DE2856494C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein elektrophotographisches Aufzeich­ nungsmaterial gemäß dem Oberbegriff von Patentanspruch 1.

Elektrophotographische Aufzeichnungsmaterialien sind in ver­ schiedener Weise aufgebaut, damit sie festgelegte Eigenschaf­ ten erhalten oder mit dem Elektrophotographieverfahren über­ einstimmen, für das sie verwendet werden. Der wichtigste Teil eines elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterials ist eine photoleitfähige Schicht, von der die Gebrauchsleistung des elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterials in hohem Maße abhängig ist.

Repräsentative Beispiele für bekannte photoleitfähige Schich­ ten werden durch Abscheidung anorganischer photoleitfähiger Materialien wie z. B. S, Se oder PbO oder von Legierungen oder intermetallischen Verbindungen, die z. B. S, Se, Te, As, Sb oder Pb enthalten, mit Hilfe der Vakuumaufdampfung gebildet. Die photoleitfähigen Schichten, die durch Vakuumaufdampfung gebildet worden sind, haben zwar im allgemeinen eine hohe Emp­ findlichkeit und eine ausgezeichnete mechanische Festigkeit, jedoch ist bekannt, daß sie im Hinblick auf verschiedene Elek­ trophotographieeigenschaften noch Nachteile haben. Das Haupt­ problem ist die sogenannte Ermüdungseigenschaft, die auftritt, wenn das elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial wiederholt verwendet wird. Die Ermüdungserscheinung zeigt sich in auffallen­ dem Maße, wenn das elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial wiederholt mit hoher Geschwindigkeit verwendet wird. Man erkennt die­ se Erscheinung an der allmählichen Verminderung des Bild­ kontrastes in einem Ladungsbild, das während der wieder­ holten Verwendung des elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterials erzeugt wird, oder an einem "Geister- bzw. Phantombild", das we­ gen der unvollständigen Entfernung des zuvor erzeugten Ladungsbildes auf einem danach erzeugten Ladungsbild ver­ bleibt.

Für die Vermeidung einer solchen Ermüdungserschei­ nung bei elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterialien, die auf ihrer Ober­ fläche eine auf der photoleitfähigen Schicht vorgesehene isolierende Schicht aufweisen, ist aus der JP-OS 52-1 45 037 (korrespondierend zur DE-OS 27 23 925) ein Verfahren zur Abscheidung eines photoleitfähigen Materials auf einem Schichtträger unter Bildung einer photoleitfähigen Schicht auf dem Schichtträger bekannt, bei dem die Schichtträgertemperatur während der Ab­ scheidung vorübergehend bzw. zeitweilig herabgesetzt wird. Für die vorübergehende bzw. zeitweilige Herabsetzung der Schichtträgertemperatur während der Abscheidung wird jedoch eine kompliziert aufgebaute Abscheidungsvorrichtung be­ nötigt, die mit einer Kühlvorrichtung versehen ist, was dazu führt, daß auch die Arbeitsweise der Abscheidung kompliziert wird.

Aus der US-PS 36 66 554 ist ein Verfahren zur Herstellung ei­ nes plattenförmigen elektrophotographischen Aufzeichnungsma­ terials bekannt, bei dem auf einem elektrisch leitfähigen Schichtträger, der bei einer Temperatur zwischen 50 und 80°C gehalten wird, eine photoleitfähige Schicht aus Se und S ab­ geschieden wird. In der US-PS 36 66 554 wird erwähnt, daß der spektrale Ansprechbereich erweitert werden kann, wenn das pho­ toleitfähige Material aus Se und S statt bei einer Schichtträ­ gertemperatur von 55°C bei einer Schichtträgertemperatur von 80°C hergestellt wird.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein elektrophoto­ graphisches Aufzeichnungsmaterial der im Oberbegriff von Pa­ tentanspruch 1 angegebenen Art bereitzustellen, das bei häu­ fig wiederholter Verwendung weder zu der vorstehend erwähnten Ermüdungserscheinung noch zu einer Veränderung des Endpoten­ tials führt, bei der Gesamtbelichtung eine hohe Änderungsge­ schwindigkeit des Potentials zeigt und keine Geisterbilder verursacht.

Diese Aufgabe wird durch ein elektrophotographisches Aufzeich­ nungsmaterial mit den im kennzeichnenden Teil von Patentan­ spruch 1 angegebenen Merkmalen gelöst.

