DE2741673A1 - Verfahren und einrichtung fuer die tomographie - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Einrichtung zur Erzeugung eines simultanen Bewegungsablaufs von einer Röntgenröhre und einem Strahlenempfänger eines Röntgen-Schichtgerätes, wobei diese beiden Bauelemente auf parallelen Bahnen in einander entgegengesetzten Richtungen bewegt werden.

Derartige Maßnahmen und Einrichtungen werden dazu verwandt, um einen bestimmten Bereich eines Objektes, d.h. einen im Inneren desselben befindlichen Bereich auf einem Röntgenstrahlenempfänger näher hervorzuheben.

Die bekannten Einrichtungen benötigen für die Herstellung einer linearen Röntgenschichtdarstellung eine mechanische Verbindung zwischen der Aufhängung der Röntgenröhre und dem Strahlenempfänger, die sich um einen Punkt im Zwischenraum zwischen diesen beiden Mitteln dreht. Es erfolgt hierbei also eine translatorische Bewegung der Röntgenröhre in einer Richtung und eine proportionale Bewegung des Strahlenempfängers in entgegengesetzter Richtung, sowie eine Rota- tion der Röntgenröhre in der Art, daß der Zentralstrahl ungefähr immer auf demselben Punkt des Strahlenempfängers auftrifft. Während des Normalbetriebes, d.h. bei dem Betrieb, bei dem keine Schicht-Untersuchungen vorgenommen werden, stört diese mechanische Verbindung den Benutzer, zumal sie auf irgendeine Art und Weise außer Funktion gebracht werden muß, was meistens sehr problematisch ist.

Im übrigen rufen mechanische Verbindungen unerwünschte Vibrationen hervor, die sich gerade bei Röntgen-Schichtaufnahmen negativ auswirken.

Der vorliegenden Erfindung lieg deshalb die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Einrichtung anzugeben, wodurch eine Röntgen-Schichtuntersuchung ohne mechanische Kupplung zwischen der Röntgenröhre und dem Strahlenempfänger möglich ist.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß erste, nur einem der beiden Bauelemente eine lineare Translationsbewegung vermittelnde, elektromotorische Verstellmittel angesteuert werden, und daß in Abhängigkeit von der jeweiligen Position des betreffenden Bauelementes ein erstes Signal gebildet wird, daß zweite, dem anderen Bauelement zugeordnete, elektromotorische Verstellmittel derart steuert, daß dieses Bauelement praktisch verzugslos eine entsprechende Position in entgegengesetzter Richtung einnimmt.

Es ist in diesem Zusammenhang sehr vorteilhaft, eine Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens einzusetzen, die dadurch gekennzeichnet ist, daß erste und zweite mechanisch voneinander unabhängige Verstellmotoren zur gegenläufigen simultanen Bewegung von Röntgenröhre und Strahlenempfänger vorgesehen sind, daß ein dritter Verstellmotor zur Drehung der Röntgenröhre vorgesehen ist, daß ein erster, ein translatorisches Steuersignal an den Verstellmotor für die Röntgenröhre oder den Strahlenempfänger in Abhängigkeit von die Betriebsweise kennzeichnenden Eingangsinformationen liefernder Schaltkreis vorgesehen ist, daß Mittel zur Feststellung der jeweiligen Position des einen (ersten) Bauelementes vorgesehen sind, denen ein erster in Abhängigkeit von der jeweiligen Position das erste Signal liefernde Steuerkreis zugeordnet ist, der einerseits mit einem zweiten Steuerkreis verbunden ist, der den Verstellmotor des anderen (zweiten) Bauelementes derart beeinflußt, daß dieses Bauelement eine entsprechende Position in entgegengesetzter Richtung verzugslos einnimmt, und der andererseits mit einem dritten Steuerkreis verbunden ist, der den für die Drehung der Röntgenröhre vorgesehenen Verstellmotor entsprechend beeinflußt.

Weitere Vorteile und Merkmale der vorliegenden Erfindung werden anhand eines in der Zeichnung mehr oder weniger dargestellten Ausführungsbeispieles näher erläutert.

