-
Ultraschallwellenwandler und Verfahren zur Erzeugung
-
von Ultraschallwellen Beschreibung Die vorliegende Erfindung betrifft
einen Wandler zur Erzeugung von Ultraschallwellenenergie mittels eines Ultraschallwellengerätes,
insbesondere einen Wandler zur Erzeugung eines konvergierenden Ultraschallbündels,
sowie ein Verfahren zur Erzeugung von Ultraschallwellen.
-
Auch wenn ein Medium optisch undurchsichtig ist, besteht die Möglichkeit,
die innere Struktur dieses Mediums zu betrachten, solange dieses Medium akustisch
durchlässig ist; wie bei der Röntgenstrahlungsfotografie. Unter Verwendung von Ultraschallwellenenergie
erzeugte Fotografien kann man dort anwenden, wo das Medium optisch undurchsichtig
ist. Dazu gehören medizinische Anwendungen, Mikroskope, sicht zerstörendes Testen,
Unterwasserbeobachtung und/oder Erdbebenforschung.
-
Es sind einige Ultraschallwellenwandler zur Erzeugung einer fokussierten
Ultraschallwelle vorgeschlagen worden. Einige
von diesen benutzen
eine eine akustische Phasenschiebung bewirkende Platte, eine kreisartige Anordnung,
eine akustische Linse oder einen fotoakustischen Wandler. Die bekannten oder vorgeschlagenen
Lösungen reichen jedoch nicht aus, um Ultraschallwellen für die Betrachtung der
inneren Struktur eines Mediums zu fokussieren, oder sie sind kompliziert.
-
Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, die Nachteile
und Beschränkungen bekannter Ultraschallwellenwandler durch Bereitstellung eines
neuen und verbesserten Ultraschallwellenwandlers zu überwinden. Es soll ein Ultraschallwellenwandler
verfügbar gemacht werden, mit dem sich Ultraschallwellen in eine einzige Linie fokussieren
lassen. Außerdem soll ein Ultraschallwellenwandler geschaffen werden, mit dem sich
Ultraschallwellen auf einen einzigen Punkt fokussieren lassen. Ferner soll ein Ultraschallwellenwandler
verfügbar gemacht werden, der die Ultraschallwelle in einem Abtastbetrieb erzeugt.
-
Die Lösung dieser Aufgabe besteht in einem Ultraschallwelenwandler
mit einem piezoelektrischen Substrat, der dadurch gekennzeichnet ist, daß wenigstens
eine Gruppe fingerartig ineinandergreifender Elektroden auf der Oberfläche des piezoelektrischen
Substrats angeordnet ist, daß jede
Gruppe mehrere f ingerartig ineinandergreifende
Elektroden aufweist, die in Längsrichtung der Finger einer jeden fingerartig ineinandergreifenden
Elektrode angeordnet sind, und daß an die Elektroden eine Wechselspannung mit vorbestimmter
Phasendifferenz angelegt wird, und zwar unter der Bedingung, daß die ineinandergreifenden
Elektroden in Berührung mit einer Flüssigkeit stehen. Die Periode zwischen den Fingern
der ineinandergreifenden Elektroden kann entweder gleichförmig oder nicht gleichförmig
sein.
-
Gleichförmige Elektroden erzeugen ein Schallbündel, das in einer einzigen
Linie konvergiert, und nicht gleichförmige Elektroden erzeugen ein Schallbündel,
das in einem einzigen Punkt konvergiert.
-
Im folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsformen näher
erläutert. In der Zeichnung zeigen: Fig. 1 eine Ausführungsform des vorliegenden
Ultraschallwellenwandlers; Fig. 2A einige Ausführungsformen der ineinander-und 2B
greifenden Elektroden; Fig. 3 eine Ausführungsform des vorliegenden Ultraschal lwellenwandlers;
Fig.
4 eine andere Ausführungsform des vorliegenden Ultraschallwellenwaridlers; Fig.
5 eine Darstellung zur Erläuterung des erfindungsgemäßen Wirkungsprinzips der Konvergenz
in x-Richtung; Fig. 6 in Kurvenform experimentelle Ergebnisse und 7 des vorliegenden
Ultraschallwellenwandlers; Fig. 8 eine andere Ausführungsform des vorliegenden Ultraschallwellenwandlers;
Fig. 9A eine andere Anordnung der erfindungs-und 9B gemäßen ineinandergreifenden
Elektrode; Fig. 10A Signalformen elektrischer Signale, die und 1OB den in Fig. 9A
bzw. Fig. 9B gezeigten Elektroden zugeführt werden; und Fig. 11 in-Kurvenform das
experimentelle Ergebnis der in den Fig. 9A und 9B gezeigten Ausführungsformen.