Bei Elektrophotographieverfahren wird durch selekti­ ve Entfernung (Abschwächung) von elektrischer Ladung in Übereinstimmung mit dem zu erzeugenden Bild ein Ladungs­ bild erzeugt. Das erfindungsgemäße elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial hat eine photoleitfähige Schicht mit einer hohen Ge­ schwindigkeit der Ladungsentfernung, wodurch ein Ladungs­ bild mit hohem Kontrast erzeugt werden kann. Eine solche photoleitfähige Schicht mit hoher Geschwindigkeit der La­ dungsentfernung kann durch Steuerung der Abscheidungs­ bedingungen für die Bildung dieser Schicht hergestellt werden. Mit anderen Worten, die Abscheidung des photoleit­ fähigen Materials auf dem Schichtträger wird durchgeführt, während man die Schichtträgertemperatur allmählich erhöht. Die photoleitfähige Schicht des erfindungsgemäßen elektropho­ tographischen Aufzeichnungsmaterials, die durch Abscheidung unter allmählicher Erhöhung der Schichtträgertemperatur gebildet worden ist, hat im Vergleich mit der bekannten photoleitfähigen Schicht, die durch Abscheidung gebildet worden ist, während man den Schichtträger auf einer konstanten Temperatur gehalten hat, eine hohe Ansprechgeschwindigkeit für Licht. Es wird angenommen, daß eine solche hohe Ansprechgeschwindigkeit für Licht darauf beruht, daß sich die Atome oder Mole­ küle in Richtung der Dicke der photoleitfähigen Schicht in einem gleichmäßigeren Zustand der freien Energie be­ finden. Wenn die Schichtträgertemperatur konstant gehalten wird, kommt es hinsichtlich der Zeitdauer, über die der am Beginn der Abscheidung und der in der Nähe der Be­ endigung der Abscheidung abgeschiedene Anteil der photoleitfähigen Schicht durch die Schichtträgertemperatur beeinflußt werden, zu sehr großen Unterschieden. Zum Beispiel ist eine Abscheidungsdauer von 25 min notwendig, wenn eine photoleitfähige Schicht mit einer Dicke von 50 µm mit einer Abscheidungsgeschwin­ digkeit von 2 µm/min gebildet wird, wodurch es hinsicht­ lich der Zeitdauer, über die der bei Beginn der Abschei­ dung und der in der Nähe der Beendigung der Abscheidung abgeschiedene Anteil durch die Schichtträgertemperatur in der Abscheidungskammer beeinflußt werden, zu einem Unter­ schied von mehr als 20 min kommt. Dieser Unterschied in der Zeitdauer der Einwirkung der Schichtträgertemperatur führt dazu, daß sich die Atome oder Moleküle, aus denen die photoleitfähige Schicht aufgebaut ist, im Hinblick auf die Dicken­ richtung dieser Schicht in einem ungleichmäßigen Zustand der freien Energie befinden. Wie angenommen wird, hat dies zur Folge, daß sich die Ladungsträger in der photo­ leitfähigen Schicht während der Belichtung des elektro­ photographischen Aufzeichnungsmaterials mit ungleichmäßiger Geschwindig­ keit bewegen.

Im Gegensatz dazu ist das erfindungsgemäße elektro­ photographische Aufzeichnungsmaterial dazu befähigt, einen solchen nach­ teiligen Effekt, der von einem Unterschied in der Zeit­ dauer herrührt, über die der bei Beginn der Abscheidung und der in der Nähe der Beendigung der Abscheidung abge­ schiedene Anteil der photoleitfähigen Schicht durch die Schichtträgertemperatur beeinflußt werden, in einem wesent­ lichen Ausmaß zu beseitigen. Wenn das photoleitfähige Ma­ terial abgeschieden wird, verwandelt sich der Dampf des Materials, der mit dem Schichtträger in Berührung kommt, so­ fort in den flüssigen und dann in den festen Zustand. In diesem Fall werden Unregelmäßigkeiten in der räumli­ chen Anordnung der Atome und Moleküle des photoleitfähigen Materials eingefroren, wodurch eine photoleitfähige Schicht abgeschieden wird, die sich im Zustand einer hohen freien Energie befindet. Wenn die Schichtträgertemperatur bei Be­ ginn der Abscheidung niedrig ist, wird die photoleitfähige Schicht mit einem Zustand höherer freier Energie abgeschie­ den, der sich bis zur Beendigung der Abscheidung allmäh­ lich in Richtung auf einen stabileren Zustand der freien Energie verschiebt. Andererseits wird die photoleitfähige Schicht, wenn die Schichtträgertemperatur in der Nähe der Beendigung der Abscheidung hoch ist, in einem Zustand mit niedrigerer freier Energie als im Fall einer niedrigen Schichtträgertemperatur abgeschieden. Es wird angenommen, daß die auf diese Weise gebildete photoleitfähige Schicht einen im allgemeinen gleichmäßigeren Zustand der freien Energie hat, was dazu führt, daß sich die Ladungsträger gleichmäßig und schnell in der photoleitfähigen Schicht bewegen und daß die Schicht als photoleitfähige Schicht mit einer hohen Ansprechge­ schwindigkeit für Licht wirkt, wodurch eine photoleit­ fähige Schicht mit einer sehr kleinen Restladung gebil­ det wird, die frei von der Lichtermüdungs-Erscheinung ist und kein Geisterbild zeigt.

