DE2905361C2 - Gitterspektrograph - Google Patents

Description

a) einem Kupplungsorgan, das individuell mit jeder Meßeinheit (101.1, 101.2, 1013, 101.4) verbunden werden kann,

b) Antriebsmitteln des K^pplungsorgans zur Verstellung der Meßeinheiten (101.1, 101.2, 1013, 101.4) entlang der Führungsschiene (17) und

c) Mitteln zur Orientierung der Meßeinheiten (101.1. 101.2, 1013, 101.4) während der Verstellung auf das Beugungsgitter (11)

an dem der Führungsbacken (47) befestigt ist, auf der Führungsschiene (17) ruht

6. Gitterspektrograph nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungsschiene (17) zwei Führungsnuten (22, 25) aufweist, und daß der Führungsbacken (47) am Schlitten (33) lösbar befestigt ist und wahlweise in eine der beiden Führungsnuten (22,25) eingreift

7. Gitterspektrograph nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet daß die Antriebsmittel aus einem ersten Motor (61) für rasche Positionsänderung und einem zweiten Motor (95) für langsame Positionsverschiebung bestehen.

8. Gitterspektrograph nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet daß die Haube (66) am Ende eines Auslegers (72) montiert ist der aus zwei parallelen Platten (75, 76) besteht, die die gegenüberliegenden Seiten eines verformbaren Parallelogramms bilden, an deren einem Ende sich die Seitenwände (64,65) der Haube (66) mittels dünner Blattfedern (73,74) befestigt anschließen.

9. Giiierspektrograph nach Anspruch 8 mit aus einem ersten Motor für rasche Positionsänderung und einem zweiten Motor für langsame Positionsverschiebung bestehenden Antriebsmitteln, dadurch gekennzeichnet daß dem Motor (95) für langsame Positionsverschiebung ein Nocken (93) zugeordnet ist mit dem er an einer Platte (76) des die jeweils zugeordnete Meßeinheit (10U, 101.2, 1013,101.4) mitnehmenden Auslegers (72) angreift um die fortschrei texde Deformation des verformbaren Parallelogramms zu bewirken.

besteht und dafl dai Kupplungsorgan eine Haube (66) besitzt die mit einem Spv : (71) versehen ist, der enger ist als die Eintrittsspalte (39) der Meßeinheiten (101.1, 101.2, 1013, 101.4) und der in der Kupplungsposition mit den Eintrittsspalten (39) zur Deckung kommt.

2. Gitterspektrograph nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Mittel zur Orientierung der Meßeinheiten auf das Beugungsgitter (11) ein Teleskoparm (88, 91) dient der mit der Haube (66) verbunden ist, und der um eine durch den Mittelpunkt (16) des Beugungsgitters (11) verlaufende vertikale Achse drehbar ist.

3. Gitterspektrograph nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet daß die Haube (66) in vertikaler Richtung zwischen einer entkuppelten Position und einer Position, in der sie durch Eingriff mit der Meßeinheit (101.1, 101.2, 1013, 101.4) gekuppelt ist, bewegbar ist.

4. Gitterspektrograph nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet daß jede Meßeinheit (101.1, 101.2, 101.3, 101.4) ein Gehäuse (36) besitzt, das an seiner dem Beugungsgitter (11) zugewandten Seite mit einem Eintrittsspalt (39) für den Einfall der Strahlung versehen ist, und in der Verlängerung der Verbindungslinie des Gitters mit dem Eintrittsspalt (39) einen Photodetektor (41) aufweist, und daß das Gehäuse (36) um eine Achse (35) drehbar ist, die den Eintrittsspalt (39) durchquert, und auf einen in der Führungsschiene (17) beweglichen Führungsbacken (47) montiert ist.

5. Gitterspektrograph nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (36) mittels eines aus zwei Gleitschuhen (31, 32) und sinem diese verbindenden Element bestehenden Schlittens (33),

Die Erfindung betrifft einen Gitterspektrographen mit einer Mehrzahl von mit Photodetektoren ausgestatteten Meßeinheiten, deren individuelle Position auf einem gemeinsamen Träger verstellbar ist, deren jede einen Eintrittsspalt zur Aufnahme der von einem Beugungsgitter ausgehenden, einem bestimmten Photodetektor zukommenden Strahlung besitzt und die um eine durch den Mittelpunkt des Beugungsgitters verlaufende Achse verschwenkbar gelagert sind, und mit Mitteln zur Verstellung der Meßeinheiten entlang dem Träger.