-
Fig.*1 zeigt den Aufbau des vorliegenden Ultraschallwandlers. In Fig.
1 befindet sich eine Flüssigkeit 2 in einem Gehäuse 1, und piezoelektrisches Material
3 mit fingerartig ineinandergreifpnder Elektrodenanordnung 4 auf der Oberfläche
befindet sich in der Flüssigkeit 2.
-
Einige mögliche Beispiele für die Flüssigkeit 2 sind-Wasser, Äther,
Azeton und Glyzerin.
-
Einige Strukturen der fingerartig ineinandergreifenden Elektrodenanordnung
4 sind in den Fig. 2A und 2B gezeigt.
-
Fig. 2A zeigt eine Einphasen (Zweiphasen-) Elektrodenanordnung, bei
der ein Paar kammförmiger Elektroden-4-l und 4-2 fingerartig ineinandergreifend
angeordnet sind, so daß die einzelnen Finger der beiden Elektroden abwechselnd erscheinen,
und eine Zweiphasen-Wechselspannung wird an ein Paar Anschlüsse (a) und (b) der
Elektroden angelegt. Fig. 2B zeigt efre Dreiphasenelektrode, bei der drei kammförmige
Elektroden 4-1, 4-2 und 4-3 fingerartig ineinandergreifend auf der Oberfläche des
piezoelektrischen Materials 3 so angeordnet sind, daß die einzelnen Finger der einzelnen
Elektroden abwechselnd angeordnet sind und die Periode der zur selben Elektrode
gehörenden Finger drei ist,und eine Dreiphasen-Wechselspannung wird an Anschlüsse
(a), (b) und (c) angelegt.
-
Die Einphasenelektrode nach Fig. 2A erzeugt ein Paar Ultraschallwellenbündel,
die in zueinander entgegengesetzten Richtungen
gerichtet sind
(in den in Fig. 1 mit Pfeilen A und B angegebenen Richtungen). Dagegen kann die
Dreiphasenelektrode nach Fig. 2B ein einziges Ultraschallwellenbündel in einer vorbestimmten
Richtung erzeugen (der Richtung gemäß Pfeil A oder B in Fig. 1).
-
Als Elektrodenmaterial wird beispielsweise eine Kombination aus Chrom
(Cr) und Gold (Au) bevorzugt. Einige der bevorzugten Materialien für den piezoelektrischen
Wandler sind LiNbO3, Quarzkristall, Bi12GeO20 und eine Keramik der Gruppe Pb Zr,
Ti) O3 (beispielsweise "91-A", hergestellt von der TDK Electronics, Tokyo, Japan.
-
Die Beziehung zwischen der Periode a der einzelnen Finger einer der
ineinandergreifenden Elektrode und der Richtung e der Ultraschallwellenbündel mit
maximaler Energie ist definiert durch die Beziehung: sin e = Vw/(f.d) =f/d Dabei
bedeuten: Af die Wellenlänge einer Schallwelle der Frequenz f in der Flüssigkeit,
Vw die Ausbreitungsgeschwindigkeit der Schallwelle in der Flüssigkeit und f die
Frequenz. Aus obiger Gleichung läßt sich entnehmen: ist die Periode d konstant,
erhält man von der ineinandergreifenden
Elektrodenanordnung parallele
Ultraschallwellenbündel in der Richtung e.
-
Die folgende Tabelle zeigt experimentelle Ergebnisse für den Winkel
e der Schallbündelabstrahlung für einige Kombinationen von piezoelektrischem Material
und Flüssigkeit.