Die Zeichnungen werden nachstehend kurz erläutert.

Fig. 1 zeigt eine Ausführungsform einer für die Verwendung zur Herstellung des erfindungsgemäßen elektro­ photographischen Aufzeichnungsmaterials geeigneten Abscheidungsvorrichtung.

Fig. 2 zeigt eine Ausführungsform eines Verfahrens zur Einstellung der Schichtträgertemperatur für die Herstellung der photoleitfähigen Schicht des erfindungsgemäßen elektro­ photographischen Aufzeichnungsmaterials durch Abscheidung.

Fig. 3 ist eine graphische Darstellung, in der die Elektrophotographieeigenschaften des erfindungsgemäßen elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterials gezeigt werden.

Nachstehend werden die bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung näher erläutert.

Je nach den gewünschten Eigenschaften des elektro­ photographischen Aufzeichnungsmaterials und der Art des zu verwendenden photo­ leitfähigen Materials kann das Ausmaß, in dem während der Abscheidung des photoleitfähigen Materials die Schichtträger­ temperatur erhöht wird, in geeigneter Weise festgelegt werden. Die Schichtträgertemperatur wird im allgemeinen um 5°C bis 40°C, vorzugsweise um 10°C bis 30°C, erhöht. Auch die Ober- und die Untergrenze der Schichtträgertemperatur können innerhalb eines Bereichs, in dem die amorphe photoleitfähige Schicht gebildet wird, in geeigneter Weise festgelegt werden. Im allgemeinen wird es am meisten bevorzugt, die Schichtträgertemperatur so einzustellen, daß sie innerhalb eines Bereichs über der Glasumwandlungs­ temperatur des photoleitfähigen Materials und unter des­ sen Kristallisationsumwandlungspunkt liegt. Zum Beispiel liegt im Fall eines photoleitfähigen Materials vom Se-Typ die Glasumwandlungstemperatur zwischen 40°C und 55°C und der Kristallisationsumwandlungspunkt zwischen 90°C und 100°C. Daher wird die Schichtträgertemperatur vorzugsweise innerhalb eines Bereichs von 40°C bis 85°C kontinuierlich erhöht. Die Geschwindigkeit, mit der die Schichtträgertempera­ tur während der Abscheidung erhöht wird, ist durch die Abscheidungsgeschwindigkeit der Schicht sowie durch die gewünschte Schichtdicke festgelegt. Im allgemeinen wird es bevorzugt, die Schichtträgertemperatur kontinuierlich zu er­ höhen, obwohl sie nötigenfalls auch stufenwei­ se erhöht werden kann.

Die Ausführungsform, die für das erfindungsgemäße elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial am kennzeichnendsten ist, be­ steht aus einem Schichtträger und einer photoleitfähigen Schicht.

Die photoleitfähige Schicht wird durch Vakuumauf­ dampfung verschiedener photoleitfähiger Materialien wie z. B. S, Se, PbO oder von Legierungen oder intermetalli­ schen Verbindungen, wobei die Legierungen bzw. interme­ tallischen Verbindungen z. B. S, Se, Te, As, Sb oder Pb ent­ halten, abgeschieden. Besonders bevorzugte Materialien für die photoleitfähige Schicht sind photoleitfähige Materialien vom Se-Typ wie Se oder Materialien, die Se als Hauptbe­ standteil enthalten wie z. B. SeTe, SeSb, SeBi, SeAS und SeTeAs usw. Die Dicke der photoleitfähigen Schicht hängt von der Art des zu verwendenden photoleitfähigen Materials und von den Eigenschaften der gebildeten Schicht ab. Die Dicke beträgt im allgemeinen 5 µm bis 100 µm, vorzugswei­ se etwa 10 µm bis 70 µm.

Der Schichtträger kann aus einer Metallplatte wie z. B. aus nichtrostendem Stahl, Kupfer, Aluminium oder Zinn her­ gestellt oder aus irgendwelchen anderen geeigneten Mate­ rialien wie z. B. Papier, Materialien in Bogen- bzw. Plat­ ten- oder Folienform oder aus Harzfolien gebildet werden.

