DE2748564A1 - Verfahren und vorrichtung zur messung von in einer suspension befindlichen teilchen - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur messung von in einer suspension befindlichen teilchen

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Description

Patentanwälte
Dipl.-'ng. E. E
Dipl.-Ing. K. Schici-hi·.*
β München 40 ß**
Coulter Electronics, Inc., Hialeah, Florida/USA
Verfahren und Vorrichtung zur Messung von in einer Suspension befindlichen Teilchen
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Zuordnung von getrennt erfaßten Teilcheneigenschaften und den zugehörigen Teilchen.
Bei der Untersuchung und Analyse von Teilchen sollen meist möglichst viele Eigenschaften jedes Teilchens ermittelt werden. Je größer die Anzahl der ermittelten Eigenschaften ist, umso zuverlässiger kann ein Gerät ein Teilchen von einem anderen, ihm ähnelnden Teilchen unterscheiden. Dies ist beispielsweise bei Blutuntersuchungen von erheblicher Bedeutung, wenn zwischen ver-
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βchiedenen Arten von Blutkörperehen unterschieden werden muß. Die visuelle Klassifizierung von Blutkörperchen basiert in der Regel auf Parametern, vie der Farbe, der Größe und der Form, die der Nucleus nach entsprechendem Einfärben zeigt, und der Granulierung, der Farbe und der relativen Menge des eingefärbten Zytoplasmas.
Die Erkennung und Klassifizierung der Zellen oder Blutkörperchen erfolgt heute meist automatisch. Bei einer Methode, der sogenannten Mustererkennung, werden die unbekannten Blutkörperchen zur automatischen Untersuchung auf einer Fläche oder einem Substrat unter ein Mikroskop mit hoher Auflösung gebracht. Das Gesichtsfeld des Mikroskopes vird durch einen Wandler, beispielsweise ein auf die Wiedergabe ansprechendes Vidikon, abgetastet. Beim Abtasten des Gesichtsfeldes verden Informationsbits gespeichert, die die elektrisch feststellbaren Merkmale der Blutkörperchen darstellen. Ein Computer, der zur Identifizierung der Blutkörperchen mit einem geeigneten Algorithmus programmiert ist, verarbeitet die über das Gesichtsfeld des Mikroskopes gewonnenen Daten, wobei er versucht, diese Information mit einer ähnlichen Information seines Gedächtnisses in Übereinstimmung zu bringen. Die Methode erfordert die Verarbeitung von tausenden von Informationsbits, vozu eine aufwendige Ausrüstung mit Computern und großen Speicherbänken benötigt vird. Dennoch kann trotz des Aufwandes und der Kompliziertheit der benötigten Ausrüstung die Erkennung und Klassifizierung der Teilchen nicht mit absoluter Genauigkeit erfolgen, vobei außerdem die Zeit zur Erkennung auch noch sehr groß ist.
Eine zweite Methode, die sogenannte Durchflußmethode, liefert sehr schnelle Meßergebnisse über in einer flüssigen Suspension befindliche Teilchen, venn die Suspension durch eine elektrisch erregte Erfassungszone fließt. Die Erfassungszonen können auch
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durch ein- oder mehrfarbiges Licht erregt werden. Durch diese allgemeine Methode lassen sich Grobparameter messen, wie etwa das Volumen oder die Größe der Zellen oder Blutkörperchen, der DNS- oder der RNS-Gehalt, die Farbe, die Fluoreszenz, die Lichtabsorption usw. Die Erfassungszonen für diese Grobparameter messen mit geringer Auflösung. Elektrisch erregte Erfassungezonen können mit Gleichstrom oder hochfrequentem Wechselstrom betrieben werden. Durchflußsysteme bieten den Vorteil der Hochgeschwindigkeitsmessung, an mehr als tausend Zellen pro Sekunde, wobei jedoch an der einzelnen Zelle nur eine begrenzte Anzahl von Messungen mit geringer Auflösung erfolgt.