Ein Gitteispektrograph mit diesen Merkmalen ist in der US-PS 40 3C 828 beschrieben. Nach dem Vorschlag dieser Druckschrift ist eine Mehrzahl von Meßeinheiten mit Photodetektoren auf einem Rowland-Kreis verteilt angeordnet. Ihre Position auf diesem ist individuell einstellbar und zwar können sie jeweils um eine die Mittelachse des Beugungsgitters durchdringende Achse verlagert werden, um von einer zu einer anderen Arbeitsmethode überzugehen.

In der DE-OS 26 51 086 ist ein Gitterspektrograph mit zwei auf einer gemeinsamen Führung angeordneten Meßeinheiten mit Photodetektoren vorgesehen, deren eine der Versuchsprobe, deren andere einer Bezugssubstänz zugeordnet ist. Die hier beschriebene Anordnung ist auf zwei Meßeinheiten beschränkt, für deren jede ein Antriebsmotor vorgesehen ist; die Möglichkeit der individuellen Einstellung der Position mehrerer Meßeinheiten mittels eines einzigen, um eine das Beugungsgitter durchdringende Achse schwenkbaren Steuerorgans ist nicht in Betracht gezogen.
Gleiches gilt auch für einen in der Z. f. Physik 193

{1966), S. 490—510 vorbeschriebenen Gitterspektrographen, bei dem eine als Teil des Rowland-Kreises ausgebildeten Führungsschiene mit einer Meßeinheit, sowie ein um die Mittelachse des Beugungsgitters schwenkbarer Arm zur Ausrichtung von Austrittsspalt und Photodetektor in Richtung auf das Beugungsgitter vergesehen ist Diese Einrichtung ist dazu bestimmt in besonders rascher Folge Messungen vorzunehmen; ihre Einstellvorrichtung erlaubt indessen nicht die individuelle Einstellung einer Mehrzahl von Meßeinheiten. Bei dem zuerst erwähnten, aus der US-PS 40 30 828 bekannten Stand der Technik ist von erheblichem Nachteil, daß die individuelle Einstellung jeder Meßeinheit zeitraubende und umständliche Maßnahmen notwendig macht Es ist erforderlich, das Vakuum in der Kammer des Spektrographen zu beseitigen, sodann die Neueinstellung vorzunehmen, wonach das Vakuum wieder hergestellt werden muß. Dieser umständliche Arbeitsablauf verursacht außerdem Kosten.

Der Erfindung ist ausgehend von diesem zuletzt behandelten Stand der Technik die Aufgabe gestellt einen Gitterspektrographen der eingangs arjegebenen Gattung so auszustatten, daß die individuelle Einstellung der Position der Meßeinheiten entlang dem Rowland-Kreis — ohne Beseitigung und später folgender Wiederherstellung des Vakuums in der Kammer des Spektrographen — in jeder Phase des Untersuchungsablaufs vorgenommen werden kann. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 angegebene Einstellvorrichtung gelöst Durch diese wird erreicht daß jede Meßeinheit unabhängig von ihrer Position — auch während des Vorgangs der Verschiebung — auf das Gitter orientiert bleibt so daß nach einer vorgenommenen Ortsveränderung eine nachträgliche Justierung auf das Gitter sich ^J5 erübrigt, demzufolge also die Meßvorgänge ohne Verzögerung fortgesetzt werden können.

In einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Gitterspektrographen dient als Mittel zur Orientier jng der Meßeinheiten auf das Beugungsgitter ein Teleskoparm, der mit der Haube des Kupplungsorgans verbunden ist und der um eine durch den Mittelpunk; des Beugungsgitters verlaufende vertikale Achse drehbar ist. Die Haube ist in zweckmäßiger Ausbildung in vertikaler Richtung zwischen einer entkuppelten Position und einer Position, in der sie durch Eingriff mit einer der Meßeinheiten gekuppelt ist bewegbar.