Als Beispiel für eine andere Form des erfindungsge­ mäßen elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterials kann ein Aufzeichnungsmaterial erwähnt werden, auf dessen photoleitfähiger Schicht eine isolierende Schicht vorgesehen ist. Diese isolie­ rende Schicht wird vorgesehen, um die photoleitfähige Schicht zu schützen, um die mechanische Festigkeit des elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterials zu verbessern, um die Dunkel­ abschwächungseigenschaften zu verbessern oder um das elek­ trophotographische Aufzeichnungsmaterial für die Anwendung bei einem besonde­ ren Elektrophotographieverfahren geeignet zu machen oder eine Umweltverschmutzung zu vermeiden usw. Ein repräsen­ tatives Beispiel für ein solches besonderes Elektrophoto­ graphieverfahren ist ein Verfahren, bei dem zur Zeit der Aufladung durch Injektion elektrischer Ladung von der Sei­ te des Schichtträgers her sogar zwischen der isolierenden Schicht und der photoleitfähigen Schicht eine Bewegung elek­ trischer Ladung hervorgerufen wird. Ein solches Verfahren ist z. B. aus den US-PS 36 66 363 und 37 34 609 bekannt. Bei diesem bekannten Verfahren wird durch eine Primärladung, durch eine Sekundärladung die ei­ ne zu der Primärladung entgegengesetzte Polarität hat, oder durch Wechselstrom-Ladungsentfernung und gleich­ zeitige bildmäßige Belichtung und durch eine Gesamtbelich­ tung ein Ladungsbild erzeugt. Bei diesem System kann die bildmäßige Belichtung vor oder nach der Sekundär­ ladung oder der Wechselstrom-Ladungsentfernung durchgeführt werden. Auf die Gesamtbelichtung kann verzichtet werden. Die isolierende Schicht wird in Übereinstimmung mit den gewünschten Eigenschaften in einer geeigneten Dicke vor­ gesehen.

Im allgemeinen hat die isolierende Schicht, wenn sie hauptsächlich zum Schutz des elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterials zur Verbesserung seiner Haltbarkeit und seiner Dunkelabschwächungseigenschaften usw. vorgesehen ist, eine relativ geringe Dicke. Andererseits hat die isolieren­ de Schicht eine relativ große Dicke, wenn das elektropho­ tographische Aufzeichnungsmaterial für ein besonderes Elektrophotographie­ verfahren eingesetzt wird. Für die isolierende Schicht wird im allgemeinen eine Dicke zwischen 0,1 µm und 100 µm, vorzugsweise zwischen 0,1 µm und 50 µm, gewählt.

Andere Harzarten, die zur Bildung der isolierenden Schicht eingesetzt werden können, sind die Harze, die üblicherweise verwendet werden, z. B. Polyethylen, Poly­ ester, Polypropylen, Polystyrol, Polyvinylchlorid, Poly­ vinylacetat, Acrylharz, Polycarbonat, Siliconharz, fluo­ riertes Harz und Epoxidharz. Die Erfindung wird durch die nachstehenden Beispiele näher erläutert.

Beispiel 1

Ein elektrisch leitender, durchsichtiger Schicht­ träger 1 aus Glas mit einer Größe von 100 mm × 100 mm und einer Dicke von 15 mm, auf dessen Oberfläche auf einer Seite eine elektrisch leitende Schicht aus In₂O₃ abgeschieden worden war, wurde innerhalb einer Abscheidungskammer 2, wie sie in Fig. 1 erläutert wird, in einer festgelegten Lage so angeordnet, daß die Sei­ te des Schichtträgers mit der elektrisch leitenden Schicht einem Verdampfungsschiffchen 5 gegenüberlag. Der Schichtträger 1 wurde so an einer Festhalteeinrichtung 4 befestigt, daß es etwa 10 mm von einer zur Erhitzung des Schichtträgers dienenden Heizeinrichtung 3 entfernt war.

In das aus Quarz hergestellte Verdampfungsschiff­ chen wurden 55 g Se-Pulver mit einer Reinheit von 99,999% gefüllt. Über dem Schiffchen 5 wurde eine Wolfram-Heiz­ spirale 6 angeordnet. Die Luft im Innern der Abschei­ dungskammer 2 wurde dann in Richtung des Pfeils 7 eva­ kuiert, um in der Abscheidungskammer ein Vakuum in ei­ ner Höhe von ungefähr 67 nbar aufrechtzuerhalten.

Anschließend wurde die Heizeinrichtung 3 gezündet, um die Temperatur des Schichtträgers 1 bis auf 60°C zu erhöhen, worauf der Schichtträger bei dieser Temperatur gehalten wurde.

Nachstehend werden die zeitlichen Veränderungen der Schichtträgertemperatur und der Abscheidungsgeschwindig­ keit während der Abscheidung unter Bezugnahme auf Fig. 2 näher erläutert. Die über dem Schiffchen 5 vorgesehene Wolfram-Heizspirale 6 wurde gezündet, um die Temperatur des Schiffchens auf etwa 300°C zu erhöhen und dadurch das Se in dem Schiffchen zu schmelzen.

