DE2902379C2 - Abtastelektronenmikroskop - Google Patents

Abtastelektronenmikroskop

Info

Publication number
DE2902379C2
DE2902379C2 DE2902379A DE2902379A DE2902379C2 DE 2902379 C2 DE2902379 C2 DE 2902379C2 DE 2902379 A DE2902379 A DE 2902379A DE 2902379 A DE2902379 A DE 2902379A DE 2902379 C2 DE2902379 C2 DE 2902379C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
electron microscope
scanning electron
video signal
led elements
displayed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE2902379A
Other languages
English (en)
Other versions
DE2902379A1 (de
Inventor
Johan Cornelis Eindhoven Tiemeijer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Koninklijke Philips NV
Original Assignee
Philips Gloeilampenfabrieken NV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Philips Gloeilampenfabrieken NV filed Critical Philips Gloeilampenfabrieken NV
Publication of DE2902379A1 publication Critical patent/DE2902379A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2902379C2 publication Critical patent/DE2902379C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R19/00—Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof
    • G01R19/165—Indicating that current or voltage is either above or below a predetermined value or within or outside a predetermined range of values
    • G01R19/16566—Circuits and arrangements for comparing voltage or current with one or several thresholds and for indicating the result not covered by subgroups G01R19/16504, G01R19/16528, G01R19/16533
    • G01R19/1659—Circuits and arrangements for comparing voltage or current with one or several thresholds and for indicating the result not covered by subgroups G01R19/16504, G01R19/16528, G01R19/16533 to indicate that the value is within or outside a predetermined range of values (window)
    • G01R19/16595—Circuits and arrangements for comparing voltage or current with one or several thresholds and for indicating the result not covered by subgroups G01R19/16504, G01R19/16528, G01R19/16533 to indicate that the value is within or outside a predetermined range of values (window) with multi level indication
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/22—Optical, image processing or photographic arrangements associated with the tube

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Control Of Indicators Other Than Cathode Ray Tubes (AREA)
  • Indicating Measured Values (AREA)
  • Measurement Of Current Or Voltage (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Description

