DE2908757A1

DE2908757A1 - Abstandsaenderungs-messanordnung

Info

Publication number: DE2908757A1
Application number: DE19792908757
Authority: DE
Inventors: Nichtnennung Beantragt
Original assignee: Erwin Sick GmbH Optik Elektronik
Current assignee: Roess Dieter Dr 8759 Hoesbach De Baumgartner
Priority date: 1979-03-06
Filing date: 1979-03-06
Publication date: 1980-09-11
Also published as: US4336997A; EP0015506B1; DE2908757C2; JPS55124004A; EP0015506A1

Description

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Die Erfindung betrifft eine Abstandsändei~ungs-Moßanordnung mit einem Licht-Sender-Einpfanger, welcher ein Lichtbündel ::u einer in einem Abstand befindlichen Sollebene schickt, in oder nahe der sich eine Gegenstandsebene befindet, deren Abstand zum Licht-Sender-Empfanger bestimmt werden soll, und von dem Gegenstand reflektiertes Licht empfängt und mittels eines photoelektrischen Wandlers auswertet.

\'.s ist bekannt, daß Abstände auf die Bruchteile eines u genau interferometrisch gemessen v/erden können. Interferometer sind jedoch zu empfindlich, wenn es beispielsweise darum geht, -.lie Dicke von Blechen in Walzwerken messend zu verfolgen. Außerdem erfordern Interferometer spiegelnde Oberflächen, so daß bei der Abstandsmessung von diffus reflektierenden Oberflächen spezielle Vorbehandlungen der Oberfläche notwendig wären.

Mit rein mechanischen Tastern können Dickenänderungen unter •ι u nur äußerst schwer und mit erheblichem Aufwand erfaßt werden.

Das Ziel der vorliegenden Erfindung besteht nun darin, eine Abstandsänderungs-Meßanordnung zu schaffen, mit der Abstandsänderungen, d.h. auch Dickenänderungen insbesondere von Blechen in Walzwerken mit hoher Genauigkeit erfaßt werden können, wobei der Abstand des optischen Meßkopfes vom Objekt sehr groß gegen den Betrag der Längenänderung sein kann. Insbesondere möchte man mit der erfindungsgemäßen Meßanordnung Abstandsändorungen bis 1 u herunter sicher und problemlos erfassen

Zur Lösung dieser Aufgabe sieht die Erfindung vor, daß im Sendeteil eine vom Beugungsbild eines Lasers beaufschlagte Modenblende oder ein modenbegrenzter Laser vorgesehen ist, welche bzw. welcher über ein Linsensystem in die Sollebene abgebildet ist, und daß die Sollebene über ein Linsensystem auf eine photoelektrische Wandleranordnung mit einer Blende abgebildet ist, welche den zum photoelektrischen Wandler vorlaufenden Lichtstrom begrenzt.

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Insbesondere soll dabei die Wandleranordnung eine zweite Modenblende und eine einen dahinter angeordneten photoelektrischen Wandler umfassen. Die zweite Modenblende ist dabei vorzugsweise ein Abbild der ersten Modenblende, und zwar insbesondere dann, wenn die Gegenstandsebene spiegelnd reflektierend ist.

Die Ausbildung kann aber auch so sein, daß die Wandleranordnung eine lineare Diodenanordnung umfaßt, welche an eine elektrische Auswerteschaltung angeschlossen ist, in der die Dioden nacheinander getastet werden und aus dem dabei gewonnenen Signalverlauf das Meßsignal und die Gesamtremission ermittelt werden. Diese Ausbildung entspricht einer periodischen linearen Abtastung der Lichtintensität innerhalb eines durch die Diodenanordnung gebildeten Spaltes. In der elektronischen Auswertesehaltung kann über die Flanken der insbesondere Gauß¹sehen Intensitätsverteilung der Schwerpunkt der Intensxtätsverteilung festgestellt werden. Diese Ausführungsform hat den Vorteil, daß die äußerst genaue Einjustierung der zweiten Modenblende entfallen kann, weil die räumliche Lage der Diodenanordnung in ihrer Längsrichtung nicht kritisch ist.

