DE3006341C2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- DE3006341C2 DE3006341C2 DE3006341A DE3006341A DE3006341C2 DE 3006341 C2 DE3006341 C2 DE 3006341C2 DE 3006341 A DE3006341 A DE 3006341A DE 3006341 A DE3006341 A DE 3006341A DE 3006341 C2 DE3006341 C2 DE 3006341C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- inspection system
- signal
- defect inspection
- defect
- generates
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Medical Preparation Storing Or Oral Administration Devices (AREA)
Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Defektprüfsystem gemäß
dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Ein Defektprüfsystem der vorstehend bezeichneten Art ist
bereits bekannt (DE-OS 29 37 335). Bei dem bekannten
Defekt-Prüfsystem werden zwei Komparatoren für die Aus
wertung von Signalen unterschiedlicher Polaritäten ver
wendet. Bei dem bekannten Prüfsystem wird im übrigen ein
von einer Entscheidungsschhaltung abgegebenes resultieren
des Signal durch eine Anzahl von Signalen je nach der in
zwei Reihen dargestellten Zahlen gesteuert. Dies bedeutet
aber insgesamt einen relativ hohen schaltungstechnischen
Aufwand.
Es ist schließlich auch schon ein Verfahren zum Erzeugen
eines Signalbildes eines zu prüfenden Gegenstands bekannt
(DE-OS 26 17 457), bei dem eine einzige Aufnahmeeinrichtung
vorgesehen ist, mit der ein zu überprüfender Gegenstand,
welcher durch eine Lichtquelle bestrahlt wird, aufgenommen
wird und die von dem betreffenden Gegenstand ein
Videosignal erzeugt. Diese Maßnahmen genügen jedoch nicht,
um ein zufriedenstellendes Defektprüfsystem zu realisieren.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Defektprüf
system, von dem im Oberbegriff des Anspruchs 1 ausgegangen
wird, so weiterzubilden, daß automatisch ein Defekt bei
einem zu überprüfenden Gegenstand auch dann noch zuverläs
sig erkannt werden kann, wenn der betreffende Defekt
geringfügig ist.
Gelöst wird die vorstehend aufgezeigte Aufgabe durch die
im Anspruch 1 gekennzeichneten Maßnahmen.
Die Erfindung zeichnet sich durch den Vorteil aus, daß mit
insgesamt besonders geringem schaltungstechnischem Aufwand
ein zuverlässiges Defektprüfsystem geschaffen ist.
Zweckmäßige Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus
den Unteransprüchen.
Anhand von Zeichnungen wird die Erfindung nachstehend bei
spielsweise näher erläutert.
Fig. 1 zeigt eine Draufsicht eines zu prüfenden Gegen
stands bzw. Objekts.
Fig. 2 zeigt das Sichtfeld eines Fernsehmonitors, auf dem
das Abbild des betreffenden Gegenstands wiederge
geben ist.
Fig. 3 zeigt ein schematisches Blockschaltbild eines Aus
führungsbeispiels für das Defektprüfsystem gemäß
der vorliegenden Erfindung.
Fig. 4, 5 und 6 zeigen jeweils Impulsdiagramme, die zur Er
läuterung der Wirkungsweise des Ausführungsbeispiels
für die Erfindung gemäß Fig. 3 dienen.
Im folgenden soll ein Beispiel für das Defektprüfsystem ge
mäß der vorliegenden Erfindung an Hand der Figuren im ein
zelnen erläutert werden.
Fig. 1 zeigt, wie bereits erläutert, die Draufsicht eines
zu prüfenden Objekts, nämlich eine Flaschenverschlußkappe
mit der Unterseite nach oben als ein Beispiel. Fig. 2 zeigt,
wie bereits erläutert, die Draufsicht des Objekts auf einem
Fernsehmonitor, auf dem die Abtastung des Objekts mit einer
monochromen Fernsehkamera wiedergegeben ist.
