Dieses ist nicht erwünscht. Deshalb v/ird die longitudinale chromatische Aberration unvermeidlich unterkorrigiert. Dieses kann aber kompensiert werden durch die Vordergruppe, die wie erwähnt eine achromatisierende ¥irkung besitzt.

Die numerischen Daten des ersten (Fig. 2) und eines zweiten Ausführungsbeispieles (Fig. 4) sind nachstehend wiedergegeben. Bei der ersten Ausführungsform sind die Zerstreuungslinse L1 und die Sammellinse L2, die die Vordergruppe G1 bilden, im Luftabstand voneinander angeordnet, während sie im zweiten Ausführungsbeispiel miteinander verkittet sind (dort fehlt also der Linsenabstand d₂). In den nachstehenden Tabellen bedeutete R^ den Krümmungsradius der einzelnen Linsenflächen, d. den axialen Abstand zwischen benachbarten Linsenflächen bzw. Luftabstände, n^, vd^ den Brechungsindex und die Abbezahl jeder Linse, sämtlich von der Lichteinfallsseite aus fortlaufend durchnumeriert. In den Tabellen sind die numeri-

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sehen Daten des Öls für Ölimmersion und des Objektivträgers gleichfalls angegeben. Die Längeneinheit ist Millimeter,,

k . Erstes Ausführungsbeispiel: Brennweite f = 8,0Oj numerische Apertur = 1,35 Brennweite der Vordergruppe f,, =■ 721 „068 Brennweite der Hxntergruppe f-« = 10_f046 £/f₂ = 0,80

= -15,900

R₂ = -38,179

^R4 =	-28,000
R₅ =	29,041
^R6 ⁼	-24,500
R₇ =	500,000
R₈ =	16,600
R₉ =	68,585
^R10⁼	7,304
R₁₁=	-57,500
^R12⁼	t*

U₁ = 2,0 d₂ = 3,6 d₃ =7,0 d₄ =11,0

% = 9,5 d₆ = 0,8 d_? = 0,2 d₈ = 5,4 d₉ = 0,1 d₁₀= 8_S8 d₁₁₌ 1,0 ^d₁₂= 0,593 «h 3= 1,0 ,

= 1,75520 Vd₄ =27,50

n₂ = 1,62041

= 60,30

n₃ = 1,58915 Vd₃ =61,20 n₄ = 1,75520 vd₄ = 27,50

n₅ = 1,62041

ⁿ6 =

n₈ =

1-, 62280

1,74443
1,51690
-1,52726

Vd₈ =

~

= 60,30

56,90 49,4 30,98 (öl)

55,04 (Objektträger

Der vollere Brennpunkt der Hintergruppe G2 liegt um 1,037 vor dem Scheitel der vordersten Linsenfläche R₅ der Hintergruppe.

«0983'9/OdOO'

Zweites Ausführungsbeispiel; Brennweite f = 8,00; numerische Apertur =1,35 Brennweite der Vordergruppe f^ = 236,5 Brennweite der Hintergruppe f₂ = 8,850 f/f₂ =0,90

R. = -32,241	d₁ = 4,5	n^ = 1,67270	Vd₁	= 32,2
Ί	d₂ = 7,5	n, = 1,62041	vd_o	= 60,3
rip = ο=>			C.
R,, = -28,000	d₄ =11,065
Η·
R^ = +2.5,^	ar- = 8,0	η = 1,51680	Vd₀,	= 64,2
		0
Re = -19,800	% = 1,0	n₄ = 1,75520	vd_A	= 27,5
D	D
R₇ =-400,000	d₇ = 0,2

R = +14,369	d_fi = 4,0	n,- = 1,62041	Vd,-	= 60,3
ο	ο
R = +58,000	d₉ = 0,1
y R_1n= +6,450	d₁₀= 8,0	rif- = 1,61272	vd_fi	= 58,6
IU			D
R₁₁= -66,990	U₁₁= 0,75	n₇ = 1,74400	Vd₇	= 44,9
I I R — <^ΰ	d₁₂= 0,5	n₈ = 1,51690	Vd₈	= 43,51 (Öl)
R₁₂- «*?	d^= 1,0	n_Q = 1,52726	vd_Q	= 55,04
	Mj	y	y	(Objekt
				träger)

Die Lage des vorderen Brennpunktes der Hintergruppe G2 befindet sich 1,065 vor dem Scheitel der vordersten Linsenfläche der Hintergruppe.