Erfindungsgemäß wird also mittels einer bzw. zweier Modenblenden ein wohldefinierter Lichtstrahl, im Idealfall ein beugungsbegrenzter Lichtstrahl erzeugt. Vorzugsweise blenden die Modenblenden lediglich die nullte Ordnung des auf ihnen vorhandenen Beugungsmusters aus. Die verwendeten Abbildungslinsen müssen relativ hochwertig, d.h. korrigiert sein. Die Linsen haben eine relativ große Apertur.

Hat die das Lichtbündel auf das Meßobjekt konzentrierende Abbildungslinse eine Apertur A, so erzeugt sie im Brennpunkt, d.h. in der Sollebene einen Brennfleck mit dem Radius 1 ,22 \ .
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Befindet sich in der Sollebene ein streuender Meßkörper, so ist auch das von ihm ausgehende, durch die Pupille der letzten Abbildungslinse hindurchtretende Licht beugungsbegrenzt und kann durch die zweite beugungsbegrenzende Modenblende voll zum Photowandler gelangen. Befindet sich der streuende Meßkörper dagegen außerhalb der Sollebene, so ist der Brennfleck vergrößert und das Streulicht ist nicht mehr beugungsbegrenzt. Der Strahlungsfluß durch die zweite Modenblende nimmt entsprechend ab, und zwar etwa quadratisch mit dem Abstand der Gegenstandsebene, d.h. der Oberfläche des Meßkörpers, von der Sollebene .

Wird nun zunächst die erfindungsgemäße Meßanordnung so einjustiert, daß bei der Solldicke eines bestimmten Gegenstandes, z.B. eines Bleches in einem Walzwerk ein bestimmter Strahlungsfluß vom photoelektrischen Wandler registriert wird, dann ergeben Dickenschwankungen entsprechende Signalschwankungen am Ausgang einer elektronischen Auswerteschaltung. Dabei kann die Nullstellung so gewählt werden, daß sich ein eindeutiger Zusammenhang zwischen der Materialdicke und dem Signal ergibt (bias).

Vorteilhafterweise ist das Sendelicht durch einen Modulator moduliert. Hierdurch können nicht nur die Einflüsse des Umgebungslichtes ausgeschaltet werden, sondern es ist auch eine elektronische Trennung von Meß- und Vergleichslicht möglich, wobei das Vergleichslicht dadurch erzeugt werden kann, daß im Licht-Sender-Empfänger ein Teil des Sendelichts abgezweigt und direkt über einen zweiten Modulator der photoelektrischen Wandleranordnung zugeführt ist. Durch unterschiedliche Frequenzen der beiden Modulatoren können die von dendurch sie hindurchgehenden Lichtbündeln erzeugten Signale elektrisch getrennt werden. Es ist auch möglich, die Modulatoren so im Meß- bzw. Vergleichslicht anzuordnen, daß abwechselnd das Meß- und das Vergleichslichtbündel getastet werden.

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Besonders vorteilhaft ist es, wenn der Abstand der Sollebene von dem Licht-Sender-Empfanger veränderbar ist. Die Veränderung kann dabei durch optische Mittel z.B. eine in den konvergierenden Strahlengang geschobene planparallele Platte erfolgen oder auch durch Verschiebung von Abbildungslinsen insbesondere der Frontlinse entlang der optischen Achse. Auf diese Weise kann die Sollebene mit der die Oberfläche des Meßobjektes bildenden Gegenstandsebene in Übereinstimmung gebracht werden. Dies kann z.B. am Beginn einer Messung erfolgen. Abweichungen der Gegenstandsebene von der Sollebene ergeben dann entsprechende Signaländerungen am Ausgang des photoelektrischen Wandlers bzw. der daran angeschlossenen Auswerteschaltung.

Nach einer bevorzugten Ausführungsform ist eine Regelschaltung vorgesehen, welche die Sollebene automatisch in eine im Abstand von dem Licht-Sender-Empfänger vorhandene Gegenstandsebene einregelt. Bei dieser Ausführungsform wird also die Sollebene der Gegenstandsebene automatisch nachgeführt. Der Grad der Nachführung kann dann in üblicher Weise als Maß für die Abweichung des Abstandes des Meßobjektes von dem Licht-Sender-Empfänger herangezogen werden.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Lage der Sollebene periodisch verändert wird, und zwar vorzugsweise so schnell, daß die Frequenz, mit der die Sollebene periodisch verschoben wird, groß gegen die Frequenz etwaiger Dickenänderungen des abgetasteten Walzbleches ist. Hierdurch wird eine ständige Kontrolle des Nullpunktes in der Auswerteschaltung möglich. Die dauernde Veränderung der Sollebene kann vorzugsweise durch eine Modulation der Brennweite der Frontlinse erfolgen, was z.B. durch eine planparallele Platte veränderlicher Dicke erfolgen kann. Es kann sich hier um einen optischen Teil handeln, der periodisch in den konvergierenden Teil des Strahlenganges eingeschoben wird oder auch um eine rotierende planparallele Platte mit sich über den Umfang keilförmig verändernder Dicke. Durch