In Fig. 1 und 2 stellt 1 das geprüfte Objekt dar, nämlich
eine Flaschenverschlußkappe. Mit 2 ist ein Eindruck im Be
reich der Seitenwand der Flaschenverschlußkappe 1 - in an
deren Worten ausgedrückt - ein defekter Bereich bezeichnet.
Mit 3 ist ein Fremdmaterial, wie Staub o. ä. oder ein Feh
ler in dem Boden der Flaschenverschlußkappe 1 bezeichnet.
Ferner ist mit 4 in Fig. 2 das Blickfeld des Fernsehmonitors
bezeichnet.
In Fig. 3 ist, wie ebenfalls bereit erläutert, ein systema
tisches Blockschaltbild für ein Ausführungsbeispiel für das
Defektprüfsystem gemäß der vorliegenden Erfindung gezeigt.
Darin bezeichnet 5 eine monochrome Fernsehkamera, mittels
derer das geprüfte Objekt 1, wie in Fig. 1 gezeigt, abge
tastet wird. Ein Video- oder Bildsignal v aus der Fernseh
kamera 5 wird an eine analoge Verarbeitungsschaltung 6 ge
liefert, die beispielsweise aus einem Verstärker und einem
Tiefpaß-Filter gebildet ist, in der das Videosignal v den
Erfordernissen entsprechend verstärkt wird und überflüssige
Signalbestandteile unterdrückt werden. Ein Ausgangssignal
v′ der analogen Verarbeitungsschaltung 6 wird an eine erste
und zweite Detektorschaltung 7 und 8 geliefert. Die erste
und zweite Detektorschaltung 7 und 8 sind jeweils beispiels
weise aus einem Pegel-Komparator und einem Ein-Impuls-Mul
tivibrator aufgebaut, die unterschiedliche Ansprechempfind
lichkeiten - wie später beschrieben - haben, die in Abhän
gigkeit der Rate der Pegeländerungen in Bezug auf die Zeit
des angebotenen Ausgangssignals v′ weitere Ausgangssignale
d 1 bzw. d 2 erzeugen. Die weiteren Ausgangssignale d 1 und d 2
der ersten bzw. zweiten Detektorschaltung 7 bzw. 8 werden
an eine Mischer-Schaltung 9, beispielsweise ein Exklusiv-
ODER-Glied, geliefert. Die Mischer-Schaltung 9 ist im all
gemeinen eine exklusive logische Schaltung, wobei dann kein
Ausgangssignal erzeugt wird, wenn beide weiteren Ausgangs
signale d 1 und d 2 gleichzeitig von der ersten und zweiten
Detektorschaltung 7 und 8 geliefert werden, jedoch nur
dann ein ausgangssignal c 1 erzeugt wird, wenn entweder nur
das weitere Ausgangssignal d 1 oder nur das weitere Ausgangs
signal d 2 geliefert wird. Das Ausgangssignal c 1 der Mischer-
Schaltung 9 wird an eine Anzeige- oder Alarmeinrichtung 10
geliefert, so daß, wenn das Ausgangssignal c 1 anliegt, bei
spielsweise eine Lampe oder ein Summer eingeschaltet wird,
um einen Alarm anzuzeigen oder zu erzeugen.
Als nächstes wird die Wirkungsweise des Ausführungsbei
spiels für die vorliegende Erfindung gemäß Fig. 3 an Hand
der in Fig. 4A, 4B, 4C, 4D, Fig. 5A, 5B, 5C; 5D und Fig. 6A,
6B, 6C, 6D gezeigten Impulsdiagramme erläutert.
Das Videosignal v aus der Fernsehkamera 5 entspricht, wie
bei A in Fig. 4 gezeigt, einer horizontalen Linie a in Fig. 2.
Bei dieser horizontalen Linie a wird kein Defekt an der
Flaschenverschlußkappe 1, die in diesem Beispiel das ge
prüfte Objekt darstellt - es wird angenommen, daß der Sei
tenwandbereich 1 a der Flaschenverschlußkappe 1 schwarz ist,
während der Hintergrund 1 c wie auch der Bodenbereich 1 b der
Flaschenverschlußkappe 1 weiß ist - erkannt, so daß das Video
signal v einen Weißpegel W bei den Perioden T 1, T 3 und T 5,
die dem Hintergrund 1 c entsprechen,hat,während es den
Schwarzpegel 0 bei den Perioden T 2 und T 4 hat,die dem Seiten
wandbereich 1 a der Flaschenverschlußkappe 1 entsprechen.
