DE19714941A1 - Meßkarte und Ein/Ausgang-Anschlußtestsystem unter Verwendung derselben - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Meßkarte, auf welcher ein zu messendes Bauelement (nachfolgend auch DUT, getestetes Bauelement bzw. Device Under Test genannt) einer integrierten Speicherschaltung usw. angebracht wird, und ein EIN/AUSGANG-An­ schluß(nachfolgend auch I/O-Anschluß)-Testsystem unter Verwen­ dung der Meßkarte.

Beim I/O-Anschluß-Testen eines DUT wird dieses auf einer Meß­ karte angebracht, und die Arbeitsweise bzw. der Betrieb des DUT unter vorgeschriebener Betriebsbedingung wird verifiziert, wäh­ rend der Eingang und Ausgang des I/O-Anschlusses des angebrach­ ten DUT durch einen I/O-Schalter umgeschaltet wird. Der I/O-An­ schluß-Test für eine integrierte Schaltung, wie etwa einen Speicher, kann mit hoher Geschwindigkeit durchgeführt werden, indem von Hochgeschwindigkeitseingangssignalen Gebrauch gemacht wird, um einen Geschwindigkeitstest eines Hochgeschwindigkeits- IC bzw. IC mit höherer Geschwindigkeit innerhalb einer verrin­ gerten Testzeit durchführen zu können. Im Fall eines Systems, das einen I/O-Anschluß-Umschalter verwendet, wie vorstehend er­ läutert, haben sich jedoch die folgenden Probleme ergeben.

Bei einem System, das den I/O-Schalter verwendet, kann der I/O- Schalter aufgrund einer Beschränkung der Größe bzw. Abmessung des I/O-Schalters nicht nahe an dem DUT auf der Meßkarte ange­ ordnet werden. Wenn der I/O-Anschluß-Test mit hoher Geschwin­ digkeit durchgeführt wird, tritt deshalb eine Kollision zwi­ schen einem Eingangssignal und einem Ausgangssignal aufgrund einer Verzögerung (Rundlaufverzögerung) zwischen dem I/O-Schal­ ter und dem DUT auf.

Um das vorstehend genannte Problem zu lösen, ist ein I/O-An­ schluß-Testsystem vorgeschlagen worden, das in der Lage ist, das Testen unter Verwendung einer Stiftelektronikschaltung durchzuführen, die aus einem Treiber, einem Komparator und der­ gleichen besteht, um den Treiber (Eingangsseite) vom Komparator (Ausgangsseite) zu trennen. Ein Beispiel dieses Systems ist in Fig. 1 gezeigt.

Wie in Fig. 1 gezeigt, ist ein DUT 100 auf der Meßkarte ange­ bracht, und ein Treiber 102 und ein Komparator 103 sind mit seinem I/O-Anschluß über Übertragungsleitungen (bzw. Koaxialka­ bel) 101a und 101b verbunden. Eine Eingangssignalleitung von dem Treiber 102 ist durch einen Abschlußwiderstand Z0 im Trei­ ber 102 abgeschlossen, und eine Ausgangssignalleitung zu dem Komparator 103 ist durch einen Abschlußwiderstand Z0 in dem Komparator 103 abgeschlossen.

In diesem I/O-Anschluß-Testsystem wird ein Eingangssignal von dem Treiber 102 in das DUT 100 eingegeben, ein vorbestimmter Betrieb wird in dem DUT 100 auf der Grundlage des Eingangs­ signals durchgeführt, und sein Ergebnis wird als Ausgangssignal zu dem Komparator 103 gesendet. In dem Komparator 103 wird ein Vergleich zwischen dem Eingangssignal und einem Erwartungswert ausgeführt, und der Betrieb des I/O-Anschlusses des DUT 100 wird auf der Grundlage des Vergleichsergebnisses durchgeführt. Da bei diesem I/O-Anschluß-Testsystem die Treiberseite und die Komparatorseite jeweils durch den Abschlußwiderstand abge­ schlossen sind, ist die Messung jedoch auf ein DUT beschränkt, das einen großen Ausgangsstrom hat. Die Messung kann deshalb nicht beispielsweise für ein CMOS-Bauelement und dergleichen durchgeführt werden, die kleine Ausgangsströme aufweisen.