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schnelle Rotation der Platte wird dann die Brennweite der Frontlinse in der gewünschten Weise moduliert.

Nach einer bevorzugten praktischen Ausführungsform wird in der Auswerteschaltung das aus der periodischen Veränderung der Sollebene resultierende Frequenzsignal in bezug auf die Phasenlage des Maximums ausgewertet und diese Phasenlage als Maß für den Ort der Gegenstandsebene verwendet. Sobald nämlich die Sollebene während ihrer periodischen Verschiebung senkrecht zu ihrer Ebene mit der Gegenstandsebene zusammenfällt, erreicht das elektrische Signal am Ausgang des photoelektrischen Wandlers ein Maximum.

Nach einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform umfaßt die Regelschaltung einen am Ort der zweiten Modenblende angeordneten sehr empfindlichen Flankendetektor, welcher- auf konstanten Gradient geregelt wird.

Die periodische Veränderung der Lage der Sollebene kann durch Anbringung der Abbildungslinse {Frontlinse) an einem mechanischen, piezoelektrischen oder magnetostriktiven Schwinger oder auch durch Anordnung einer rotierenden durchsichtigen Platte

mit veränderlicher Stärke erfolgen.

In einfacher Weise ist eine Überwachung der Gesamtremission möglich, wenn als Detektor eine flächenhafte Anordnung (z.B. Detektorzeile) verwendet wird, die neben dem Signal im Meßkanal den Gesamtlichtfluß registriert.

Durch Modulation des Meßstrahles und ein rauschunterdrückendes Signalauswerteverfahren (Filter, Phase-Looked-Loop) kann die Meßempfindlichkeit gesteigert werden.

Bei den bisher beschriebenen Ausführungsformen können Dickenänderungen an undurchsichtigen, reflektierenden und streuenden Körpern gemessen werden, wobei die Rückseite der an der erfindungsgemäßen Anordnung vorbeigeführten Meßobjekte eine wohldefinierte Lage, durch eine exakte Führung haben muß.

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Der Erfindungsgedanke kann aber auch bei der Messung der Dicke transparenter Körper angewendet werden. Dazu wird in die Nähe der Sollebene eine streuende oder reflektierende Fläche gebracht und die hinsichtlich ihrer Dicke zu bestimmende durchsichtige Folie oder Platte zwischen die Frontlinse und die streuende oder reflektierende Fläche gebracht. Wesentlich ist, daß die Folie sich im konvergierenden Teil des Strahlenganges befindet. Sofern die Folie oder durchsichtige Platte eine Dicke d und einen Brechungsindex η hdt, wird der Lichtweg scheinbar um den Betrag d (n-1) verlängert.

Die Erfindung wird im folgenden beispielsweise anhand der Zeichnung beschrieben; in dieser zeigt:

Fig. 1 eine schematische Darstellung einer erfindungsgemäßen Abstandsänderungs-Meßanordnung,

Fig. 2 eine schematische Ansicht einer linearen Diodenanordnung, wie sie bei der Meßanordnung nach Fig. 1 verwendet v/erden kann, und

Fig. 3 die bevorzugte, linear schwingende Anordnung der Frontlinse, wie sie bei der Meßanordnung nach Fig. 1 verwendet wird.

Nach Fig. 1 sendet ein Laser 11 einen scharf gebündelten monochromatischen Lichtstrahl 31 durch einen Modulator 22 zu einer Strahlerweiterungs-Linsenanordnung 13, 13^f. Zwischen dem Mikroobjektiv 13' mit relativ kleiner Apertur und dem Objektiv 13 mit relativ großer Apertur befindet sich an der Stelle, wo das Mikroobjektiv 13' die Laserlichtquelle 11 abbildet, erfindungsgemäß eine Modenblende 12, welche von dem Beugungsbild der Laserlichtquelle 11 vorzugsweise nur die nullte Ordnung ausblendet.