Um die einzelnen Zellen mit größerer Sicherheit identifizieren zu können, benötigt man somit eine größere Anzahl von Messungen der diversen Zelleneigenschaften. Da jede Erfassungezone nur eine geringe Anzahl von Messungen ausführen kann, benötigt nan mehrere. Jede Messung an den Zellen muß dem Ziel dienen, die vollkommen sichere Zuordnung von Meßergebnissen und gemessenen Zellen zu erreichen. Um dies zu erreichen, muß man mehrere Erfassungszonen hintereinander bzw. in einer Tandemanordnung betreiben, so daß jede Zelle jede Erfassungszone passiert. Da die Messungen in den aufeinanderfolgenden Erfassungszonen nicht gleichzeitig erfolgen können, müssen für den zur Klassifizierung der Zellen erforderlichen Vergleich der Meßergebnisse die Resultate der ersten Messung so lange gespeichert werden, bis die letzte Messung erfolgt ist.
Der Abstand zwischen den Erfassungszonen kann in der Praxis nicht unter eine Strecke von einigen Zentimetern verringert werden. Da die Flüssigkeit in einem Durchflußsystem etwa mit 5 bis Io m pro Sekunde strömt, benötigt jedes Teilchen für einen Weg von 1 cm in der Durchflußkammer etwa loo bis 2oo Mikrosekunden. Wenn sich die Erfassungszonen aus mechanischen Gründen über eine Distanz von 5 cm erstrecken müssen, so liegt die gesamte Verzögerung zwi-
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sehen der ersten und letzten Erfassungezone in der Größenordnung von o,5 bis 1 Millisekunden. Wollte nan die Teilchensuspension so weit verdünnen, daß die erste Erfassungszone erst dann das nächste Teilchen messen kann, wenn die letzte Erfassungszone ihre Messungen an den vorhergehenden Teilchen abgeschlossen hat, so müßte der Mindestabstand zwischen den Teilchen 5 cm betragen, was einem halben Teilchen pro Millisekunde entspricht. Unter Berücksichtigung der rein zufälligen Verteilung der Teilchen in der Suspension müßte der mittlere Abstand weit über 5 cm liegen. Durch eine derart geringe Teilehenkonzentration und die langen Intervalle zwischen den Teilchen wurden aber die Vorteile des Durchflußsystemes wieder aufgehoben. Um die Hochgeschwindigkeitserfassung des Durchflufisystemes beibehalten zu können, müßten sich mehrere Teilchen in einer Durchflußkammer von 5 cm Länge befinden können.
Um die Fähigkeit zur Hochgescbvindigkeitsmessung der Durchflußmethode voll ausnutzen zu können, müßte man die Tellchenkonzen— tration der Suspensionsprobe so weit erhöhen, daft die erste Erfassungszone in der Zeit, die ein bestimmtes Teilchen zum Durchgang von der ersten bis zur letzten Erfassungszone benötigt, bereits mehrere nachfolgende Teilchen gemessen hat. Die Meßergebnisse der ersten bzw. in Strömungsrichtung vorher liegenden Erfassungszone müssen dann zum Vergleich mit den Mefiergebnissen der nachfolgenden Erfassungszone gespeichert werden. Die richtige Zuordnung zwischen den an den verschiedenen Erfasaungszonen gewonnenen MeBergebnissen und den einseinen Teilchen bereitet dabei erhebliche Schwierigkeiten. Ein« Lösung könnte darin bestehen, die in der ersten Erfassungszone am ersten Teilchen einer Probenaliquote gemachte Messung genau mit der ersten Messung der nachfolgenden und der letzten Erfassungsrone in Übereinstimmung zu bringen, die zweite mit der zweiten usw. Hierzu wäre es erforderlich, die erste Messung für etwa 1 Millisekunde zu speichern, in der ver-
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aucht wird, die Übereinstimmung herbeizuführen. Wenn dann die Teilchenströmung auf der Untersuchungsfläche eines Mikroskopes ausgebreitet wird, kann man die Meßergebnisse den richtigen Teilchen zuordnen, wenn man gewährleistet, daß das erste durch die DurchfluDkammer fließende Teilchen auch das erste Teilchen auf der Untersuchungsfläche ist.