131 roL.y,X I Pieziie |
131 rot y, x <111),(11O) = |
l zu (400öls) i 59rq/s) (1708m/s) (91A) |
¼ |
lassen |
| (1482,6mvs) 21.80 28.00 60,240 «0 |
(1oMB{s) | 14.60 18.60 360 28.20 |
I |
(11Rkvs) 17.30 22.10 44.20 34o0 |
| glyzerin |
| (192 w 5) l 28.7° | 37-5° | / 1 64.5° |
Piezoelektrisches Material und Oberflächengeschwindigkeit der akustischen Welle
i Flüssigkeit und Schallgeschwindigkeit (20 OC)
Die obige Tabelle
zeigt: ist ein kleiner Wert für e gewünscht, ist eine Kombination aus einer Flüssigkeit
mit niedriger Schallgeschwindigkeit und aus einem piezoe1ektrischen Material mit
hoher Oberflächenwellengesöhwindigkeit zu bevorzugen.
-
Fig. 3 zeigt den Aufbau eines erfindungsgemäßen Ultraschallwellenwandlers.
Gemäß Fig. 3 sind mehrere fingerartig ineinandergreifende Elektrodenanordnungen
4a, 4b, 4c auf dem piezoelektrischen Substrat 3 angeordnet. Diese ineinandergreifenden
Elektroden bilden eine Elektrodengruppe 10. Es ist in Fig. 3 angenommen, daß die
Periode d zwischen den einzelnen Fingern einer jeden der ineinandergreifenden Elektroden
konstant oder gleichförmig ist und daß die ineinandergreifenden Elektroden in der
Längsrichtung der Elektrodenfinger positioniert sind. Zur Vereinfachung der Zeichnung
ist in Fig. 3 die Flüssigkeit weggelassen, obwohl die ineinandergreifenden Elektroden
in Wirklichkeit die Flüssigkeit berühren.
-
Da die Periode d der Finger in Fig. 3 konstant ist, zeigen die Ultraschallwellenbündel
in x-Richtung keine Konvergenz oder Fokussierung, sondern man erhält eine Vielzahl
paralleler Bündel. Andererseits wirken die mehreren ineinandergreifenden Elektroden
in y-Richtung wie ein Beugungsgitter. Wenn ein elektrisches Signal mit einer vorbestimmten
Phasendifferenz
an eine ineinandergreifende Elektrode angelegt
wird, erzeugt diese demgemäß ein Schallwellenbündel mit definierter Phase. Somit
werden insgesamt die einzelnen Schallbündel, jedes mit seiner eigenen Phase, aufsummiert,
und die Bündel konvergieren in der zur x-Achse parallelen Linie F.
-
Wenn die y-Richtung-Position der n-ten der ineinandergreifenden Elektroden
yn ist, ferner die an die Elektrode angelegte elektrische Frequenz f gleich 2 E
0 und die Phase des an die Elektrode angelegten elektrischen Signals a (Yn) dann
weist das Schallwellenbündel die Phase Xn(y,x) auf, wenn dieses Bündel an der Linie
F ankommt, deren Koordinaten (y, x) sind. Diese Phase Xn (y,x) erhält man durch
die nachfolgende Formel, in der VW die Schallgeschwindigkeit in der Flüssigkeit
und t eine Zeit ist.
-
Wenn der untenstehenden Formel Genüge getan ist, haben die Schallwellenbündel
von allen ineinandergreifenden Elektroden die gleiche Phase, und sie konvergieren
auf einer einzigen Linie F.
-
Dabei ist m eine ganze Zahl, und yn = ne ist erfüllt, wenn die Länge
zwischen den einzelnen ineinandergreifenden Elektroden e ist.
-
Wenn elektrische Sianale mit die obige Gleichung erfüllenden Phasen
an die ineinandergreifenden Elektroden in Fig. 3 angelegt werden, erhält man demgemäß
ein Schallwellenbndel, das in einer einzigen Linie konvergiert. In Fig. 3 ist die
Phase der ineinandergreifenden Elektrode 4a gleich u 0(Y1) die der Elektrode 4b
gleich J 0(Y2) und die Phase der Elektrode 4n gleich a (Yn).
-
Ein elektrisches Signal mit einer gewünschten Phase kann man erhalten,
indem man eine herkömmliche Oberflächenwellenverzögerungsleitung mit Abgriffen oder
herkömmliche LC-Schaltungen verwendet.