Der Aufbau der ersten und zweiten Ausführungsbeispiele ist

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den Fig. 2 bzw. 4 zu entnehmen. Dort sind auch das Öl A für Ölimmersion und Präparierung B auf der Rückseite der Hintergruppe dargestellt. Der Korrektionszustand des ersten und zweiten Ausführungsbeispiels hinsichtlich der sphärischen und der chromatischen Aberration ist in Fig. 3 bzw. dargestellt. Diese beziehen sich für den Fall der angegebenen Öl- und Objektivträgersorte in den numerischen Daten. Man sieht, daß der Korrektionszustand sehr gut ist.

Vorliegend ist also, wie beschrieben, der Entwurf so erfolgt, daß die Gesamtbrennweite des Kondensorsystems gekürzt wird durch das kombinierte System von Vorder- und Hintergruppe, wodurch eine Beleuchtung mit hoher Vergrößerung bewerkstelligt wird und der ^T<vinkel vergleichsweise reduziert wird, unter dem die Beleuchtungs-Rahdstrahlen des Gesichtsfeldes gegen die optische Achse zwischen Vorder- und Hintergruppe einfallen, wodurch es ermöglicht wird, mit Hilfe eines Wollastonprismas die Lichtquelle gut zu kompensieren. Wenn die Brennweite des Kondensors klein ist, ist bisher die Linsenanordnung sehr komplex geworden, um die Aberrationen noch gut korrigieren zu können, und ist der vordere Brennpunkt der Kondensorlinse innerhalb der Linse zu liegen gekommen, wodurch es schwierig war, die Aperturblende unter optimalen Bedingungen vorzusehen. Entsprechend dem vorliegenden Aufbau kann jedoch die Brennweite der Hintergruppe vergleichs-

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weise lang auch dann gemacht werden, wenn die Gesamtbrennweite des optischen Kondensorsystems wesentlich kurz ist. Dieses ist gleichfalls vorteilhaft, um die Aperturblende in optimaler Position vorsehen zu können. Es leuchtet daher ein, daß das vorliegende optische Kondensorsystem nicht zur Verwendung bei einem Polarisationstyp-Differenzinterferenzmikroskop beschränkt ist, sondern sich ebenfalls sehr gut für übliche mikroskopische Untersuchungen eignet.

S0S833/038Ö

Leersef t e

Claims

BLUMBACH · WESER · BERGEN · KRAMER ZWIRNER. BREHM

PATENTANWÄLTE IN MÖNCHEN UND WIESBADEN *

Patentconsult Radeckestraße 43 8000 München 60 Telefon (089) 883603/88360+ Telex 05-212313 Telegramme Patentconsult Patentconsult Sonnenberger Straße 43 6200 Wiesbaden Telefon (06121) 562943/561998 Telex 04-186237 Telegramme Patentconsutt

Nippon Kogaku K. K.

Tokyo, Japan Case 399

Optisches Kondensorsystem für· ein Mikroskop

Pat entansp rüche

Optisches Kondensorsystem für ein Mikroskop, g e kennzeichnet durch folgenden Aufbau, von der Lichtstrahleintrittsseite her gesehen:

a) eine Vordergruppe mit einer zerstreuenden Linsenkomponente und einer sammelnden Linsenkomponente, die miteinander verkittet oder im Abstand voneinander angeordnet sein können, und

b) eine Hintergruppe aus einer Mehrzahl Linsenkomponenten insgesamt positiver Brechkraft, wobei der Luftabstand zwischen Vordergruppe und Hintergruppe kleiner als die axiale Gesamtdicke der Hintergruppe ist und der vordere Brennpunkt

München: R. Kramer Dipl.-lng. · W. Weser Dipl.-Phys. Dr. rer. Jiat. · H. P. Brehm Dipl.-Chem. Or. phiL nat. Wiesbaden: P.G. Blümbach Dipl.-lng. -· P.Bergen Dipl.-Ing.t)r.jur. - G.Zwirner Dipl.-lng. Dipl.-W.-Ing.