Es wäre jedoch riskant, sich darauf zu verlassen, daß jede Erfassungszone das "erste Teilchen" erkennt. In Geräten, die weiße Blutkörperchen, bösartige Zellen oder dergleichen erkennen müssen, wobei die Diagnose über Leben oder Tod entscheiden kann, sind jedoch Kompromisse nicht tolerierbar. Das Risiko rührt zum einen daher, daß die Erfassungszonen auf verschiedene Eigenschaften der Teilchen ansprechen. So kann eine Ersterfassungszone auf Fluoreszenz und eine zweite Erfassungszone auf das Volumen ansprechen. Wenn das erste Teilchen keine Fluoreszenz zeigt, würde dann die Fluoreszenz beim zweiten Teilchen dem Durchgang des ersten Teilchens durch die zweite Erfaesungszone zugeordnet. Diese falsche Zuordnung würde auch sämtliche nachfolgenden Übereinstimmungen bzw. Paarungen verfälschen.
Zum anderen sind die praktischen Schwierigkeiten zu Beginn eines Probendurchlaufes, genau in dem Augenblick, wenn ein erstes Teilchen in die erste Erfassungszone eintritt, trotz hydraulischer und elektronischer Starterleichterungen, zwar nicht unbedingt unüberwindlich, aber sie wurden eine enorm aufwendige, schnell und präzise arbeitende Apparatur erfordern.
An sich besteht die direkteste Methode darin, die Strömungsgeschwindigkeit der Probe in der Durchflußkammer zu messen und bei bekanntem Abstand zwischen den Erfassungezonen die Zuordnung der MeOergebnisse in Verhältnis dieses Abstände« und der Strömungsge-
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achvindigkeit zu verzögern. Bei der "Strömungsgeschwindigkeit" handelt es sich aber nur um einen Mittelwert. Damit die Teilchenströiming aufrecht erhalten bleibt, muß die tatsächliche Strömung in der Durchflufikammer laminar verlaufen. Infolge geringer Ungenauigkeiten bei der Zentrierung der Teilchenetrömung, durch Herstellungsungenauigkeiten oder Schmutz auf der Innenseite der Durchflußkammer, kommt es zu kleinen VerzögerungsSchwankungen. Im Zentrum liegt die Strömungsgeschwindigkeit etwas über dem Mittelwert. Somit kann man auch nicht mit einer konstanten Verzögerung arbeiten.
Die Zuordnung von MeBergebnissen, die von bestimmten Zellen bei einer "On-Stream-Analyse" gewonnen wurden, ist praktisch unmöglich, wenn die Messung der Zellen nach der Methode der Mustererkennung erfolgte.
Wenn mit der Durchflußmethode eine Reihe von Eigenschaften ermittelt werden soll, benötigt man unterschiedliche Arten von Erfassungszonen, von denen jede mindestens eine bestimmte Teilcheneigenschaft erfassen kann. Diese Erfassungszonen werden im allgemeinen in Reihe entlang der Strömung angeordnet.
Bei einem solchen Gerät liegen die verschiedenen Erfassungszonen entlang der Fluidströmung sehr dicht nebeneinander. Dadurch erfolgen die Messungen fast gleichzeitig, die Schwankungen in der Teilchenankunftezeit an den benachbarten Erfassungszonen sind klein, so daß die Zuordnung der in benachbarten Erfassungszonen gemessenen Teilchenankunftszeit und der Teilcheneigenschaft einfach ist. Wenn dieser Abstand zwischen den verschiedenen Erfassunga· zonen aber nicht äußerst klein gehalten werden kann, so muß mit aufwendigen Verfahren gewährleistet werden, daß die Meßergebnisse eines bestimmten Teilchens auch tatsächlich diesem Teilchen zugeordnet werden.