Wie in Fig. 2 gezeigt wird, wurde zu einem Zeit­ punkt t ₁, in dem das Se gleichmäßig geschmolzen war, die Verschlußeinrichtung 9 des Schiffchens 5 geöffnet, um dadurch mit der Abscheidung von Se auf einen Kristall­ vibrator 11 zur Einführung eines Eingangssignals in eine Steuereinrichtung 10 für die Abscheidungsgeschwindig­ keit zu beginnen und die der Wolfram-Heizspirale 6 zuge­ führte Leistung mittels der Steuereinrichtung 10 für die Abscheidungsgeschwindigkeit so einzustellen, daß die Abscheidungsgeschwindigkeit 2 µm/min betrug. Zu einem Zeitpunkt t ₂, in dem die Abscheidungsgeschwindigkeit in konstanter Weise auf 2 µm/min eingestellt worden war, wurde eine Verschlußeinrichtung 8 geöffnet, um mit der Abscheidung auf den Schichtträger zu beginnen. Gleichzeitig wurde der durch die Heizeinrichtung 3 fließende, elektri­ sche Strom so eingestellt, daß die Schichtträgertemperatur von 60°C ausgehend allmählich und kontinuierlich erhöht wurde, wobei die Schichtträgertemperatur so eingestellt wurde, daß sie bei Beendigung der Abscheidung 75°C betrug. Die Schichtträgertemperatur wurde mittels eines an der Oberfläche des Schichtträgers befestigten Thermistors 12 gemessen. Zu einem Zeitpunkt t ₅ (25 min nach t ₂), in dem die photoleit­ fähige Schicht eine Dicke von 50 µm erreicht hatte, wurden beide Verschlußeinrichtungen, 8 und 9, geschlossen, und der durch die Wolfram-Heizspirale 6 fließende Strom wur­ de unterbrochen, wodurch die Abscheidung von Se beendet wurde. Dann wurde das Vakuum der Abscheidungskammer auf­ gehoben, und der Schichtträger 1 mit der darauf gebildeten photoleitfähigen Schicht wurde herausgenommen und anschließend auf seiner Oberfläche mit einer isolierenden Schicht aus Polycarbonatharz in einer Dicke von 25 µm beschichtet, wodurch das elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial fertiggestellt wurde.

Die Oberfläche dieses elektrophotographischen Aufzeich­ nungsmaterials wurde auf -2000 V aufgeladen, indem 0,2 s lang eine ne­ gative Koronaentladung von -5500 V als Primärladung un­ ter gleichzeitiger, gleichmäßiger Belichtung von der Sei­ te des Schichtträgers her durchgeführt wurde. Anschließend wurde die Ladung von der Oberfläche der isolierenden Schicht entfernt, indem 0,2 s lang eine positive Korona­ entladung von +6000 V als Sekundärladung durchgeführt wurde. Danach wurde die Oberfläche des elektrophotographi­ schen Aufzeichnungsmaterials einer gleichmäßigen Gesamtbelichtung un­ terzogen. Die Potentialveränderungen zu dieser Zeit wer­ den in Fig. 3 durch eine Kurve B gezeigt. Die Geschwin­ digkeit der Veränderung des Potentials während des Prozes­ ses der Gesamtbelichtung ist im Fall der Kurve B im Ver­ gleich mit der nachstehend näher erläuterten Kurve A auf­ fallend hoch. Es konnte keine Veränderung der Geschwin­ digkeit der Veränderung des Potentials bei dem Prozeß der Gesamtbelichtung, keine Veränderung des Endpotentials, kein unerwünschtes Geisterbild und keine Ermüdung infol­ ge der wiederholten Verwendung beobachtet werden, selbst als das vorstehend erwähnte Verfahren 3000mal mit einem Zyklus von 6 s wiederholt worden war.

Vergleichsbeispiel 1

Das gleiche Verfahren der elektrischen Aufladung, der Ladungsentfernung und der Gesamtbelichtung wie in Beispiel 1 wurde unter Verwendung eines elektrophotogra­ phischen Aufzeichnungsmaterials durchgeführt, das in der gleichen Weise wie in Beispiel 1, jedoch unter Durchführung der Abschei­ dung mit einer konstant auf 60°C gehaltenen Schichtträgertem­ peratur, hergestellt worden war. Die Ergebnisse zeigten, daß die Geschwindigkeit der Veränderung des dem dunklen Bereich des Bildes entsprechenden Potentials auf der Ober­ fläche des elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterials während des Pro­ zesses der Gesamtbelichtung im Vergleich mit Kurve B deutlich herabgesetzt war, was in Fig. 3 durch Kurve A gezeigt wird.