Als System, das in der Lage ist, einen Test des I/O-Anschlusses des CMOS-Bauelements durchzuführen, steht ein System zur Verfü­ gung, wie es beispielsweise in Fig. 2 gezeigt ist, das einen FET-Schalter 104 und einen Pufferverstärker 105 aufweist, die in der Nähe des I/O-Anschlusses des DUT vorgesehen sind, der auf der Meßkarte mit dem vorstehend genannten Systemaufbau an­ gebracht ist. Wie in Fig. 2 gezeigt, ist der FET-Schalter 104 mit einer Verbindungsleitung zwischen der Übertragungsleitung 101a und dem I/O-Anschluß versehen, und ein Treiber 102 zum Durchführen der Schaltersteuerung ist mit seinem Gate über eine Übertragungsleitung 101a′ verbunden. Der Pufferverstärker 105 ist mit einer Verbindungsleitung zwischen der Übertragungslei­ tung 101b und dem I/O-Anschluß versehen, und er puffert ein Ausgangssignal von dem DUT 100.

Bei diesem I/O-Anschluß-Testsystem wird ein Eingangssignal von dem Treiber 102 in das DUT 100 mit dem FET-Schalter 104 im ein­ geschalteten Zustand eingegeben. Wenn ein Ausgangssignal von dem DUT 100 auf der Grundlage seines Eingangssignals ausgegeben wird, wird der FET-Schalter 104 ausgeschaltet, und das Aus­ gangssignal wird durch den Pufferverstärker 105 verstärkt und daraufhin in den Komparator 103 eingegeben.

Dadurch lassen sich die den vorstehend angeführten herkömm­ lichen I/O-Anschluß-Testsystemen innewohnenden Probleme wie folgt zusammenfassen.

Im Fall des Systems, bei welchem der I/O-Schalter nicht nahe an dem DUT auf der Meßkarte angebracht werden kann, tritt eine Kollision zwischen einem Eingangssignal und einem Ausgangs­ signal aufgrund einer Verzögerung (Rundlaufverzögerung) zwi­ schen dem I/O-Schalter und dem DUT auf, und dies macht es un­ möglich, ein genaues Testergebnis zu erhalten.

Im Fall des in Fig. 1 gezeigten Systems kann lediglich ein DUT gemessen werden, das einen großen Ausgangsstrom hat, und dies macht es unmöglich, ein CMOS-Bauelement und dergleichen zu mes­ sen, die kleine Ausgangsströme haben.

Obwohl ein CMOS-Bauelement und dergleichen, die kleine Aus­ gangsströme aufweisen, im Falle des in Fig. 2 gezeigten Systems gemessen werden können, ist es schwierig, wenn eine Anzahl von I/O-Anschlüssen vorliegt, einen FET-Schalter und einen Puffer­ verstärker in der Nähe von jedem I/O-Anschluß vorzusehen. Außerdem stellt sich das Problem einer Verformung bzw. Verzer­ rung, die in der Wellenform eines Eingangssignals auftritt, und zwar aufgrund von parasitären Kapazitäten des FET-Schalters. Wenn ein FET mit niedriger parasitärer Kapazität unter hoher Geschwindigkeit verwendet wird, tritt Stromauslecken zwischen seinem Gate und seinem Drain und zwischen dem Gate und seiner Source auf. Dieses Stromauslecken führt zu einer Verringerung der Genauigkeit bei der Gleichstrommessung (durch den I/O-An­ schluß fließender Gleichstrom wird gemessen), der im I/O-An­ schluß-Test enthalten ist.