In diesem Falle enthält das Videosignal v keinen anderen
Bereich als den Schwarzpegel 0 und den Weißpegel W. In die
sem Falle liefern die erste und zweite Detektorschaltung 7
und 8 gleichermaßen Impulssignale d 1 und d 2, wenn das Vi
deosignal v von dem Weißpegel W zu dem Schwarzpegel 0 ab
fällt oder umgekehrt, wie in Fig. 4D und 4C gezeigt. Nach
dem die Mischer-Schaltung 9, die mit beiden der Ausgangs
signale d 1 und d 2, wie oben beschrieben, versorgt wird, ei
ne exklusive Logikschaltung ist, wird ein Ausgangssignal
von der Mischer-Schaltung 9 dann nicht erzeugt, wenn die
erste und zweite Detektorschaltung gleichzeitig die Aus
gangssignale d 1 und d 2 abgeben. Daher wird die Alarmein
richtung 10 nicht betätigt. In anderen Worten gibt, wenn
der geprüfte Bereich des geprüften Objekts 1 fehlerfrei ist,
die Mischer-Schaltung 9 kein Signal ab. Dementsprechend
zeigt die Anzeige- oder Alarmeinrichtung 10 keinerlei Reak
tion.
Indessen besteht im Falle der Beobachtung von Bereichen der
horizontalen Linie b in Fig. 2 für die Perioden T 11, T 21,
T 31 und T 51, kein defekter Bereich in der gleichen Weise
wie bei den Perioden T 1, T 2, T 3, T 5 der Linie a. Jedoch
existiert in dem Bereich der Periode T 41 die Delle 2 als
Defekt innerhalb der Periode T 42, die ein Bereich der Peri
ode T 41 ist. In diesem Falle zeigt das Videosignal v , wie
in Fig. 5A gezeigt, eine Wellenform, die einen Halbpegelbe
reich hat, der niedriger als der Weißpegel W, aber noch hö
her als der Schwarzpegel 0 bei der Periode T 42 ist. Die
Empfindlichkeiten der ersten und zweiten Detektorschaltung,
die das Ausgangssignal v′ in Abhängigkeit von dem Videosi
gnal v empfangen, sind wie im folgenden ausgeführt, ausge
legt. Das bedeutet, daß, während die erste Detektorschal
tung 7 Impulssignale d 1 bei allen Abstiegs- und Anstiegs
flanken des Videosignals v (vergl. Fig. 5B) abgeben soll,
die zweite Detektorschaltung 8 kein Impulssignal d 2 an den
Punkten der Abstiegsflanken entsprechend der Halbpegelbe
reiche des Videosignals v abgibt (vergl. Fig. 5C). Dement
sprechend gibt die Mischer-Schaltung 9 in diesem Falle zu
dem Zeitpunkt, zu dem die Detektorschaltung 8 kein Impuls
signal abgibt, während nur die erste Detektorschaltung 7
das Impulssignal d 1 abgibt, ein Detektionsimpulssignal c 1,
wie in Fig. 5D gezeigt, ab, in anderen Worten zu dem Zeit
punkt, zu dem die Mischer-Schaltung 9 das Impulssignal c 1
abgibt, wenn ein Defekt wie die Delle 2 an der Seitenwand
1 a der geprüften Flaschenverschlußkappe 1 vorliegt. In die
sem Falle wird die Anzeige- oder Alarmeinrichtung 10 durch
das Impulssignal c 1 betätigt. Sie alarmiert oder zeigt an,
daß ein Defekt bei dem geprüften Objekt 1 vorliegt.