Weiterhin wurde beobachtet, daß sich die Geschwin­ digkeit der Veränderung des Dunkelpotentials während des Prozesses der Gesamtbelichtung weiter allmählich vermin­ derte, wobei sich gleichzeitig die Ermüdung infolge der wiederholten Verwendung und die Geisterbilder in dem elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterials weiter verstärkten, als die­ ses elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial wiederholt mit einem kur­ zen Zyklus von etwa 6 s verwendet wurde.

Beispiel 2

Ein Schichtträger 1 aus Aluminium mit einer Größe von 100 mm × 100 mm und einer Dicke von 2 mm wurde in einer Abschei­ dungskammer 2, wie sie in Fig. 1 gezeigt wird, in einer festgelegten Lage angeordnet.

Der Schichtträger 1 wurde so an der Festhalteeinrichtung 4 befestigt, daß es etwa 10 mm von der zur Erhitzung des Schichtträgers dienenden Heizeinrichtung 3 entfernt war. An­ schließend wurden 55 g Se-Pulver mit einer Reinheit von 99,999% in das Quarz-Verdampfungsschiffchen 5 gefüllt. Über dem Verdampfungsschiffchen 5 wurde eine Wolfram- Heizspirale 6 angeordnet. Nachdem diese Anordnung in der Abscheidungskammer fertig war, wurde die Kammer in der durch den Pfeil 7 bezeichneten Richtung evakuiert, um das Vakuum in der Kammer auf einer Höhe von etwa 67 nbar zu halten. Dann wurde die Heizeinrichtung 3 gezündet, um die Schichtträgertemperatur auf 60°C zu erhöhen, und der Schichtträger wurde bei dieser Temperatur gehalten.

Die zeitlichen Veränderungen der Schichtträgertempera­ tur und der Abscheidungsgeschwindigkeit während der Ab­ scheidung werden nachstehend unter Bezugnahme auf Fig. 2 näher erläutert.

Die Wolfram-Heizspirale 6 über dem Verdampfungs­ schiffchen 5 wurde gezündet, um die Temperatur des Schiff­ chens auf etwa 300°C zu erhöhen und dadurch das Se in dem Schiffchen zu schmelzen.

Wie in Fig. 2 gezeigt wird, wurde zu einem Zeit­ punkt t ₁, in dem das Se gleichmäßig geschmolzen war, die Verschlußeinrichtung 9 geöffnet, um mit der Abscheidung von Se auf den Kristallvibrator 11 zur Einführung eines Eingangssignals in die Steuereinrichtung 10 für die Ab­ scheidungsgeschwindigkeit zu beginnen und dadurch die der Wolfram-Heizspriale 6 zugeführte Leistung mittels der Steuereinrichtung 10 für die Abscheidungsgeschwin­ digkeit so einzustellen, daß die Abscheidungsgeschwin­ digkeit 2 µm/min betrug. Zu einem Zeitpunkt t ₂, in dem die Abscheidungsgeschwindigkeit auf 2 µm/min eingestellt worden war, wurde die Verschlußeinrichtung 8 ge­ öffnet, um mit der Abscheidung auf den Schichtträger zu be­ ginnen. Gleichzeitig wurde der durch die Heizeinrichtung 3 fließende, elektrische Strom so eingestellt, daß die Schichtträgertemperatur von ihrer Höhe von 60°C ausgehend kontinuierlich und allmählich erhöht wurde, wobei die Schichtträgertemperatur so eingestellt wurde, daß sie nach Be­ endigung der Abscheidung 75°C betrug. Die Schichtträgertem­ peratur wurde mittels des an der Oberfläche des Schichtträgers befestigten Thermistors 12 gemessen. Zu einem Zeitpunkt t ₃ (25 min nach t ₂), in dem die photoleitfähige Schicht eine Schichtdicke von 50 µm erreicht hatte, wurden beide Ver­ schlußeinrichtungen, 8 und 9, geschlossen, und der durch die Wolfram-Heizspirale 6 fließende Strom wurde unter­ brochen, wodurch die Abscheidung von Se beendet wurde. Das Vakuum der Abscheidungskammer wurde aufgehoben, und der Schichtträger 1 mit der darauf gebildeten photoleitfähigen Schicht wurde herausgenommen. Dieses elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial wurde dem nachstehend beschriebenen Verfahren un­ terzogen.