Die vorliegende Erfindung wurde angesichts der vorstehend ge­ kannten Probleme zu deren Lösung gemacht. Eine Aufgabe der Er­ findung besteht demnach darin, eine Meßkarte zu schaffen, die es erlaubt, daß ein I/O-Schalter in der Nähe eines I/O-An­ schlusses auf der Karte gebildet bzw. vorgesehen werden kann, und daß eine hochgenaue Messung durchgeführt werden kann, ohne eine Verformung bzw. Verzerrung der Eingangssignal-Wellenform zu erzeugen. Eine weitere Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein I/O-Anschluß-Testsystem unter Verwendung dieser Meßkarte bereitzustellen.

Gelöst wird diese Aufgabe hinsichtlich der Meßkarte durch die Merkmale des Anspruchs 1 und hinsichtlich des I/O-Anschluß- Testsystems durch die Merkmale des Anspruchs 6.

Gemäß einem Aspekt schafft die Erfindung demnach eine Meßkarte, auf der ein zu messendes Bauelement zum Testen eines I/O-An­ schlusses angebracht werden kann, aufweisend einen optisch ge­ triebenen Schalter, der aus einem photoleitenden Schalter be­ steht, der durch Bilden von Elektroden mit einem Spalt einer vorbestimmten Breite auf einem Halbleitersubstrat und einem Leuchtmittel bzw. Luminophor gebildet ist, wobei der optisch getriebene Schalter und das Leuchtmittel in der Nähe der Karte angeordnet sind und das Umschalten für den I/O-Anschluß durch den optisch getriebenen Schalter erfolgt.

In diesem Fall kann es sich bei dem luminophoren Element bzw. Leuchtmittelelement um einen Halbleiterlaser handeln.

Bei dem halbisolierenden Halbleitersubstrat kann es sich um ein Halbleitersubstrat der Verbindungsgruppe III-V oder um ein pho­ toleitendes Halbleitersubstrat handeln.

Der optisch getriebene Schalter kann in sowohl der Eingangs­ wie der Ausgangsleitung des I/O-Anschlusses auf der Karte vor­ gesehen sein.

Außerdem können mehrere derartige optisch getriebene Schalter in Array- bzw. Gruppierungsform vorgesehen sein, und zwar in einem Gehäuse bzw. einem Paket untergebracht, und das Umschal­ ten zwischen einem Eingang und einem Ausgang wird über das Ge­ häuse im Bereich des I/O-Anschlusses auf der Karte durchge­ führt.

Gemäß dem erfindungsgemäßen I/O-Anschluß-Testsystem sind eine der vorstehend erläuterten Ausführungsformen der Meßkarten und ein Tester zum Durchführen eines speziellen I/O-Anschluß-Tests für das Bauelement, das gemessen werden soll, vorgesehen, indem das Eingangs- und Ausgangsumschalten des I/O-Anschlusses durch den optisch getriebenen Schalter auf der Meßkarte gesteuert wird.

Da in Übereinstimmung mit dem vorstehend genannten Aufbau der erfindungsgemäßen Meßkarte die Größe des optisch getriebenen Schalters mehrere Millimeter oder weniger beträgt (wie im ein­ zelnen nachfolgend erläutert), ist es möglich, ihn im (unmittelbaren) Bereich des I/O-Anschlusses auf der Karte vor­ zusehen. Eine derartige Ausbildung des optisch getriebenen Schalters in der unmittelbaren Umgebung des I/O-Anschlusses auf der Karte erlaubt es, daß eine Verzögerung (Rundlaufverzögerung) verringert wird, die beim Stand der Tech­ nik auftritt, deutlich verringert ist. Infolge davon tritt eine Kollision zwischen dem Eingangssignal und dem Ausgangssignal nicht auf, die im übrigen so wie im herkömmlichen Fall gemessen werden.

Da außerdem das Umschalten des optisch getriebenen Schalters durch ein Ausgangslicht von dem Halbleiterlaser durchgeführt wird, kann ein Stromauslecken verhindert werden, daß bei dem FET-Schalter bislang aufgetreten ist. Infolge davon tritt keine Verringerung der Genauigkeit bei der Gleichstrommessung im Ge­ gensatz zum Stand der Technik auf.

