DE2744299C2 - Verfahren zum elektrischen Prüfen eines Leiterbahnmusters auf einem Substrat - Google Patents

Verfahren zum elektrischen Prüfen eines Leiterbahnmusters auf einem Substrat

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4012839B4 (de) * 1989-04-26 2004-02-26 Atg Test Systems Gmbh & Co.Kg Verfahren und Prüfvorrichtung zum Prüfen von elektrischen oder elektronischen Prüflingen

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4227149A (en) * 1978-05-30 1980-10-07 International Business Machines Corporation Sensing probe for determining location of conductive features
JPS5626788A (en) * 1979-08-14 1981-03-14 Asahi Glass Co Ltd Solder bonding device for ceramic body
US4305207A (en) * 1979-10-01 1981-12-15 Lantz Dane A Three-axis inspection machine
US4510445A (en) * 1981-11-02 1985-04-09 Joseph Kvaternik Miniature circuit processing devices and matrix test heads for use therein
US4573254A (en) * 1984-12-24 1986-03-04 Sperry Corporation Apparatus for maintaining electronic component pin alignment
JPS6465848A (en) * 1987-09-04 1989-03-13 Canon Kk Alignment
US4939847A (en) * 1989-02-09 1990-07-10 Gte Products Corporation True position gauge
US5397996A (en) * 1993-03-01 1995-03-14 Keezer; David A. Continuity tester using a brush tipped probe
US5543724A (en) * 1994-10-03 1996-08-06 Motorola, Inc. Method and apparatus for locating conductive features and testing semiconductor devices
US6405448B1 (en) * 2000-07-07 2002-06-18 Industrial Powder Coatings, Inc. Hang pattern verification tool
KR100422900B1 (ko) * 2001-05-10 2004-03-12 삼성전자주식회사 기준각 제공장치
US20090302874A1 (en) * 2008-06-06 2009-12-10 International Business Machines Corporation Method and apparatus for signal probe contact with circuit board vias
JP2012103081A (ja) * 2010-11-09 2012-05-31 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 穴検査装置
US8838408B2 (en) 2010-11-11 2014-09-16 Optimal Plus Ltd Misalignment indication decision system and method
CN102445140A (zh) * 2011-09-21 2012-05-09 东莞生益电子有限公司 多层线路板对准度的测试装置及测试方法
WO2014002078A1 (en) * 2012-06-29 2014-01-03 Hydrovision Asia Pte Ltd An improved suspended sediment meter
JP6042761B2 (ja) * 2013-03-28 2016-12-14 東京エレクトロン株式会社 プローブ装置
KR20220004326A (ko) * 2020-07-03 2022-01-11 삼성전기주식회사 기판 구조체
CN112327021A (zh) * 2020-11-13 2021-02-05 中山市迅科达智能科技有限公司 一种产品测试装置
JP7632973B2 (ja) * 2021-05-31 2025-02-19 東京エレクトロン株式会社 アライメント方法及び検査装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2972815A (en) * 1957-02-08 1961-02-28 Western Electric Co Device for checking and indicating the position of portions of an article
DE2013206A1 (de) * 1969-04-01 1970-10-15 Amp Inc., Harrisburg, Pa. (V.St.A.) Koordinatenstellungs-Anzeigegerät
NL7002821A (en:Method) * 1970-02-27 1971-08-31
US3628497A (en) * 1970-12-14 1971-12-21 Franklin D Neu Connection point locating apparatus
US3777260A (en) * 1972-12-14 1973-12-04 Ibm Grid for making electrical contact
US3806800A (en) * 1972-12-26 1974-04-23 Ibm Method and apparatus for determining the location of electrically conductive members on a structure

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4012839B4 (de) * 1989-04-26 2004-02-26 Atg Test Systems Gmbh & Co.Kg Verfahren und Prüfvorrichtung zum Prüfen von elektrischen oder elektronischen Prüflingen

Also Published As

Publication number Publication date
US4052793A (en) 1977-10-11
JPS5345181A (en) 1978-04-22
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JPS5347668B2 (en:Method) 1978-12-22
DE2744299A1 (de) 1978-04-06
GB1588437A (en) 1981-04-23
FR2366577B1 (en:Method) 1980-02-01

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