In der Zeichnung hat man mit 10 eine allgemein bekannte Aufhängung (Deckenstativ) für eine Röntgenröhre 16 bezeichnet, die z.B. derart angeordnet ist, daß sie translatorisch über Rollen oder vergleichbare Elemente 14 auf an der Decke befestigten Schienen 12 bewegbar ist. Die Röntgenröhre 16 ist an der Aufhängung 10 drehbar befestigt und auf den Strahlenempfänger 18 ausgerichtet, der verschiebbar an einem

Röntgenuntersuchungstisch, und zwar unter der Patientenlagerungsvorrichtung 20 vorgesehen ist. Wie bei den bekannten Röntgen-Schichtgeräten ist die Aufhängung 10 und der Strahlenempfänger 18 auf parallelen Bahnen in einander entgegengesetzten Richtungen verschiebbar, wobei ein Punkt 24 (homotetisches Zentrum) festliegt, und zwar im Schnittpunkt des zu untersuchenden Objektes 22. Dies ermöglicht die Erzielung einer deutlichen Abbildung 28 des homotetischen Zentrums, d.h. des Schnittpunktes 24 auf dem Strahlenempfänger 18, und zwar durch Verwischung der übrigen Bereiche des Objektes. Um eine virtuelle Verbindung zu erzielen, d.h. eine nichtmechanische Verbindung, und zwar in Bezug auf die Röntgenröhre 16 und den Strahlenempfänger 18, wobei der Zentralstrahl der Röntgenröhre immer auf denselben Punkt 28 des Strahlenempfängers 18 ausgerichtet ist, sieht man gemäß der Erfindung einen optischen Reflektor 30 vor, der an einem Punkt befestigt ist, welcher in Bezug auf den Fokus 32 der Röntgenröhre 16 ortsunverständlich ist. Die jeweilige Position bei der linearen Translation der Aufhängung 10 und damit der Röntgenröhre 16 wird mit Hilfe eines ein Strahlenbündel 36 hervorrufenden Helium-Neon-Lasers 34 und mittels eines sich aus einem Spiegel 40, einer Teilungsvorrichtung für das Strahlenbündel (halbdurchlässiger Spiegel) 42 und einem aus einem Fotodetektor 44 bestehenden Empfängers für das Motiv der Interferenzstreifen zusammensetzenden Interferometers bestimmt.

Das übertragene Laserbündel 36 ist nach der Durchquerung der Teilungsvorrichtung 42 für das Strahlenbündel gegen den Reflektor 30 gerichtet, von wo es in dieselbe Richtung zurückgeworfen wird, und zwar als Strahlenbündel 48.

Ein Teil des von dem Laser ausgesandten auf die Teilungsvorrichtung 42 auftreffenden Strahlenbündels 36 wird auf einem Teil von diesem reflektiert, und zwar in Richtung auf den Spiegel 40 und wird von diesem wiederum reflektiert, und zwar in Richtung auf den Fotodetektor 44 während das vom Reflektor 30 zurückgeworfene Strahlenbündel 48 teilweise durch die andere Fläche der Teilungsvorrichtung 42 reflektiert wird, und zwar auch in Richtung auf den Fotodetektor 44, wobei sich durch Kombination eine Abbildung von Interferenzstreifen 50 ergibt, die von dem Fotodetektor 44 erfaßt wird. Bei einer Wellenlänge von z.B. 6328 A[mit Kreis darüber] wird jede lineare Translation der Röntgenröhre 16 von 0,312 mm durch Phasenumkehr der Abbildung der Interferenzstreifen erfasst. Diese Phasenumkehr erlaubt die Steuerung der Bewegung des Strahlenempfängers 18 ebenso wie die Drehung der Röntgenröhre 16 in Abhängigkeit von der Bewegung der Aufhängung 10 der Röntgenröhre 16.

Bei der eingehenden Betrachtung der Verstellmittel der verschiedenen Bauelemente ist festzustellen, daß der Verstellmotor 52 für die Bewegung der Röntgenröhre 16 durch eine Steuereinheit 54 beeinflußt wird. Der Strahlenempfänger 18 ist mechanisch mit einem zweiten elektrischen Verstellmotor 56 gekoppelt, der durch eine Steuereinheit 58 beeinflußt wird. In Abhängigkeit davon ist festzustellen, daß, wenn der erste Verstellmotor 52 die Aufhängung 10 der Röntgenröhre 16 linear in einer Richtung bewegt (z.B. nach vorne, d.h. nach rechts gemäß der Zeichnung) wird, der zweite Verstellmotor 56 derart gesteuert wird, daß er den Strahlenempfänger 18 in entgegengesetzter Richtung bewegt, und zwar um eine konstante Rolation der Kolinearität zwischen diesen beiden Bauelementen in Bezug auf das homotetische Zentrum 24 aufrechtzuerhalten. Diese konstante Relation der Kolinearität erfordert im übrigen, daß die Röntgenröhre während der linearen Translation sich um eine durch ihren Fokus 32 verlaufende horizontale Achse dreht. Diese Rotation wird mit Hilfe eines dritten elektrischen Verstellmotors 60 gewährleistet, der mechanisch mit der Röntgenröhre 16 gekoppelt ist, und der durch eine Steuereinheit 62 beeinflußt wird.