Darüber hinaus kann der Elektrodenraum bzw. -abstand des photo­ leitenden Schalters, der den optisch getriebenen Schalter bil­ det, auf mehrere Mikrometer eingestellt werden. Aufgrund eines derartig geringen Elektrodenzwischenraums werden selbst dann, wenn die parasitäre Kapazität des optisch getriebenen Schalters klein ist und die Geschwindigkeit der Eingangs- und Ausgangs­ signale erhöht wird, deren Wellenformen nicht verformt.

Die vorliegende Erfindung mit dem vorstehend geschilderten Auf­ bau ist von Vorteil, wenn genaue Testergebnisse erzielt werden sollen, weil keine Kollision zwischen den Eingangs- und Aus­ gangssignalen auftritt. Außerdem ist die Erfindung auch für den Fall einsetzbar, wenn die Geschwindigkeiten der Eingangs- und Ausgangssignale stärker erhöht werden als herkömmlich möglich und wenn die I/O-Anschluß-Testperiode verkürzt werden soll, und zwar aufgrund einer geringen Verzögerung (Rundlaufverzögerung).

Da darüber hinaus kein Stromauslecken auftritt, wie dies beim FET-Schalter gemäß dem Stand der Technik der Fall ist, kann die Genauigkeit der Gleichstrommessung verbessert werden. Da kein mechanisch angetriebener Teil im Schalter vorhanden ist, tritt keine Testunterbrechung aufgrund einer Schalterstörung auf.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand der Zeichnung beispiel­ haft näher erläutert; es zeigen:

Fig. 1 den Aufbau der I/O-Anschlußeingangs- und -Ausgangsteile eines herkömmlichen I/O-Anschluß-Testsystems,

Fig. 2 einen Aufbau der I/O-Anschlußeingangs- und -Aus­ gangsteile eines I/O-Anschluß-Testsystems, das in der Lage ist, ein CMOS-Bauelement zu testen und zu messen,

Fig. 3 den Aufbau einer Meßkarte gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung,

Fig. 4 schematisch einen optisch getriebenen Schalter, der in der Meßkarte von Fig. 3 enthalten ist, und

Fig. 5 ein Blockdiagramm eines Beispiels eines I/O-Anschluß- Testsystems, das die in Fig. 3 gezeigte Meßkarte verwendet.

Fig. 1 und 2 wurden bereits einleitend zum Stand der Technik erläutert. Die Erfindung wird nunmehr anhand der Fig. 3 bis 5 näher erläutert.

Fig. 3 zeigt den Aufbau einer Ausführungsform der erfindungsge­ mäßen Meßkarte. Demnach hat eine Meßkarte 10 die Form einer (kreisförmigen) Platte und ein DUT 11 (zu testendes Bauelement) ist in ihrer Mitte angebracht. Im Bereich des DUT 11-Montage­ teils sind mehrere Anschlüsse 12 mit festgelegten Zwischenräu­ men in Umfangsrichtung gebildet. Verdrahtungen bzw. Drahtan­ schlüsse 13 sind radial an jedem Anschluß in einer Außenum­ fangsrichtung gebildet. Ein Anschluß 14 ist am Ende jedes Drahts gebildet. Der I/O-Anschluß 11a des DUT 11 ist mit zwei Anschlüssen (Anschlüsse 12a und 12b) verbunden, die in seiner Umgebung angeordnet sind. Einer dieser Anschlüsse (Anschluß 12a) wird zur Signalausgabe verwendet und der andere Anschluß (Anschluß 12b) wird zur Signaleingabe verwendet. Ein optisch getriebener Schalter 21 ist in einem Draht 13a gebildet, der mit dem Eingangsanschluß 12a verbunden ist, und ein optisch ge­ triebener Schalter 22 ist in einem weiteren Draht 13b gebildet, der mit dem Ausgangsanschluß 12b verbunden ist.

