DE2841030C2 - Schleuse - Google Patents

Schleuse

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DE2841030C2 DE19782841030 DE2841030A DE2841030C2 DE 2841030 C2 DE2841030 C2 DE 2841030C2 DE 19782841030 DE19782841030 DE 19782841030 DE 2841030 A DE2841030 A DE 2841030A DE 2841030 C2 DE2841030 C2 DE 2841030C2
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/18—Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)
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DE1000562B (de) * 1954-12-04 1957-01-10 Friedrich Endter Dr Ing Zum Ein- und Ausschleusen und zum Transport von Gegenstaenden in einem Vakuumraum dienende Vorrichtung

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DE2841030A1 (de) 1980-04-03

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