BAD ORIGINAL

der'Hintergruppe in dem Luftabstand gelegen ist.
2. Kondensorsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zerstreuende Linsenkomponente der Vordergruppe ein zerstreuender Meniskus ist, dessen Vorderfläche die stärker gekrümmte ist und daß die sammelnde Linsenkomponente der Vordergruppe als Sammellinse mit stärker gekrümmter Hinterfläche vorliegt.
3. Kondensorsystem nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Dispersion des negativen Meniskus größer als die der Sammellinse ist.
4. Kondensorsystem nach Anspruch 3, dadurch· gekennzeichnet , daß die Gesanitbrennweite des Systems größer als das 0,6-fache und kleiner als das 0,9-fache der Brennweite der Hintergruppe ist.
5. Kondensorsystem nach Anspruch 4, gekennzeichnet durch ein Wo Ilastonprisma, das zwischen Vorder- und Hintergruppe entfernbar einsetzbar ist.
6. Kondensorsystem nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet , daß von der Lichteintrittsseite her gesehen die Hintergruppe aufgebaut ist aus

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einer bikonvexen ersten Sammellinse, einer ersten Zerstreuungslinse, die mit der ersten Sammellinse verkittet ist,

einer meniskusförmigen zweiten Sammellinse ,mit konvexer Vorderfläche,

einer bikonvexen dritten Sammellinse mit stärker gekrümmter Vorderfläche und :

einer zweiten Zerstreuungslinse, die mit der dritten Sammellinse verkittet ist.
7. Kondensor sy s tem nach Anspruch 6, dadurch; g e k e η η zeichnet, daß die miteinander verkittete dritte Sammellinse und zweite Zerstreuungslinse folgende Bedingungen erfüllen .

Vd₆ > 50

0 C vd₆ - Vd₇ < 15 ' .

wobei vd₆ und vd^ die Abbe-Zahlen der beiden Linsen sind.
8. Kondensorsystem nach Anspruch 7, g e k e η η ζ ei c h net durch folgende Daten: \ Brennweite f = 8,00; numerische Apertur = 1,35 Brennweite der Vordergruppe f>,= 721,068 Brennweite der Hintergruppe fp = 1O,046 .

f/f₂ = 0,80

R₁ = -15,900

¹ Cl₁ = 2,0 Xi₁ = 1,75520 Vd₁ = 27,50

d₂ = 3,6

cU= 7,0 n_o = 1,62041 vd„ = 60,30 = -28,000 P έ έ

d₄ = 11,0

. _Λ = 29,041 ^

^Ό cU = 9,5 η* = 1,58913 vd^ = 61,20'

Rr = -24,500 ° ° °

° d_fi = 0,8 ιιλ = 1,75520 Vd₄ = 27,50

R₇ = 500,000 ° ^{Η Η}

' d₇ = 0,2
Ro = 16,600 '

⁰ do = 5,4 η= = 1,62041 Vd₁- = 60,30

R_Q = 68,585 ^{ö 5 Ρ}

^y d_Q = 0,1

R_1n= 7,304 ^y

^ιυ d._n= 8,8 rif- = 1,62280 vd^- = 56,90

R₁₁= -57,500 ΐυ ο ο

\ " d₁₁₌ 1,0 η₇ = 1,74443 Vd₇ = 49,4,

V.R^„ = OO ' ' ' '

wobei der vordere Brennpunkt der Hintergruppe G2 um 1,037 . vor dem Scheitel der vordersten Linsenfläche R₅ der Hintergruppe gelegen ist.

9. Kondensorsystem nach Anspruch 7, gekennzeichnet, durch folgende Daten:
Brennweite f = 8,00; numerische Apertur =1,35 Brennweite der Vordergruppe T₁ = 236,5 Brennweite der Hintergruppe f'₂ = 8,850 = 0,90

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j ^R2 = -32,241 ^G1 = QP = -28,000 = +25,555 \ ^R7 = -19,800 / ^R8
R₉ =-400,000 ^G2 j
^R10 = +14,369
= +58,000 I ^R11 = + 6,450 = -66,990

(L· = 4,5 η. = 1,67270 vcL = 32,2

dp = 7,5 np = 1,62041 vdp = 60,3 d, =11,065

d_R = 8,0 n, = 1,51680 vd, = 64,2

d_ß = 1,0 n. = 1,75520 vd, = 27,5

d₇ = 0,2

^f
do = 4,0 n^ = 1,62041 vd,- = 60,3

d_q = 0,1

d._n= 8,0 nr = 1,61272 vcL- = 58,6

d_= 0,75 n₇ = 1,74400 vd₇ = 44,9

wobei der vordere Brennpunkt der Hintergruppe G2 um 1,065 vor dem Scheitel de:
gruppe gelegen ist.

vor dem Scheitel der vordersten Linsenfläche R₁- der Hinter-

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