Die Erfindung bezieht sich aui ein Abtastelektronenmikroskop mit einer Strahiabtastanordnung, die mit einem Fernsehkreis gekoppelt ist, m... einem Wiedergabegerät zum visuellen Darstellen eines an einem abzutastenden Objekt erzeugten Videosignals, und mit einem Einstellhilfsmittel zum Einstellen des Kontrastes und der Helligkeit des darzustellenden Videosignals.
In einem derartigen Abtastelektronenmikroskop ist es erwünscht, die Amplitude und damit den Kontrast und den Signalpegel des Videosignals und auf diese Weise die Helligkeit optimal einstellen zu können, vor diese Signale das Wiedergabegerät erreichen. Ein bekanntes Abtastelektronenmikroskop der eingangs genannten Art enthält dazu als Einstellhilfmittel zwei Meßgeräte, von denen ein erstes die mittlere Signalamplitude und ein zweites den Signalpegel angibt (Prospekt »Leitz-AMR 1200« der Firma Leitz AMR GmbH, Wetzlar. 1976, Liste 522-48a, Druckzeichen VI/76/LX/-5D). Dieses Abtastelektronenmikroskop hat den Nachteil, daß nur mittlere Werte angegeben und schnellen Änderungen iin Signal nicht gefolgt werden kann. Bei einem anderen bekannten Abtastelektronenmikroskop der eingangs genannten Art wird ein Oszillograph zum Sichtbarmachen des Videosignals benutzt (US-PS 40 06 357). Dabei werden schon alle schnellen Signaländerungen beim Einstellen des Kontrastes und der Helligkeit herangerzogen. Dieses Abtastelektronenmikroskop ist jedoch verhältnismäßig aufwendig.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, daß Einstellhilfsmittel eines Abtastelektronenmikroskops der eingangs erwähnten Art so auszubilden, daß mit geringem Aufwand alle schnellen Signaländerungen beim Einstellen von Kontrast und Helligkeit des darzustellenden Videosignals herangezogen werden können.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß das F.insiellhilfmittel eine Reihe von LED-Elementen enthält, die in einer Schaltung zusammengefügt sind.
in der beim Erreichen eines bestimmten Pegels des darzustellenden Videosignals ein für diesen Pegel eingestelltes LED-Element aus der Reihe aktiviert wird.
In einem Abtastelektronenmikroskop nach der Erfindung ist daher in einer Reihe von L ED-EIementen die Helligkeit des aufzuzeichnenden Videosignals durch die Position eines aktivierten Elementes in der Reihe gekennzeichnet
In einer bevorzugten Weiterbildung der Erfindung ίο sind die LED-Elemente linienförmig angeordnet und strahlen in einer in bezug auf einen zentralen Teil symmetrischen Reihenfolge verschiedene Farben aus. Hierdurch entsteht ein direkter Hinweis auf ein Videosignal, daß im Hinblick auf den Bereich eines anzuwendenden Signalverstärkers und auf den Kontrastumfang des Wiedergabegerät zu groß ist.
In einer bevorzugten Weiterbildung ist die Anzahl zentral positionierter, gleichgefärbter LED-Elemente gleich der Anzahl der Graustufen eines in die Anordnung aufgenommenen Graustufengenerators.
Nachstehend ist ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigt
F i g. 1 eine Blockschaltung eines Videosystems eines Abtastelektronenmikroskops und
F i g. 2 ein schenvslisches Schaltbild eines bevorzugten Ausführungsbeispiels eines Einstellhilfsmittels.
Eine Anordnung nach F i g. 1 enthält ein Abtastelektronenmikroskop 1 mit einer Elektronenquelle 3. einem Linsensystem 5, einem Ablenksystem 7 sowie ein Objekt
9 und einen Signaldetektor 11. Zum Aufzeichnen eines aus dem Detektor abzuleitenden Signals, beispielsweise durch Sekundärstrahlung des Objekts gegeben, enthält die Anordnung eine Detektorkontrolleinheit 13 und einen Graustufengenerator 17. Diese Einheiten können mit Hilfe eines Wählschalters 19 mit je einem Oszillographen 21 mit einem Monitor 23 und über eine automatische Helligkeitssteuereinheit 25 mit einer Aufzeichnungsanordnung 26 verbunden werden. Die Aufzcichnungsanordnung27 ist beispielsweise in Form eines Magnetbandaufnehmers oder einer Kamera ausgeführt.
Eine Schaltung gemäß F i g. 2 ist vorzugsweise in den Monitor 23 aufgenommen. Eine sichbar angeordnete Reihe von LED-Elementen 30 enthält einen zentralen Teil beispielsweise mit 10 Elementen beispielsweise mit grünes Licht ausstrahlenden Elementen und an beide Seiten anschließenden beispielsweise 2 gelbes Licht ausstrahlenden Elementen und einem pn der Außenseite letztgenannter Elemente anschließenden noch rotes Licht ausstrahlenden Element. Vorzugsweise entsprechen dabei die 10 grünes Licht ausstrahlenden Elemente
10 Grauwerten des Graustufengenerators 17 des Fernsehkreises.
Jedem der LED-Elemente 30 ist ein Widerstand 32 und ein ODER-Gatter 34 zugeordnet. Jedes der ODER-Gatter 34 ist mit einer Vergleichsschaltung 36 und über Umkehrstufen 38 ist mit einer Vergleichsschaltung 36 und über Umkehrstufen 38 sowohl mit einer vorangehenden Vergleichsschaltung 36 als auch mit einem nach-6ö folgenden ODER-Gauer 34 gekoppelt.
Jeder der Vergleichsschaltungcn 36 wird über einen Widerstand 40 ein darzustellendes Videosignal 41 und über einen Widerstand 42 ein Referenzsignal 43 zugeführt. Das über eine Detektorleitung zugefühne dur/ustellende Videosignal wird auf diese Weise in den Vergleichsschaltungen mit einem, beispielsweise von einem nicht dargestellten Signalgenerator zu erzeugenden Referenzsignal verglichen, das in jeder der aufcinandcrfol-
genden Vergleichsschaltungen um eine Stufe höher ist Die logische Schaltung sorgt dafür, daß nur ein einziges der LED-Elemente gleichzeitig aktiviert werden kann.
p Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
20
30
35
45
60

Claims (3)

Patentansprüche:
1. Abtastelelctronenmikroskop mit einer Strahlabtastanordnung. die mit einem Fernsehkreis gekoppelt ist. mit einem Wiedergabegerät zum visuellen Darstellen eines an einem abzutastenden Objekt erzeugten Videosignals, und mit einem EinsteUhilfmittel zum Einstellen des Kontrastes und der Helligkeit des darzustellenden Videosignals, dadurch gekennzeichnet, daß das Einstellhilf mittel eine Reihe von LED-Elementen (30) enthält, die in einer Schaltung zusammengefügt sind, in der beim Erreichen eines bestimmten Pegels des darzustellenden Videosignals (41) ein, für diesen Pegel eingestelltes LED-Element aus der Reihe aktiviert wird.
2. Abtastelektronenmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die LED-Elemente (30) linienförnuj angeordnet sind und in einer in bezug auf einen zentralen Teil symmetrischen Reihenfolge verschiedene Farben ausstrahlen.
3. Abtastelektronenmikroskop nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Anzahl der Graustufen eines in die Anordnung aufgenommenen G raustufengenerators (17) der Anzahl zentral positionierter, gleichgefärbter LED-Elemente (30) entspricht.
DE2902379A 1978-01-25 1979-01-23 Abtastelektronenmikroskop Expired DE2902379C2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL7800869A NL7800869A (nl) 1978-01-25 1978-01-25 Elektronenmikroskoop.