Somit tritt aus dem Objektiv 13, dessen Brennpunkt sich in der

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Modenblende 12 befindet, ein beugungsbegrenztes paralleles Lichtbündel 32 aus, welches durch einen Strahlenteilerspiegel 33 hindurch zu einem am Ausgang des Licht-Sender-Empfängers 23 befindlichen Frontobjektiv 14 gelangt. Über das Frontobjektiv Ϊ4 tritt das nunmehr konvergierende Lichtbündel 34 aus dem Gerät aus und wird in der gestrichelt angedeuteten Sollebene 15 fokussiert. In der Sollebene 15 befindet sich die auch als Gegenstandsebene bezeichnete Oberfläche eines bezüglich seines Abstandes A von dem Licht-Sender-Empfänger 23 zu bestimmenden Meßobjektes 35.

Das von der Oberfläche des Meßobjektes 35 spiegelnd oder gestreut reflektierte Licht wird wieder vom Frontobjektiv 14 aufgenommen und über den Strahlenteilerspiegel 33 zu einem Empfangsobjektiv 16 umgelenkt, welches das parallele Lichtbündel in einer zweiten Modenblende 18 fokussiert. Insbesondere im Falle spiegelnder Reflexion an der Oberfläche des Meßobjektes 35 ist die zweite Modenblende 18 ein exaktes Abbild der ersten Modenblende 12. Sie läßt also vorzugsweise ebenfalls nur die nullte Ordnung des auf ihr entworfenen Beugungsbildes der Lichtquelle durch. Die Modenblende 18 und ein dahinter angeordneter photoelektrischer Wandler 19 bilden zusammen eine photoelektrische Empfangsanordnung 17. Der photoelektrische Wandler 19 ist an eine elektronische Auswerteschaltung 26 angelegt, der auch die Modulationssignale von zwei Modulatoren 22 bzw. 24 zugeführt sind.

Der Modulator 24 befindet sich in einem Vergleichsstrahlengang, welcher in der aus Fig. 1 ersichtlichen Weise ebenfalls durch den Strahlenteiler 33 abgezweigt wird. Das Vergleichsstrahlenbündel 36 wird an einem Retroreflektor 37 in sich zurückreflektiert und gelangt durch den Strahlenteilerspiegel 33 hindurch über das Empfangsobjektiv 16 ebenfalls zur photoelektrischen Wandleranordnung 17. Durch

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entsprechende Tastung bzw. Frequenzunterschiede der Modulatoren 22,24 können die vom Meßobjekt 35 und vom Vergleichsbündel 36 stammenden elektrischen Signale in der Auswerteschaltung 26 getrennt werden.

Durch einen im Empfangsbündel angeordneten weiteren Strahlenteiler 38, welcher in Fig. 1 nur gestrichelt angedeutet ist, kann ein Teil des Empfangslichtes auch noch auf eine großflächige Detektoranordnung 28 gelenkt werden, welche ebenfalls in der gestrichelt angedeuteten Weise mit der Auswerteschaltung 26 verbunden ist und ein Maß für die Gesamtremission der Oberfläche des Meßobjektes 35 liefert. Auf diese Weise steht in der Auswerteschaltung 26 ein der Gesamtremission des Meßobjektes 35 entsprechendes Bezugssignal zur Verfügung.

Bevorzugt ist die Frontlinse 14 nach Fig. 1 in Richtung der optischen Achse 30 linear verschiebbar, was dadurch angedeutet ist, daß die Frontlinse 14 als auf einem Wagen 39 angeordnet dargestellt ist. Ein Antriebsmotor im Wagen 39 ist über Leitungen 40 mit der Auswerteschaltung 26 verbunden. Weiter trägt der Wagen 39 den Abgriff 41 eines Potentiometers 42, das ebenfalls an die Äuswerteschaltung 26 angeschlossen ist.