In einem nächsten Schritt gemäß Fig. 2 hat die horizontale
Linie c Bereiche wie die Perioden T 12, T 22, T 43 und T 52
entsprechend den Bereichen, die wie die Perioden T 1, T 2, T 4
und T 5 der Linie a keinerlei schadhafte Bereiche enthalten.
In dem Bereich T 33 der Periode T 32 bestehen Defekte, wie das
Fremdmaterial 3, so daß das Videosignal v bei der Linie c,
wie in Fig. 6A gezeigt ist, Bereiche enthält, wo der Pegel
bei dem Bereich der Periode T 33 niedriger als der Weißpe
gel W, aber höher als der Schwarzpegel 0 ist.
Daher gibt die erste Detektorschaltung 7 das Impulssignal
d 1, wie in Fig. 6B gezeigt,in Übereinstimmung mit allen Pe
gelwechseln in dem Videosignal v ab,während die zweite De
tektorschaltung 8, wie in Fig. 6C gezeigt, kein Impulssignal
für die Halbpegelwechsel des Videosignals v abgibt und nur
das Impulssignal d 2 für die Pegelwechsel zwischen Weiß und
Schwarz abgibt. Damit übereinstimmend wird bei der Mischer
schaltung 9, wie in Fig. 6D gezeigt,zu dem Zeitpunkt,zu dem
nur die erste Detektorschaltung 7 ein Impulssignal abgibt,
das Detektionssignal c 1 abgegeben. In anderen Worten ausge
drückt, ein Detektionssignal c 1 wird für die Periode abgege
ben, bei der ein Defekt,wie z.B. Fremdmaterial 3, vorliegt,so
daß durch ein solches Impulssignal c 1 die Anzeige- oder
Alarmeinrichtung 10 betätigt wird, um das Vorhandensein ei
nes Defekts anzuzeigen.
Wie oben beschrieben, kann durch die vorliegende Erfindung
basierend auf den Ausgangssignalen der Fernsehkamera das
Auffinden eines Defekts an dem geprüften Objekt automatisch
durchgeführt werden.
Weiterhin kann das Ausgangsbildsignal v von der Fernsehka
mera 5 einem Fernsehmonitor 11 zugeführt werden (vergl. Fig.
3), so daß das geprüfte Objekt gleichzeitig durch das mensch
liche Auge beobachtet werden kann. Außerdem kann das Ausgangs
signal c 1 der Mischerschaltung 9 einem geeigneten Verstärker
zugeführt werden, so daß, wenn das geprüfte Objekt ein schad
haftes Produkt ist, das Ausgangssignal des Verstärkers 12
benutzt werden kann, um ein Ausscheidungssystem 13 für das
schadhafte Produkt zu betätigen.
Weiterhin müssen die Pegel für den Hintergrund 1 c des geprüf
ten Objekts 1 wie auch die Seitenwand 1 a und den Boden 1 d
nicht notwendigerweise auf die oben erläuterten Weiß- und
Schwarzwerte beschränkt sein und können irgendwelche geeig
neten Pegel haben. In einem solchen Fall wird die Empfindlich
keit der ersten und zweiten Detektorschaltung 7 und 8 genau
auf den ausgewählten Pegel eingestellt, so daß die Beziehungen
zwischen den Ausgangssignalen dieser beiden so sind wie oben
beschrieben, um ähnliche Effekte zu erzielen.