Die Oberfläche des elektrophotographischen Auf­ zeichnungsmaterials wurde auf +1000 V aufgeladen, indem 0,2 s lang eine po­ sitive Koronaentladung von +6000 V durchgeführt wurde. Anschließend wurde eine Hälfte der Oberfläche unter Anwendung einer Belichtung von 40 lx · s mit Licht bestrahlt. Unmittelbar nach dieser Lichtbestrahlung wurde das elek­ trische Potential der Oberfläche des elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterials gemessen. Man fand, daß das Oberflächenpoten­ tial V _D des Bereichs, der keiner Lichtbestrahlung ausgesetzt worden war, 900 V betrug, während das Oberflächenpoten­ tial V _L des Bereichs, der durch das Licht bestrahlt worden war, einen Wert von 0 V hatte. Demnach wurde ein elektro­ statischer Kontrast von 900 V gemessen. Auch als das vorstehend erwähnte Verfahren der positiven Aufladung, der Bestrahlung der halben Oberfläche mit Licht und der Messung des Oberflächenpotentials 3000mal mit einem Zyklus von 6 s wiederholt worden war, zeigte sich keine Veränderung in der Menge der positiven ladung und in den Oberflächenpotentialen V _D und V _L gegenüber den ursprüng­ lichen Oberflächenpotentialen.

Vergleichsbeispiel 2

Das gleiche Verfahren der positiven Aufladung, der Bestrahlung der halben Oberfläche mit Licht und der Mes­ sung des Oberflächenpotentials wie in Beispiel 2 wurde wiederholt mit einem Zyklus von 6 s durchgeführt, wobei ein plattenförmiges elektrophotographisches Aufzeichnungsmaterial ver­ wendet wurde, das in der gleichen Weise wie in Beispiel 2, jedoch unter Durch­ führung der Abscheidung mit einer konstant auf 60°C ge­ haltenen Schichtträgertemperatur, hergestellt worden war. Die Oberflächenpotentiale V _D und V _L betrugen beim anfängli­ cen Verfahren 950 V bzw. 50 V, während sie 970 V bzw. 200 V betrugen, als das Verfahren 3000mal wiederholt worden war, woraus hervorgeht, daß eine beträchtliche Ermüdungserscheinung beobachtet werden konnte.

Beispiel 3

Das gleiche Verfahren der elektrischen Aufladung, der Ladungsentfernung und der Gesamtbelichtung wie in Beispiel 1 wurde unter Verwendung eines elektrophotographi­ schen Aufzeichnungsmaterials durchgeführt, das in der gleichen Weise wie in Beispiel 1, jedoch unter Durchführung der Abschei­ dung mit einer Se-Te-Legierung mit einem Te-Gehalt von 10 Gew.-% als Füllmaterial für das Quarz-Abscheidungs­ schiffchen 5, hergestellt worden war. Als Ergebnis des Verfahrens wurde beobachtet, daß sich das Potential wäh­ rend des Prozesses der Gesamtbelichtung mit sehr hoher Geschwindigkeit veränderte. Selbst als das vorstehend erwähnte Verfahren 3000mal mit einem Zyklus von 6 s wiederholt worden war, veränderten sich die Geschwindig­ keit der Veränderung des elektrischen Potentials und der Endwert des Potentials nicht, und es wurde keine Ermüdung infolge der wiederholten Verwendung beobachtet.

Beispiel 4

Anstelle des in Beispiel 2 als photoleitfähiges Material eingesetzten Se-Pulvers wurde Se-Te-Pulver mit einem Te-Gehalt von 20 Gew.-% verwendet. Die Tem­ peratur des Schiffchens wurde auf 350°C gehalten, und die Schichtträgertemperatur wurde allmählich und kontinuier­ lich von 45°C ausgehend erhöht, so daß sie bei Beendi­ gung der Abscheidung 70°C betrug. Im übrigen wurde un­ ter Bildung einer 50 µm dicken photoleitfähigen Schicht auf einem Schichtträger aus Aluminium genau das gleiche Verfahren wie in Beispiel 2 befolgt. Anschließend wurde die Oberfläche der photoleitfähigen Schicht zur Bildung einer isolierenden Schicht mit Polycarbonatharz in einer Dicke von 25 µm beschichtet, wodurch man das elektrophotographische Aufzeich­ nungsmaterial erhielt.

Das auf diese Weise erhaltene elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial wurde 0,2 s lang einer negativen Koronaentla­ dung von -5500 V als Primärladung unterzogen, wobei gleichzeitig von der Seite des Schichtträgers her eine gleich­ mäßige Bestrahlung mit Licht durchgeführt wurde, um die Oberfläche des elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterials auf -2000 V aufzuladen. Anschließend wurde das elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial zur Entfernung von elektrischer Ladung auf der Oberfläche der isolierenden Schicht 0,2 s lang einer positiven Koronaentladung von +6000 V als Sekundärla­ dung unterzogen, worauf die Oberfläche des elektrophoto­ graphischen Aufzeichnungsmaterials einer gleichmäßigen Gesamtbelichtung ausgesetzt wurde.