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Wenn nach dem Passieren der Durchflußkammer mit mehreren Erfassungszonen die Teilchen für eine anschließende mikroskopische Untersuchung auf einem Substrat ausgelegt werden sollen, muß auch eine Durchflußkammer-Substrat-Zuordnung erfolgen. Die Korrelation von Eigenschaften, die von der dem Substrat am nächsten liegenden Erfassungszone gewonnen werden und der durch die Lage des Teilchens auf dem Substrat ermittelten Eigenschaft bietet keine Probleme. Die Zuordnung der in der Abtastzone ermittelten Eigenschaft und der Teilchenlage auf dem Substrat wird aber problematisch, wenn die Erfassungszone sich nicht unmittelbar neben dem Substrat befindet. Dies rührt daher, daß die Strömungsgeschwindigkeit nicht absolut stabil ist und daß in der Strömung unregelmäßige Zufallsbewegungen auftreten, wodurch die Zeit für die Teilchenbewegung von einer Erfassungszone zu einem davon um eine gewisse Distanz entfernten Substrat nur schwer oder gar nicht vorhergesagt werden kann. Dadurch ist die Korrelation mit der Teilchenlage auf dem Substrat äußerst erschwert und liegt meist außer der Leistungsfähigkeit der momentan verfügbaren Geräte und Programme. Diese Schwierigkeiten werden durch die Erfindung beseitigt. Das erfindungsgemäße Verfahren gestattet es, bei einer deratigen Tandemanordnung von Erfassungszonen mit mehreren Teilchen zwischen der ersten und der letzten Erfassunggzone zu arbeiten, ohne daß die Identitätsspur eines Teilchens verloren geht, so daß die Meßergebnisse jedem Teilchen exakt zugeordnet werden können.
Verfahren und Vorrichtung gemäß der Erfindung gestatten die Identifizierung von in einer Flüssigkeitssuspension befindlichen Teilchen und die Ermittlung von Informationen über diese. Das erfindungsgemäße Verfahren zeichnet sich dadurch aus, daß die flüssige Suspension nacheinander durch mehrere hintereinander angeordnete Erfassungszonen strömt. Jede Erfassungszone mißt
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beim Durchgang des Teilchens mindestens eine Teilcheneigenschaft. Außerdem ermittelt die Erfassungszone die zeitliche Zuordnung des gemessenen Teilchens gegenüber mindestens einem anderen Teilchen der Strömung, vorzugsweise dem vorhergehenden oder nachfol~ genden Teilchen, so daß man eine erste Meßreihe erhält mit der Zuordnung der Teilchen und ihrer Eigenschaften. Damit die Übereinstimmung bzw. Paarung der an getrennten Erfassungszonen ermittelten Teilcheneigenschaften und der Teilchen gewährleistet ist, wird der Teil der Meßreihe mit der zeitlichen Zuordnung einer Erfassungszone einem Teil der Meßreihe mit der zeitlichen Zuordnung an der vorhergehenden und der nachfolgenden Erfassungszone zugeordnet.
Wenn ein in Suspension befindliches Teilchen sämtliche Erfassungszonen passiert hat, wird die Suspension mit dem Teilchen auf einem Substrat so ausgelegt, daß man ein Muster voneinander getrennter Teilchen erhält. Die Folge der zeitlichen Zuordnungen einzelner Teilchen der Strömung beim Auslegen bestimmt die Folge der räumlichen Zuordnungen zwischen den einzelnen Teilchen des ausgelegten Musters. Die räumlichen Zuordnungen zwischen einzelnen Teilchen im ausgelegten Muster werden gemessen, woraus man eine zweite Folge von Meßergebnissen erhält, die dann zur Iidentifizierung eines im Muster ausgelegten Teilchens und seiner an jeder Erfassungszone ermittelten Eigenschaften der ersten Folge von Meßergebnissen an der letzten Erfassungszone zugeordnet wird.
In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung schematisch dargestellt.
Eine flüssige Teilchensuspension Io Windet sich unter dem Druck einer Luftdruckfelle Ik in einem Gefäß 12. Die flüssige Teilchensuspension steht über eine Leitung 18 mit einem Eintrittsrohr l6 für die flüssige Probe in Verbindung. Durch das Rohr 16 gelangt die flüssige Teilchensuspension in eine Durchflußkammer 2o.