Claims (7)
1. Defektprüfsystem mit
- a) einer einzigen Aufnahmeeinrichtung (5), mit der ein zu überprüfender Gegenstand, welcher durch eine Lichtquelle bestrahlt wird, aufgenommen wird und die von dem be treffenden Gegenstand ein Videosignal (v) erzeugt,
- b) einer Vielzahl von Detektoreinrichtungen (7, 8), die parallel mit der Aufnahmeeinrichtung (5) verbunden sind und die gleichzeitig das Videosignal von der betreffen den Aufnahmeeinrichtung (5) zugeführt erhalten,
- c) einer Mischeinrichtung (9), die so geschaltet ist, daß sie gleichzeitig die Ausgangssignale der betreffenden Vielzahl der Detektoreinrichtungen (7, 8) zugeführt er hält und ein Defekt-Ermittlungssignal erzeugt,
- d) wobei die Empfindlichkeiten der in einer Vielzahl vorge sehenen Detektoreinrichtungen (7, 8) derart unterschiedlich gewählt sind, daß sämtliche oder einige aus der Vielzahl der Detektoreinrichtungen (7, 8) Signale in Abhängigkeit von der zeitlichen Änderungsrate des Pegels des genannten Videosignals erzeugen,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Detektoreinrichtungen (7, 8) dieselbe Polarität auf
weisen,
und daß die Mischeinrichtung (9) so ausgelegt ist, daß sie das
Defekt-Ermittlungssignal in dem Fall erzeugt, daß zumindest
eine der in einer Vielzahl vorgesehenen Detektoreinrich
tungen (7, 8) kein Signal erzeugt, während die Erzeugung eines
Defekt-Ermittlungssignals in dem Fall unterbleibt, daß sämt
liche Detektoreinrichtungen (7, 8) Signale erzeugen.
2. Defektprüfsystem nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß zwischen der Aufnahmeeinrich
tung (5) und den in einer Vielzahl vorgesehenen Detektor
einrichtungen (7, 8) eine das Videosignal (v) verstärkende
und überflüssige Signalanteile unterdrückende Verarbeitungs
schaltung (6) vorgesehen ist.
3. Defektprüfsystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß mit der Mischeinrich
tung (9) eine Anzeige- oder Alarmeinrichtung (10) verbunden
ist, die einen Alarm auslöst, wenn die Mischeinrichtung (9)
das Defekt-Ermittlungssignal erzeugt.
4. Defektprüfsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, daß mit der
Mischeinrichtung (9) ein Ausscheidungssystem (13) verbunden
ist, welches einen Gegenstand (1) ausscheidet, wenn die Misch
einrichtung (9) ein Defekt-Ermittlungssignal abgibt.
5. Defektprüfsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet, daß die Auf
nachmeeinrichtung (5) eine Monochrom-Fernsehkamera (5) ist.
6. Defektprüfsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet, daß mit der
Aufnahmeeinrichtung (5) ein Fernsehmonitor (11) verbunden ist,auf
dem der jeweils zu überprüfende Gegenstand für eine Betrachtung
wiedergegeben wird.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1886879A JPS55110905A (en) | 1979-02-20 | 1979-02-20 | Defect detecting device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3006341A1 DE3006341A1 (de) | 1980-08-28 |
DE3006341C2 true DE3006341C2 (de) | 1990-01-25 |
Family
ID=11983513
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19803006341 Granted DE3006341A1 (de) | 1979-02-20 | 1980-02-20 | Defektpruefsystem |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4302773A (de) |
JP (1) | JPS55110905A (de) |
CA (1) | CA1126855A (de) |
DE (1) | DE3006341A1 (de) |
FR (1) | FR2449884A1 (de) |
GB (1) | GB2046899B (de) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AU553069B2 (en) * | 1981-07-17 | 1986-07-03 | W.R. Grace & Co.-Conn. | Radial scan, pulsed light article inspection ccv system 0 |
US4598420A (en) * | 1983-12-08 | 1986-07-01 | Mts Systems Corporation | Optical grid analyzer system for automatically determining strain in deformed sheet metal |
GB2175396B (en) * | 1985-05-22 | 1989-06-28 | Filler Protection Developments | Apparatus for examining objects |
JPS6219738A (ja) * | 1985-07-19 | 1987-01-28 | Tokan Kogyo Co Ltd | 使い捨てコツプのカ−ル部不良検査装置 |