-
Es wurde ein Experiment ausgeführt, bei dem als piezoelektrisches
Substrat 91A (von der TDK Electronics Co. hergestellt) und zehn ineinandergreifende
Elektroden mit einer Fingerperiode von 428 ßm verwendet wurden. Wird ein elektrisches
Signal der Frequenz 5,0 MHz mit die obige Gleichung erfUllenden Phasendifferenzen
an die ineinandergreifenden Elektroden
angelegt, erhält man ein
Schallwellenbündel, das in einer einzigen Linie konvergiert, die in einer zur Oberfläche
der ineinandergreifenden Elektroden parallel verlaufenden Ebene liegt. Der Abstand
zwischen dieser Ebene und der Oberfläche der ineinandergreifenden Elektroden ist
20 cm.
-
Fig. 4 zeigt einen anderen Aufbau eines erfindungsgemäßen Ultraschallwellenwandlers,
bei dem mehrere Elektrodengruppen 10a und 10b auf einem einzigen piezoelektrischen
Substrat 3 angeordnet sind. Die Elektrodengruppe 10a besitzt mehrere ineinandergreifende
Elektroden 4a, 4b, .... 4n, wie sie in Fig. 3 gezeigt sind, und die andere Elektrodengruppe
1Ob weist eine Vielzahl ineinandergreifender Elektroden 4a', 4b', ... 4n' auf. Es
sei angenommen, daß die Periode d der Finger der ineinandergreifenden Elektroden
der Gruppe 10a von derjenigen der Gruppe 10b verschieden ist. Da die Brennweite
des Ultraschallwellenbündels von der Periode der Finger der ineinandergreifenden
Elektrode und von der Frequenz des an die Elektrode angelegten elektrischen Signals
abhängt, kann der Ultraschallwandler nach Fig. 4 ein Ultraschallwellenbündel erzeugen,
dessen Brennweite durch Umschalten eines elektrischen Signals einstellbar ist. Natürlich
können auf einem einzigen Substrat mehr als drei Elektrodengruppen angeordnet werden,
um mehr als drei Arten von Schallwellen zu erzeugen.
-
Es wird nun anhand von Fig. 5 die Wirkung der Periode der ineinandergreifenden
Elektrode erläutert. Wie zuvor erwähnt, ist die Beziehung zwischen der Wellenlänge
Af der Schallwelle der Frequenz f in der Flüssigkeit und der Richtung e des stärksten
Schallbündels in der folgenden Formel dargestellt, die mit den experimentellen Ergebnissen
des Erfinders übereinstimmt.
-
sin # = Vw/(f.d) = #f/d (3) .
-
Dabei ist d die periodische Länge der Elektrode. Die Bedingung, daß
der an allen Punkten der Elektrode erzeugte Schall im Punkt P fokussiert ist, d.
h., die Bedingung, daß der in allen Punkten erzeugte Schall den Punkt P durchläuft
und in Punkt P in Phase ist, ist in der folgenden Formel (4) gezeigt.
-
rn = Rn - L2 = klni R fL + k2n2 Äf2 (4) Dabei sind: r der Abstand
zwischen der n-ten Elektrode n und dem Punkt Q, Rn der Abstand zwischen der n-ten
Elektrode und dem Punkt P und k1 und k2 Konstanten. Die Werte für (k1, k2) sind
(1, 1/4) für die in Fig. 2A gezeigte Zweiphasenelektrode und (2/3, 1/9) für die
in Fig. 2B gezeigte Dreiphasenelektrode. Die gewünschte Periode der
Elektrode
kann man erhalten, indem man die Formeln (3) und (4) unter Verwendung eines Computers
berechnet.
-
Aus der obigen Erläuterung geht auch hervor, daß die Eigenschaften
der Konvergenz der Schallwelle von der Frequenz der Schallwelle abhängen. Die Fig.
6 und 7 zeigen die experimentellen Ergebnisse der Fokussiereigenschaften eines Wandlers,
der für einen Betrieb bei 2,5 MHz ausgelegt ist und bei dem piezoelektrische Keramik
des Typs 91-A und Wasser kombiniert sind. In Fig. 6 zeigt die horizontale Achse
den Abstand von der Schallquelle, und die vertikale Achse zeigt die Breite des Strahls.
Die Kurven in Fig. 6 zeigen die Form des Schallwellenbündeis mit der Frequenz als
Parameter, und diese Kurven erhält man durch Messen der ichtbündelung des Schallbündels
bei den verschiedenen Frequenzen. Die Form des Schallbündels erhält man aus der
Richtbündelung. Die Brennweite bei jeder Frequenz kann man aus den Kurven in Fig.