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In einem Gefäß 24 befindet sieh eine als Umhüllung oder Mantel dienende^lüssigkeit 22, die über eine Druckluftqwlle 26 unter Druck steht. Über eine Leitung 3o steht die Mantelflüesigkeit 22 im Gefäß 24 mit einer zweiten Eintrittsöffnung 28 in Verbindung. Die Mantelflüssigkeit gelangt über die zweite Eintrittsöffnung 28 in die Durchflußkammer 2o und umschließt die flüssige Suspen» sion Io mit einem laminaren Mantel. Dadurch strömt die flüssige Suspension mit den Teilchen mit praktisch konstanter Strömungsgeschwindigkeit in der Mitte der Durchflußkammer 2o.
In einer bevorzugten Ausführungsform ist die Durchflußzelle 2o im Querschnitt kreisförmig, wobei der Teil mit dem größten Durchmesser an der Spitze des Probeneintrittsrohres 16 liegt und sich zu dem kleineren Durchmesser, in Strömungsrichtung hinter diesen Punkt, verjüngt.
Die Durchflußkammer 2o erstreckt sich über 3 Erfassungszonen 34, 36 und 38, die nacheinander, das Teilchenvolumen und die elektrische Undurchlässigkeit, die Farbaufnahme des Teilchens und seine Fluoreszenz und die Lichtstreuung nach verschiedenen Richtungen messen. Auch andere Arten von Erfassungszonen sind einsetzbar. Jede der Erfassungezonen hat eine eigene Erregungsenergiequelle 4o, 42 bzw. 44. Im Ausführungsbeispiel liefert die erste Quelle elektrische Energie und die zweite sowie die dritte Quelle jeweils einen Laserstrahl. Je nach der Verschiedenartig·· keit und Kompliziertheit der zu untersuchenden Teilchen and der gewünschten Entscheidungsfähigkeit der Einrichtung kommen weitere Realisierungen in Betracht. Die elektrischen Signale werden in der Elektronik 46 gespeichert und verglichen, beispielsweise vom anschließenden Trennen oder Sortieren der Zellen, wobei die Meß— ergebnisse zur permanenten Speicherung im Computer 48 in digitale Form umgewandelt werden.
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Es wird nicht nur das elektrische Signal der Erfassungszone 34 aufgenommen, sondern ein Abschnitt der Elektronik 46 mißt auch die zeitliche Zuordnung jedes erfaßten Teilchens gegenüber dem vorhergehenden Teilchen. Diese gemessene Zuordnung wird ebenfalls in digitale Form gebracht und einem Computer 48 zugeführt, so daß eine ganze Folge zeitlicher Zuordnungenessungen für die Erfassungszone 34 gespeichert vird.
Wie bereits erwähnt, sind die Erfassungezonen 34, 36 und 38 entlang der Durchflußkammer 2o in möglichst geringem Abstand hintereinander angeordnet. Dennoch beträgt der Abstand zwischen den Erfassungszonen mindestens mehrere cm. Nach dem Passieren der Erfassungezone 34 der DurchfluBkammer 2o geht das Teilchen durch den Lichtstrahl einer optischen Erfassungszone 36. Das elektrische Signal der Erfassungszone 36 beim Passieren des Teilchens geht zur Elektronik 46 und wird in eine Form gebracht, die schnell mit den Signalen der anderen Erfassungszonen vergleichbar ist. Nach der Umwandlung in digitale Form wird das Signal im Computer 48 gespeichert.
Die Elektronik 46 spricht nicht nur auf die Eigenschaften der Teilchen an, sondern mißt auch die zeitliche Zuordnung jedes Teilchens gegenüber dem unmittelbar "vorhergehenden, von der Erfassungssone 36 gemessenen Teilchen. Die zeitliche Zuordnung wird ebenfalls in digitale Form gebracht und dem Computer 48 zugeführt, wo die gesamte Folge von Meßergebnissen für die zeitliche Zuordnung in der Erfassungszone 36 gespeichert wird.