In bevorzugter weiterer Ausbildung der Erfindung besitzt jede Meßeinheit ein Gehäuse, das an seiner dem Beugungsgitter zugewandten Seite einen Eintrittsspalt für den E'nfall der Strahlung aufweist, und in der Verlängerung der Verbindungslinie des Gitters mit dem Eintrittsspalt einen Photodetektor; das Gehäuse ist drehbar um eine Achse angeordnet, die den Eintrittsspalt durchquert, und auf einem in der Führungsschiene beweglichen Führungsbacken montiert. Jedes Gehäuse ruht mittels eines aus ?*ei Gleitschuhen und einem diese verbindenden Element bestehenden Schlitten, an dem der Führungsbacken befestigt ist, auf der Führungsschiene.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand der Zeichnungen, in denen ein Ausführungsbeispiel des Erfindungsgegenstandes dargestellt ist, näher erläutert. In den Zeichnungen zeigt

Fig. 1 eine Aufsicht auf den Gitterspektrographen in schematischer Darstellung;

F i g. 2 eine perspektivische Ansicht in vergrößerter

65 Darstellung, schematisch;

F i g. 3 einen senkrechten Schnitt, der den Schlitten auf der Führungsschiene dargestellt, in stark vereinr'acher Darstellung in kleinerem Maßstab;

Fig.4 einen senkrechten Schnitt durch den Gitterspektrographen in schematischer Darstellung.

Der in den Figuren dargestellte Spektrograph weist ein Beugungsgitter 11 (Fig. 1) auf, das beispielsweise holographisch erzeugt ist Die Gitterlinien verlaufen auf der Oberfläche 12 einer Kugelkalotte mit dem Mittelpunkt 16, der Achse 14 und dem Radius 2 R.

Entlang einem Teil des Rowiandkreises 15 mit dem Radius R, der dem Gitter zugeordnet ist und dessen Mittelpunkt 0 auf der Achse 14 liegt, erstreckt sich eine Führungsschiene 17.

Die Führungsschiene 17 besteht aus einem massiven Gußteil von im wesentlichen rechteckigem Querschnitt und weist zwei kreisbogenförmige Nuten 22,25(Fi g. 2) auf, deren Seitenflächen 23, 24 bzw. 26, 27 durch Zylinderffächen gebildet sind, die ir- Punkt 0 zentriert sind. Die Nuten 22 und 25 münden an der Oberseite der Führungsschiene 17.

Die horizontalen Flächen 28,29 der Führungsschiene 17 dienen, jeweils entsprechend, als Auflage für zwei Gleitschuhe 31, 32 eines Schlittens 33 von im wesentlichen quaderförmigem Aufbau. An der Oberseite 34 des Schlittens 33 ist ein Gehäuse 36 um eine vertikale Achse 35 drehbar angeordnet das gleichfalls im wesentlichen quaderförmig aufgebaut ist und dessen Boden 37 auf der Oberseite 34 des Schlittens 33 aufliegt Das Gehäuse 36 endet an seinem Inneren, d. h. an dem dem Mittelpunkt 0 des Rowiandkreises 15 zugewandten Ende mit zwei geneigten Flächen 38,38', die einen Spalt 39 von verhältnismäßig großer Breite begrenzen. Mit einem Photovervielfacher 41, dessen Mantel 42 mit dem Gehäuse 36 verbunden ist kann ein Element bestimmt werden, dessen charakteristische Strahlung auf den Spalt 39 fällt

Das Gehäuse 36 ist so angeordnet, daß der Spalt 39 auf dem Rowlandkreis 15 Siegt

D^:e Unterseiten 43,44 der Gleitschuhe 31,32 (F i g. 3) sind mit einer dünnen Schicht aus Glasfasergewebe versehen, die mit Polytetrafluoräthylen 45, 16 oder dgl. überzogen ist

Vom Schlitten 33 ragt an dessen äußeren Ende ein Führungsbacken 47 nach unten, der im wesentlichen quaderförmig, jedoch als Zylindermantel-ausschnitt ausgebildet ist, so daß seine Seitenflächen 48,49 mit den Seitenflächen 23, 24 der Nute 22 mittels (in der Zeichnung nicht dargestellter) zwischengeschalteter Gleitelemente zusammenwirken.