Bei wiederholter Durchführung dieses Verfahrens konnte kein wesentlicher Unterschied zwischen dem Ober­ flächenpotential des elektrophotographischen Aufzeichnungs­ materials, das nach dem anfänglichen Verfahren beobachtet wurde, und dem Oberflächenpotential des elektrophotographischen Auf­ zeichnungsmaterials, das beobachtet wurde, nachdem das Verfahren mit einem Zyklus von 6 s 3000mal wiederholt wurde, gefunden wer­ en. Demnach konnte keine Ermüdungserscheinung festge­ stellt werden.

Beispiel 5

In der gleichen Weise wie in Beispiel 2 wurde auf einem Schichtträger aus Aluminium eine photoleitfähige Schicht mit einer Dicke von 50 µm gebildet, jedoch wurde anstelle des in Beispiel 2 als photoleitfähiges Material eingesetzten Se- Pulvers eine Se-As-Legierung mit einem As-Gehalt von 2 Gew.-% verwendet, wurde die Temperatur des Schiffchens auf 320°C gehalten und wurde die Schichtträgertemperatur all­ mählich und kontinuierlich von 65°C ausgehend erhöht, so daß sie bei Beendigung der Abscheidung 85°C betrug. An­ schließend wurde die Oberfläche der photoleitfähigen Schicht zur Bildung einer isolierenden Schicht mit Polycarbonatharz in einer Dicke von 25 µm beschichtet.

Das auf diese Weise erhaltene elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial wurde 0,2 s lang einer negativen Koronaentladung von -5500 V als Primärladung unterzogen, wobei gleichzei­ tig von der Seite des Schichtträgers her eine gleichmäßige Be­ strahlung mit Licht durchgeführt wurde, um die Oberfläche des elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterials auf -2000 V aufzuladen. Anschließend wurde zur Entfernung von elektrischer Ladung auf der Oberfläche der isolierenden Schicht 0,2 s lang eine positive Koronaentladung von +6000 V als Sekundärla­ dung durchgeführt. Die Oberfläche des elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterials wurde anschließend einer gleichmäßigen Gesamtbe­ lichtung unterzogen. Wie gefunden wurde, zeigte sich bei der Durchführung dieses Verfahrens kein wesentlicher Un­ terschied zwischen dem Oberflächenpotential des elektropho­ tographischen Aufzeichnungsmaterials, das nach dem anfänglichen Verfahren beobachtet wurde, und dem Oberflächenpotential des elek­ trophotographischen Aufzeichnungsmaterials, das beobachtet wurde, nachdem das Verfahren mit einem Zyklus von 6 s 3000mal wiederholt wurde. Bei dem elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterial konnte keine Ermüdungserscheinung festgestellt werden.

Übrigens wurde selbst bei der Verwendung von SeSb oder SeTeAs usw. als photoleitfähigem Material auch eine Ver­ besserung der Ansprechgeschwindigkeit für Licht beobach­ tet, als die Schichtträgertemperatur wie vorstehend beschrie­ ben, während der Abscheidung des photoleitfähigen Materials allmählich erhöht wurde.

Claims (8)

1. Elektrophotographisches Aufzeichnungsmaterial, das auf einem Schichtträger eine photoleitfähige Schicht aus amor­ phem, photoleitfähigem Material enthält, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die photoleitfähige Schicht unter allmähli­ cher Erhöhung der Schichtträgertemperatur während der Abscheidung des photoleitfähigen Materials gebildet worden ist.

2. Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Schichtträgertemperatur innerhalb eines Bereiches über der Glasumwandlungstemperatur des photo­ leitfähigen Materials und unter dessen Kristallisations­ umwandlungspunkt liegt.

3. Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Schichtträgertemperatur um 5°C bis 40°C erhöht worden ist.

4. Aufzeichnungsmaterial nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß auf der photoleit­ fähigen Schicht eine isolierende Schicht vorgesehen ist.

5. Aufzeichnungsmaterial nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die photoleitfähige Schicht eine Dicke von 5 µm bis 100 µm hat.

6. Aufzeichnungsmaterial nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das photoleitfähige Material ein Material vom Se-Typ ist.

7. Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 6, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Schichtträgertemperatur innerhalb des Temperaturbereichs von 40°C bis 85°C kontinuierlich erhöht worden ist.

8. Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß das photoleitfähige Material vom Se- Typ Se oder eine Legierung ist, die als einen Hauptbe­ standteil Se sowie mindestens ein aus Te, Sb, Bi und As ausgewähltes Element enthält.