Das bereite bei seiner Abwärtsbewegung durch die DurchfluBkamraer 2o oben betrachtete Teilchen passiert dann einen Lichtstrahl zwischen einer Anordnung 38 mit Linse und Fotozelle und einer Lichtquelle 44. Die dabei bewirkte Veränderung des Lichtstrahles verursacht eine proportionale Änderung eines elektrischen Signales.
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Die Änderung betrifft die an diesem Detektor eu messende, spezielle Teilcheneigenschaft und bewirkt ein elektrisches Signal, das der Elektronik 46 ebenso wie bei den Erfassungszonen 34 und 36 zugeführt wird, zur Umwandlung in digitale Form. Außerdem ist das elektrische Signal dem Signal zugeordnet, das die Erfassungszone 38 beim Durchgang des Teilchens lieferte, und dem nachfolgenden, durch die Elektronik 46 erfaßten Teilchen, zur Ableitung einer Folge zeitlicher Zuordnungsmessungen für die Erfassungszone 38. Sowohl die zeitliche Zuordnung als auch die Teilcheneigenschaften werden im Computer 48 gespeichert.
Auf ähnliche Weise wird das Teilchen beim Passieren jeder weite·· ren Erfaasungszone der DurchfluBzelle 2o erfaßt. Die von den Detektoren ermittelten Teilcheneigenschaften werden im Computer 48 gespeichert, zusammen mit der zeitlichen Zuordnung zwischen dem erfaßten Teilchen und den an diesem Detektor erfaßten vorhergehenden und nachfolgenden Teilchen.
Beim dargestellten Ausführungsbeispiel gelangt jedes in Suspension befindliche Teilchen nach dem Passieren sämtlicher Detektoren der Durchflußkammer 2o in eine Spritzdüse 5o, die beispielsweise über einen piezoelektischen Wandler 52 mit einer Stromquelle 54 in Schwingungen versetzt wird. Durch diese Maßnahme teilt sich die Suspension mit den Teilchen in Tröpfchen gleicher Größe, die dann zu einem Substrat 56 gelangen, das im Ausführungsbeispiel der Objektträger eines Mikroskopes ist, dessen Schlitten 58 von einem Antrieb 60 mechanisch bewegt wird. Der Antrieb 60 bewegt den Schlitten 58 schwingend. Infolge dessen bilden die Tröpfchen 62 auf dem Objektträger 56 eine Schlangenlinie. Beim Abschreiten der Teilchen in den Tröpfchen auf dem Substrat 56 bilden die Zeitintervalle zusammen mit der Bewegungsgeschwindigkeit auf dem schlangenlinienformigen Muster des Substrates 56 das proportionale Raummuster. Dieses Raummuster wird beispielsweise durch ein Abtast-
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mikroskop, in ein Zeitmuster zuruckverwandelt und geht dann zur Elektronik 46, wo es in digitale Fora gebracht and im Computer 48 gespeichert wird.
Die Folge der ZeitZuordnungen, die in der Erfaesungszone 34 gemessen und im Computer 48 gespeichert ist, vird durch den Computer 48 mit der Folge der ZeitZuordnungen verglichen, die durch die Erfassungszone 36 gemessen und ebenfalls im Computer 48 ge— speichert sind. Die beiden Zuordnungen lassen sich einfach in Übereinstimmung bringen bzw. paarweise ordnen, da die Strömungsgeschwindigkeit annähernd bekannt und konstant und der Abstand zwischen den Erfassungszonen 34 und 36 mäßig ist, so daft die Korrelation zwischen den beiden Folgen von Zeitzuordnungen relativ einfach herzustellen ist. Sobald die Zuordnung einmal erreicht ist, werden auch die der Folge der Zeitzuordnungen entsprechenden Eigenschaften vom Computer 48 zugeordnet und vergli-chen.