Der Führungsbacken 47 ist vorteilhafterweise abnehmbar am Schlitten 33 befestigt, so daß er gegebenenfalls auch so am Schlitten 33 befestigt werden kann, daß seine Seitenflächen 48, 4S mit den Seitenflächen 26, 27 der anderen Nute 25 der Führungsschienen 17 zusammenwirken.

Ein Gegengewicht 30 ist am anderen Ende des Schlittens 33 befestigt und gleicht die Masse des Photovervielfachers 41 aus.

Die Führungsschiene 17 weist einen Ansatz 51 (Fig.4) auf, der durch eine Nut am inneren Umfang gebildet ist. Auf dem Ansatz 51 gleitet ein Abschnitt einer bogenförmigen Leiste 53, die an ihrer Unterseite 54 mit Polytetrafluorethylen oder dgl. überzogen ist und die mit einem Auge 55 verbunden ist, das das Ende eines Arms 56 (F i g. 1 und 4) bildet. Der Arm 56 ist an einem Sektor 57 befestigt, der um den Mittelpunkt 0 des

Rowlandkreises 15 drehbar ist. Mit dem Arm 56 ist eine Kreisbogenverzahnung verbunden, die auf eine bezüglich des Mittelpunkts 0 kreiszylindrische Fläche aufgebracht ist. Mit der Verzahnung 50 wirkt eine Schnecke 58 zusammen, die auf das Ende der Antriebswelle 59 eines ersten, als Schrittmotor ausgebildeten Elektromotors 61 aufgesetzt ist.

Mit dem inneren Abschnitt des Schlittens 33, d. h. mit den Radialflächen 62, 63 des Gleitschuhs 32, wirken in sehr präziser Weise die Seiten wangen 64, 65 einer ι ο Haube 66 zusammen, die an ihrer Unterseite offen ist, durch eine obere Wandung 67 begrenzt ist und zwei geneigte Vorderwandungen 68, 69 aufweist, die eine Kante 70 bilden, die in einer bezüglich der seitlichen Wangen 64, 65 äqudistanten Ebene liegt. Entlang der Kante 70 verläuft ein durch die beiden geneigten Flächen 68,69 gebildeter enger Spalt.

Die Haube 66 ist am Ende eines Trägers 72 montiert, der 7wpj starre Seitenwände 75 76 sufwci®· -^*^A ^h^k geschwächte Bereiche oder Blattfedern 73, 74 mit den Seitenwangen 64, 65 oder Haube 66 verbunden sowie ihrerseits mittels geschwächter Bereiche oder Blattfedern 77, 78 an ein Anschlußstück 79 angeschlossen sind. Das Anschlußstück 79 weist einen rohrförmigen Durchlaß von gleichem lichten Querschnitt wie der Träger 72 auf. Der Träger 72 ist mittels senkrecht verlaufender Ausnehmungen 85 auf Stangen 86 gleitend geführt und kann durch senkrechte Verschiebung in eine von zwei Positionen verstellt werden, beispielsweise mittels eines Elektromagneten 87. Der Elektromagnet 87 ist an einem Tragelement 80 montiert, das an einem zweiten Arm 88 (Fig. 1) befestigt ist, der an seinem äußeren Ende mit einem Auge 89 (Fig.4) endet, mit dem er wie der Arm 56 um den Mittelpunkt 0 drehbar ist. Der Arm 88 umschließt teleskopisch ein Rohr 91, dessen entgegengesetztes Ende 92 um die durch die Mitte 16 des Beugungsgitters 11 verlaufende vertikale Achse drehbar ist.

Mit der Seitenwandung 76 des Trägers 72 wirkt ein Nocken 93 zusammen, der auf der Welle 94 eines ^A0 zweiten, gleichfalls als Schrittmotor ausgeführten Elektromotors 95 befestigt ist. An einem an die gegenüberliegende Wandung 75 angeschlossenen Vorsprung % ist eine Feder 97 angeschlossen, die die Wandung 76 beständig gegen die wirksame Umfangsfläehe 98 des Nockens 93 zieht

Der vorstehend beschriebene Gitterspektrograph arbeitet folgendermaßen:

Eine zu analysierende Probe wird in eine Vakuumkammer eingebracht, in der eine Funkenquelle aus der Probe ein PLsma erzeugt. Die von dem Plasma ausgehende Strahlung bildet ein Strahlenbündel 102, das den Eintrittsspalt 103 des Spektrographen durchsetzt und vom Beugungsgitter 11 aufgefangen wird.