6 berechnen, und das Ergebnis ist in Fig. 7 gezeigt.
-
Ferner zeigt das Experiment, daß der vorliegende Wandler der Analogbeziehung
genügt, d. h., der Wandler mit einem halb so großen Elektrodenmuster zeigt eine
Brennweite von 16 cm bei einer Mittenfrequenz von 5 MHz und einer Bündelbreite von
3,8 mm. Ferner ändert sich die Brennweite für jede Frequenz gleichermaßen.
-
Gemäß der obigen Erläuterung kann eine nicht gleichförmige Periode
der Finger der ineinandergreifenden Elektroden auf der Oberfläche des piezoelektrischen
Materials in der Flüssigkeit ein konvergentes Ultraschallwellenbündel erzeugen,
indem eine Wechselspannung an die Elektrode angelegt wird.
-
Fig. 8 zeigt einen weiteren Aufbau eines erfindungsgemäßen Ultraschallwellenwandlers,
bei dem Schallwellenbündel in einem einzigen Punkt F' konvergieren. Nach Fig. 8
ist eine Vielzahl ineinandergreifender Elektroden 4a, 4b, 4c, ...
-
auf dem piezoelektrischen Substrat 3 angeordnet. Die ineinandergreifenden
Elektroden bilden eine Elektrodengruppe 10.
-
Die Periode zwischen den einzelnen Fingern in jeder der ineinandergreifenen
Elektroden genügt der zuvor erwähnten Formel (4),und jede der ineinandergreifenden
Elektroden ist in Längsrichtung der Elektrodenfinger positioniert. Zur Vereinfachung
der Zeichnung ist in Fig. 3 die Flüssigkeit weggelassen, obwohl die ineinandergreifenden
Elektroden in Wirklichkeit eine Flüssigkeit berühren.
-
Da die Periode der Finger in Fig. 8 die im Zusammenhang mit Fig. 5
erläuterte Formel (4) erfüllt, konvergieren die Ultraschallwellenbündel in der x-Richtung,
und man erhält eine Vielzahl konvergierender Bündel, deren Anzahl der Zahl n der
ineinandergreifenden Elektroden entspricht. Gleichzeitig konvergieren
die
Bündel in der y-Richtung, wenn man elektrische Signale anlegt, deren Phasendifferenzen
durch die im Zusammenhang mit Fig. 3 erläuterte Formel (2) definiert sind. Demgemäß
konvergieren die Bündel sowohl in der x- als auch in der y-Richtung, und folglich
konvergieren sie in einem einzigen Punkt F'.
-
Man beachte, daß eine Anordnung gemäß Fig. 4 möglich ist, bei der
eine Gruppe ineinandergreifender Elektroden mit der in Fig. 8 erläuterten nicht-gleichförmigen
Periode verwendet wird. In diesem Fall können die Eigenschaften der in einen einzigen
Punkt fokussierten Bündel durch Steuern der Phasendifferenz des an die ineinandergreifenden
Elektroden angelegten elektrischen Signals und durch Umschalten der Gruppen der
ineinandergreifenden Elektroden geändert werden.
-
Wenn die Oberfläche einer ineinandergreifenden Elektrode mit einer
Schutzschicht, beispielsweise aus Silikongummi, bedeckt ist, ist die Elektrode gegen
chemische Angriffe geschützt.
-
Die Fig. 9A und 9B zeigen eine andere Anordnung einer erfindungsgemäßen
ineinandergreifenden Elektrodenvorrichtung.
-
Fig. 9A zeigt eine zweiphasige ineinandergreifende Elektrode
und
Pig. 9B zeigt eine dreiphasige ineinandergreifende Elektrode. Es sei angenommen,
daß die Periode der Finger der ineinandergreifenden Elektroden in beiden Fig. 9A
und 9B konstant ist, so daß man ein paralleles Bündel erhält, das nicht konvergiert.
-
Die ineinandergreifenden Elektroden in Fig.9A umfassen eine gemeinsame
Elektrode 9-n und andere Elektroden 9-1 bis 9-6. Jede der Elektroden 9-1 bis 9-6
verbindet eine vorbestimmte Anzahl Finger, wie rs in Fig. 9A gezeigt ist (in der
Ausführungsform sind drei Finger miteinander verbunden, es sei jedoch bemerkt, daß
ein einziger Finger eine Elektrode bilden kann). Die in Fig. 9B gezeigte dreiphasige
ineinandergreifende Elektrode weist eine Vielzahl von Fingergruppen (a, bi, ci)
auf, und zu einem Zeitpunkt erhält lediglich eine einzige Fingergruppe (ai, bi,
ci) das elektrisce Dreiphasensignal.