Der_selbe Korrelationsablauf wird ausgeführt zwischen der Folge der von der Erfassungezone 36 gemessenen und im Computer 48 gespeicherten Zeitzuordnungen und der Folge der von der Erfassungszone 38 gemessenen und ebenfalls vom Computer 48 gespeicherten Folge von Zeitzuordnungen:. Infolge der engen räumlichen Anordnung der Erfassungszonen 36 und 38 entlang der Durchflußkammer 2o derart, daß jedes Teilchen diese Detektoren nacheinander passiert, laßt sich die Zuordnung zwischen der zeitlichen Folge an der Erfassungszone 36 und der zeitliehen Zuordnung an der Erfassungszone 38 relativ einfach erreichen. Die Korrelation der Zeitfolge, gemessen von der Erfassungezone 38, die mit den anderen Erfassungszonen entlang der Durchflußkammer 2o in Reihe geschaltet ist, erfolgt auch durch den Computer 48, wobei diese Korrelationen praktisch gleichzeitig nach dem Durchgang durch die letzte Erfassungezone erfolgen können , damit ein Ablenkungssystem 52 aktivierbar ist, auf kontinuierlicher Basis. Beim vorlie-
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genden Ausführungsbeispiel erfolgt die Betätigung des Ablenkung»— systems 52 je nachdem, ob Teilchen in der Strömung an der Erfassungszone 38 vorhanden sind oder nicht, so daß sämtliche Teilchen verarbeitet werden und nur die nicht mehr brauchbare Trägerflüssigkeit beseitigt wird, wodurch die Pfützenbildung wie auch die Bewegung der auf dem Substrat 56 festgehaltenen Teilchen minimal wird.
Wie bereits erwähnt, wird auch die räumliche Zuordnung der auf dem Substrat abgeschiedenen Teilchen gemessen. Auch diese Meßer— gebnisse werden in eine zeitliche Folge zurückverwandelt und ebenfalls im Computer k8 gespeichert. Diese Meßreihe wird verglichen mit der zeitlichen Folge von Messungen, die an der Erfassungszone ausgeführt wird, bevor die Teilchen die Durchfluß— kammer 2o verlassen, so daß eine Korrelation der Muster erreichbar ist. Mit dem Erreichen der Korrelation sind auch die von den Detektoren entlang der Durchflußkammer 2o erfaßten Teilcheaeigenschaften und die räumliche Lage der Teilchen auf dem Substrat 56 zugeordnet. Damit an jedes Teilchen auf einer bestimmten Stelle des Substrates abgeschieden werden, wobei seine im Computer gespeicherten, räumlichen Eigenschaften jedem Teilchen richtig zugeordnet werden können.
Es wird wieder darauf hingewiesen, daß die Korrelationen zwischen benachbarten Erfassungszonen erfolgen, beispielsweise zwischen den Erfassungezonen 36 und 38, und nicht zwischen den Erfassungezonen Jk und 38 oder dem Substrat 56. Die Korrelation benachbarter Detektoren hat den Vorteil, daß die zeitlichen Schwankungen der Intervalle, hervorgerufen durch eine regellose Zufallsbewegung im Durchflußsystem, und der Abstand zwischen entsprechenden Erfassungszonen minimal bleiben. Eine Korrelation von nicht benachbarten Erfasiungszonen ist weit weniger zuverlässig, da sich die Zeitfehler in der zeitlichen Folge mit jeder der nicht benachbarten Erfassungszonen
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akkumulieren. Davit die Möglichkeit einer falschen Korrelation minimal bleibt und eine Korrelation der Eigenschaften möglich ist, die an einer Reihe von getrennten Erfassungezonen ermittelt wurden, zusammen mit einer maximalen Teilchenkonzentration, damit möglichst viele Teilchen pro Sekunge meßbar sind, ist die Korrelation benachbarter Erfassungezonen unbedingt vorzuziehen.