Die von den drei Steuereinheiten 54, 58 und 62 an die jeweils zugehörigen Verstellmotoren 52, 56, 60 gelieferten Signale stehen teilweise in Abhängigkeit von den von dem Benutzer vorgewählten zum Betrieb der Röntgen-Schichteinrichtung erforderlichen Parametern, und zwar werden an dem Steuerpult 64 wenigstens 4 Eingangsinformationen eingegeben,

a) Höhe der Schnittebene, die durch die Position des Punktes 24 definiert ist,

b) Schnittgeschwindigkeit,

c) Schnittwinkel,

d) ein Signal, welches angibt, ob die Benutzungsart einen Versuch oder eine wirkliche Röntgen-Schichtuntersuchung darstellt.

Die in Abhängigkeit von diesen Eingangsinformationen hervorgerufenen Steuersignale für die Verstellmotoren werden gleichermaßen auch von den elektrischen Signalen des Fotodetektors 44 beeinflußt, und zwar über einen selbständigen elektronischen Rechenkreis 66, der z.B. einen Mikroprozes- sor 68, einen Speicher 70 und zwei programmierbare Zähler 72 und 74 aufweist. Diese vier zuletzt genannten Bauelemente 68, 70, 72 und 74 bestehen aus handelsüblichen transistorisierten, integrierten Schaltkreisen. In dem elektronischen Rechenkreis 66 verwirklicht z.B. der Mikroprozessor 68 zusammen mit dem Speicher 70 die Berechnungen in Abhängigkeit von den Eingangsinformationen, welche ihm in Form von elektrischen Signalen vom Steuerpult 64 zugeführt sind, und zwar um zunächst Steuersignale für die drei Verstellmotoren 52, 56 und 60 zu erzeugen, die für die Positionierung der Einrichtung in einer Anfangsstellung dienen, die in der Mitte der Zeichnung dargestellt ist. Dieser Vorgang wird dadurch verwirklicht, daß der Mikroprozessor 68 ein Signal über eine Leitung 76 der Steuereinheit 54 des ersten Verstellmotors 52 derart zuführt, daß, falls es notwendig ist, der Verstellmotor 52 die Aufhängung 10 so verstellt, daß sie ihre Anfangsstellung erreicht.

Die Bewegung der Aufhängung 10 wird durch den vom Interferometer 38 versorgten Fotodetektor 44 erfaßt, welcher elektrische Impulse bei jeder Phasenumkehr der Abbildung der Interferenzstreifen an einen Verstärkungskreis 78 abgibt. Der Verstärker 78 bewirkt eine Anpassung der ihm zugeführten Impulse, und zwar wird eine Impulsfolge von ungefähr 3,2 x 10[hoch]4 Impulse für jeden Zentimeter der translatorischen Bewegung der Aufhängung 10 hervorgerufen. Die von dem Verstärker 78 gelieferten Impulse sind einem Zählerteiler 80 zugeführt, der eine Division der empfangenen Anzahl der Impulse durch N vornimmt, wobei N eine ganze Zahl darstellt, z.B. N = 8, und zwar um ein Ausgangssignal zu liefern, das eine Wiederholungsfrequenz sehr leichter Verwendbarkeit aufweist. Das Ausgangssignal des Zählers 80 ist anschließend zwei programmierbaren Zählern 72 und 74 zugeführt, und zwar jeweils über Leitungen 82 und 84.