In dem in F i g. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel weist der Spektrograph mehrere entlang dem Rowlandkreis 15 verteilte Meßeinheiten 101.1, 1013, 101.4 auf, deren jede ein Gehäuse 36 und einen Photovervielfacher 41 aufweist. Jede der Meßeinheiten ist dafür eingerichtet, eine quantitative Aussage über ein Element zu geben, das in der Zusammensetzung der Probe vorliegt und dessen charakteristische Strahlung der jeweiligen Stellung der Meßeinheit auf der Führungsschiene 17 entspricht

Bei dem in F i g. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel befindet sich die Meßeinheit 101.2 in einer Stellung, in der sie mit einer Einstellvorrichtung 105 zusammenwirkt, die im wesentlichen aus dem Träger 72, dem Arm 56 und den Armen 88, 91 besteht. Unter der in Fig.4 dargestellten Bedingungen befindet sich der Träger 72 in seiner oberen Stellung. Dabei steht der Spalt 71 gegenüber dem Spalt 39.2 der Meßeinheit 101.2. Der Photoverfielfacher 41.2 empfängt daher lediglich den S'rahlungsanteil, der den engen Spalt 71 durchsetzt. Da der Spalt 39.2 verhältnismäßig weit ist, können thermische Ausdehnung oder Schwingungen sich nicht nachteilig auswirken.

Wird der Elektromagnet 87 erregt, so wird die durch den Träger 72 gehaltene Haube 66 in ihre untere Position überführt. Die Seitenwangen 64, 65 umfassen die Seitenflächen 62, 63 des Schlittens 33.2, so daß der Träger 72 an den Schlitten 33 angekoppelt wird. Bei einer Verstellung des Trägers 72 durch einen der beiden Motore61,95 wird folglich die Meßeinheit 101.2 entlang dem Rowlandkreis 15 verschoben. Diese Verschiebung erfolgt im wesentlichen reibungsfrei, wegen der

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äthylen 45, 46 überzogenen Glasfasergewebeschichten, mit denen die Gleitschuhe 31, 32 versehen sind. Außerdem sind die Flächen 48, 49 des Führungsbacken 47 mit Polytetrafluoräthylen überzogen, das mit Bronze gefüllt ist. Die Schichten 45, 46 bilden zahlreiche Kontaktpunkte, so daß störende Ansaugeffekte vermieden werden, die bei vollständig ebenen Oberflächen beim Evakuieren des Spektrographen auftreten können. Mi dem ersten Motor 61 werden verhältnismäßig schnelle Verschiebungen der Meßeinheit 101.2 vorgenommen. Das ist beispielsweise dann der Fall, wenn die Meßeinheit 101.2 in eine vorbejtimmte Stellung auf dem Rowlandkreis 15 überführt werden soll.

Langsame, mit größter Präzision erfolgende Verschiebungen der Meßeinheit 101.2 werden mit dem Motor 95 vorgenommen, wobei die Kraftübertragung vollständig spielfrei erfolgt. Diese Arbeitsweise wird beispielsweise gewählt, wenn ein Linienprofil aufgenommen werden soll, d. h. wenn der Intensitätsverlauf der Strahlung in einer Spektrallinie gemessen werden soll, oder wenn ein Linienzentrum genau festgelegt werden soll. Die Verschiebungen können mit einem (nicht dargestellten) Differentialtransformator gemessen werden.

Die Verschiebungen werden ermöglicht durch die bezüglich der Achse 35 drehbare Anordnung des Gehäuses 36 auf dem Schlitten 33 sowie durch den gelenkigen Anschluß der Seitenwände 73, 76 an ihren Enden einerseits an die Haube 66 und andererseits an das Anschlußstück 79, in Verbindung mit der teleskopischen Anordnung des Arms 88 auf dem Rohr 91.