Die Art und Weise der Messung eines zeitlichen Musters an einer Erfassungszone und der Zuordnung eines von einem Substrat gemessenen zeitlichen Musters, ist an sich bekannt. Die gleiche Korre lationsmethode ist anwendbar auf die Korrelation benachbarter Erfassungszonen und der letzten Erfassungszone entlang der Durch-
flußkammer 2o und dem Substrat 56. Patentanwälte
DIpK-mg. E. Eder Dipl.-Ing. K. Schieschko 8München tu, fcJisaijeuiairaße 34
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-4 t-
L e e r s e i t e

Claims (7)

Patentansprüche
1. Verfahren zur Ermittlung von Information über die Eigenschafv—ten von in einer Flüssigkeit suspendierten Teilchen, dadurch gekennzei chnet
a) daß die Flüssigkeit mehrere Erfassungszonen derart durchströmt, daß jedes Teilchen diese Erfassungszonen nacheinander passiert,
b) daß in jeder Erfassungszone mindestens eine Eigenschaft eines Teilchens und die zeitliche Zuordnung dieses Teilchens gegenüber mindestens einem anderen Teilchen gemessen wird, so daß man zu den einzelnen Teilchen eine Meßreihe erhält, die die zeitliche Zuordnung und die Eigenschaften der Teilchen umfaßt, und
c) daß zwischen dem Teil der Meßreihe mit der zeitlichen Zuordnung einer Erfassungszone und einem Teil der Meßreihe mit der zeitlichen Zuordnung an der vorhergehenden und der nachfolgenden Erfassungszone eine derartige Korrelation hergestellt wird, daß die von den Erfassungszonen ermittelten Teilcheneigenschaften zu dem jeweiligen Teilchen gehören.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der ersten und der letzten Erfassungszone eine Reihe weiterer Erfassungszonen liegt » daß ■ die Korrelation zwischen der ersten Erfassungezone und der zweiten Erfassungszone sowie zwischen der letzten Erfassungezone und der vorhergehenden Erfassungszone erfolgt und daß der Teil der Meßreihe mit der zeitlichen Zuordnung jeder Zone zwischen der ersten und letzten
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Zone einer der vorhergehenden oder nachfolgenden Zonen und deren Messungen zugeordnet wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Suspensionsströmung auf einem Substrat in einem Muster voneinander getrennter Teilchen abgeschieden wird, wobei die Folge der zeitlichen Zuordnungen der einzelnen Teilchen der Strömung beim Auslegen die Folge der räumlichen Zuordnung zwischen den einzelnen Teilchen im ausgelegten Muster bestimmt, daß die räumliche Zuordnung der ausgelegten Teilchen zwischen einzelnen Teilchen für mehrere Teilchen im ausgelegten Muster gemessen wird, zur Ableitung einer zweiten Meßreihe, und daß zur Identifizierung eines Teilchens im ausgelegten Muster und seiner gemessenen Eigenschaften eine Korrelation der ersten und der zweiten Meßreihe herbeigeführt wird.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3» dadurch gekennzeichnet, daß die Korrelation kontinuierlich erfolgt.
5. Verfahren nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Messung und das Abschreiten der Strömung auf dem Substrat kontinuierlich erfolgt.
6. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach den vorhergehenden Ansprüchen, wobei mehrere Erfassungseinrichtungen im Abstand angeordnet sind, die von den Teilchen nacheinander passiert werden, wobei jede Erfassungseinrichtung mindestens eine Teilcheneigenschaft mißt, dadurch gekennzeichnet, daß in der Folge der Eigenschaften der Teilchen (62) an jede Erfassungseinrichtung (3^> 36, 38) eine zeitliche Zuordnung vorhanden ist, die ein erstes Muster bildet, daß ein Gedächtnis (48) das erste Muster jeder Erfassungseinrichtung und die gemessenen Eigenschaften speichert und daß eine Korrelationseinrichtung
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das erste Muster jeder Erfassungseinrichtung und das erste Muster der vorhergehenden und der nachfolgenden Erfassungseinrichtung se zuordnet, daß die seitlichen Muster und die Teilcheneigenschaften zusammenpassen.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch eine Einrichtung (5o) sun Auslegen oder Abscheiden der flüssigen Suspension auf einem Substrat(56)in Form eines «weiten Musters, vobei die Teilchen des «weiten Mustere eine räumliche Zuordnung aufweisen, die festgehalten wird, wobei die Korrelationseinrichtung die Folge der räumlichen Zuordnungen zwischen den Teilchen des zweiten Musters dem ersten Muster zuordnet, so daß die Teilchen und ihre Eigenschaften zusammenpassen.
WpUing Wp».-Ing. K.
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