Jeder der vorstehend genannten optisch getriebenen Schalter 21 und 22 hat den in Fig. 4 gezeigten Aufbau. Insbesondere besteht jeder dieser Schalter aus einem photoleitenden Schalter, der Elektroden 2 und 3 mit einem festgelegten Elektrodenspalt auf einem halbisolierenden Halbleitersubstrat 1 aufweist, das aus einem Element der Gruppe III-V gebildet ist, beispielsweise aus einem phosphorizierendem Indium, aus einem Verbindungshalblei­ tersubstrat oder einem Galliumarsen- oder Silicium-photoleiten­ den Halbleitersubstrat, wobei eine Halbleiterdiode 4 so vorge­ sehen ist, daß sie den Elektrodenspalt bestrahlt. Die Halblei­ terlaserdiode 4 hat eine mehrere Millimeter betragende Größe und ist mit dem photoleitenden Schaltersubstrat durch Löten usw. verbunden. Die Elektroden 2 und 3 sind durch einen bekann­ ten Lift-Off- bzw. Abziehprozeß gebildet, d. h. durch einen Pro­ zeß, während welchem eine Metalldünnschicht durch Dampfabschei­ den eines Metalls gebildet wird, die in eine Elektrode über­ führt wird, nachdem sie mit einem Resist beschichtet wurde, der mit UV-Licht mittels einer Maske belichtet wurde, die ein vor­ bestimmtes Muster aufweist, und der entwickelt wurde, um den Resist in dem belichteten Teil zu beseitigen, wobei das Metall bzw. die Dünnschicht in dem nicht-belichteten Teil zusammen mit dem Resist beseitigt (abgezogen) wird. Dieses Herstellungsver­ fahren ermöglicht einen Elektrodenabstand in der Größenordnung von Mikrometer. Auf der Grundlage eines derartig optisch ge­ triebenen Schalters kann ein Schalter realisiert werden, der insgesamt wenige Millimeter groß ist. Im Schalter wird die Halbleiterlaserdiode 4 verwendet. Es kann jedoch jede Art von Lichtquelle verwendet werden, deren Lichtemission elektrisch bzw. elektronisch gesteuert werden kann. Beispielsweise können verschiedene Halbleiterlaser verwendet werden.

In den derart aufgebauten optisch getriebenen Schaltern 21 und 22 wird, nachdem eine bestimmte Spannung zwischen den Elektro­ den 2 und 3 angelegt und Licht von der Halbleiterlaserdiode 4 ausgestrahlt wurde, die elektrische Leitfähigkeit durch einen Träger erhöht, der in dem halbisolierenden Halbleitersubstrat 1 erzeugt wurde, wodurch ein Widerstandswert der Elektroden 2 und 3 verringert wird. Wenn kein Licht ausgestrahlt wird, wird zwi­ schen den Elektroden 2 und 3 eine Isolation gebildet. Dadurch kann ein Umschalten durch einfallendes Bestrahlungslicht durch­ geführt werden.

Bei der Meßkarte gemäß dieser Ausführungsform wird das Ein­ gangs- und Ausgangsumschalten des I/O-Anschlusses durch Steuern der optisch getriebenen Schalter 21 und 22 durchgeführt, und das Testen des I/O-Anschlusses des auf der Karte angebrachten DUT wird ausgeführt.

Fig. 5 zeigt ein Beispiel eines I/O-Anschluß-Testsystems unter Verwendung der in Fig. 3 gezeigten Meßkarte.

Wie in Fig. 5 gezeigt, besteht das I/O-Anschluß-Testsystem aus einer Meßkarte 30 und einem Tester 40. Die Meßkarte 30 hat den Aufbau der in Fig. 3 gezeigten Meßkarte, auf der ein DUT 31 in der Mitte angebracht ist. Am I/O-Anschluß dieses DUT 31 sind jeweils eine Ausgangssignalleitung 34 über einen optisch ge­ triebenen Schalter 32 und eine Eingangssignalleitung 35 über einen optisch getriebenen Schalter 33 angeschlossen.

Der Tester 40 besteht aus einer Steuereinheit 41, optisch ge­ triebenen Schaltertreibern 42 und 43 zum jeweiligen Treiben der optisch getriebenen Schalter 32 und 33, einem Testmustergenera­ tor 44 zum Erzeugen eines Testmusters für ein Schreib-/Lese­ signal und dergleichen, einem Treiber 45 zum Aussenden eines Eingangssignals auf der Grundlage des Testmusters zu der Eingangssignalleitung 35 und einem Komparator 46, in welchen ein Ausgangssignal von dem DUT 31 auf der Grundlage des Testmu­ sters über die Ausgangssignalleitung 34 eingegeben wird.

Als nächstes wird die Arbeitsweise des vorstehend genannten I/O-Anschluß-Testsystems erläutert. Die Erläuterung erfolgt für den Fall, daß der Betriebstest beispielsweise als Test des I/O- Anschlusses des DUT 31, beispielsweise einer eingebauten inte­ grierten Speicherschaltung durchgeführt wird.

Wenn ein festgelegtes Testmuster für ein Schreib-/Lesesignal in dem Testmustergenerator 44 innerhalb des Testers 40 erzeugt wird, wird ein Eingangssignal auf der Grundlage des Testmusters von dem Treiber 45 in das DUT 31 eingegeben. Zu diesem Zeit­ punkt steuert die Steuereinheit 41 die optisch getriebenen Schaltertreiber 42 und 43 derart, daß der optisch getriebene Schalter 33 (laserdiodengetrieben) EIN-geschaltet und der op­ tisch getriebene Schalter 32 AUS-geschaltet wird.

Nachdem das Eingangssignal auf Grundlage des Testmusters von dem Treiber 45 durch die Eingangssignalleitung 35 in den DUT 31 eingegeben wurde, wird in dem DUT 31 ein vorbestimmter Betrieb auf Grundlage des Eingangssignals durchgeführt, und sein Ergeb­ nis wird als Ausgangssignal zu der Ausgangssignalleitung 34 ausgesendet. Zu diesem Zeitpunkt steuert die Steuereinheit 41 die optisch getriebenen Schaltertreiber 42 und 43 derart, daß der optisch getriebene Schalter 33 AUS-geschaltet und der op­ tisch getriebene Schalter 32 (laserdiodengetrieben) EIN-ge­ schaltet wird. Auf diese Weise wird das Ausgangssignal, das von dem DUT 31 ausgesendet wird, durch die Ausgangssignalleitung 34 in den Komparator 46 in dem Tester 40 eingegeben.

In dem Komparator 46 erfolgt ein Vergleich zwischen dem Ein­ gangssignal und einem Erwartungswert, und auf der Grundlage seines Vergleichsergebnisses wird eine Verifikation für den Be­ trieb des I/O-Anschlusses des DUT 31 durchgeführt.

Der vorstehend angeführte jeweilige Aufbau für das I/O-An­ schluß-Testsystem und die Meßkarte sind nicht auf den optisch getriebenen Schalter 32 (laserdiodengetrieben) beschränkt. Auf diese Weise wird das Ausgangssignal, das von dem DUT 31 ausge­ sendet wird, durch die Ausgangssignalleitung 34 in den Kompara­ tor 46 in dem Tester 40 eingegeben.

In dem Komparator 46 erfolgt ein Vergleich zwischen dem Ein­ gangssignal und einem Erwartungswert, und auf der Grundlage seines Vergleichsergebnisses wird eine Verifikation für den Be­ trieb bzw. die Arbeitsweise des I/O-Anschlusses des DUT 31 durchgeführt.

Der jeweilige vorstehend genannte Aufbau zum I/O-Anschluß-Te­ sten ist nicht notwendigerweise auf die in den Zeichnungen ge­ zeigten Ausführungsformen beschränkt; vielmehr können geeignete Aufbauten entsprechend der Art des DUT und den Meßbedingungen gewählt werden. Beispielsweise ist in Fig. 5 der optisch ge­ triebene Schalter in jeder Leitung zur Impedanzanpassung zwi­ schen der Eingangssignalleitung und der Ausgangssignalleitung vorgesehen. Im Fall, daß ein DUT getestet wird, das den An­ schlußwiderstand nutzen kann, kann der optisch getriebene Schalter lediglich in der Eingangssignalleitung vorgesehen sein, und die Ausgangssignalleitung kann durch den Abschlußwi­ derstand abgeschlossen sein. Obwohl die in Fig. 5 gezeigte Meß­ karte in Plattenform gebildet ist, sind andere Formen für sie möglich.

Bei der in Fig. 5 gezeigten Ausführungsform wird ein Aufbau ver­ wendet, demnach die optisch getriebenen Schalter 32 und 33 ein­ zeln in der Ausgangssignalleitung 34 und der Eingangssignallei­ tung 35 vorgesehen sind. Es kann jedoch ein anderer Aufbau ver­ wendet werden, bei welchem mehrere optisch getriebene Schalter in Array- bzw. Gruppenform angeordnet und in einem Gehäuse un­ tergebracht sein können. In diesem Fall kann die Meßkarte zur Aufnahme eines DUT als rechteckiges Substrat gebildet sein, und die Eingangs- und Ausgangsumschaltvorgänge können durch das die Schalter enthaltende Gehäuse im unmittelbaren Bereich des I/O- Anschlusses durchgeführt werden. Jeder optisch getriebene Schalter in dem Gehäuse wird unabhängig getrieben und lediglich der optisch getriebene Schalter, der mit dem I/O-Anschluß ver­ bunden ist, kann getrieben werden. Dieses Gehäuse kann auch so vorgesehen sein, daß es unabhängig von der Meßkarte vorliegt oder daß es auf der Meßkarte angebracht ist. Da die optisch ge­ triebenen Schalter in Array- bzw. Gruppenform vorgesehen und im Gehäuse untergebracht sind, wie vorstehend angeführt, ist es möglich, eine kompakte Meßkarte niedriger Erstehungskosten be­ reitzustellen.

Obwohl die bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfin­ dung im einzelnen erläutert wurde, erschließen sich dem Fach­ mann zahlreiche Änderungen, Ersätze und Alternativen, ohne von der Erfindung abzuweichen, die durch die beiliegenden Ansprüche festgelegt ist.

Claims (6)

1. Meßkarte, auf der ein zu messendes Bauelement zum Testen eines I/O-Anschlusses angebracht werden kann, aufweisend einen optisch getriebenen Schalter, der aus einem photo­ leitenden Schalter besteht, der durch Bilden von Elektro­ den mit einem Spalt einer vorbestimmten Breite auf einem Halbleitersubstrat und einem Leuchtmittel bzw. Luminophor gebildet ist, wobei der optisch getriebene Schalter und das Leuchtmittel in der Nähe der Karte angeordnet sind und das Umschalten für den I/O-Anschluß durch den optisch ge­ triebenen Schalter erfolgt.

2. Meßkarte nach Anspruch 1, wobei das Leuchtmittel ein Halb­ leiterlaser ist.

3. Meßkarte nach Anspruch 1, wobei das halbisolierende Halb­ leitersubstrat entweder aus einem Verbindungshalbleiter­ substrat der Gruppe III-V oder einem photoleitenden Halb­ leitersubstrat besteht.

4. Meßkarte nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der optisch getriebene Schalter sowohl in der Ein­ gangsleitung wie der Ausgangsleitung des I/O-Anschlusses auf der Karte vorgesehen ist.

5. Meßkarte nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei eine Mehrzahl von optisch getriebenen Schaltern in einer Grup­ pierung angeordnet ist, die in einem Gehäuse untergebracht ist, und wobei das Eingangs- und Ausgangsumschalten für den I/O-Anschluß im Bereich des I/O-Anschlusses auf der Karte über dieses Gehäuse erfolgt.

6. I/O-Anschluß-Testsystem mit:
Einer Meßkarte gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, und einem Tester zum Steuern des Eingangs- und Ausgangsum­ schaltens für einen I/O-Anschluß (eines auf der Meßkarte angebrachten Bauelements) durch einen optisch getriebenen Schalter der Meßkarte und zum Durchführen eines speziellen I/O-Anschluß-Tests für das zu messende Bauelement.