-
Fig. loA zeigt die Signalform des elektrischen Signals, das an die
in Fig. 9A gezeigte ineinandergreifende Elektrode angelegt ist, und Fig. 10B zeigt
die Signalform desjenigen elektrischen Signals, das an die in Fig. 9B gezeigte ineinandergreifende
Elektrode angelegt wird.
-
In Fig. iOA wird zunächst ein elektrischer Impuls (a) an die gemeinsame
Elektrode 9-n und die erste Elektrode 9-1 angelegt, und dann wird der nächste elektrische
Impuls (b) zwischen der gemeinsamen Elektrode 9-n und der zweiten Elektrode 9-2
angelegt. Gleichermaßen wird der elektrische Impuls an einer ineinandergreifenden
Elektrode 9-1 bis 9-6 von der Elektrode 9-1 über 9-2, 9-3, 9-4 und 9-5 zur Elektrode
9-5 verschoben. Demgemäß verschieben sich die von den ineinandergreifenden Elektroden
erzeugten Schallwellenbündel ebenfalls in x-Richtung. Die sich verschiebenden Schallwellenbündel
können zur Ultraschallabtastung der Oberfläche eines Objektes benutzt werden, obwohl
sie nicht fokussiert sind.
-
Dagegen werden in Fig. 10B elektrische Dreiphasensignale an die Fingergruppe
(ai, bii ci) angelegt, und das elektrische Signal verschiebt sich von der ersten
Fingergruppe (aj, b1, c) zu (a2, b2, c2) und dann zu (a3, b3, c3), (a4, b4, c4)...
(an, bn, cn).
-
Wie Fig. loB zeigt, erhalten zu einem Zeitpunkt nur drei Finger das
elektrische Signal, wie es in Fig. 10B durch den schraffierten Teil dargestellt
ist.
-
Die Anordnung gemäß Fig. 9B und 10B kann auch ein sich verschiebendes
Ultraschallwellenbündel erzeugen, das die Oberfläche
eines Objektes
abtasten kann. Die Anordnung nach Fig. 9A erzeugt ein Paar Schallwellenbündel, wenn
ein Zweiphasensignal angelegt wird, und die Anordnung nach Fig. 9B erzeugt ein einziges
Schallwellenbündel, wenn ein dreiphasiges elektrisches Signal angelegt wird.
-
Fig. 11 zeigt das experimentelle Ergebnis der ineinandergreifenden
Elektroden in den Fig. 9A und 9B, und sie zeigt die Beziehung zwischen der an die
Elektroden angelegten elektrischen Frequenz und der Richtung e des Strahlbündels.
-
Wie Fig. ii zeigt, kann die Richtung des Strahlbündels durch Steuern
der an die Elektroden angelegten Frequenz gesteuert werden, und die Wirkung der
Formel (3) ist bewiesen.
-
Das sich verschiebende elektrische Signal für die Anordnungen nach
den Fig. 9A und 9B kann man durch eine Verzögerungsleitung erzeugen. die eine Vielzahl
Abgriffe aufweist, wobei jeder Abgriff mit einem Elektrodenfinger ai verbunden ist.
-
Wie aus der vorausgehenden Erläuterung hervorgeht, kann erfindungsgemäß
die ineinandergreifende Elektrode auf der Oberfläche des piezoelektrischen Materials
in der Flüssigkeit ein konvergierendes Ultraschallwellenbündel erzeugen, indem eine
Wechselspannung an die Elektrode angelegt wird.
Das Anwendungsfeld
der vorliegenden Frfindung ist nicht auf Fotografie oder die Betrachtung der inneren
Struktur eines Materials beschränkt, sondern die Erfindung ist auch auf andere Bereiche
anwendbar, die ein konvergierendes Schallbündel benötigen; beispielsweise kann man
Flüssigkeit zerstäuben, indem man das Schallbündel auf den Grenzbereich von Flüssigkeit
und Wasser fokussiert.
-
L e e r s e i t e