Der Mikroprozessor 68 gewährleistet in Abhängigkeit von den durch den Benutzer vorgewählten Eingangsinformationen die Übertragung von einem Steuersignal zu jedem der beiden programmierbaren Zähler 72 und 74, und zwar um eine vorbestimmte Division der jeweiligen Eingangsimpulse zu verwirklichen. Die Zähler 72 und 74 wirken dabei derart, daß sie binäre Steuersignale hervorrufen, welche jeweils über die Leitungen 80 und 82 zu der für die Rotation der Röntgenröhre 16 vorgesehenen Steuereinheit 62 und zu der für die Vorstellung des Strahlenempfängers 18 vorgesehenen Steuereinheit 58 übertragen werden, und zwar um den Strahlenempfänger 18 in eine entgegengesetzte Richtung und mit einer proportionalen zu der Aufhängung 10 zu bewegen und um gleichzeitig die simultane Drehung der Röntgenröhre 16 zu gewährleisten.

Es ist freizustellen, daß die Schichthöhe durch die Relation zwischen der Bewegung der Aufhängung 10 und der abhängigen Bewegung des Strahlenempfängers 18 festgelegt ist, d.h. sie ergibt sich aus der Bewegung der Aufhängung 10. Daraus resultiert, daß die von dem Benutzer gewählte Schnitthöhe eine Beeinflussung des Speichers 70 und dadurch des Mikroprozessors 68 in Funktion von der Geschwindigkeit und dem Winkel des gewählten Schnittes hervorruft, und zwar um die jeweiligen Zählungen (Faktor der Division) der Zähler 72 und 74 im Hinblick auf die Konformität der existie- renden korrekten Relation zwischen den proportionalen Geschwindigkeiten der Röntgenröhre 16 und dem Strahlenempfänger 18 zu verlieren.

Daraus ergibt sich, daß, nachdem die Aufhängung 10 in ihre vorbestimmten Anfangsquellen gebracht ist, der Mikroprozessor 68 die Steuereinheit 54 des Verstellmotors 52 derart beeinflußt, daß die Aufhängung 10 sich z.B. mit einer sinusförmigen Geschwindigkeit (als Funktion der Zeit) bei der geradlinigen Bewegung verstellt. Die jeweilige Position während der Translation wird durch die Lasereinrichtung erfasst, die an die programmierbaren Zähler 72 und 74 Impulse, dessen Wiederholungsfrequenz eine Funktion von dieser Geschwindigkeit darstellt. Die von dem programmierbaren Zähler 74 hervorgerufenen impulsförmigen Signale steuern den zweiten für die Mitnahme des Strahlenempfängers 18 vorgesehenen Verstellmotor 56, und zwar um die simultane Translation desselben mit einer ebenfalls sinusförmigen Geschwindigkeit zu gewährleisten, wobei das Zentrum des Strahlenempfängers 18, d.h. der Punkt 28 immer mit dem Zentralstrahl 26 des Röntgenstrahlenbündels in einer Linie verbleibt.

Desweiteren steuern die von dem programmierbaren Zähler 72 hervorgerufenen impulsförmigen Signale simultan den dritten für die Rotationsbewegung der Röntgenröhren 16 vorgesehenen Verstellmotor 60. Während dieses Zeitintervalls überträgt der Mikroprozessor 68 gleichermaßen Steuersignale zu einer Steuereinheit 90, welche die Funktion der Röntgenröhre 16 derart beeinflußt, daß eine Folge von Belichtungen während einer gewählten tomographischen Abtastung hervorgerufen wird, und zwar um relative gute Radiographie von einer dünnen in der Schnittebene liegenden Schicht des Objektes 22 herzustellen, während die darunter oder darüber liegenden Bereiche verwischt werden.

Mit Hilfe von einem Helium-Neon-Laser ist das Interferometer 38 im übrigen in der Lage, die Position der Aufhängung 10 der Röntgenröhre 16 mit einer Präzision festzustellen, die in der Größenordnung von 0,3 Mikron liegt. Daraus ergibt sich, daß man leicht eine sehr exakte Positionierung des Strahlenempfängers 18 in Bezug auf den Fokus der Röntgenröhre 16 vornehmen kann, und zwar mit einer Präzision, die geringer ist als 0,025 mm.

Infolge des mit einer sehr großen Präzision ablaufenden Bewegungsvorganges von Röntgenröhre und Strahlenempfänger bei einem System mit einer variablen Schnitthöhe ist es möglich, auf die bislang verwendete mechanische Verbindung zu verzichten, d.h. durch die vorliegende Erfindung wird eine beträchtliche Verbesserung gegenüber klassischen tomographischen Einrichtungen erzielt.