DE3734294A1 (de) * | 1987-10-09 | 1989-04-27 | Sick Optik Elektronik Erwin | Optische oberflaechen-inspektionsvorrichtung |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3584963A (en) * | 1968-12-27 | 1971-06-15 | Rca Corp | Optical flaw detector |
US3749496A (en) * | 1971-07-16 | 1973-07-31 | Bendix Corp | Automatic quality control surface inspection system for determining the character of a surface by measuring the shape and intensity of a modulated beam |
US3700909A (en) * | 1972-03-09 | 1972-10-24 | Columbia Research Corp | Method for detecting pinhole defects in foil material |
US4025201A (en) * | 1975-04-21 | 1977-05-24 | Ball Brothers Service Corporation | Method and apparatus for video inspection of articles of manufacture by decussate paths of light |
DE2617111C3 (de) * | 1976-04-17 | 1986-02-20 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Verfahren zum Feststellen einer Bewegung im Überwachungsbereich einer Fernsehkamera |
JPS5571937A (en) * | 1978-11-24 | 1980-05-30 | Kanebo Ltd | Method of and device for inspecting surface |
-
1979
- 1979-02-20 JP JP1886879A patent/JPS55110905A/ja active Granted
-
1980
- 1980-02-14 US US06/121,516 patent/US4302773A/en not_active Expired - Lifetime
- 1980-02-19 CA CA345,970A patent/CA1126855A/en not_active Expired
- 1980-02-20 FR FR8003716A patent/FR2449884A1/fr active Granted
- 1980-02-20 GB GB8005710A patent/GB2046899B/en not_active Expired
- 1980-02-20 DE DE19803006341 patent/DE3006341A1/de active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2449884B1 (de) | 1984-11-02 |
DE3006341A1 (de) | 1980-08-28 |
US4302773A (en) | 1981-11-24 |
JPH0157283B2 (de) | 1989-12-05 |
GB2046899A (en) | 1980-11-19 |
FR2449884A1 (fr) | 1980-09-19 |
JPS55110905A (en) | 1980-08-27 |
CA1126855A (en) | 1982-06-29 |
GB2046899B (en) | 1983-10-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2937335C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur optischen Prüfung von Gegenständen | |
DE3000932C2 (de) | Untersuchsungssystem für bewegte Objekte | |
DE69032724T2 (de) | Apparat zur Kontrolle von gedruckten Schaltungen | |
DE69328533T2 (de) | Methode zum Prüfen eines Festkörpers auf Fremdstoffe | |
DE2549457A1 (de) | Einrichtung zur automatischen ueberwachung von fertigprodukten auf fabrikationsfehler | |
DE2508992A1 (de) | Verfahren zur ueberpruefung des einwandfreien zustands von bauteilen | |
DE3011014C2 (de) | ||
DE19525536C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Feststellung eines Fehlers in einem IC unter Verwendung eines Strahls geladener Teilchen | |
DE112005000828T5 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Prüfung von Halbleiter-Wafern | |
DE3006341C2 (de) | ||
EP1239433A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Detektion von Rauch und/oder Feuer in Räumen | |
DE3002186C2 (de) | Objektuntersuchungssystem | |
DE69104906T2 (de) | Verfahren und Apparat zur optischen Inspektion von band- oder blattförmigen Produkten. | |
DE4345106C2 (de) | Verfahren zum optischen Sortieren von Schüttgut | |
DE3433024C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Fehlerprüfen von Photomasken | |
DE19513309A1 (de) | IC-Testgerät mit einer Ionenstrahl-Vorrichtung und Testverfahren für einen IC | |
EP0046241B1 (de) | Anordnung zum Feststellen von Unregelmässigkeiten des Randes von Prüflingen | |
DE2916159C2 (de) | Inspektionseinrichtung | |
DE3006379A1 (de) | Defektpruefsystem | |
DE102006060741A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur optischen Prüfung von Objekten | |
DE1930861A1 (de) | Szintillationsdetektor-Anzeigesystem | |
DE69311693T2 (de) | Apparat für eine im impulsbetrieb elektrische-speisequelle | |
DE2705936A1 (de) | Verfahren und anordnung zur elektronischen bildanalyse | |
DE2912559C2 (de) | Musterinformationsverarbeitungsverfahren und -einrichtung | |
DE2635042C3 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Feststellung von Rissen auf der Oberfläche eines Werkstücks |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |