DE2825566C3 - Verfahrbarer optischer Präzisionstisch - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen verfahrbaren optischen Präzisionstisch, der auf einer Unterstützungsfläche wie z. B. einem Fußboden aufstellbar ist, mit einem steifen Untergestell, das auf der Unterstützungsfläche ruht einem steifen rechteckigen Rahmen, der von dem Untergestell getragen wird, einem Paar mit Abstand voneinander angeordneter waagerechter Schienen, einem optischen Tisch, einem auf den Schienen angeordneten Schlitten, der relativ zu den Schienen in Längsrichtung bewegbar ist, einer Halterung für den optischen Tisch auf dem Schlitten, einer zwischen dem Schlitten und dem rechteckigen Rahmen angeordneten Vorrichtung zur Durchführung der relativen Längsbewegung zwischen dem optischen Tisch und dem rechteckigen Rahmen, und mindestens einem auf dem optischem Tisch angeordneten optischen Element.

Es sind bereits durch die DE-AS 19 21 707 und 19 38 771 verfahrbare Präzisionstische mit einem steifen

so Untergestell bekanntgeworden, die zueinander parallele Schienenstäbe aufweisen, auf denen Schlitten gelagert sind, die mittels Antriebseinrichtungen eine relative Längsverschiebung zwischen dem Schlitten und den Schienenstäben gestatten. Der Nachteil dieser bekannten Präzisionstische besteht darin, daß sie bei größerer Dimensionierung an verschiedenen Stellen zum Durchhängen neigen, was bei Verwendung optischer Einrichtungen zu Verzerrungen im optischen Strahlengang führt.

Demgegenüber besteht die Aufgabe der Erfindung darin, einen verfahrbaren optischen Präzisionstisch der gattungsgemäßen Art zu schaffen, der vibrationsfrei und durchhangfrei verfahrbar, einfach von dem Untergestell lösbar und auch dann störungsfrei betriebsfähig ist, wenn die Schienen nicht einwandfrei parallel ausgerichtet sind.

Erfindungsgemäß erfolgt die Lösung der Aufgabe dadurch, daß der starre rechteckige Rahmen auf dem

Untergestell an nur drei Auflagestellen aufliegt, daß der Schlitten auf den beiden Schienen des rechteckigen Rahmens allein durch die Schwerkraft gehalten wird, daß der Schlitten von den Schienen nach oben hin abhebbar und in entgegengesetzter Richtung auf die Schienen aufsetzbar ist und daß der optische Tisch an nur drei Auflagestellen auf dem Schlitten aufliegt. Die erfindungsgemäße Lösung ist besonders vorteilhaft für einen fehlerfreien Betrieb von großen Maschinen wie solchen zur Herstellung von Druckplatten mit Hilfe "on Lasern, insbesondere Druckplatten großer Abmessungen für den Zeitungsdruck.

Weitere Merkmale zur Ausgestaltung der Erfindung werden in den Untefansprüchen beschrieben und im folgenden anhand des in den Zeichnungen dargestellten Ausfuhrungsbeispiels näher erläutert Es zeigt

F i g. 1 eine isometrische Darstellung eines erfindungsgemäß ausgebildeten verfahrbaren optischen Präzisionstischs,

F i g. 2 ein Querschnitt entlang der Li.iie 2-2 von Fig. 1, zur Darsteilung der Lagerung des optischen Tischs auf dem Untergestell,

Fig.3 ein Querschnitt entlang der Linie 3-3 von Fig.l,

Fig.4 ein Querschnitt entlang der Linie 4-4 von Fig. 3,

F i g. 5 ein teilweiser seitlicher Aufriß eines Schlittens entlang der Linie 5-5 von F i g. 4,

F i g. 6 ein teilweiser seitlicher Aufriß in Richtung der Linie 6-6 von F i g. 2, zur Darstellung der Verbindungen zwischen dem optischen Tisch und dem rechteckigen Rahmen.

Der in der Zeichnung dargestellte verfahrbare optische Präzisionstisch 11 ist auf einem steifen Untergestell 12 gelagert, welches zwei zueinander parallele U-Profile 13 aufweist, die sich in Längsrichtung des optischen Präzisionstischs 11 erstrecken. Das Untergestell 12 steht normalerweise auf einem Fußboden und weist die Abmessungen von angenähert 3 m mal 1,50 m, bei einer Höhe von angenähert 1 m auf.

Der optische Präzisionstisch 11 umfaßt einen verwindungssteifen rechteckigen Rahmen 16, der aus zwei massiven, mit hoher Genauigkeit hergestellten zylindrischen Schienenstäben 17 besteht, die in einem gegenseitigen Abstand parallel zueinander angeordnet sind. Langgestreckte Versteifungen 18 mit genau geradlinig bearbeiteten Oberflächen dienen zur Versteifung der Schienenstäbe 17 und sind vermittels Kopfschrauben 19 (siehe Fig. 2) in gegenseitigen Abständen an den Schinenstäben befestigt. Zusätzlich, langgestreckte Versteifungen 20 sind an den Versteifungen 18 vermittels Kopfschrauben an zwei in einem gegenseitigen Abstand liegenden Stellen gehalten. Zwischen jeder Versteifung 18 und 2C ist ein Distanzstück 22 an jeder Kopfschraube 21 vorgesehen. Die Kopfschrauben 21 sind durch Ausnehmungen in den Versteifungen 20 hindurch zugänglich. Die Versteifungen 20 sind an den Versteifungen 18 an nur zwei Punkten befestigt, so daß die langgestreckten Versteifungen 18 nicht durch die etwas kür?eren Versteifungen 20 gebogen werden.

Die Schienenstäbe 17 sip4 ai> i^ren Enden vermittels Verbindungsplatten 24 und 25 miteinander verbunden. Die Verbindungsplatten 24 und 25 weisen Durchbrechungen 26 zur Aufnahme der Schienenstabenden auf. An jeder Durchbrechung 26 in den Verbindungsplatten 24 und 25 ist ein zur Oberseite der Verbindungsplatte geführter Schlitz 27 ausgebildet, welcher tangential in die Durchbrechung 26 einmündet Dieser Schlitz 27 dient dazu, das Einsetzen der Enden der Schienenstäbe 17 in die Durchbrechungen 26 zu ermöglichen, wonach diese vermittels (nicht dargestellter) quer zu den Schlitzen 27 angeordneter Schrauben endseitig in Klemmverbindung mit den Verbindungsplatten 24 und 25 verspannt werden. Zwischen jeder Verbindungsplatte 24,25 und den Versteifungen 18 sind zur Verstärkung dienende Winkelstücke 30 vorgesehen. Aus der

ίο Beschreibung des rechteckigen Rahmens 16 ist ersichtlich, daß dieser verwindungssteif aufgebaut ist

Der rechteckige Rahmen 16 ist auf dem Untergestell 12 gelagert und bildet eine Ebene für das Verfahren eines optischen Tisches 28. Zu diesem Zweck ist eine Dreipunktlagerung vorgesehen, welche aus drei kleinen Blöcken oder Platten 31 besteht die als Füße für den rechteckigen Rahmen 16 dienen, wie anhand F i g. 1 ersichtlich ist Einer der als Füße dienenden Blöcke 31 ist unterhalb der Verbindungsplatte 24 angeordnet und ruht auf dem Untergestell 12. Die beiden anderen, als Füße dienenden Blöcke 31 sind auf sich gegenüberliegenden Seiten des rechteckigen Rahmen 16 angeordnet und befinden sich unterhalb der beiden langgestreckten Versteifungen 20 an Punkien, die einen größeren Abstand von der Mitte der Schienenstäbe 17 in bezug auf den unterhalb der Verbindungsplatte 24 angeordneten Block 31 aufweisen, so daß ein bestmögliches Auflager für den rechteckigen Rahmen 16 gegeben ist Gleichzeitig ist bei den nur drei Auflagern für den rechteckigen Rahmen 16 die volle Verfahrmöglichkeit des optischen Tischs 28 gegeben. Die zwei unterhalb der Versteifungen 20 angeordneten Blöcke 31 ruhen auf den U-Profilen 13. Wie sich somit ersehen läßt ragt ein Teil des rechteckigen Rahmens 16 freikragend über die Enden der Blöcke 31 hinaus. Der freikragend überstehende Abschnitt des rechteckigen Rahmens 16 ist jedoch im Verhältnis zu dem übrigen Teil des rechteckigen Rahmens verhältnismäßig klein, so daß eine ausreichende Auflagerung des rechteckigen Rahmens 16 gegeben ist.

Aus der vorstehenden Beschreibung des rechteckigen Rahmens 16 läßt sich ersehen, daß dieser in einfacher Weise zusammenbaubar ist und aufgrund der vorherigen Präzisionsbearbeitung aller Teile im zusammengebauten Zustand einen rechteckigen Rahmen bildet, dessen massive, genau geschliffene zylindrische Schienenstäbe 17 in einem gegenseitigen Abstand zueinander parallel gehalten sind. Es sind keine weiteren Ausrichtarbeiten erforderlich.

so Der optische Tisch 28 weist eine ebene Oberseite 29 auf und ist aus einem hoch verwindungssteifen Werkstoff hergestellt. So kann er beispielsweise zur Erzielung der gewünschten Verwindungssteifigkeit wabenförmig ausgebildet sein. Ein optischer Tisch weist typischerweise eine Dicke von angenähert 6,35 cm bei einer Länge von etwa 0,9 m und einer Breite von etwa 0.6 m auf. Dieser optische Tisch ist an drei Punkten auf dem rechteckigen Rahmen 16 gelagert. Zu diesem Zweck sind zwei Schlitten 36 vorgesehen, welche auf dem einen Schienenstab 17 gelagert sind und eine Relativbewegung in bezug auf den Schienenstab 17 in dessen Axialrichtung, jedoch nicht quer zu diesem gestatten.

Jeder Schlitten 36 besteht aus einem Schlittenblock 37, der mit einer Seite des Tischs 28 durch Kopfschrauben 38 verbunden ist, welche durch eine an der Unterseite des Tischs befindliche Unterlegplatte 39 hindurchgeführt sind (siehe F i g. 2). Jeder Schlittenblock

37 weist eine Bogenausnehmung 41 von entsprechender Formgebung zur Aufnahme des Schienenstabs 17 auf. Im Schlittenblock 37 sind außerdem zur Aufnahme von Rollen 44 dienende zylindrische Ausnehmungen 42 und 43 ausgebildet. Die Rollen 44 stützen sich, wie aus F i g. 2 ersichtlich, gegen den Schienenstab 17 ab. Die Rollen sind aus einem Werkstoff hergestellt, der weicher ist als der Werkstoff des Schienenstabs 17, so daß ggf. auftretender Verschleiß nicht an den Schienenstäben, sondern zuerst an den Rollen auftritt und die Rollen nach Verschleiß ersetzt werden können. Die Schienenstäbe 17 und die Rollen 44 können beispielsweise aus rostfreiem Stahl hergestellt sein. Die Rollen 44 sind vermittels Kugellagern 46 auf Wellen 47 gelagert, welche in Preßsitz in Bohrungen 48 und 49 am Schüttenblock 37 eingepaßt sind. Die Bohrungen 48 und 49 im Schlittenblock 37 verlaufen unter Winkeln von angenähert 60°, so daß sie zueinander einen Winkel von insgesamt 120° einschließen. Mit der beschriebenen Schlittenkonstruktion läßt sich ersehen, daß die beiden an jedem Schlittenblock 37 angeordneten Rollen 44 sich in einem Winkelabstand von angenähert 120° gegen einen Schienenstab 17 abstützen. Die beiden Schlitten 36 sind an einander entgegengesetzten Enden des Tischs 28 angeordnet und bilden somit zwei Auflagerpunkte für den optischen Tisch 28. Der dritte Auflagerpunkt der Dreipunktlagerung für den optischen Tisch 28 besteht aus einem Winkelstück 51, das auf der den Schlitten 36 gegenüberliegenden Seite des Tischs 28 in der Mitte zwischen den Tischenden und den Schlitten 36 durch Kopfschrauben 52, welche durch eine Unterlegplatte 53 hindurchgeführt sind, an üem Tisch befestigt ist. Eine Welle 54 ist eine Bohrung 56 des Winkelstücks 51 eingesetzt und steht von diesem in allgemein waagerechter Richtung parallel zur ebenen Oberseite 29 des optischen Tischs 28 vor. Die Welle 54 greift in eine übergroße Bohrung 55 von allgemein V-förmiger Formgebung in einer Ausgleichplatte 57 ein und ruht auf dem Boden dieser Bohrung (siehe F i g. 6).

Die übergroße Bohrung 55 ist in einer Ausgleichplatte 57 ausgebildet, welche die Form einer langgestreckten Schiene aufweist An beiden Enden der Ausgleichplatte

57 sind vermittels Kopfschrauben 60 Rollenzapfenlager

58 gehalten (siehe F i g. 5). Der außenliegende Abschnitt des Rollenzapfenlagers 58 weist einen Schlitz 59 auf. Eine aus dem gleichen Werkstoff wie die Rollen 44 hergestellte Rolle 61 befindet sich innerhalb des Schlitzes 59 und ist drehbar auf einer im Rollenzapfenlager 58 gelagerten Welle 62 geführt Es läßt sich ersehen, daß die Ausgleichplatte 57 eine solche Länge aufweist, daß die Rollen 61 in der Nähe der beiden Enden des Tisches 28 in Eingriff mit dem anderen Schienenstab 17 stehen.

An beiden Enden der Ausgleichplatte 57 ist jeweils eine Dämpfervorrichtung 66 angeordnet, die aus einem Träger 67 besteht, welcher vermittels durch eine Unterlegplatte 69 durchgeführter Kopfschrauben 68 an dem Tisch 28 befestigt ist (siehe Fig.3). Eine an dem Träger 67 befindliche flache Unterlegscheibe 71 steht in Reibungseingriff mit der Oberfläche des Rollenzapfenlagers 58 (siehe Fig.4). Die Unterlegscheibe 71 wird durch eine Ansatzschraube 72 gehalten, welche durch eine Bohrung von Obergröße 70 im Rollenzapfenlager 58 und durch die Unterlegscheibe 71 hindurchgreift und in den Träger 57 eingeschraubt ist, wobei ihre Schulter 73 gegen den Träger 67 anliegt Die Ansatzschraube 72 trägt eine gewölbte Federscheibe 74, welche gegen den Kopf der Ansatzschraube anliegt und eine Reibungskraft zwischen dem Rollenzapfenlager 58 und der flachen Unterlegscheibe 71 hervorruft.

Eine Antriebsvorrichtung 76 zwischen dem rechteckiger Rahmen 16 und dem optischen Tisch 28 ermöglicht eine Relativbewegung zwischen dem Rahmen 16 und dem optischen Tisch 28. Diese Antriebsvorrichtung 76 besteht aus einem Leitblock 77, der an dem Tisch 28 in gleicher Weise wie die Schlittenblöcke 36 vermittels (nicht dargestellter) Kopfschrauben befestigt ist. Der

ίο Leitblock 77 weist eine Bogenausnehmung 78 zur Aufnahme des den Leitblock unterlagernden Schienenstabs 17 auf. Der Leitblock 77 ist vermittels (nicht dargestellter) Kopfschrauben an einer Platte 79 befestigt. Die Antriebsvorrichtung 76 umfaßt einen Antriebsmotor 80, einen Tachometer 81, ein Wellen-Kodiergerät 82, ein Lagergehäuse 83 und ein Kugelmuttergehäuse 84, die zum Antrieb einer langen Führungsspindel 86 dienen, welche an ihrem anderen Ende in einem an der Versteifung 20 befestigten Lagerbügels 89 gehalten. Die Führungsspindel 86 weist ein entsprechendes Gewinde auf, so daß sie beispielsweise in ihrer Längs- oder Axialrichtung vorgibt.

Der optische Tisch 28 kann eine beliebige Anzahl optischer Elemente aufnehmen. Diese optischen EIemente können beispielsweise einen Spiegel umfassen, auf den ein Laserstrahl fällt und der diesen Laserstrahl durch eine (nicht dargestellte) Durchbrechung im Tisch 28 nach oben zu einer Abtastvorrichtung hin ablenkt, welche aus einem umlaufenden Pyramidenspiegel 91 besteht, wonach weitere Reflexionen an zwei Dachspiegeln 92 und 93 erfolgen und der Strahl schließlich auf einen (nicht dargestellten) dichroischen Spiegel fällt, welcher das Licht wiederum auf einen umlaufenden Spiegel zurückwirft so daß der Lichtstrahl durch eine weitere Durchbrechung im optischen Tisch abgegeben werden kann. Eine derartige Anordnung kann beispielsweise dazu benutzt werden, eine beliebige, schwarz-weiße Vorlage abzutasten und vermittels eines Laserstrahls ein Bild dieser Vorlage auf einer lichtempfindlichen Oberfläche zu erzeugen. Während des Abtastvorgangs wird der optische Tisch 28 mit präzise vorgegebener Geschwindigkeit über die Länge des rechteckigen Rahmens hinweg in einer Richtung fortbewegt und läuft dann wieder in seine Ausgangsstellung zurück.

Wie aus der vorstehenden Beschreibung ersichtlich, bietet der verfahrbare optische Präzisionstisch zahlreiche Anwendungsmöglichkeiten. Der Tisch selbst ist sehr verwindungssteif und ist auf den Schienenstäben 17 an nur drei Punkten gelagert Die zwei Schlitten 36 lagern

so die eine Kante des Tischs in senkrechter Richtung und bewirken zugleich die Ausrichtung in Bewegungsrichtung, da jeder Schlitten zwei Rollen aufweist welche sich in einem gegenseitigen Abstand gegen die Oberfläche des Schienenstabs abstützen und daher eine Querbewegung des Tischs in bezug auf den Schienenstab 17 verhindern, jedoch gleichzeitig eine Bewegung desselben in Längsrichtung des Schienenstabs zulassen. Wenngleich der optische Tisch 28 auf der den Schlitten 36 gegenüberliegenden Seite nur ein einziges Auflager aufweist ist er vermittels der Ausgleichplatte 57 mit den Rollenzapfenlagern 58 und den Rollen 61, welche auf der Oberseite des anderen Schienenstabs 17 abrollen, effektiv an seinen vier Ecken unterstützt Die den Rollenzapfenlagern 58 zugeordneten, an den beiden Enden des Tisches angeordneten Dämpfervorrichtungen 66 stabilisieren den Tisch, indem sie für diesen im Hinblick auf Vibrationen und sein Gewicht eine Vier-Punkt-Auflage darstellen, jedoch für den Tisch

selbst nur ein Dreipunktauflager bilden.

Wie sich ersehen läßt, ist das Auflager für den Tisch in der Weise beschaffen, daß auch bei nicht einwandfrei zueinander parallel ausgerichteten Schienenstäben 17 die auf der Oberseite des Schienenstabs 17 abrollenden Rollen 61 ggf. vorhandene Fluchtungsfehler aufnehmen. Aufgrund der Dämpfervorrichtungen wird das Gewicht des Tischs 28 jedoch an den vier Tischecken aufgenommen. Außerdem läßt sich aus der Konstruktion des Tischs und seiner Auflagerung auf den Schienenstäben 17 ersehen, daß der Tisch 28 zusammen mit den Schlitten 36 und dem Winkelstück 51, an welchem sich die Ausgleichplatte 57 befindet, jederzeit von dem Rahmen 16 abgehoben werden kann, wozu lediglich (nicht dargestellt) Kopfschrauben an der Platte 79 herausgenommen zu werden brauchen. Die Ausrichtung des optischen Tischs wird bei der hier beschriebenen Konstruktion nur auf einer Seite des Tischs vermittels des einen Schienenstabs 17 vorgegeben, wohingegen die andere Seite des Tischs lediglich auf dem anderen Schienenstab ruht.

Der rechteckige Rahmen 16 mit den einen Teil dieses Rahmens bildenden Schienenstäben 17 weist ebenfalls ein Dreipunktauflager auf. Aus diesem Grunde läßt die Konstruktion größere Fluchtungsfehler der verschiedenen Teile zu, wobei der verfahrbare optische Präzisionstisch nach wie vor einwandfrei arbeitet. Die zueinander parallelen Schienenstäbe 17 können bei dieser Konstruktion sowohl in der Waagerechten als auch in der Senkrechten einen Fluchtungsfehler aufweisen. Hinzu kommt, daß der verfahrbare optische Präzisionstisch einen verhältnismäßig einfachen Aufbau aufweist und leicht zusammenbaubar, sowie zerlegbar ist.

Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

Claims (9)

Patentansprüche:

1. Verfahrbarer optischer Präzisionstisch, der auf einer Unterstützungsfläche wie z. B. einem Fußboden aufstellbar ist, mit einem steifen Untergestell, das auf der Unterstützungsfläche ruht, einem steifen rechteckigen Rahmen, der von dem Untergestell getragen wird, einem Paar mit Abstand voneinander angeordneter waagerechter Schienen, einem optischen Tisch, einem auf den Schienen angeordneten Schlitten, der relativ zu den Schienen in Längsrichtung bewegbar ist, einer Halterung für den optischen Tisch auf dem Schlitten, einer zwischen dem Schlitten und dem rechteckigen Rahmen angeordneten Vorrichtung zur Durchführung der relativen Längsbewegung zwischen dem optischen Tisch und dem rechteckigen Rahmen, und mindestens einem auf dem optischen Tisch angeordneten optischen Element, dadurch gekennzeichnet, daß der starre rechteckige Rahmen (16) auf dem Untergesteil (12) an nur drei Auflagestellen (31) aufliegt, daß der Schlitten (36) auf den beiden Schienen (17) des rechteckigen Rahmens (16) allein durch die Schwerkraft genalten wird, daß der Schlitten (36) von den Schienen (17) nach oben hin abhebbar und in entgegengesetzter Richtung auf die Schienen (17) aufsetzbar ist und daß der optische Tisch (28) an nur drei Auflagestellen (36, 36, 51) auf dem Schlitten (36) aufliegt

2. Verfahrbarer optischer Präzisionstisch nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Schlitten zwei auf einer Seite des optischen Tisches (28) angeordnete Schlittenteile (36,36) mit je einem mit der einen der beiden Schienen zum Eingriff kommenden, seitliche Bewegungen des optischen Tisches verhindernden und nur Längsbewegungen zulassenden Vorrichtungen (44) und einen einzelnen, auf der gegenüberliegenden Seite des optischen Tisches angeordneten zusätzlichen Schlittenteil (51) aufweist, der die Oberseite der anderen Schiene berührt und eine seitliche Bewegung des Tisches dieser gegenüber während der Längsbewegung des Tisches entlang den Schienen zuläßt.

3. Verfahrbarer optischer Präzisionstisch nach Anspruch 2. dadurch gekennzeichnet, daß der zusätzliche dritte Schlittenteil (51) eine sich längs der zugeordneten Schiene (17) erstreckende Ausgleichsplatte (57) aufweist und deren mittleren Teil mit dem optischen Tisch (28) verbindet, und daß die Ausgleichsplatte an ihren Enden Rollen (61) trägt, die auf der Oberseite der zugeordneten Schiene (17) aufliegen.

4. Verfahrbarer optischer Präzisionstisch nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine Dämpfungsvorrichtung (66) an den beiden Enden des Tisches auf seiner den beiden erstgenannten Schlittenteilen (36) gegenüberliegenden Seite angeordnet sind, so daß das Gewicht des Tisches auf insgesamt vier Auflagestellen ruht, aber dennoch eine Ausrichtung des Tisches in bezug auf nur drei Auflagestellen möglich ist.

5. Verfahrbarer optischer Präzisionstisch nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Schienen die Form zylindrischer Stäbe (17) aufweisen und der erste und zweite Schlittenteil (36) mit Rollen (44) versehen sind, welche die zugeordnete stabförmige Schiene (17) paarweise an derselben Stelle, jedoch mit Abstand auf dem zylindrischen Stabumfang berühren.

6. Verfahrbarer optischer Präzisionstisch nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Dritte, mit der Ausgleichsplatte (57) versehene Schlittenteil (51) mit dem optischen Tisch in der Mitte von dessen einer Längsseite verbunden ist

7. Verfahrbarer optischer Präzisionstisch nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der dritte, mit der Ausgleichsplatte ^57) versehene Schlittenteil aus einer auf dem optischen Tisch (28) befestigten Konsole (51) mit einem von ihr aus vorstehenden, in eine übergroße Bohrung (55) in der Ausgleichsplatte gelagerten Zapfen (54) besteht

8. Verfahrbarer optischer Präzisionstisch nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Profil der übergroßen Bohrung (55) in der Ausgleichsplatte (57) in seinem untersten Teil, von der Kreisform abweichend, etwa V-förmig gestaltet ist

9. Verfahrbarer optischer Präzisionstisch nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß je eine Dämpfungsvorrichtung (66) an den beiden Enden der gleichen Seite des optischen Tisches (28) wie der dritte Schlittenteil (51) angebracht ist und zum Tragen des Gewichts des Tisches an zwei Stellen dient, während seine Aufhängung auf derselben Seite an nur einer Stelle vorgesehen ist