Claims (18)

1.) Verfahren zur Erzeugung eines simultanen Bewegungsablaufs von einer Röntgenröhre und einem Strahlenempfänger eines Röntgen-Schichtgerätes, wobei diese beiden Bauelemente auf parallelen Bahnen in einander entgegengesetzten Richtungen bewegt werden, dadurch gekennzeichnet, daß erste, nur einem der beiden Bauelemente eine lineare Translationsbewegung vermittelnde, elektromotorische Verstellmittel angesteuert werden, und daß in Abhängigkeit von der jeweiligen Position des betreffenden Bauelementes ein erstes Signal gebildet wird, daß zweite, dem anderen Bauelement zugeordnete, elektromotorische Verstellmittel derart steuert, daß dieses Bauelement praktisch verzugslos eine entsprechende Position in entgegengesetzter Richtung einnimmt.

2.) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das von der Position des ersten Bauelementes abzuleitende erste Signal in Abhängigkeit von der jeweiligen Position des Brennflecks der Röntgenröhre gebildet und zur Steuerung der Verstellmittel des Strahlenempfängers herangezogen wird.

3.) Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die jeweilige Position des ersten Bauelementes auf nichtmechanischem Wege ermittelt wird.

4.) Verfahren nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Signal außerdem für die Steuerung eines dritten, für die Drehung der Röntgenröhre vorgesehenen, elektromotorischen Verstellmittels herangezogen wird, und zwar derart, daß der Zentralstrahl der Röntgenröhre immer auf ein und denselben Punkt des Strahlenempfängers fällt.

5.) Verfahren nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß das von der jeweiligen Position des ersten Bauelementes abhängige erste Signal aus der Feststellung der charakteristischen Differenz zwischen der von einer Strahlenquelle abgegebenen und der an einem bestimmten Punkt dieses Bauelementes reflektierten Strahlung abgeleitet wird.

6.) Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das von der jeweiligen Position des ersten Bauelementes abhängige erste Signal durch Interferometrie der von einer monochromatischen Lichtquelle abgegebenen, und der an einem bestimmten Punkt dieses Bauelementes reflektierten Strahlung, d.h. aus den sich ergebenden Interferenzstreifen gebildet wird.

7.) Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach den Ansprüchen 1 - 7, dadurch gekennzeichnet, daß erste und zweite mechanisch voneinander unabhängige Verstellmotore (52 und 56) zur gegenläufigen simultanen Bewegung von Röntgenröhre (16) und Strahlenempfänger (18) vorgesehen sind, daß ein dritter Verstellmotor (60) zur Drehung der Röntgenröhre (16) vorgesehen ist, daß ein erster, ein translatorisches Steuersignal an den Verstellmotor (52 oder 56) für die Röntgenröhre (16) oder den Strahlenempfänger (18) in Abhängigkeit von die Betriebsweise kennzeichnenden Eingangsinformationen liefernder Schaltkreise (54) vorgesehen ist, daß Mittel (34, 36, 38) zur Feststellung der jeweiligen Position des einen (ersten) Bauelementes (16) vorgesehen sind, denen ein erster in Abhängigkeit von der jeweiligen Position das erste Signal liefernde Steuerkreis (78, 80) zugeordnet ist, der einerseits mit einem zweiten Steuerkreis (74) verbunden ist, der den Verstellmotor (56) des anderen (zweiten) Bauelementes (18) derart beeinflußt, daß dieses Bauelement (18) eine entsprechende Position in entgegengesetzter Richtung verzugslos einnimmt, und der andererseits mit einem dritten Steuerkreis (72) verbunden ist, der den für die Drehung der Röntgenröhre (16) vorgesehenen Verstellmotor (60) entsprechend beeinflußt.

8.) Einrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zur Feststellung der jeweiligen Position des einen (ersten) Bauelementes (16) sich aus einer ein gerichtetes Strahlenbündel (36) abgebenden Strahlenquelle (34), einem an dem durch den ersten Steuerkreis (54) beeinflussten ersten Bauelement (16) angeordneten Reflektionsmittel (30) und einem die charakteristische Differenz zwischen abgegebener und reflektierter Strahlung feststellenden Auswertmittel (44) zusammensetzt.

9.) Einrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlenquelle (34) eine elektromagnetische Strahlenquelle ist.

10.) Einrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die elektromagnetische Strahlenquelle (34) eine optische Strahlenquelle ist.

11.) Einrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die optische Strahlenquelle (34) aus einem Laser besteht.