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2902379A1 DE2902379A1 (de) 1979-07-26
DE2902379C2 true DE2902379C2 (de) 1985-04-04

Family

ID=19830222

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2902379A Expired DE2902379C2 (de) 1978-01-25 1979-01-23 Abtastelektronenmikroskop

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4236178A (de)
JP (1) JPS54111273A (de)
DE (1) DE2902379C2 (de)
FR (1) FR2415877A1 (de)
GB (1) GB2013450B (de)
NL (1) NL7800869A (de)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4574306A (en) * 1984-01-27 1986-03-04 Rca Corporation Apparatus and method for automatically measuring the shoe-length of a video disc stylus
FR2613834A1 (fr) * 1987-04-13 1988-10-14 Pechiney Methode de dosage a l'aide du numero atomique moyen de phases contenant un element leger a l'aide d'un microscope a balayage et d'un analyseur d'images
JPH02100772A (ja) * 1988-10-07 1990-04-12 Jeol Ltd 画像データ処理装置
EP1044431A1 (de) * 1998-08-18 2000-10-18 Koninklijke Philips Electronics N.V. Verfahren und vorrichtung zur hervorbringung eines optimalen helligkeitssteuerungssignals für röntgenbilder des pulmonaren gewebes

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH519902A (fr) * 1970-01-29 1972-03-15 Frame Sa Rotor d'aspersion d'une machine à laver la vaissele et la verrerie industrielle
JPS5234228B2 (de) * 1971-10-22 1977-09-02
US3886305A (en) * 1972-04-24 1975-05-27 Etec Corp Automatic contrast and dark level control for scanning electron microscopes
GB1388933A (en) * 1972-08-19 1975-03-26 Solartron Electronics Group Lt Analogue display devices
JPS5235542B2 (de) * 1973-03-13 1977-09-09
DE2331660B2 (de) * 1973-06-22 1977-02-03 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Schaltungsanordnung zur anzeige einer gleichspannung mittels elektro- optischer anzeigeelemente
JPS5026470A (de) * 1973-07-09 1975-03-19

Also Published As

Publication number Publication date
DE2902379A1 (de) 1979-07-26
FR2415877A1 (fr) 1979-08-24
NL7800869A (nl) 1979-07-27
US4236178A (en) 1980-11-25
FR2415877B3 (de) 1981-11-06
GB2013450B (en) 1983-01-12
JPS54111273A (en) 1979-08-31
GB2013450A (en) 1979-08-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE1930564C2 (de) Schaltungsanordnung zur Anzeige des Temperaturverteilungsbildes eines erwärmten Gegenstandes
DE69309226T3 (de) Lichtvorhang mit Anzeigern für einzelne Lichtstrahlen und Betriebsverfahren
DE2823631C2 (de) Einstellsystem für eine Farbfernsehkamera
DE2508992A1 (de) Verfahren zur ueberpruefung des einwandfreien zustands von bauteilen
DE2501373B2 (de) Anordnung zur Winkel- oder Längenmessung
CH636976A5 (de) Einrichtung zur anzeige von ueberkorrekturen bei einer elektronischen farbkorrekturvorrichtung.
DE2444059C2 (de) Signalpegelanzeigegerät
DE3342491A1 (de) Automatische vorrichtung zum herstellen oder pruefen von geraeten
DE3032950A1 (de) Einrichtung zur messtechnischen auswertung von videokamerabildern fuer bandkantenregelung
DE2902379C2 (de) Abtastelektronenmikroskop
DE3311971A1 (de) Einrichtung zum ausrichten von videoprojektionen
EP0124537B1 (de) Verfahren zur ueberwachung eines objektraumes
DE2823633A1 (de) Fernsteueranlage fuer eine fernsehkamera
DE3006379C2 (de)
DE2206633C3 (de) Vorrichtung zur Identifizierung von Farben
DE2707370B2 (de) Leseeinrichtung zum Lesen von Balkensegmentkodes
DE2552371A1 (de) Automatische foerdervorrichtung fuer mikrofilme
DE1924262C3 (de) Gerat zum farbigen photographischen Aufzeichnen der Verteilung radioaktiver Isotope in einem Korper
DE2719939A1 (de) Vorrichtung zum steuern und anzeigen der information einer szintillationskamera
DE3006341C2 (de)
DE2403648B2 (de) Verfahren zur aufzeichnung und wiedergabe eines farbfernsehsignals, sowie vorrichtung zur aufzeichnung und zur wiedergabe des farbfernsehsignals
DE2426592C3 (de) Vorrichtung zur Erzeugung eines aus Rasterelementen bestehenden Bildes von einem Originalmuster
DE2929063A1 (de) Vorrichtung zur einstellung der frequenzcharakteristik bei magnetischen aufzeichnungs- und wiedergabegeraeten
DE2239959A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum pruefen der lichtstaerke und lichtverteilung von scheinwerfern
DE3010559A1 (de) Ueberpruefungssystem zur ermittlung von fehlern in regelmaessigen mustern

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
8128 New person/name/address of the agent

Representative=s name: NEHMZOW-DAVID, F., PAT.-ASS., 2000 HAMBURG

D2 Grant after examination
8363 Opposition against the patent
8328 Change in the person/name/address of the agent

Free format text: KUNZE, K., DIPL.-ING. DR.-ING., PAT.-ASS., 2000 HAMBURG

8330 Complete renunciation