Wenn zwei Meßeinheiten 101 verhältnismäßig sehr nah beieinander auf dem Rowlandkreis 15 angeordnet werden sollen, so kann eine der Meßeinheiten 101 unter Verwendung der Nut 22 der Führungsschiene 17 und die andere Meßeinheit unter Verwendung der Nut 25 angeordnet werden.

Es ist vorgesehen, bei den Verschiebungen der Meßeinheiten als Ausgangspunkt der Bewegung eine feste Position auf der Führungsschiene 17 zu nehmen, beispielsweise die Position des reflektierten Strahls, der wie in Fig. 1 dargestellt auf die Meßeinheite 101.1 fällt Dies ermöglicht, bei Kenntnis der Relation zwischen der Zahl der Stellschritte des Motors 61 und der Wellenlänge, durch Zählung der Steuerimpulse die zu jeder Position gehörige Wellenlänge zu ermitteln.

Zur Rückmeldung über die Position jeder der Meßeinheiten 101 sind optische Mikroaufnehmer vorgesehen. Ferner sind Sicherheitseinrichtungen vor-

gesehen, um zu verhüten, daß im Laufe des Betriebs zwei Meßeinheiten sich einander unzulässig annähern.

Der beschriebene Gitterspektrograph läßt sich ohne weiteres einrichten zur Bestimmung der Elemente aller Legierungen. Da der nutzbare Spektralbereich sich bis zu sehr kurzen Wellenlängen erstreckt, ist es möglich, sowohl Metalle zu bestimmen als auch Nichtmetalle oder jase, wie sie in mehr oder minder großer Konzentration vorkommen.

Gute Ergebnisse sind erhalten worden mit einem Spektrographen, dessen Rowlandkreis einen Durchmesser von 1,50 m aufweist, mit einem Eintrittsspalt einer Breite von 20 μιπ und einer Höhe von 8 mm, wobei der Einfallswinkel der Strahlung auf das Beugungsgitter 30" betrug. Die wirksame Gitterfläche wies einen Radius von 1,5 m auf und besaß 2400 Linien/mm.

Der nutzbare Bereich des Spektrums erstreckt sich zwischen 14 und 350 nm einer mittleren Dispersion von

0,25 nm/mm.

Jede Meßeinheit war mit einem Eintrittsspalt versehen, dessen Breite ΙΟΟμίη betrug und der um 0,5 mm gegenüber dem Rowlandkreis zurückgesetzt war. Es ist möglich gewesen, 20 Meßeinheiten unterzubringen.

Die mit dem mit dem Nocken angreifenden Motor bewirkte Bewegung überstrich einen Weg von ± 1 mm mit einer Auflösung von 0,02 mm pro Schritt. Es ist möglich gewesen, einen Bereich des Spektrums von 0,5 nm Breite bei einer Auflösung von 0,005 nm pro Schritt reversibel zu überstreichen.

Die Lage des Eintrittsspalts und die Kenndaten des Beugungsgitters des Spektrographen erlauben es, mit der beschriebenen Einrichtung in einem sehr breiten Wellenlängenbereich zu arbeiten, der je nach der verwendeten Quelle das UV, das Infrarot oder selbst Röntgenstrahlung umfaßt.

Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

Patentansprüche: 10

1. Gitterspektrograph mit einer Mehrzahl von mit Photodetektoren ausgestatteten Meßeinheiten, deren individuelle Position auf einem gemeinsamen Träger verstellbar ist, von denen jede einen Eintrittsspalt zur Aufnahme der von einem Beugungsgitter ausgehenden, einem bestimmten Photodetektor zukommenden Strahlung besitzt und die um eine durch den Mittelpunkt des Beugungsgitters verlaufende Achse verschwenkbar gelagert ist, und mit Mitteln zur Verstellung der Meßeinheiten entlang dem Träger, dadurch gekennzeichnet, daß eine einzige Einstellvorrichtung (105) zur individuellen Einstellung der Position der Meßein- -5 heiten (101.1, 101.2, 1013, 101.4) entlang einem Rowland-Kreis vorgesehen ist, wobei die Meßeinheiten (101.1,101.2,1013,101.4) auf einer einen TeU des Rowland-Kxeises bildenden, gegenüber dem Beugungsgitter (11) angeordneten Führungsschiene (17) geföfert sind, daß die Einstellvorrichtung (105) aus