Insgesamt bilden der Wagen 39 mit dem darin angeordneten Antriebsmotor, das Potentiometer 42, die Auswerteschaltung 26 und die photoelektrische Wandleranordnung 17 mit den zugeordneten optischen Elementen eine Regelschaltung 25, welche so abgestimmt werden kann, daß die Frontlinse 14 sich automatisch so weit verschiebt, bis ihr Brennpunkt bzw. die Sollebene 15 mit der Oberfläche bzw. Gegenstandsebene des Meßobjekts 35 zusammenfällt. Die Brennpunktlage der Frontlinse bzw. Meßoptik 14 wird also ständig mechanisch nachgeregelt. Bei nicht zu schnellen Dickenänderungen des Meßobjekts 35, welches in Form eines Bleches in einem Walzwerk an der Anordnung in Richtung des Pfeiles f vorbeibewegt zu denken ist, ist es vorzuziehen, durch Nachregulie-

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./fi.

rung der Frontlinse 14 den Brennfleck auf dem Meßobjekt 3 5 konstant zu halten. In diesem Fall kann ein sehr empfindlicher Flankendetektor an der Modenblende 18 auf konstanten Gradienten eingeregelt werden.

Gleichzeitig kann dieser langsamen Nachführung eine hochfrequente Schwingung der Frontlinse 14 in Richtung ihrer optischen Achse 30 überlagert werden.

Dies kann in der aus Fig. 3 ersichtlichen Weise z.B. dadurch geschehen, daß die Linsenfassung an piezoelektrischen oder magnetostriktiven Schwingern 29 aufgehängt ist, welche in Richtung der optischen Achse 30 zu einer hochfrequenten mechanischen Schwingung angeregt werden. Dementsprechend schwankt die Frontlinse 14 bzw. die Sollebene 15 ständig in Richtung der optischen Achse 30 um die Nullage herum. In Verbindung mit einer geeigneten elektrischen Auswertung in der Auswerteschaltung 26 (z.B. integrativ mit verschiedenen Zeitkonstanten) kann das Oberflächenrauschen spezifisch eliminiert werden. Besonders vorteilhaft ist es jedoch, daß durch diese Maßnahme die hochfrequent schwingende Sollebene 15 ständig die Oberfläche des Meßobjektes 35 erfassen kann, so daß durch geeignete elektronische Auswertung in der Schaltung 26 die jeweilige exakte Lage der Oberfläche des Meßobjektes 35 und damit indirekt auch die Dicke des Meßobjektes 35 auch während der langsamen Abstandsänderungen des Objektivs 14 exakt erfaßt werden können.

Die schwingende Anordnung der Frontlinse 14 kann auch ohne die langsame Nachführung dann angewandt werden, wenn bei dem bezüglich seines Abstandes A zu messenden Meßobjektes 35 damit gerechnet werden kann, daß seine Oberfläche sich innerhalb eines Bereiches befinden wird, der kleiner als die Schwingungsamplitude der Frontlinse 14 ist.

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Der Abstand A der Sollebene 15 von dem Licht-Sender-Empfänger 23 kann auch durch Einschieben einer gestrichelt angedeuteten planparallelen Platte 27 in den Konvergententeil des Meßstrahlenganges geändert werden. Statt der Modenblende 18 und des photoelektrischen Wandlers 19 kann auch eine lineare Diodenanordnung 20 gemäß Fig. 2 in der Abbildungsebene der Sollebene 15 angeordnet werden. Die Dioden 21 sind an die Auswerteschaltung 26 angeschlossen, welche die Dioden 21 periodisch nacheinander tastet. In der Auswerteschaltung 26 kann jeweils das Maximum der Lichtintensität innerhalb der Diodenanordnung 20 festgestellt werden. Außerdem kann hierdurch die Gesamtreflexion (Gesamtremission) als Meßsignal herangezogen werden. Durch geeignete Auswertung wird somit gleichzeitig die Gesamtremission und das Meßsignal geliefert. In diesem Fall erübrigt sich der durch den teildurchlassigen Spiegel 38 und die Detektoranordnung 28 verwirklichte Referenzstrahlengang .

Wesentlich ist, daß die Dioden 21 der Diodenanordnung 20 in ihrer Ausdehnung quer zur Längsrichtung etwa der Ausdehnung der Öffnung der Modenblende 18 entsprechen. Diejenige der Dioden 21, die die stärkste Lichtintensität empfängt, entspricht dem Ort der Öffnung der Modenblende 18 j ihr Signal wird bei der Auswertung entsprechend herangezogen.