12.) Einrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Auswertmittel (44) aus einem auf die jeweilige Strahlung zugeschnittenen Organ besteht.

13.) Einrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zur Feststellung der Position des einen (ersten) Bauelementes (16) sich aus einer in der Nähe der Röntgenröhre (16) angeordneten optischen Strahlenquelle (34), einem an der Röntgenröhre (16) in Bezug auf den Brennfleck ortsunveränderlich gehaltenen Reflektor (30) für die optische Strahlung, einem zwischen der Strahlenquelle (34) und dem Reflektor (30) befindlichen für die Erzeugung von in Abhängigkeit der abgegebenen und der reflektierten Strahlung stehenden Interferenzstreifen vorgesehenen Interferometers (38) und einem aus den Interferenzstreifen ein impulsförmiges mit den Phasenumkehrungen der optischen Energie der Interferenzstreifen korrespondierendes Signal ableitendes Organ (44) zusammensetzen.

14.) Einrichtung nach Anspruch 7 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten und dritten Verstellmittel sich jeweils aus einer Steuereinheit (54, 62) und einem elektrischen Verstellmotor (52, 60) zusammensetzen, die mit der Röntgenröhre (16) zwecks translatorischer und rotatorischer

Verstellung derselben verbunden sind, und daß das zweite Verstellmittel sich ebenfalls aus einer Steuereinheit (58) und einem elektrischen Verstellmotor (56) zusammensetzt, die mit dem Strahlenempfänger (18) zwecks translatorischer Verstellung desselben verbunden sind.

15.) Einrichtung nach den Ansprüchen 7 - 14, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Schaltkreis einen Steuerkreis für die Beeinflussung der Steuereinheit (54) für die translatorische Bewegung der Röntgenröhre (18) aufweist, daß der zweite und der dritte Schaltkreis (72, 74) erste Eingänge für die von den Positionsfeststellungsmitteln (34, 38, 44) gelieferten impulsförmigen Signale und andererseits zweite Eingänge für die in Abhängigkeit der Eingangsinformationen gebildeten Signale aufweist und mit in Abhängigkeit von der translatorischen Bewegung der Röntgenröhre (16) und den Eingangsinformationen beeinflußten Ausgängen versehen ist, die mit den Steuereinheiten (58, 62) für die translatorische Bewegung des Strahlenempfängers (18) und die rotatorische Bewegung der Röntgenröhre (16) verbunden sind.

16.) Einrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß der Steuerkreis mit einem in Abhängigkeit von den Eingangsinformationen (Schichthöhe, Schichtgeschwindigkeit und Schichtwinkel) Signale hervorrufenden Rechenkreis versehen ist, der aus einem Mikroprozessor (68) und einem Speicher (70) besteht, die über die Steuereinheit (54) eine bestimmte translatorische Verstellung der Röntgenröhre (16) bewirken, und daß der zweite und dritte Schaltkreis (72, 74) mit Hilfe der von dem Mikroprozessor (68) auf ihre zweiten Eingänge geführten Signale programmierbare Impulszähler aufweisen, wobei eine vorbestimmte Teilung der auf ihre ersten Eingänge gelegten impulsförmigen Signale durchgeführt wird, und zwar um Steuersignale hervorzurufen, die einerseits für die translatorische, mit proportionaler Geschwindigkeit erfolgende Bewegung des Strahlenempfängers (18) in entgegengesetzter Richtung und für die abhängige rotatorische Bewegung der Röntgenröhre (16) herangezogen werden.

17.) Einrichtung nach den Ansprüchen 15 und 16, dadurch gekennzeichnet, daß das Mittel, das in Abhängigkeit der Interferenzstreifen ein impulsförmiges Signal liefert, im wesentlichen aus einem Fotodetektor (44) besteht, der in einer an das Interferometer (38) angrenzenden Position angeordnet ist.

18.) Einrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß das vom Fotodetektor (44) hervorgerufene impulsförmige Signal einem Verstärker (78) zur Aufbereitung dieses Signals zugeführt ist, und daß ein an dem Ausgang des Verstärkers (78) angeschlossenes Bauelement (80) vorgesehen ist, das die Anzahl der Impulse des aufbereiteten impulsförmigen Signals durch einen vorbestimmten Faktor teilt, und zwar vor ihrer Übertragung zu den programmierbaren Zählern (72, 74) des zweiten und dritten Schaltkreises.