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Claims

Patentansprüche:

1. 'Äbstandsänderungs-Meßanordnung mit einem Licht-Sender- ^ Empfänger, welcher ein Lichtbündel zu einer in einem Abstand befindlichen Sollebene schickt, in oder nahe der sich eine Gegenstandsebene befindet, deren Abstand zum Licht-Sender-Empfänger bestimmt werden soll, und von dem Gegenstand reflektiertes Licht empfängt und mittels eines photoelektrischen Wandlers auswertet, dadurch gekennzeichnet , daß im Sendeteil eine vom Beugungsbild eines Lasers (11) beaufschlagte Modenblende (12) oder ein modenbegrenzter Laser vorgesehen ist, welche bzw. welcher über ein Linsensystem (13, 14) in die Sollebene (15) abgebildet ist, und daß die Sollebene (15) über ein Linsensystem (14, 16) auf eine photoelektrische Wandleranordnung (17) mit einer Blende (18) abgebildet ist, welche den zum photoelektrischen Wandler (19) verlaufenden Lichtstrom begrenzt.

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MAWTZ FlNSTERWAt., HEYN MORGAN 8000 MÜNCHEN 22 ROBERT-KOCH-STRASSE t TEL (089) 224? 11 - TELEX 05-29672 PATMF

DiPL -ING W GRAMKOW 7000 STUTTGART 50 {BAD CANNSTATT) SEEIBERGSTR 23'25 TEL (0711) 567261 ZENTRALKASSE BAYER VOLKSBANKEN MÜNCHEN KONTO-NUMMER 7270 POSTSCHECK MÜNCHEN 77062 805

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2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch ge kennzeich net, daß die Wandleranordnung (17) eine zweite Modenblende (18) und einen dahinter angeordneten photoelektrischen Wandler (19) umfaßt.

3. Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeich· net, daß die zweite Modenblende (18) ein Abbild der ersten Modenblende (12) ist.

4. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Wandleranordnung (17) eine lineare Diodenanordnung (20) umfaßt, welche an eine elektrische Auswerteschaltung (26) angeschlossen ist, in der die Dioden (21) nacheinander getastet werden und aus dem dabei gewonnenen Signalverlauf das Meßsignal und die Gesamtremission ermittelt werden.

5. Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet , daß das Sendelicht durch einen Modulator (22) moduliert ist.

6. Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet , daß im Licht-Sender-Empfänger (23) ein Teil des Sendelichtes abgezweigt und direkt über einen zweiten Modulator (24) dem photoelektrischen Wandler (17) zugeführt ist.

7. Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet , daß der Abstand (A) der Sollebene (15) von dem Licht-Sender-Empfänger (23) veränderbar ist.

8. Anordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Veränderung durch optische Mittel z.B. eine in den konvergierenden Strahlengang geschobene planparallele Platte (27) erfolgt.

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9. Anordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Veränderung durch Verschiebung von Abbildungslinsen (14) entlang der optischen Achse (30) erfolgt.

10. Anordnung nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet , daß eine Regelschaltung (25) vorgesehen ist, welche die Sollebene (15) automatisch in eine im Abstand (A) von dem Licht-Sender-Empfänger (23) vorhandene Gegenstandsebene einregelt.

11. Anordnung nach einem der Ansprüche 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet , daß die Lage der Sollebene (15) periodisch verändert wird.

12. Anordnung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß in der Äuswerteschaltung (26) das aus der periodischen Veränderung resultierende Frequenzsignal in bezug auf die Phasenlage des Maximums ausgewertet und diese Phasenlage als Maß für den Ort der Gegenstandsebene verwendet wird.

13. Anordnung nach einem der Ansprüche 7 bis 12, dadurch gekennzeichnet , daß die Regelschaltung (25) einen am Ort der zweiten Modenblende (18) angeordneten sehr empfindlichen Flankendetektor umfaßt, welcher auf konstanten Gradienten geregelt wird.

14. Anordnung nach einem der Ansprüche 11 bis 13, dadurch gekennzeichnet , daß die periodische Veränderung der Lage der Sollebene (15) durch Anbringung der Abbildungslinse (14) an einem mechanischen, piezoelektrischen oder magnetostriktiven Schwinger (29) erfolgt.

15. Anordnung nach einem der Ansprüche 11 bis 13, dadurch gekennzeichnet , daß die periodische Veränderung der Lage der Sollebene durch Anordnung einer rotierenden durchsichtigen Platte (27) mit veränderlicher Stärke im Konvergententeil des Strahlenganges erfolgt.

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